CN204009357U - 一种用于光电显示屏显影加工阶段的循环用液系统 - Google Patents
一种用于光电显示屏显影加工阶段的循环用液系统 Download PDFInfo
- Publication number
- CN204009357U CN204009357U CN201420340985.8U CN201420340985U CN204009357U CN 204009357 U CN204009357 U CN 204009357U CN 201420340985 U CN201420340985 U CN 201420340985U CN 204009357 U CN204009357 U CN 204009357U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- photo
- liquid system
- bubble
- electric display
- circulation liquid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 239000007788 liquid Substances 0.000 title claims abstract description 40
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 23
- 230000004087 circulation Effects 0.000 title claims abstract description 19
- 239000007921 spray Substances 0.000 claims abstract description 42
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims abstract description 16
- 238000010992 reflux Methods 0.000 claims abstract description 12
- 239000006260 foam Substances 0.000 claims description 22
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 10
- 229920000742 Cotton Polymers 0.000 claims description 6
- 230000004075 alteration Effects 0.000 claims description 5
- 238000012216 screening Methods 0.000 claims description 2
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 3
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 239000013043 chemical agent Substances 0.000 description 2
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 2
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 2
- 238000004064 recycling Methods 0.000 description 2
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 2
- 238000004026 adhesive bonding Methods 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000008030 elimination Effects 0.000 description 1
- 238000003379 elimination reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- -1 impact and reduce Substances 0.000 description 1
- 230000003116 impacting effect Effects 0.000 description 1
- 230000002262 irrigation Effects 0.000 description 1
- 238000003973 irrigation Methods 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 1
