CN203872048U

CN203872048U - 一种电子束加速电源装置

Info

Publication number: CN203872048U
Application number: CN201420321415.4U
Authority: CN
Inventors: 韦寿祺; 李雪娇; 莫金海; 陈叙; 黎明; 崔九喜
Original assignee: Guilin University of Electronic Technology
Current assignee: Guilin University of Electronic Technology
Priority date: 2014-06-16
Filing date: 2014-06-16
Publication date: 2014-10-08
Anticipated expiration: 2024-06-16

Abstract

本实用新型涉及一种电子束加速电源装置，包括低压整流滤波单元、DC-DC变换器、电流检测器、三相矩形波逆变器、高压油箱、输出电压调节器、恒温控制器、光纤、光纤接收器、故障综合器、电压检测器、给定信号发生器。相对现有技术，本实用新型能抑制高压整流常规纹波及凹陷电压、抑制尖峰脉冲电压、提高输出电压稳态精度和动态调节速度。

Description

一种电子束加速电源装置

技术领域

本实用新型涉及电子束加工设备技术领域，特别涉及一种电子束加速电源装置。

背景技术

电子束加工设备的应用越来越广泛，而电子束精密加工设备对其加速电源的要求越来越高，一方面对加速电压稳定度要求更高，另一方面对输出电压波形的峰峰值要求更小，如第四代光源用电子枪加速电源的加速电压达500kV、峰峰值小于0.05％。对于如此苛刻的要求，目前常规的高压电源是达不到的，瓶颈在于纹波指标的峰峰值，直流高压电源都是经交流升压再整流滤波获得，纹波除了正常整流波形的纹波外，高压换流过程会产生尖峰脉冲电压，高压整流过程交流电感的作用又使得直流输出波形产生凹陷，从而形成更大的纹波。高压滤波电感和电容由于存在寄生参数，对消除尖峰和凹陷电压的能力大为降低。另外高压电源工作电流一般较小，电感对正常纹波的滤波作用不大，高压电容器的电容值又较小(不能用电解电容)，所有这些因数对降低输出电压的纹波都不利，为了提高加速电源的精度，须从电源的结构和控制方法上加以改进。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种能抑制高压整流常规纹波及凹陷电压、抑制尖峰脉冲电压、提高输出电压稳态精度和动态调节速度的电子束加速电源装置。

本实用新型解决上述技术问题的技术方案如下：一种电子束加速电源装置，包括低压整流滤波单元、DC-DC变换器、电流检测器、三相矩形波逆变器、高压油箱、后级电压调节器、恒温控制器、光纤、光纤接收器、故障综合器、电压检测器、给定信号发生器，所述低压整流滤波单元分别与电压检测器、DC-DC变换器连接，所述DC-DC变换器分别与三相矩形波逆变器、光纤接收器、故障综合器、给定信号发生器连接，所述电流检测器安置在DC-DC变换器与三相矩形波逆变器之间，并与故障综合器连接，所述三相矩形波逆变器分别与高压油箱、故障综合器连接，所述高压油箱分别与后级电压调节器、光纤接收器连接，所述后级电压调节器分别与恒温控制器、给定信号发生器连接。

本实用新型的有益效果是：1、能降低交流波形成的高压整流输出电压纹波；2、能有效抑制高压整流过程中交流电感作用使得直流输出波形产生凹陷；3、能有效抑制高压换流过程中产生的尖峰脉冲电压；4、能提高输出电压静态控制精度和动态调节速度。

在上述技术方案的基础上，本实用新型还可以做如下改进。

进一步技术方案，所述低压整流滤波单元包括三相整流器、电感L101、L102和电容C101、C102，所述三相整流器的交流输入端输入外部三相电流，三相整流器的输出端正极和负极分别经电感L101、L102和电容C101、C102组成的滤波网络输出。

采用上述进一步方案的有益效果是：三相整流器将三相交流电整流成直流电，电感L101、L102具有滤波功能外，还有限制电容C101、C102的起始充电电流和抑制电磁干扰信号在直流端和交流端的转递；电容C101为高频电容，电容C101与电解电容C102并联提高滤波网络抑制高频尖峰脉冲电压能力。

