CN204081838U - 一种应用在铜膜厚量测设备上的门锁改良装置 - Google Patents

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Inventor
黄汇丰
张弢
蒋德念
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Shanghai Huali Microelectronics Corp
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Abstract

本实用新型公开了一种应用在铜膜厚量测设备上的门锁改良装置,所述门锁改良装置由门,腔室,联锁传感器,磁铁和挂钩组成,其中,所述门的顶部与所述腔室的顶部通过铰链连接,所述联锁传感器设置于所述腔室的两边,所述磁铁设置于所述腔室的两边,所述挂钩设置于所述腔室的底部,所述门的底部设有与所述挂钩匹配的销子;通过本实用新型的使用,由于改变了门的设计使原来的阻力变成了助力,挂钩钩住门,不会发生门被弹开的问题;门不再弹开,有效的减少了制品量测过程中的缺陷及粒子的产生,同时也降低了设备运行过程中由于门被弹开而造成的辐射的问题。

Description

一种应用在铜膜厚量测设备上的门锁改良装置
技术领域
本实用新型涉及一种测量设备的装置结构,尤其涉及一种应用在铜膜厚量测设备上的门锁改良装置。
背景技术
目前设备上的手动负载门是往下翻打开,关上时是靠门两边的磁铁吸住的,但是由于门本身的重力原因以及开门联锁传感器具有一定的弹力,由于磁铁的吸力不能很好的吸住门,导致门很容易被弹开;如果在制品量测过程中门弹开了很容易造成制品的缺陷以及粒子的增加,影响制品的良率;另外也可增加设备运行过程中由于门被打开而造成的辐射外泄。
实用新型内容
有鉴于此,本实用新型提出一种应用在铜膜厚量测设备上的门锁改良装置,以解决上述门容易被弹开导致产品缺陷,影响制品的良率的问题。
为达到上述目的,本实用新型的技术方案是这样实现的:
一种应用在铜膜厚量测设备上的门锁改良装置,所述门锁改良装置由门,腔室,联锁传感器,磁铁和挂钩组成,其中,所述门的顶部与所述腔室的顶部通过铰链连接,所述联锁传感器设置于所述腔室的两边,所述磁铁设置于所述腔室的两边,所述挂钩设置于所述腔室的底部,所述门的底部设有与所述挂钩匹配的销子(未示出)。
上述应用在铜膜厚量测设备上的门锁改良装置,其中,所述联锁传感器对称设置于所述腔室两边。
上述应用在铜膜厚量测设备上的门锁改良装置,其中,所述磁铁对称设置于所述腔室两边。
上述应用在铜膜厚量测设备上的门锁改良装置,其中,所述磁铁位于所述联锁传感器的下方。
上述应用在铜膜厚量测设备上的门锁改良装置,其中,所述挂钩设置于所述腔室底边的中央位置。
上述应用在铜膜厚量测设备上的门锁改良装置,其中,所述销子设置于所述门的底部中央位置。
上述应用在铜膜厚量测设备上的门锁改良装置,其中,所述门的两侧固定设置有与所述磁铁位置相配的铁片(未示出)。
上述应用在铜膜厚量测设备上的门锁改良装置,其中,所述门的材质为铁。
本实用新型由于采用了上述技术,产生的积极效果是:
通过本实用新型的使用,由于改变了门的设计使原来的阻力变成了助力,挂钩钩住门,不会发生门被弹开的问题;门不再弹开,有效的减少了制品量测过程中的缺陷及粒子的产生,同时也降低了设备运行过程中由于门被弹开而造成的辐射的问题。
附图说明
构成本实用新型的一部分的附图用来提供对本实用新型的进一步理解,本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型,并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中:
图1现有技术中门锁装置的结构示意图;
图2为本实用新型的一种应用在铜膜厚量测设备上的门锁改良装置的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步说明,但不作为本实用新型的限定。
实施例:
请参见图2所示,本实用新型的一种应用在铜膜厚量测设备上的门锁改良装置,门锁改良装置由门1,腔室4,联锁传感器2,磁铁3和挂钩5组成,其特征在于,门1的顶部与腔室4的顶部通过铰链连接,联锁传感器2设置于腔室4的两边,磁铁3设置于腔室4的两边,挂钩5设置于腔室4的底部,门1的底部设有与挂钩5匹配的销子。
本实用新型在上述基础上还具有以下实施方式,请继续参见图2所示,
本实用新型的进一步实施例中,联锁传感器2对称设置于腔室4两边。
本实用新型的进一步实施例中,磁铁3对称设置于腔室4两边。
本实用新型的进一步实施例中,磁铁3位于联锁传感器2的下方。
本实用新型的进一步实施例中,挂钩5设置于腔室4底边的中央位置。
本实用新型的进一步实施例中,销子设置于门1的底部中央位置。
本实用新型的进一步实施例中,门1的两侧固定设置有与磁铁3位置相配的铁片。
本实用新型的进一步实施例中,门1的材质为铁。
使用者可根据以下说明进一步的认识本实用新型的特性及功能,
原来的门1的设计是向下翻打开的(如图1中的箭头方向所示),这样就会因为门1本身的重力而造成门1往下翻开的趋势,把门1的铰链安装位置从原来的下面换到上面,使门1的打开方式从原来的向下翻变成了向上翻(如图2中的箭头方向所示),也就是把原来的重力导致开门变成了重力导致关门,避免了重力问题导致门1被翻开的问题。
针对门1的联锁传感器2的弹力问题,在门1下方安装一个可活动的半圆形挂钩5,在门1关上后的对应位置安装一个销子,把门1关上后在把挂钩5转上来钩住门1,以防止门1被弹开。
综上所述,通过本实用新型的使用,由于改变了门的设计使原来的阻力变成了助力,挂钩钩住门,不会发生门被弹开的问题;门不再弹开,有效的减少了制品量测过程中的缺陷及粒子的产生,同时也降低了设备运行过程中由于门被弹开而造成的辐射的问题。
以上所述仅为本实用新型较佳的实施例,并非因此限制本实用新型的实施方式及保护范围,对于本领域技术人员而言,应当能够意识到凡运用本实用新型说明书及图示内容所作出的等同替换和显而易见的变化所得到的方案,均应当包含在本实用新型的保护范围内。