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 230000001839 systemic circulation Effects 0.000 description 1
- 230000001052 transient effect Effects 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Water Treatments (AREA)
Abstract
一种用于光电显示屏显影加工阶段的循环用液系统，包括用于盛装显影液的集液槽、通过管道与所述集液槽连通的喷淋泵和通过管道与所述喷淋泵连通的喷淋室，还包括用于回收喷淋后的回流液并消去回收时产生的气泡的除泡装置，所述除泡装置包括与所述集液槽具有公共壁的筒体，所述筒体包括与所述喷淋室连通的回流口、设于所述公共壁底部的交换口和用于除去气泡及杂质的逐级过滤机构。本实用新型的技术优点在于所述循环用液系统结构紧凑、使用方便，在显影液喷淋时及喷淋后均能够将产生的气泡消去而降至到最少状态，避免气泡对工作质量及环境的影响，提高工作效率，优化产品质量，减少污染。
Description
技术领域
本实用新型涉及光电显示技术领域，具体是一种用于光电显示屏显影加工阶段的循环用液系统。
背景技术
光电显示产品如LCD等在制作加工时，一般经过基板原料、清洗、涂胶、前烘、曝光、显影、显影检查、后烘、酸刻等多道工序，其中显影阶段是很重要的一步，显影功能是用显影液除去基板表面的感光胶，目前一般采用喷淋并回收再利用的方式来使用显影液。由于回流的液体存在流体冲击，会产生大量的泡沫；由于感光胶的不断溶解，其主要化学成分为绝缘树脂，并且显影液在系统循环喷淋的过程中，产生化学反应，使药液更易形成泡沫，泡沫累积达到一定程度就会严重影响显影的质量，给生产造成不便。如授权公告号 CN 202057962 U的专利中提到的一种显影槽自动消泡装置，除泡效果仍然不理想。
实用新型内容
本实用新型的技术目的在于提供一种用于光电显示屏显影加工阶段的循环用液系统，解决显影液在使用过程中易产生大量泡沫而影响生产的问题。
本实用新型的具体技术方案如下：一种用于光电显示屏显影加工阶段的循环用液系统，包括用于盛装显影液的集液槽、通过管道与所述集液槽连通的喷淋泵和通过管道与所述喷淋泵连通的喷淋室，还包括用于回收喷淋后的回流液并消去回收时产生的气泡的除泡装置，所述除泡装置包括设于所述筒体上部的与所述集液槽具有公共壁的筒体，所述筒体包括与所述喷淋室连通的回流口、设于所述公共壁底部的交换口和用于除去气泡及杂质的逐级过滤机构。
工作液体从喷淋室喷淋后开始进行逐步的除泡过程，在二次利用回流液体时不会因直接排灌入所述集液槽中所存在的流体冲击而造成大量泡沫的形成，确保工作环境不会受到越来越多积累的泡沫影响，同时也使回流液进一步减少生产过程中的杂质，确保产品质量。
作为优选，所述逐级过滤机构包括设置于所述筒体中心且外连接有驱动电机的可转动的中心管、固定连接于所述筒体内壁而与所述中心管隔开的滤泡器和固定连接于所述中心管上的用于打破气泡并磨散回流液中杂质的辅助刷。
作为优选，所述滤泡器包括沿着所述中心管轴向布置的具有开孔的多孔过滤板，所述多孔过滤板位于所述辅助刷下方且与所述辅助刷接触。
作为优选，自上而下的所述多孔过滤板上的所述开孔的半径逐级减小，所述开孔的半径范围为2~5mm。
回流液通过所述多孔过滤板逐级往下滴淋，滴淋过程中因开孔半径逐渐减小，回流液在下滴时流量和冲击均逐渐减小，滴淋形成的泡沫逐渐变少变小，而回流液向下滴淋时也能击破下层所述多孔过滤板上的小泡沫，同时所述中心管可通过驱动电机转动，带动所述辅助刷运动，打破气泡同时也磨碎回流液中滋生的杂质，以上均利用物理方式进行净化，不利用其他化学药剂因而不会改变药液化学特性，对生产成本也没有额外增加，符合绿色环保、节能高效的要求。
作为优选，最下层的所述多孔过滤板高于或齐平于所述集液槽1。
以上高度要求确保在回流液流量充足而所述集液槽和所述筒体中的液面相平时候，不会使所述筒体中的液面漫过最下层的所述多孔过滤板和所述辅助刷，确保筒体中所述逐级过滤机构被充分利用并稳定工作。
作为优选，所述回流口上设有送液机构，所述送液机构包括固定连接于所述回流口上的滤网和固定连接于所述滤网上的散液罩。
作为优选，所述散液罩呈圆台状，所述散液罩上还设有针孔板。
所述送液机构的设置也是为了回流液在二次利用时能破除更多气泡，滤散更多杂质。
作为优选，所述喷淋室的底部还设有前置除泡机构，所述前置除泡机构包括固定连接于所述喷淋室的加热管网状带和位于所述加热管网状带下方的具有消泡棉的回流液输出段。
所述气泡接触所述加热管网状带时会破裂，所述消泡棉进一步帮助消去气泡。
作为优选，所述回流液输出段上设有控制回流液上下流通或停断的回流开关阀，所述回流开关阀的上方设有连通于所述回流液输出段且引向所述集液槽的备用回流管。