进一步技术方案，所述DC-DC变换器包括前级电压调节器、电网波动抑制器、调节功率管驱动器、放电功率管驱动器、压敏电阻Ry201～203、调节功率管T201、放电功率管T202、电感L201～L202、二极管D201、电容C101～C102和电阻R201，所述压敏电阻Ry201两端分别连接输入母线的正极和负极，所述压敏电阻Ry202一端连接输入母线的正极，所述压敏电阻Ry203的一端连接输入母线的负极，所述压敏电阻Ry202的另一端与压敏电阻Ry203的另一端相互连接并接地，所述调节功率管T201集电极连接输入母线的正极及调节功率管驱动器，调节功率管T201发射极连接二极管D201的阴极及电感L201的前端，调节功率管T201的基极连接调节功率管驱动器，所述二极管D201的阳极与输入母线的负极和电感L202的前端连接，所述电感L201后端连接电容C201的一端、电容C202的正极和电阻R201的一端，所述电感L202后端连接电容C201的另一端、电容C202的负极和放电功率管T202的发射极，所述电阻R201的另一端连接放电功率管T202的集电极，所述放电功率管T202的基极连接放电功率管驱动器，所述放电功率管驱动器与调节功率管驱动器连接，所述调节功率管驱动器与电网波动抑制器连接，所述电网波动抑制器与前级电压调节器连接。

采用上述进一步方案的有益效果是：调节功率管调控不可控直流电为可控直流电，压敏电阻Ry201抑制输入母线间的瞬间过电压，压敏电阻Ry202和Ry203抑制输入母线对地的瞬间过电压，电感L201、L202和电容C201、C202组成的滤波网络，还有抑制电磁干扰信号在DC-DC变换器2输入端和输出端的转递，所述前级电压调节器采用u_a和u_y综合反馈，既保证前级高压电源输出稳定于压敏电阻Ry501的动作电压值，又能避免压敏电阻Ry501流过过大电流而烧毁。

进一步技术方案，所述三相矩形波逆变器包括三相逆变桥驱动波形发生器、三相逆变桥驱动电路、U相逆变桥臂、V相逆变桥臂、W相逆变桥臂和压敏电阻Ry401～Ry406；

所述U相逆变桥臂包括功率管T401、功率管T404和电容C401，所述功率管T401集电极与DC-DC变换器输出直流电的正极、电容C401一端连接，所述功率管T401的发射极分别与功率管T404的集电极、压敏电阻Ry401的一端、压敏电阻Ry404的一端、压敏电阻Ry406的一端连接，所述功率管T404的发射极与DC-DC变换器输出直流电的负极、电容C401的另一端连接；

所述V相逆变桥臂包括功率管T403、功率管T406和电容C402，所述功率管T403集电极与DC-DC变换器输出直流电的正极、C402一端连接，所述功率管T403的发射极分别与功率管T406的集电极、压敏电阻Ry402的一端、压敏电阻Ry404的另一端、压敏电阻Ry405的一端连接，所述功率管T406的发射极与DC-DC变换器输出直流电的负极、电容C402的另一端连接；

所述W相逆变桥臂包括功率管T405、功率管T402和电容C403，所述功率管T405集电极与DC-DC变换器输出直流电的正极、C403一端连接，所述功率管T405的发射极分别与功率管T402的集电极、压敏电阻Ry403的一端、压敏电阻Ry405的另一端、压敏电阻Ry406的另一端连接，所述功率管T402的发射极与DC-DC变换器输出直流电的负极、电容C403的另一端连接；

所述压敏电阻Ry401的另一端和压敏电阻Ry402另一端、压敏电阻Ry403的另一端相连接，并接地；所述三相逆变桥驱动电路分别与U相逆变桥臂、V相逆变桥臂、W相逆变桥臂连接，所述三相逆变桥驱动电路与三相逆变桥驱动波形发生器连接。

采用上述进一步方案的有益效果是：压敏电阻Ry401、Ry402和Ry403抑制三相矩形波逆变器输出相线对地的瞬间过电压，压敏电阻Ry404、Ry405和Ry406、抑制三相矩形波逆变器输出相线间的瞬间过电压；三相逆变桥进行矩形波逆变，降低了高压交流电波形对其整流输出纹波的影响；三相逆变桥驱动波形为对称波形，每桥臂的上下桥臂功率管的驱动波形亦为对称波形，每半桥臂一个周期的驱动信号宽度大于120°而小于180°，既可靠避免每桥臂的上下桥臂功率管同时导通又可提高逆变桥及升压变压器的利用率，另外三相宽度大于120°而小于180°的矩形波电压波形整流过程能有效消除整流输出波形凹陷缺陷。

