CN204009187U - 一种用于固定光刻投影镜头中镜片的装置及光刻投影镜头 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于固定光刻投影镜头中镜片的装置及光刻投影镜头，该装置包括圆环形的本体，所述本体的内侧面设有用于放置镜片的第一凸台，所述第一凸台为圆环形凸台，所述第一凸台的上表面支撑所述镜片下表面的周边位置，所述本体内侧面上还设置有第二凸台，所述第二凸台设置在所述第一凸台上方，所述第一凸台的外径等于所述第二凸台的内径，所述本体的端面上设有用于将相邻两个本体连成一体的连接部。本实用新型的用于固定光刻投影镜头中镜片的装置结构简单，制造成本较低，且在装配过程中便于调整倾斜度和镜片玻璃的位置，因此更实用并有助于光刻投影镜头的推广使用。

Description

一种用于固定光刻投影镜头中镜片的装置及光刻投影镜头

技术领域

本实用新型涉及光刻机镜头固定技术领域，特别是涉及一种用于固定光刻投影镜头中镜片的装置及光刻投影镜头。

背景技术

光刻投影镜头需要将镜头中的每个镜片精确定位，位置精度需要达到微米甚至是亚微米的水平，同时，倾斜偏差度度要小于一微米。为了保证该安装精度，传统的对光刻投影镜头进行定位和调整时所采用的设备一般较为复杂、调节繁琐，且价格昂贵，这对光影镜头的发展造成了严重影响。

实用新型内容

为此，本实用新型要解决的技术问题是提供一种结构简单、便于调节，且成本低廉的用于固定光刻投影镜头中镜片的装置及使用该装置组装成的光刻投影镜头。

为实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种用于固定光刻投影镜头中镜片的装置，其包括圆环形的本体，所述本体的内侧面设有用于放置镜片的第一凸台，所述第一凸台为圆环形凸台，所述第一凸台的上表面支撑所述镜片下表面的周边位置，所述本体内侧面上还设置有第二凸台，所述第二凸台设置在所述第一凸台上方，所述第一凸台的外径等于所述第二凸台的内径，所述本体的端面上设有用于将相邻两个本体连成一体的连接部。

优选的，所述连接部包括设置在所述本体端面上的螺钉孔和安装孔，所述安装孔内设有用于支撑螺钉端部的凸台，所述螺钉穿过所述安装孔与相邻的所述本体上的螺钉孔螺纹配合。

优选的，所述螺钉孔和所述安装孔的圆心与所述本体的圆心之间距离相等，且所述螺钉孔与所述安装孔均匀间隔布置。

优选的，所述第二凸台的内侧壁上沿周向设置有若干个向所述第二凸台内凹入的凹槽，所述凹槽的竖向设置，且所述凹槽延伸至与所述第一凸台的上表面齐平。

优选的，所述凹槽的型腔呈半圆柱形结构。

优选的，所述凹槽沿着所述第二凸台的内侧面周向均匀间隔布置。

一种光刻投影镜头，所述镜头上设置有若干个依次间隔同轴设置的镜片，每一个所述镜片固定在一个上述任一项所述的用于固定光刻投影镜头中镜片的装置上，所述用于固定光刻投影镜头中镜片的装置的直径及厚度大小与所述镜片的形状匹配，且所述镜片与所述本体上的第一凸台之间固定连接。