当所述筒体需要检查或维修等操作时，可以在关闭所述回流开关阀之后暂时使用传统的所述回流管引流入所述集液槽中进行暂时的回收工作。
作为优选，所述交换口处设有用于过滤残留杂质的筛片和用于控制所述交换口开通或封闭的交换开关阀。
所述筛片进行最后的过滤杂质工作，所述交换开关阀用于所述筒体检查或维修等操作时与所述集液槽的隔断。
本实用新型的技术优点在于所述循环用液系统结构紧凑、使用方便，在显影液喷淋时及喷淋后均能够将产生的气泡消去而降至到最少状态，避免气泡对工作质量及环境的影响，提高工作效率，优化产品质量，减少污染，采用物理方式进行净化，无任何添加化学剂而无多余成本增加，保证回收利用的液体仍然保持良好特性。
附图说明
图1为本实用新型一实施例的结构示意图；
图中编号对应的各部位名称分别为：1-集液槽，2-喷淋泵，3-喷淋室，31-加热管网状带，32-消泡棉，33-回流液输出段，331-回流开关阀，332-备用回流管，4-筒体，41-中心管，42-辅助刷，43-多孔过滤板，5-公共壁，51-交换口，511-筛片，512-交换开关阀，6-滤网，7-散液罩，71-针孔板。
具体实施方式
下面将结合附图，通过具体实施例对本实用新型作进一步说明：
见图1，一种用于光电显示屏显影加工阶段的循环用液系统，包括用于盛装显影液的集液槽1、通过管道与集液槽1连通的喷淋泵2和通过管道与喷淋泵2连通的喷淋室3，还包括用于回收喷淋后的显影液并消去回收时产生的气泡的除泡装置，除泡装置包括设于筒体4上部的与集液槽1具有公共壁5的筒体4，筒体4高于集液槽1；筒体4包括与喷淋室3连通的回流口、设于公共壁5底部的交换口51和用于除去气泡的逐级过滤机构，交换口51处设有用于过滤残留杂质的筛片511和用于控制交换口51开通或封闭的交换开关阀512。。逐级过滤机构包括设置于筒体4中心且外连接有驱动电机的可转动的中心管41、固定连接于筒体4内壁而与中心管41隔开的滤泡器和固定连接于中心管41上的用于打破气泡并磨散回流药液中杂质的辅助刷42。滤泡器包括沿着中心管41轴向布置的具有开孔的多孔过滤板43，多孔过滤板43位于辅助刷42下方且与辅助刷42接触。自上而下的多孔过滤板43上的开孔的半径逐级减小。多孔过滤板43上的开孔半径范围为2mm~5mm。
回流口上设有送液机构，送液机构包括固定连接于回流口上的滤网6和固定连接于滤网6上的散液罩7。散液罩7呈圆台状，散液罩7上还设有针孔板71。
喷淋室3的底部还设有前置除泡机构，前置除泡机构包括固定连接于喷淋室3的加热管网状带31和位于加热管网状带31下方的具有消泡棉32的回流液输出段33。回流液输出段33上设有回流开关阀331，回流开关阀331的上方设有连通于回流液输出段33且引向集液槽1的备用回流管332。
在实际工作过程中，集液槽1中的显影液由喷淋泵2抽送至喷淋室3中进行对基板表面进行喷淋，随后将其中液体进行再回收利用。喷淋室3底部的前置除泡机构能对喷淋室3中产生的泡沫进行初步消除，液体能很流畅地通过加热管网状带31由回流液输出段33流出。泡沫接触加热管网状带31会被粘附并破裂，消泡棉32进一步吸收即将回流出的液体中的泡沫，为后续除泡工作服务，同时保证喷淋室3内不会积累越来越多的泡沫影响正常工作。之后回流液流入筒体4中，先经过送水机构的各种过滤作用，简单地滤去一些泡沫和杂质。然后回流液经由多孔过滤板43上的开孔从最上层慢慢滴淋至底层，在滴淋过程流体冲击减小，泡沫不会大量产生，而滴淋方式也使得下方多孔过滤板43上的小泡沫被来自上方的滴淋液体击破；同时启动外部驱动电机，带动筒体4内的中心管41转动，中心管41上的辅助刷42随之转动，轻扫多孔过滤板43表面，同步将其上的泡沫扫散，并能将其中的结块颗粒等杂质或化学物质扫碎，防止其堵住开孔，也充分利用回流液。最后经过滤去杂质和气泡的回流液通过底部交换口51流入集液槽1中，交换口51上的筛片是对残留的少量杂质的扫尾工作。另外，在筒体4需要进行检查或维修等操作时，关闭回流开关阀331和交换开关阀512，再暂时利用备用回流管332直接将回流液送入集液槽1中。
Claims (10)
1.一种用于光电显示屏显影加工阶段的循环用液系统，包括用于盛装显影液的集液槽（1）、通过管道与所述集液槽（1）连通的喷淋泵（2）和通过管道与所述喷淋泵（2）连通的喷淋室（3），其特征在于：还包括用于回收喷淋后的回流液并消去回收时产生的气泡的除泡装置，所述除泡装置包括与所述集液槽（1）具有公共壁（5）的筒体（4），所述筒体（4）包括设于所述筒体（4）上部的与所述喷淋室（3）连通的回流口、设于所述公共壁（5）底部的交换口（51）和用于除去气泡及杂质的逐级过滤机构。
2.根据权利要求1所述的一种用于光电显示屏显影加工阶段的循环用液系统，其特征在于：所述逐级过滤机构包括设置于所述筒体（4）中心且外连接有驱动电机的可转动的中心管（41）、固定连接于所述筒体（4）内壁而与所述中心管（41）隔开的滤泡器和固定连接于所述中心管（41）上的用于打破气泡并磨散回流液中杂质的辅助刷（42）。
