CN204088290U - 风冷系统及uv设备 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供了一种风冷系统及UV设备，所述风冷系统，包括：顺次连接的气管、伸缩管及进风管，所述气管上设置有阀门。所述UV设备，包括：箱体，置于所述箱体内的加热平台，设置于所述箱体顶盖上的UV灯，及所述的风冷系统，所述风冷系统的气管穿过所述箱体的侧壁，所述伸缩管及进风管位于所述箱体内。冷风通过气管和进风管进入到所述UV设备的箱体内，对晶圆进行降温时，冷风通过进风管吹在待降温晶圆的表面，从而达到对待降温晶圆进行快速降温的目的。此外，本实用新型工作方式安全并易于操作，现场工程师可熟练操作，从而提高生产效率。
Description
技术领域
本实用新型涉及集成电路制造设备技术领域，特别涉及一种风冷系统及UV设备。
背景技术
目前集成电路逐渐被应用到很多领域中，比如计算机、通信、工业控制和消费性电子等。集成电路的制造业，已经成为和钢铁一样的基础产业。
在集成电路的生产制造过程中，通常需要对晶圆进行加热。通过UV设备加热后的晶圆表面温度高达120°，制造部无法立即取出高温的晶圆，导致UV设备产能低下。
现有技术是让经过UV设备加热后的晶圆自然冷却，待冷却一小时后，晶圆的表面温度可达到30°～35°左右，严重影响产能。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种UV设备风冷系统，使经过UV设备加热后的晶圆能够快速冷却。
为了达到上述目的，本实用新型提供的技术方案为：
一种风冷系统，包括：顺次连接的气管、伸缩管及进风管，所述气管上设置有阀门。
优选的，在上述风冷系统中，还包括气缸，所述气缸连接于所述伸缩管。
优选的，在上述风冷系统中，所述气缸设置于所述气管上。
优选的，在上述风冷系统中，所述进风管的出风口设置有出风百叶。
优选的，在上述风冷系统中，所述出风百叶与竖直方向的夹角在0°～30°之间。
优选的，在上述风冷系统中，所述气管采用不锈钢。
优选的，在上述风冷系统中，所述伸缩管及进风管采用PTFE。
一种UV设备，包括：箱体，置于所述箱体内的加热平台，设置于所述箱体的顶盖上的UV灯，及所述的风冷系统，所述风冷系统的气管穿过所述箱体的侧壁，所述伸缩管及进风管位于所述箱体内。
优选的，在上述UV设备中，所述箱体上还设置有出风口。
优选的，在上述UV设备中，所述气管与所述箱体的侧壁之间通过硅胶密封。
上述技术方案具有如下优点或有益效果：
在本实用新型提供的风冷系统及UV设备中，冷风通过气管和进风管进入到所述UV设备的箱体内，对晶圆进行降温时，冷风通过进风管吹在待降温晶圆的表面，从而达到对待降温晶圆进行快速降温的目的。此外，本实用新型工作方式安全并易于操作，现场工程师可熟练操作，从而提高生产效率。
附图说明
图1为本实用新型实施例中的晶圆加热时的UV设备结构示意图；
图2为本实用新型实施例中的晶圆降温时的UV设备结构示意图；
图中：100-UV设备；101-气管；102-进风管；103-伸缩管；104-阀门；105-气缸；106-出风百叶；107-加热平台；108-UV灯；109-出风口；110-箱体；111-晶圆。
具体实施方式
下面将结合示意图对本实用新型的具体实施方式进行详细的描述。根据下列描述并结合权利要求书，本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比率，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。
本实用新型提供一种UV设备，包括：箱体110，置于箱体110内的加热平台107，设置于所述箱体110的顶盖上的UV灯108，及风冷系统。
具体的，所述风冷系统包括：顺次连接的气管101、伸缩管103及进风管102，所述气管上设置有阀门104。其中，所述阀门104用于控制冷风的流量。所述风冷系统的气管101穿过所述UV设备箱体的侧壁，所述伸缩管103及进风管102位于所述箱体内。
其中，所述气管101采用不锈钢，所述伸缩管103及进风管102采用聚四氟乙烯(即PTFE，一种人工合成的高分子材料)。
进一步的，所述风冷系统还包括气缸105，所述气缸105设置于所述气管101上，所述气缸105连接于所述伸缩管103。所述气缸105控制所述伸缩管103的伸展与收缩，所述伸缩管103带动进风管的移动，从而使得所述进风管102的送风口到达或者离开被加热晶圆的正上方。
具体的，如图1所示，当UV设备在对晶圆111进行加热时，所述晶圆111位于所述加热平台107上，由UV灯108对所述晶圆进行加热。此时，所述阀门104关闭(即冷风的流量为零)，同时带动所述气缸105驱动所述伸缩管103收缩，所述伸缩管103的收缩带动所述进风管102移动，使得送风口离开晶圆111的正上方，靠近UV设备的侧壁110。
如图2所示，待UV设备对晶圆111加热完成后，所述阀门104打开，同时带动所述气缸105驱动所述伸缩管103伸展，所述伸缩管103的伸展带动所述进风管102移动，使得进风管102的送风口在晶圆111的正上方。