Claims (8)

1.一种应用在铜膜厚量测设备上的门锁改良装置,所述门锁改良装置由门,腔室,联锁传感器,磁铁和挂钩组成,其特征在于,所述门的顶部与所述腔室的顶部通过铰链连接,所述联锁传感器设置于所述腔室的两边,所述磁铁设置于所述腔室的两边,所述挂钩设置于所述腔室的底部,所述门的底部设有与所述挂钩匹配的销子。 
2.根据权利要求1所述的应用在铜膜厚量测设备上的门锁改良装置,其特征在于,所述联锁传感器对称设置于所述腔室两边。 
3.根据权利要求1所述的应用在铜膜厚量测设备上的门锁改良装置,其特征在于,所述磁铁对称设置于所述腔室两边。 
4.根据权利要求1所述的应用在铜膜厚量测设备上的门锁改良装置,其特征在于,所述磁铁位于所述联锁传感器的下方。 
5.根据权利要求1所述的应用在铜膜厚量测设备上的门锁改良装置,其特征在于,所述挂钩设置于所述腔室底边的中央位置。 
6.根据权利要求5所述的应用在铜膜厚量测设备上的门锁改良装置,其特征在于,所述销子设置于所述门的底部中央位置。 
7.根据权利要求3所述的应用在铜膜厚量测设备上的门锁改良装置,其特征在于,所述门的两侧固定设置有与所述磁铁位置相配的铁片。 
8.根据权利要求3所述的应用在铜膜厚量测设备上的门锁改良装置,其特征在于,所述门的材质为铁。 
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