3.根据权利要求2所述的一种用于光电显示屏显影加工阶段的循环用液系统，其特征在于：所述滤泡器包括沿着所述中心管（41）轴向布置的具有开孔的多孔过滤板（43），所述多孔过滤板（43）位于所述辅助刷（42）下方且与所述辅助刷（42）接触。
4.根据权利要求3所述的一种用于光电显示屏显影加工阶段的循环用液系统，其特征在于：自上而下的所述多孔过滤板（43）上的所述开孔的半径逐级减小。
5.根据权利要求3或4所述的一种用于光电显示屏显影加工阶段的循环用液系统，其特征在于：最下层的所述多孔过滤板（43）相对高于或齐平于所述集液槽（1）的槽面。
6.根据权利要求1所述的一种用于光电显示屏显影加工阶段的循环用液系统，其特征在于：所述回流口上设有送液机构，所述送液机构包括固定连接于所述回流口上的滤网（6）和固定连接于所述滤网（6）上的散液罩（7）。
7.根据权利要求6所述的一种用于光电显示屏显影加工阶段的循环用液系统，其特征在于：所述散液罩（7）呈圆台状，所述散液罩（7）上还设有针孔板（71 ）。
8.根据权利要求1所述的一种用于光电显示屏显影加工阶段的循环用液系统，其特征在于：所述喷淋室（3）的底部还设有前置除泡机构，所述前置除泡机构包括固定连接于所述喷淋室（3）的加热管网状带（31）和位于所述加热管网状带（31）下方的具有消泡棉（32）的回流液输出段（33）。
9.根据权利要求8所述的一种用于光电显示屏显影加工阶段的循环用液系统，其特征在于：所述回流液输出段（33）上设有控制所述回流液上下流通或停断的回流开关阀（331），所述回流开关阀（331）的上方设有连通于所述回流液输出段（33）且引向所述集液槽（1）的备用回流管（332）。
10.根据权利要求1所述的一种用于光电显示屏显影加工阶段的循环用液系统，其特征在于：所述交换口（51）处设有用于过滤杂质的筛片（511）和用于控制所述交换口（51）开通或封闭的交换开关阀（512）。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201420340985.8U CN204009357U (zh) | 2014-06-25 | 2014-06-25 | 一种用于光电显示屏显影加工阶段的循环用液系统 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201420340985.8U CN204009357U (zh) | 2014-06-25 | 2014-06-25 | 一种用于光电显示屏显影加工阶段的循环用液系统 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN204009357U true CN204009357U (zh) | 2014-12-10 |
Family
ID=52049333
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201420340985.8U Expired - Fee Related CN204009357U (zh) | 2014-06-25 | 2014-06-25 | 一种用于光电显示屏显影加工阶段的循环用液系统 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN204009357U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2020124829A1 (zh) * | 2018-12-19 | 2020-06-25 | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 | 过滤装置及过滤方法 |
-
2014
- 2014-06-25 CN CN201420340985.8U patent/CN204009357U/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2020124829A1 (zh) * | 2018-12-19 | 2020-06-25 | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 | 过滤装置及过滤方法 |
| US11471792B2 (en) * | 2018-12-19 | 2022-10-18 | Wuhan China Star Optoelectronics Semiconductor Display Technology Co., Ltd. | Filtering device and filtering method |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN110170202A (zh) | 双鼓转鼓过滤机 | |
| CN110801694A (zh) | 一种混凝土厂区喷淋降噪系统 | |
