CN203912196U - 一种mems光纤传声器 - Google Patents

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施存炬
张建国
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Abstract

本实用新型涉及一种MEMS光纤传声器,其特征在于:包括外壳、PCB板、MEMS振膜和光纤,所述外壳的两侧与PCB板的底面粘合,PCB板上设有用于防止光纤窜动的止推片,在止推片上设有用于设置MEMS振膜的凹形振膜座,所述MEMS振膜置于振膜座的内凹处,所述光纤依次贯穿振膜座、止推片和PCB板后引出,且另一端与MEMS振膜之间留有一定空隙,所述外壳的顶面且在光纤上方开设有进声孔,所述PCB板上设有光电探测器和光电二极管。本实用新型利用光纤,将声音信号线转换成光信号,再将光信号转换成电信号,使得抗干扰能力强,因此在机场、水下听音器、激光远距离、核磁共振等重要领域可以得到广泛应用。

Description

一种MEMS光纤传声器
技术领域
本实用新型涉及一种传声器,具体涉及一种MEMS光纤传声器。
背景技术
传声器,也称麦克风,在日常生活中应用广泛,如手机、电脑、对讲机、话筒等,普通的传声器通常是电容式传声器,这种传声器的抗电磁干扰能力差,只能应用于普通场合,而在特殊领域普通的传声器根本满足不了要求,例如在水下或者机场。
目前,专利公开号为CN 101778328A公开了一种光纤麦克风,这种麦克风是基于光强度调制MEMS光纤麦克风,它包括光信号的发射接收部分、光电耦合单元、引导光纤和光纤麦克风探头部分,四个功能部分各自分离布置,并没有集于一体,这样的麦克风空间利用率低,不够牢固,且可靠性也低。
实用新型内容
本实用新型的目的是为了解决现有技术中传声器存在的问题,提供一种体积更小,使用寿命更长,稳定的MEMS光纤传声器,其特征在于:包括外壳、PCB板、MEMS振膜和光纤,所述外壳的两侧与PCB板的底面粘合,PCB板上设有用于防止光纤窜动的止推片,在止推片上设有用于设置MEMS振膜的凹形振膜座,所述MEMS振膜置于振膜座的内凹处,所述光纤依次贯穿振膜座、止推片和PCB板后引出,且另一端与MEMS振膜之间留有一定空隙,所述外壳的顶面且在光纤上方开设有进声孔,所述PCB板上设有光电探测器和光电二极管。
进一步的,所述MEMS振膜和光纤之间空隙距离为0.2~0.6mm。
进一步的,所述光纤的中央为多膜的发射光纤,在发射光纤周围环绕有多模的接收光纤,所述光纤的内径一般为0.4~0.5mm,所述光纤的外径一般为0.8~1.0mm。
进一步的,所述MEMS振膜是用MEMS技术生成的氮化硅膜,并在膜的环状边界处用激光打孔。
本实用新型与现有技术相比,具有以下有益效果:
本实用新型利用光纤,将声音信号线转换成光信号,再将光信号转换成电信号,使得抗干扰能力强,因此在机场、水下听音器、激光远距离、核磁共振等重要领域可以得到广泛应用。
附图说明
图1为本实用新型的结构剖面图。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型作进一步说明。
如图1所示,一种MEMS光纤传声器,包括外壳1、PCB板4、MEMS振膜2和光纤6,所述外壳1的两侧与PCB板4的底面粘合,PCB板4上设有用于防止光纤6窜动的止推片5,在止推片5上设有用于设置MEMS振膜2的凹形振膜座3,所述MEMS振膜2置于振膜座3的内凹处,所述光纤6依次贯穿振膜座3、止推片5和PCB板4后引出,且另一端与MEMS振膜2之间留有一定空隙,所述外壳1的顶面且在光纤上方开设有进声孔,所述PCB板4上设有光电探测器和光电二极管。
MEMS振膜和光纤之间空隙距离为0.2~0.6mm;光纤的中央为多膜的发射光纤,在发射光纤周围环绕有多模的接收光纤,所述光纤的内径一般为0.4~0.5mm,所述光纤的外径一般为0.8~1.0mm。MEMS振膜是用MEMS技术生成的氮化硅膜,并在膜的环状边界处用激光打孔。当声音信号通过进声孔进入传声器后,致MEMS振膜产生位移,从而使接收到的光束强度发生变化,进一步致光电二极管接收到的光强改变,光电二极管接收的光信号通过光电探测器转换成电信号,这样使得传声器的抗干扰能力强,因此在机场、水下听音器、激光远距离、核磁共振等重要领域可以得到广泛应用。
本实施例中,光纤和MEMS振膜的空隙距离为0.4mm,光纤的内径为0.4mm,外径为0.8mm。
本文中所描述的具体实施例仅仅是对本实用新型精神作举例说明。本实用新型所属技术领域的技术人员可以对所描述的具体实施例做各种各样的修改或补充或采用类似的方式替代,但并不会偏离本实用新型的精神或者超越所附权利要求书所定义的范围。

Claims (4)

1.一种MEMS光纤传声器,其特征在于:包括外壳(1)、PCB板(4)、MEMS振膜(2)和光纤(6),所述外壳(1)的两侧与PCB板(4)的底面粘合,PCB板(4)上设有用于防止光纤(6)窜动的止推片(5),在止推片(5)上设有用于设置MEMS振膜(2)的凹形振膜座(3),所述MEMS振膜(2)置于振膜座(3)的内凹处,所述光纤(6)依次贯穿振膜座(3)、止推片(5)和PCB板(4)后引出,且另一端与MEMS振膜(2)之间留有一定空隙,所述外壳(1)的顶面且在光纤(6)上方开设有进声孔,所述PCB板(4)上设有光电探测器和光电二极管。
2.根据权利要求1所述的一种MEMS光纤传声器,其特征在于:所述MEMS振膜(2)和光纤(6)之间空隙距离为0.2~0.6mm。
3.根据权利要求2所述的一种MEMS光纤传声器,其特征在于:所述光纤(6)的中央为多膜的发射光纤,在发射光纤周围环绕有多模的接收光纤,所述光纤(6)的内径一般为0.4~0.5mm,所述光纤的外径一般为0.8~1.0mm。
4.根据权利要求2所述的一种MEMS光纤传声器,其特征在于:所述MEMS振膜(2)是用MEMS技术生成的氮化硅膜,并在膜的环状边界处用激光打孔。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112033680A (zh) * 2020-08-27 2020-12-04 潍柴动力股份有限公司 一种止推片故障检测方法、装置及汽车

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