优选的，所述镜片与所述第一凸台之间胶接连接，且所述胶接连接采用的是低收缩度胶水。

优选的，所述低收缩度胶水为环氧树脂胶。

优选的，所述低收缩度胶水为紫外粘合胶。

本实用新型的有益效果：

本实用新型的用于固定光刻投影镜头中镜片的装置结构简单，制造成本较低，且在装配过程中便于调整倾斜度和镜片玻璃的位置，因此更实用且有助于光刻投影镜头的推广使用。

附图说明

为了使实用新型的内容更容易被清楚的理解，下面根据本实用新型的具体实施例并结合附图，对本实用新型作进一步详细的说明，其中：

图1是本实用新型的用于固定光刻投影镜头中镜片的装置的结构示意图；

图2是实用新型的光刻投影镜头的结构示意图。

图中附图标记表示为：

1-本体；2-第一凸台；3-螺钉孔；4-安装孔；5-凹槽；6-第二凸台；7-螺钉；8-镜片。

具体实施方式

实施例一

参见图1、图2，一种用于固定光刻投影镜头中镜片的装置，其包括圆环形的本体1，所述本体1的内侧面设有用于放置镜片8的第一凸台2，所述第一凸台2为圆环形凸台，所述第一凸台2的上表面支撑所述镜片8下表面的周边位置，且所述第一凸台2的上表面与安装在该处的镜片曲度匹配，所述本体1内侧面上还设置有第二凸台6，进而便于组装，所述第二凸台6设置在所述第一凸台2上方，所述第一凸台2的外径等于所述第二凸台6的内径，所述本体1的端面上设有用于将相邻两个本体1连成一体的连接部。

本实施例中，所述连接部包括设置在所述本体1端面上的螺钉孔3和安装孔4，所述安装孔4内设有用于支撑螺钉7端部的凸台，所述螺钉7穿过所述安装孔4与相邻的所述本体1上的螺钉孔3螺纹配合，为了在装配式便于定位，所述安装孔4的内径大于所述螺钉孔3的内径。所述螺钉孔3和所述安装孔4的圆心与所述本体1的圆心之间距离相等，且所述螺钉孔3与所述安装孔4均匀间隔布置，这种设置方式便于组装镜头时将安装孔4正对螺钉孔3，进而便于将相邻的两个本体1连接起来。

本实施例中，所述第二凸台6的内侧壁上沿周向设置有若干个向所述第二凸台2内凹入的凹槽5，所述凹槽5的竖向设置，且所述凹槽5延伸至与所述第一凸台2的上表面齐平，所述凹槽5的型腔呈半圆柱形结构，所述凹槽5沿着所述第二凸台6的内侧面周向均匀间隔布置。这种设置方式便于对镜片8进行胶接，胶接时从所述凹槽5的内注入的胶水分布较为均匀。

实施例二

参见图2、图1，一种光刻投影镜头，所述镜头上设置有若干个依次间隔同轴设置的镜片8，每一个所述镜片8固定在一个上述实施例一种所述的用于固定光刻投影镜头中镜片的装置上，从图2中可知，本实施例的镜头中设置有19个镜片，但每一个镜片的形状、大小具有差别，所述用于固定光刻投影镜头中镜片的装置根据各镜片的具体结构形状及具体位置在结构上各有差异，但主要是本体1的直径、厚度以及连接关系上有差别，在主要结构如第一凸台2、第二凸台6、螺钉孔3等位置的结构是一致的，本实施例中不再一一详述，只要用于固定光刻投影镜头中镜片的装置的直径及厚度大小与所述镜片8的形状匹配即可。本实施例中所述镜片8与所述本体1上的第一凸台2之间固定连接，所述的固定连接方式为胶接连接，且所述胶接连接采用的是低收缩度胶水，所述低收缩度胶水为环氧树脂胶或为紫外粘合胶，并通过紫外线固化，低收缩度胶水可有效降低镜片变形和移位。

在镜片上胶之前，每个镜片的倾斜度便已调好，以保证镜头和装置之间的曲率匹配和辐射状布置，镜片的下方安装有球面装置，该球面装置表面弯曲度与相邻镜头曲度相匹配，因此厚度统一，球面镜头的光学轴线利用一条直线连接球面曲度中心，镜头移位时，其底端曲率中心位置保持不变；但其顶部表面中心移动，会导致光学轴线方向移位，这种情况也同样适用于底端的凸面镜和凹面镜。自准直望远镜全程监控矫正安装过程，一旦探测到倾斜度缩减至特定公差，即可用胶水粘连镜头，最佳的粘合厚度为0.1-0.2毫米。当然，为了缩小压力，镜片下面的装置中有环形切片装入，这样通过热涨原理以及缩小镜片散光度来降低压力。