进一步技术方案，所述高压油箱包括三相升压变压器、高压整流桥、光纤发射器、帘栅电源、偏栅电源、灯丝电源、高压电子管V501、电感L501～L503、电容C501～C503、电阻R501～R503、压敏电阻Ry501～Ry502，所述三相升压变压器初级与三相矩形波逆变器的输出端相连接，三相升压变压器次级与高压整流桥交流输入端连接，所述高压整流桥正极与电感L501前端、C501一端相接，所述高压整流桥负极与电感L502前端、C501另一端相接，所述电感L501后端与压敏电阻Ry501一端、电容C502一端、电阻R502一端和电感L503前端连接，电感L502后端分别与电阻R501一端、电容C502另一端、电阻R503一端、压敏电阻Ry502一端和高压电子管V501的阳极连接，所述压敏电阻Ry501另一端与电阻R501另一端连接，并连接光纤发射器，所述电阻R502的另一端与电阻R503另一端连接，并与光纤发射器连接，所述压敏电阻Ry502另一端分别与电容C503一端和高压电子管V501的阴极连接并接至后级电压调节器的低压端，所述电感L503后端与电容C503另一端连接并接至后级电压调节器的高压端，所述高压电子管V501的帘栅极接至帘栅电源的输出端，所述高压电子管V501的偏栅极接至偏栅电源的输出端，所述高压电子管V501的灯丝电极接至灯丝电源的输出端。

采用上述进一步方案的有益效果是：高压电子管偏栅极接收可调的控制偏栅电源，进而调节高压电子管导通程度，实现输出电压高速调节；所述前级输出电源的滤波网络和压敏电阻Ry501的综合作用能有效抑制尖峰脉冲电压。

进一步技术方案，所述后级电压调节器包括运算放大器IC601、低温漂电阻R601～R609、电容C601、二极管D601～D602，所述低温漂电阻R601一端与高压油箱的电感L503后端连接，低温漂电阻R601另一端分别与低温漂电阻R602一端、低温漂电阻R604一端连接，所述低温漂电阻R602的另一端与低温漂电阻R603一端连接并接地，低温漂电阻R603另一端连接高压油箱的压敏电阻Ry502的另一端，所述低温漂电阻R604的另一端分别与低温漂电阻R605一端、二极管D601的阴极、二极管D602的阳极和低温漂电阻R606一端连接，所述低温漂电阻R605另一端与给定信号发生器连接，所述二极管D601的阳极与二极管D602的阴极、低温漂电阻R607一端连接并接地，所述低温漂电阻R606另一端连接运算放大器IC601的反相输入端，所述低温漂电阻R607的另一端与运算放大器IC601的同相输入端连接，所述运算放大器IC601的输出端与经低温漂电阻R609接至高压油箱的偏栅电源的控制输入端，所述电容C601和低温漂电阻R608串联接于运算放大器IC601的输出端和反相输入端之间；所述后级电压调节器处于一个由恒温控制器控制的恒温环境中。

采用上述进一步方案的有益效果是：IC601电路组成PI调节器电路控制输出高压电子管的偏栅电源的控制电压u_p，给高压电子管的偏栅极提供一个可调的控制电源，来调节V501的导通程度，实现输出电压的无静差高速调节；恒温环境进一步提高了控制精度。

附图说明

图1为本发明电子束加速电源装置结构示意图；

图2为低压整流滤波单元的原理图；

图3为DC-DC变换器的原理图；

图4为三相矩形波逆变器原理图；

图5为三相逆变桥驱动波形发生器发生的驱动信号波形图；

图6为高压油箱原理图；

图7为后级电压调节器原理图。

附图中，各标号所代表的部件列表如下：

1、低压整流滤波单元，2、DC-DC变换器，3、电流检测器，4、三相矩形波逆变器，5、高压油箱，6、后级电压调节器，7、恒温控制器，8、光纤，9、光纤接收器，10、故障综合器，11、电压检测器；12、给定信号发生器，101、三相整流器，201、前级电压调节器，202、电网波动抑制器，203、调节功率管驱动器，204、放电功率管驱动器，401、三相逆变桥驱动波形发生器，402、三相逆变桥驱动电路，403、U相逆变桥臂，404、V相逆变桥臂，405、W相逆变桥臂，501、三相升压变压器；502、高压整流桥；503、光纤发射器，504、帘栅电源，505、偏栅电源，506、灯丝电源。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型的原理和特征进行描述，所举实例只用于解释本实用新型，并非用于限定本实用新型的范围。