| CN204009357U (zh) | 一种用于光电显示屏显影加工阶段的循环用液系统 | |
| CN103111115A (zh) | 一种固液自动分离过滤器及其过滤方法 | |
| CN204247357U (zh) | 一种洗矿脱水一体装置 | |
| CN212425715U (zh) | 一种浓碱水资源化回收利用一体化设备 | |
| CN207401361U (zh) | 一种星型固液分滤机 | |
| CN102557197A (zh) | 一种硅藻土动态膜处理原水过程中进一步降低出水浊度的方法 | |
| CN106914043A (zh) | 基于pac的翻板阀滤池自动控制系统及其控制方法 | |
| CN203954812U (zh) | 旋翼式水力驱动双级自动清洗网式过滤器 | |
| CN205109407U (zh) | 正向过滤负压引发超滤装置 | |
| CN210506223U (zh) | 一种原油脱水破乳剂加药装置 | |
| CN107694341A (zh) | 一种星型固液分滤机及分滤方法 | |
| CN211637492U (zh) | 一种醪糟加工用原料处理装置 | |
| CN204079745U (zh) | 一种新型叠螺脱水机 | |
| CN203319837U (zh) | 叠螺式污泥脱水机 | |
| CN203639271U (zh) | 一种污水固液静态快速分离装置 | |
| CN203379684U (zh) | 一种反冲洗旋转导流滤网 | |
| CN202010672U (zh) | 化纤设备零部件清洗装置 | |
| CN206613246U (zh) | 一种自动清洗滤布的过滤装置 | |
| CN221183971U (zh) | 一种用于小麦粉加工的原料清洁装置 | |
| CN2707740Y (zh) | 全封闭自供水定时冲洗排污立式纯水机 | |
| CN214765435U (zh) | 一种自动化生产偶氮二异丁腈的装置 | |
| CN216336935U (zh) | 一种玻璃深加工用纯净水机ro膜冲洗装置 | |
| CN219186112U (zh) | 一种甲油胶过滤设备 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| PP01 | Preservation of patent right |
Effective date of registration: 20150730 Granted publication date: 20141210 |
|
| RINS | Preservation of patent right or utility model and its discharge | ||
| PD01 | Discharge of preservation of patent |
Date of cancellation: 20160130 Granted publication date: 20141210 |
|
| RINS | Preservation of patent right or utility model and its discharge | ||
| C41 | Transfer of patent application or patent right or utility model | ||
| CB03 | Change of inventor or designer information |
Inventor after: Chen Huanjie Inventor before: Wang Guoping |
|
| COR | Change of bibliographic data | ||
| TR01 | Transfer of patent right |
Effective date of registration: 20160819 Address after: 313100 No. 588 Changxin Avenue, Taihu street, Huzhou, Zhejiang, Changxing County Patentee after: ZHE JIANG CHANGXING HELI OPTOELECTRONIC TECHNOLOGY Co.,Ltd. Address before: 313100, No. three, No. 588, Changxing County Economic Development Zone, Huzhou, Zhejiang Patentee before: ZHEJIANG GOLDFINGER TECHNOLOGY Co.,Ltd. |
|
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20141210 |