CN204099182U - 一种应用于制备三氟乙胺的喷射泵 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种应用于制备三氟乙胺的喷射泵，包括储液罐、阀门、文丘里管，喷射泵，管道和喷射头，储液罐通过管道和文丘里管和喷射泵相连，文丘里管一端与与喷射泵相连，文丘里出液口与喷射头相连接，在出液管上加了一个回流管与喷射泵相连接。通过该装置，可以实现不管压力过大或者过小，都可以实现有效的调节，大大提高了喷射效率高，喷射稳定性也大大增强，并且喷射泵并不需要时刻工作，增加了其使用寿命长，减小了电耗，简化了结构，使装置更加安全可靠。

Description

一种应用于制备三氟乙胺的喷射泵

技术领域

本实用新型涉及一种应用于制备三氟乙胺的喷射泵。

背景技术

目前在半导体加工时，常常要用到三氟乙胺喷射装置，但是现在的三氟乙胺喷射装置结构比较单一，存在喷射不稳定，经常出现喷射过多或者过少的问题，浪费了许多原材料，而且设备停机一段时间可能还会存在回流现象，也会导致喷射不稳定的现象。当喷射不稳定时，会导致相应产品的质量难以控制，影响了工人的工作效率和后续的工作进展。

实用新型内容

本实用新型的的目的在于提供一种应用于制备三氟乙胺的喷射泵，引入了文丘里管和喷射泵等装置，使之无需外力动力，安装使用方便，喷射效率高，喷射稳定，使用寿命长，简化了结构，安全可靠。

为了解决上述技术问题，采用如下技术方案：

一种应用于制备三氟乙胺的喷射泵,包括储液罐和单向阀，单向阀包括第一单向阀、第二单向阀和第三单向阀，储液罐内连接有储液罐出液管，储液罐出液管的另一端连接有喷射泵进液管，喷射泵进液管上设有第一单向阀，喷射泵进液管的另一端连接有喷射泵，喷射泵下端连接有喷射泵出液管，喷射泵侧面连接有回流管，回流管上设有第三单向阀，回流管的另一端连接有出液管，出液管上端连接有文丘里管，出液管下端连接有喷射头，出液管上安装有压力控制表，喷射泵进液管和储液罐出液管的连接处连接有文丘里进液管，文丘里进液管的另一端连接有文丘里管，文丘里进液管上设有第二单向阀，文丘里管连接有喷射泵出液管。文丘里管有两个进液口，当文丘里进液管所进的液体压力达不到要求时，此时打开喷射泵和第一阀门，那么出液管的液体压力就会增加，达到喷射压力的要求；当文丘里进液管所进的液体压力超过所需的压力时，此时关闭第一阀门和喷射泵，并且打开第三阀门，使出液管的一部分液体通过回流管进入喷射泵，这样喷射压力就减小了，也就可以达到喷射的要求了。这样的调节方式简单有效，喷射泵也不需要时时工作，不但可以增加喷射泵的使用寿命，而且可以减少其电耗，增加了一个回流装置，有效地减少了原料的浪费。

进一步，喷射泵上设有进液口，出液口和回流口，进液口连接喷射泵进液管，出液口连接喷射泵出液管，回流口连接回流管。这里的喷射泵增加了一个回流口，可以有效地调节其喷射溶液的压力大小，大大地提高了系统的稳定性。

进一步，所述文丘里管包括入口段、收缩段、喉段和出口段，入口段连接收缩段，收缩段连接喉段，喉段连接出口段。

进一步，入口段内安装有喷嘴，喷嘴地增加可以让液体均匀地进入下一段，增加了其液体流动的稳定性。

进一步，出口段内安装消音器，出口段设有文丘里出液口，出液口连接出液管，文丘里管液体流动产生的杂音可以通过消音器有效的减小。

进一步，入口段设有第一进液口和第二进液口，入口段设有第一进液口和第二进液口，第一进液口连接喷射泵出液管，第二进液口连接文丘里进液管。文丘里管增加了一个进液口，可以通过调节两个进液口的流量，达到我们所选的理想工作压力。

由于采用上述技术方案，具有以下有益效果:

本实用新型为一种应用于制备三氟乙胺的喷射泵，储液罐出液管分别连接文丘里管和喷射泵，文丘里管有两个进液口，当文丘里进液管所进的液体压力达不到要求时，此时打开喷射泵和第一阀门，那么出液管的液体压力就会增加，达到喷射压力的要求；当文丘里进液管所进的液体压力超过所需的压力时，此时关闭第一阀门和喷射泵，并且打开第三阀门，使出液管的一部分液体通过回流管进入喷射泵，这样喷射压力就减小了，也就可以达到喷射的要求了。这样的调节方式简单有效，喷射泵也不需要时时工作，不但可以增加喷射泵的使用寿命，而且可以减少其电耗。增加了一个回流装置，有效地减少了原料的浪费。使之可以按照工作所需的压力进行喷射，使喷射效率高，喷射稳定，使用寿命长，简化了结构，安全可靠。