通过所述阀门104的打开，使得冷风通过所述气管101和进气管101进入到UV设备的箱体中。所述阀门104的扭动范围在0°～180°。随着所述阀门104扭动的角度越来越大，进入所述气管101的冷风的流量也越来越大，从而使得晶圆111降温更快。
具体的，所述进风管102的送风口设置有出风百叶106，所述出风百叶106能够来回摆动，风百叶106与竖直方向的夹角在0°～30°之间，所述出风百叶106的摆动使得冷风均匀的吹在晶圆111的表面。所述出风百叶106在摆动过程中与竖直方向的夹角最大为30°，这样随着出风百叶106的来回摆动，使得冷风刚好均匀的吹在晶圆111的表面，避免了冷风的浪费。
进一步的，所述箱体110上还设置有出风口109，所述出风口109用于将箱体110内的热风抽出。具体的，可通过真空吸气机将箱体110内的热风抽出，加速UV设备内冷风的流转，加速晶圆111的降温。并且可通过调节真空吸气机出风的大小来调节晶圆冷却的速度。
综上，在本实用新型实施例提供的风冷系统及UV设备中，冷风通过气管101和进风管102进入到所述UV设备的箱体110内，对晶圆111进行降温时，冷风通过进风管102吹在待降温晶圆111的表面，从而达到对待降温晶圆111进行快速降温的目的。此外，本实用新型工作方式安全并易于操作，现场工程师可熟练操作，从而提高生产效率。
上述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不对本实用新型起到任何限制作用。任何所属技术领域的技术人员，在不脱离本实用新型的技术方案的范围内，对本实用新型揭露的技术方案和技术内容做任何形式的等同替换或修改等变动，均属未脱离本实用新型的技术方案的内容，仍属于本实用新型的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种风冷系统，其特征在于，包括：顺次连接的气管、伸缩管及进风管，所述气管上设置有阀门。
2.如权利要求1所述的风冷系统，其特征在于，还包括气缸，所述气缸与所述伸缩管连接。
3.如权利要求2所述的风冷系统，其特征在于，所述气缸设置于所述气管上。
4.如权利要求1所述的风冷系统，其特征在于，所述进风管的出风口设置有出风百叶。
5.如权利要求4所述的风冷系统，其特征在于，所述出风百叶与竖直方向的夹角在0°～30°之间。
6.如权利要求1所述的风冷系统，其特征在于，所述气管采用不锈钢。
7.如权利要求1所述的风冷系统，其特征在于，所述伸缩管及进风管采用PTFE。
8.一种UV设备，其特征在于，包括：箱体，置于所述箱体内的加热平台，设置于所述箱体的顶盖上的UV灯，及如权利要求1-7中任意一项所述的风冷系统，所述风冷系统的气管穿过所述箱体的侧壁，所述伸缩管及进风管位于所述箱体内。
9.如权利要求8所述的UV设备，其特征在于，所述箱体上还设置有出风口。
10.如权利要求8所述的UV设备，其特征在于，所述气管与所述箱体的侧壁之间通过硅胶密封。
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201420416141.7U CN204088290U (zh) | 2014-07-25 | 2014-07-25 | 风冷系统及uv设备 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN201420416141.7U CN204088290U (zh) | 2014-07-25 | 2014-07-25 | 风冷系统及uv设备 |
Publications (1)
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| CN204088290U true CN204088290U (zh) | 2015-01-07 |
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| CN (1) | CN204088290U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105682316A (zh) * | 2016-01-06 | 2016-06-15 | 瑞昌市佳佳机电设备有限公司 | 一种uv灯、uv灯启动装置及uv灯功率控制装置 |
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2014
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| CN105682316A (zh) * | 2016-01-06 | 2016-06-15 | 瑞昌市佳佳机电设备有限公司 | 一种uv灯、uv灯启动装置及uv灯功率控制装置 |
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