如图1所示，一种电子束加速电源装置，包括低压整流滤波单元1、DC-DC变换器2、电流检测器3、三相矩形波逆变器4、高压油箱5、后级电压调节器6、恒温控制器7、光纤8、光纤接收器9、故障综合器10、电压检测器11、给定信号发生器12，所述低压整流滤波单元1分别与电压检测器11、DC-DC变换器2连接，所述DC-DC变换器2分别与三相矩形波逆变器4、光纤接收器9、故障综合器10、给定信号发生器12连接，所述电流检测器3串接在DC-DC变换器2与三相矩形波逆变器4之间，并与故障综合器19连接，所述三相矩形波逆变器4分别与高压油箱5、故障综合器10连接，所述高压油箱5分别与后级电压调节器6、光纤接收器9连接，所述后级电压调节器6分别与恒温控制器7、给定信号发生器12连接。

如图2所示，所述低压整流滤波单元1包括三相整流器101、电感L101、L102和电容C101、C102，所述三相整流器101的交流输入端输入外部三相电流，三相整流器101的输出端正极和负极分别经电感L101、L102和电容C101、C102组成的滤波网络。

如图3所示，所述DC-DC变换器2包括前级电压调节器201、电网波动抑制器202、调节功率管驱动器203、放电功率管驱动器204、压敏电阻Ry201～203、调节功率管T201、放电功率管T202、电感L201～L202、二极管D201、电容C101～C102和电阻R201，所述压敏电阻Ry201两端分别连接输入母线的正极和负极，所述压敏电阻Ry202一端连接输入母线的正极，所述压敏电阻Ry203的一端连接输入母线的负极，所述压敏电阻Ry202的另一端与压敏电阻Ry203的另一端相互连接并接地，所述调节功率管T201集电极连接输入母线的正极及调节功率管驱动器203，调节功率管T201发射极连接二极管D201的阴极及电感L201的前端，调节功率管T201的基极连接调节功率管驱动器203，所述二极管D201的阳极与输入母线的负极和电感L202的前端连接，所述电感L201后端连接电容C201的一端、电容C202的正极和电阻R201的一端，所述电感L202后端连接电容C201的另一端、电容C202的负极和放电功率管T202的发射极，所述电阻R201的另一端连接放电功率管T202的集电极，所述放电功率管T202的基极连接放电功率管驱动器204，所述放电功率管驱动器204与调节功率管驱动器203连接，所述调节功率管驱动器203与电网波动抑制器202连接，所述电网波动抑制器202与前级电压调节器201连接。

如图4所示，所述三相矩形波逆变器4包括三相逆变桥驱动波形发生器401、三相逆变桥驱动电路402、U相逆变桥臂403、V相逆变桥臂404、W相逆变桥臂405和压敏电阻Ry401～Ry406；

所述U相逆变桥臂403包括功率管T401、功率管T404和电容C401，所述功率管T401集电极与DC-DC变换器2输出直流电的正极、电容C401一端连接，所述功率管T401的发射极分别与功率管T404的集电极、压敏电阻Ry401的一端、压敏电阻Ry404的一端、压敏电阻Ry406的一端连接，所述功率管T404的发射极与DC-DC变换器2输出直流电的负极、电容C401的另一端连接；

所述V相逆变桥臂404包括包括功率管T403、功率管T406和电容C402，所述功率管T403集电极与DC-DC变换器2输出直流电的正极、C402一端连接，所述功率管T403的发射极分别与功率管T406的集电极、压敏电阻Ry402的一端、压敏电阻Ry404的另一端、压敏电阻Ry405的一端连接，所述功率管T406的发射极与DC-DC变换器2输出直流电的负极、电容C402的另一端连接；