附图说明

下面结合附图对本实用新型作进一步说明：

图1为本实用新型一种应用于制备三氟乙胺的喷射泵的结构示意图；

图2为文丘里管的结构示意图；

图3为本实用新型一种应用于制备三氟乙胺的喷射泵压力过低时的工作示意图；

图4为本实用新型一种应用于制备三氟乙胺的喷射泵压力过高时的工作示意图。

具体实施方式

如图1至图4所示，一种应用于制备三氟乙胺的喷射泵,包括储液罐1和单向阀，单向阀包括第一单向阀81、第二单向阀71和第三单向阀91，储液罐1内连接有储液罐出液管6，储液罐出液管6的另一端连接有喷射泵进液管8，喷射泵进液管8上设有第一单向阀81，喷射泵进液管8的另一端连接有喷射泵3，喷射泵3上设有进液口31，出液口33和回流口32，进液口31连接所述喷射泵进液管8，出液口33连接所述喷射泵出液管10，回流口32连接所述回流管9，回流管9上设有第三单向阀91，回流管9的另一端连接有出液管4，出液管4上端连接有文丘里管2，文丘里管2从右到左依次分为入口段24、收缩段25、喉段26和出口段27，入口段24上有第一进液口23、第一进液口22和喷嘴21，出口段27内有消音器28，可以减小工作的杂音，出口段27有文丘里出液口33，出液口33连接出液管4，出液管4下端连接有喷射头5，出液管4上安装有压力控制表41，喷射泵进液管8和储液罐出液管46的连接处连接有文丘里进液管7，文丘里进液管7的另一端连接有文丘里管2，文丘里进液管7上设有第二单向阀71，文丘里管2连接有喷射泵出液管10。

当开始工作时，先打开第一单向阀81，喷射泵3启动，开始工作，储液罐1内的三氟乙胺溶液通过喷射泵进液管8开始进入喷射泵3，再有喷射泵出液口33通过喷射泵出液管10进入文丘里管2的第一进液口23，液体从喷嘴21均匀的喷出，依次经过文丘里管2的收缩段25、喉段26和出口段27，通过出口段27的文丘里出液口33进入出液管4，直至液体从喷射头5喷出。由于文丘里管2的作用，在文丘里管2喷嘴21处产生负压，使液体更加顺畅地向文丘里管2流动，此时打开第二单向阀71，由于文丘里管2产生的负压，使溶液通过文丘里进液管7进入文丘里管2，这样经过喷射泵3的液体就大大减少了，如果文丘里管22进入的溶液压力足够提供所需的喷射压力，那么就可以关闭喷射泵3和第一单向阀81，这样就减小了工作电耗。如果提供的压力过大，此时打开第三单向阀91，关闭喷射泵3，使一部分溶液回流进入喷射泵3内，喷射泵3此时仅作为管路用于连通，经回流后，出液管4内的压力显著减小。这样就实现了不管压力过大或者过小，都可以实现有效地调节，大大地提高了喷射效率，喷射稳定性也大大增强，并且喷射泵3并不需要时刻工作，增加了其使用寿命，减小了电耗，简化了结构，使装置更加安全可靠。

以上仅为本实用新型的具体实施例，但本实用新型的技术特征并不局限于此。任何以本实用新型为基础，为解决基本相同的技术问题，实现基本相同的技术效果，所作出地简单变化、等同替换或者修饰等，皆涵盖于本实用新型的保护范围之中。

Claims (6)

1.一种应用于制备三氟乙胺的喷射泵，包括储液罐和单向阀，其特征在于：所述单向阀包括第一单向阀、第二单向阀和第三单向阀，所述储液罐内连接有储液罐出液管，所述储液罐出液管的另一端连接有喷射泵进液管，所述喷射泵进液管上设有所述第一单向阀，所述喷射泵进液管的另一端连接有喷射泵，所述喷射泵下端连接有喷射泵出液管，所述喷射泵侧面连接有回流管，所述回流管上设有所述第三单向阀，所述回流管的另一端连接有出液管，所述出液管上端连接有文丘里管，所述出液管下端连接有喷射头，所述出液管上安装有压力控制表，所述喷射泵进液管和所述储液罐出液管的连接处连接有文丘里进液管，所述文丘里进液管的另一端连接所述文丘里管，所述文丘里进液管上设有所述第二单向阀，所述文丘里管连接所述喷射泵出液管。

2.根据权利要求1所述一种应用于制备三氟乙胺的喷射泵，其特征在于：所述喷射泵上设有进液口，出液口和回流口，所述进液口连接所述喷射泵进液管，所述出液口连接所述喷射泵出液管，所述回流口连接所述回流管。

3.根据权利要求1所述一种应用于制备三氟乙胺的喷射泵，其特征在于：所述文丘里管包括入口段、收缩段、喉段和出口段，所述入口段连接所述收缩段，所述收缩段连接所述喉段，所述喉段连接所述出口段。

4.根据权利要求3所述一种应用于制备三氟乙胺的喷射泵,其特征在于：所述入口段内安装有喷嘴。

5.根据权利要求3所述一种应用于制备三氟乙胺的喷射泵,其特征在于：所述出口段内安装有消音器,所述出口段设有文丘里出液口，所述出液口连接所述出液管。

6.根据权利要求3所述一种应用于制备三氟乙胺的喷射泵,其特征在于：所述入口段设有第一进液口和第二进液口，所述第一进液口连接所述喷射泵出液管，所述第二进液口连接所述文丘里进液管。