镜头组装时，从第十九个镜片开始安装，其他每个镜片依次置于其上方，相邻两个镜片8由本体1支撑并隔开，并保持其间距为0.5微米，镜片周围的凹槽相互间隔较大，为定位调准提供了充足空间。在整体装置未被螺钉固定时，安装过程中的每个镜片都可以通过移动圆柱形顶端的镜片装置找准中心位置，镜头倾斜度的偏差可以契入环垫来填充，固定螺钉的型号为M2或M3或M4。整个组装过程都可以自动化，自动化步骤包括镜片定心测量、镜片对准、胶水涂敷、紫外线固化、镜头调控及定位。

组装时，在工件台上可以调整倾斜度和透镜镜片的离心度，因此，在本装置上安装楔形物及测量中心公差时操作难度会降低；而镜头各装置的调整固定及螺钉定位，不仅可以提高镜头聚焦准确性，同时增加了镜头管状外壳装置的稳定性；镜片径向间隙的加大以及间隙密封的设计都降低了玻璃的压力。

上述具体实施方式只是对本实用新型的技术方案进行详细解释，本实用新型并不只仅仅局限于上述实施例，本领域技术人员应该明白，凡是依据上述原理及精神在本实用新型基础上的改进、替代，都应在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种用于固定光刻投影镜头中镜片的装置，其特征在于：包括圆环形的本体(1)，所述本体(1)的内侧面设有用于放置镜片(8)的第一凸台(2)，所述第一凸台(2)为圆环形凸台，所述第一凸台(2)的上表面支撑所述镜片(8)下表面的周边位置，所述本体(1)内侧面上还设置有第二凸台(6)，所述第二凸台(6)设置在所述第一凸台(2)上方，所述第一凸台(2)的外径等于所述第二凸台(6)的内径，所述本体(1)的端面上设有用于将相邻两个本体(1)连成一体的连接部。

2.根据权利要求1所述的一种用于固定光刻投影镜头中镜片的装置，其特征在于：所述连接部包括设置在所述本体(1)端面上的螺钉孔(3)和安装孔(4)，所述安装孔(4)内设有用于支撑螺钉(7)端部的凸台，所述螺钉(7)穿过所述安装孔(4)与相邻的所述本体(1)上的螺钉孔(3)螺纹配合。

3.根据权利要求2所述的一种用于固定光刻投影镜头中镜片的装置，其特征在于：所述螺钉孔(3)和所述安装孔(4)的圆心与所述本体(1)的圆心之间距离相等，且所述螺钉孔(3)与所述安装孔(4)均匀间隔布置。

4.根据权利要求3所述的一种用于固定光刻投影镜头中镜片的装置，其特征在于：所述第二凸台(6)的内侧壁上沿周向设置有若干个向所述第二凸台(2)内凹入的凹槽(5)，所述凹槽(5)竖向设置，且所述凹槽(5)延伸至与所述第一凸台(2)的上表面齐平。

5.根据权利要求4所述的一种用于固定光刻投影镜头中镜片的装置，其特征在于：所述凹槽(5)的型腔呈半圆柱形结构。

6.根据权利要求5所述的一种用于固定光刻投影镜头中镜片的装置，其特征在于：所述凹槽(5)沿着所述第二凸台(6)的内侧面周向均匀间隔布置。

7.一种光刻投影镜头，所述镜头上设置有若干个依次间隔同轴设置的镜片(8)，其特征在于：每一个所述镜片(8)固定在一个上述权利要求1-6任一所述的用于固定光刻投影镜头中镜片的装置上，所述用于固定光刻投影镜头中镜片的装置的直径及厚度大小与所述镜片(8)的形状匹配，且所述镜片(8)与所述本体(1)上的第一凸台(2)之间固定连接。

8.根据权利要求7所述的一种光刻投影镜头，其特征在于：所述镜片(8)与所述第一凸台(2)之间胶接连接，且所述胶接连接采用的是低收缩度胶水。

9.根据权利要求8所述的一种光刻投影镜头，其特征在于：所述低收缩度胶水为环氧树脂胶。

10.根据权利要求8所述的一种光刻投影镜头，其特征在于：所述低收缩度胶水为紫外粘合胶。