所述W相逆变桥臂405包括功率管T405、功率管T402和电容C403，所述功率管T405集电极与DC-DC变换器2输出直流电的正极、C403一端连接，所述功率管T405的发射极分别与功率管T402的集电极、压敏电阻Ry403的一端、压敏电阻Ry405的另一端、压敏电阻Ry406的另一端连接，所述功率管T402的发射极与DC-DC变换器2输出直流电的负极、电容C403的另一端连接；

所述压敏电阻Ry401的另一端和压敏电阻Ry402另一端、压敏电阻Ry403的另一端相连接，并接地；所述三相逆变桥驱动电路402分别与U相逆变桥臂403、V相逆变桥臂404、W相逆变桥臂405连接，所述三相逆变桥驱动电路402与三相逆变桥驱动波形发生器401连接。

如图6所示，所述高压油箱5包括三相升压变压器501、高压整流桥502、光纤发射器503、帘栅电源504、偏栅电源505、灯丝电源506、高压电子管V501、电感L501～L503、电容C501～C503、电阻R501～R503、压敏电阻Ry501～Ry502，所述三相升压变压器501初级与三相矩形波逆变器4的输出端相连接，三相升压变压器501次级与高压整流桥502交流输入端连接，所述高压整流桥502正极与电感L501前端、C501一端相接，所述高压整流桥502负极与电感L502前端、C501另一端相接，所述电感L501后端与压敏电阻Ry501一端、电容C502一端、电阻R502一端和电感L503前端连接，电感L502后端分别与电阻R501一端、电容C502另一端、电阻R503一端、压敏电阻Ry502一端和高压电子管V501的阳极连接，所述压敏电阻Ry501另一端与电阻R501另一端连接，并连接光纤发射器503，所述电阻R502的另一端与电阻R503另一端连接，并与光纤发射器503连接，所述压敏电阻Ry502另一端分别与电容C503一端和高压电子管V501的阴极连接并接至后级电压调节器6的低压端，所述电感L503后端与电容C503另一端连接并接至后级电压调节器6的高压端，所述高压电子管V501的帘栅极接至帘栅电源504的输出端，所述高压电子管V501的偏栅极接至偏栅电源505的输出端，所述高压电子管V501的灯丝电极接至灯丝电源506的输出端。

如图7所示，所述后级电压调节器6包括运算放大器IC601、低温漂电阻R601～R609、电容C601、二极管D601～D602，所述低温漂电阻R601一端与高压油箱5的电感L503后端连接，低温漂电阻R601另一端分别与低温漂电阻R602一端、低温漂电阻R604一端连接，所述低温漂电阻R602的另一端与低温漂电阻R603一端连接并接地，低温漂电阻R603另一端连接高压油箱5的压敏电阻Ry502的另一端，所述低温漂电阻R604的另一端分别与低温漂电阻R605一端、二极管D601的阴极、二极管D602的阳极和低温漂电阻R606一端连接，所述低温漂电阻R605另一端与给定信号发生器12连接，所述二极管D601的阳极与二极管D602的阴极、低温漂电阻R607一端连接并接地，所述低温漂电阻R606另一端连接运算放大器IC601的反相输入端，所述低温漂电阻R607的另一端与运算放大器IC601的同相输入端连接，所述运算放大器IC601的输出端与经低温漂电阻R609接至偏栅电源505的控制输入端，所述电容C601和低温漂电阻R608串联接于运算放大器IC601的输出端和反相输入端之间；所述后级电压调节器6处于一个由恒温控制器7控制的恒温环境中。

实施本装置，低压整流滤波单元1输入电网电源，并向DC-DC变换器2输出平直的不可控直流电，电压检测器11检测平直的不可控直流电电压u_g，并向DC-DC变换器2输出信号，DC-DC变换器2分别接收电压检测器11的电压检测信号u_g、给定信号发生器12发出的前级高压Ua的给定信号，光纤接收器9发出反馈信号u_a和u_y，以及故障综合器10发出的故障信号e _b，将给定信号与反馈信号u_a和u_y进行处理，输出控制信号，将电压检测信号u_g与DC-DC变换器2产生的给定信号进行比较和比例放大处理，输出控制信号u_c，同时判断故障信号e_b是否有效，从而调整DC-DC变换器2运作，将低压整流滤波单元1输出的不可控的直流电转变成可控的直流电，向电流检测器3传输直流电；电流检测器3检测DC-DC变换器2提供的可控直流电的电流，并将可控直流电传输给三相矩形波逆变器4，同时向故障综合器10输出信号U_i；三相矩形波逆变器4将直流电转变成三相交流电，并将三相交流电传输给高压油箱5，同时向故障综合器10输出及接收故障信号e_i；高压油箱5对三相交流电进行升压、整流、滤波和稳压得到前级高压电源，前级高压电源向后级高压调节器传输直流电，前级高压电源的直流高压Ua的取样信号和电流I_y的取样信号进行光信号转换，并向光纤接收器9发送光信号；后级电压调节器6对前级高压电源进行电压调节，向外部设备输出恒定高压。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims

1.一种电子束加速电源装置，其特征在于：包括低压整流滤波单元(1)、DC-DC变换器(2)、电流检测器(3)、三相矩形波逆变器(4)、高压油箱(5)、后级电压调节器(6)、恒温控制器(7)、光纤(8)、光纤接收器(9)、故障综合器(10)、电压检测器(11)、给定信号发生器(12)，其特征在于：所述低压整流滤波单元(1)分别与电压检测器(11)、DC-DC变换器(2)连接，所述DC-DC变换器(2)分别与三相矩形波逆变器(4)、光纤接收器(9)、故障综合器(10)、给定信号发生器(12)连接，所述电流检测器(3)串接在DC-DC变换器(2)与三相矩形波逆变器(4)之间，并与故障综合器(19)连接，所述三相矩形波逆变器(4)分别与高压油箱(5)、故障综合器(10)连接，所述高压油箱(5)分别与后级电压调节器(6)、光纤接收器(9)连接，所述后级电压调节器(6)分别与恒温控制器(7)、给定信号发生器(12)连接。

2.根据权利要求1所述一种电子束加速电源装置，其特征在于：所述低压整流滤波单元(1)包括三相整流器(101)、电感L101、L102和电容C101、C102，所述三相整流器(101)的交流输入端输入外部三相电流，三相整流器(101)的输出端正极和负极分别经电感L101、L102和电容C101、C102组成的滤波网络。

3.根据权利要求1所述一种电子束加速电源装置，其特征在于：所述DC-DC变换器(2)包括前级电压调节器(201)、电网波动抑制器(202)、调节功率管驱动器(203)、放电功率管驱动器(204)、压敏电阻Ry201～203、调节功率管T201、放电功率管T202、电感L201～L202、二极管D201、电容C101～C102和电阻R201，所述压敏电阻Ry201两端分别连接输入母线的正极和负极，所述压敏电阻Ry202一端连接输入母线的正极，所述压敏电阻Ry203的一端连接输入母线的负极，所述压敏电阻Ry202的另一端与压敏电阻Ry203的另一端相互连接并接地，所述调节功率管T201集电极连接输入母线的正极及调节功率管驱动器(203)，调节功率管T201发射极连接二极管D201的阴极及电感L201的前端，调节功率管T201的基极连接调节功率管驱动器(203)，所述二极管D201的阳极与输入母线的负极和电感L202的前端连接，所述电感L201后端连接电容C201的一端、电容C202的正极和电阻R201的一端，所述电感L202后端连接电容C201的另一端、电容C202的负极和放电功率管T202的发射极，所述电阻R201的另一端连接放电功率管T202的集电极，所述放电功率管T202的基极连接放电功率管驱动器(204)，所述放电功率管驱动器(204)与调节功率管驱动器(203)连接，所述调节功率管驱动器(203)与电网波动抑制器(202)连接，所述电网波动抑制器(202)与前级电压调节器(201)连接。

4.根据权利要求1所述一种电子束加速电源装置，其特征在于：所述三相矩形波逆变器(4)包括三相逆变桥驱动波形发生器(401)、三相逆变桥驱动电路(402)、U相逆变桥臂(403)、V相逆变桥臂(404)、W相逆变桥臂(405)和压敏电阻Ry401～Ry406；

所述U相逆变桥臂(403)包括功率管T401、功率管T404和电容C401，所述功率管T401集电极与DC-DC变换器(2)输出直流电的正极、电容C401一端连接，所述功率管T401的发射极分别与功率管T404的集电极、压敏电阻Ry401的一端、压敏电阻Ry404的一端、压敏电阻Ry406的一端连接，所述功率管T404的发射极与DC-DC变换器(2)输出直流电的负极、电容C401的另一端连接；

所述V相逆变桥臂(404)包括包括功率管T403、功率管T406和电容C402，所述功率管T403集电极与DC-DC变换器(2)输出直流电的正极、C402一端连接，所述功率管T403的发射极分别与功率管T406的集电极、压敏电阻Ry402的一端、压敏电阻Ry404的另一端、压敏电阻Ry405的一端连接，所述功率管T406的发射极与DC-DC变换器(2)输出直流电的负极、电容C402的另一端连接；

所述W相逆变桥臂(405)包括功率管T405、功率管T402和电容C403，所述功率管T405集电极与DC-DC变换器(2)输出直流电的正极、C403一端连接，所述功率管T405的发射极分别与功率管T402的集电极、压敏电阻Ry403的一端、压敏电阻Ry405的另一端、压敏电阻Ry406的另一端连接，所述功率管T402的发射极与DC-DC变换器(2)输出直流电的负极、电容C403的另一端连接；

所述压敏电阻Ry401的另一端和压敏电阻Ry402另一端、压敏电阻Ry403的另一端相连接，并接地；所述三相逆变桥驱动电路(402)分别与U相逆变桥臂(403)、V相逆变桥臂(404)、W相逆变桥臂(405)连接，所述三相逆变桥驱动电路(402)与三相逆变桥驱动波形发生器(401)连接。

5.根据权利要求1所述一种电子束加速电源装置，其特征在于：所述所述高压油箱(5)包括三相升压变压器(501)、高压整流桥(502)、光纤发射器(503)、帘栅电源(504)、偏栅电源(505)、灯丝电源(506)、高压电子管V501、电感L501～L503、电容C501～C503、电阻R501～R503、压敏电阻Ry501～Ry502，所述三相升压变压器(501)初级与三相矩形波逆变器(4)的输出端相连接，三相升压变压器(501)次级与高压整流桥(502)交流输入端连接，所述高压整流桥(502)正极与电感L501前端、C501一端相接，所述高压整流桥(502)负极与电感L502前端、C501另一端相接，所述电感L501后端与压敏电阻Ry501一端、电容C502一端、电阻R502一端和电感L503前端连接，电感L502后端分别与电阻R501一端、电容C502另一端、电阻R503一端、压敏电阻Ry502一端和高压电子管V501的阳极连接，所述压敏电阻Ry501另一端与电阻R501另一端连接，并连接光纤发射器(503)，所述电阻R502的另一端与电阻R503另一端连接，并与光纤发射器(503)连接，所述压敏电阻Ry502另一端分别与电容C503一端和高压电子管V501的阴极连接并接至后级电压调节器(6)的低压端，所述电感L503后端与电容C503另一端连接并接至后级电压调节器(6)的高压端，所述高压电子管V501的帘栅极接至帘栅电源(504)的输出端，所述高压电子管V501的偏栅极接至偏栅电源(505)的输出端，所述高压电子管V501的灯丝电极接至灯丝电源(506)的输出端。

6.根据权利要求1所述一种电子束加速电源装置，其特征在于：所述后级电压调节器(6)包括运算放大器IC601、低温漂电阻R601～R609、电容C601、二极管D601～D602，所述低温漂电阻R601一端与高压油箱(5)的电感L503后端连接，低温漂电阻R601另一端分别与低温漂电阻R602一端、低温漂电阻R604一端连接，所述低温漂电阻R602的另一端与低温漂电阻R603一端连接并接地，低温漂电阻R603另一端连接高压油箱(5)的压敏电阻Ry502的另一端，所述低温漂电阻R604的另一端分别与低温漂电阻R605一端、二极管D601的阴极、二极管D602的阳极和低温漂电阻R606一端连接，所述低温漂电阻R605另一端与给定信号发生器(12)连接，所述二极管D601的阳极与二极管D602的阴极、低温漂电阻R607一端连接并接地，所述低温漂电阻R606另一端连接运算放大器IC601的反相输入端，所述低温漂电阻R607的另一端与运算放大器IC601的同相输入端连接，所述运算放大器IC601的输出端与经低温漂电阻R609接至偏栅电源(505)的控制输入端，所述电容C601和低温漂电阻R608串联接于运算放大器IC601的输出端和反相输入端之间，所述后级电压调节器(6)处于一个由恒温控制器(7)控制的恒温环境中。