CN203741406U - 真空镀膜机电弧阴极翻转机构 - Google Patents

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侯玉萍
王洪权
龚健
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Dalian Jintai Co Technology Co ltd
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Dalian Top-Eastern Vacuum Technology Co Ltd
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Abstract

本实用新型属于一种真空镀膜机电弧阴极翻转机构，包括在电弧阴极体固定板（11）中心装有辅助阳极（13），其特征在于在密封压板（9）的下边固定两个翻转套（20），在翻转套（20）和换向块（21）上固定有翻转销（19）；换向块（21）中的直线轴承（5）内活动地装有滑杆（3），滑杆（3）右端穿过电弧阴极体固定板（11），并用压紧螺母（17）与电弧阴极体固定板（11）固定连接；滑杆（3）左端用连接螺钉（1）固定一个挡块（2）；直线轴承（5）的左端装有孔用挡圈（4）。该实用新型在更换和维修靶材时，单人就可轻松地快捷地操作，不会对密封件造成磨损，对靶材和辅阳的间隙没有影响。

Description

真空镀膜机电弧阴极翻转机构
技术领域
本实用新型属于真空镀膜设备，特别涉及一种真空镀膜机电弧阴极翻转机构。
背景技术
真空镀膜机的电弧阴极靶材在使用过程中，需要更换和维修，在更换靶材和维修时，要同阴极体一起从真空室内拽出，操作比较繁重。拖拽中易对密封件造成磨损，且对靶材与辅阳的间隙有影响。
发明内容
本发明的目的在于克服上述技术不足，提供一种采用双滑杆机构，使电弧阴极整体滑出，并能旋转90度，单人就可方便、快捷的操作，对密封件不会造成磨损的真空镀膜机电弧阴极翻转机构。
本实用新型解决技术问题所采用的技术方案是：一种真空镀膜机电弧阴极翻转机构，包括在电弧阴极体固定板中心装有辅助阳极，在辅助阳极的中心孔中装有靶材，电弧阴极体固定板与密封压板之间用弹簧压紧手柄连接在一起，在密封压板的中心装有电弧阴极体，其特征在于在密封压板的下边用螺钉固定两个翻转套，在翻转套和换向块上用定位螺钉固定有翻转销；换向块中装有直线轴承，直线轴承内活动地装有滑杆，滑杆右端穿过电弧阴极体固定板，并用垫圈、弹簧垫圈和压紧螺母与电弧阴极体固定板固定连接；滑杆左端用连接螺钉固定一个挡块；直线轴承的左端装有孔用挡圈。在换向块上设有弧形凹槽。
本实用新型的有益效果是：该实用新型在更换和维修靶材时，单人就可轻松地、快捷地操作，不会对密封件造成磨损，对靶材和辅阳的间隙没有影响。
附图说明
以下结合附图，以实施例具体说明。
图1是真空镀膜机电弧阴极翻转机构的主视图；
图2是图1的左侧视图；
图3是图2的I处局部放大图。
图中：1-连接螺钉；2-挡块；3-滑杆；4-孔用挡圈；5-直线轴承；6-阴极接线柱；7-接线螺母；8-电弧阴极体；9-密封压板；10-弹簧压紧手柄；11-电弧阴极体固定板；12-O型密封圈；13-辅助阳极；14-靶材；15-垫圈；16-弹簧垫圈；17-压紧螺母；18-定位螺钉；19-翻转销；20-翻转套；21-换向块；22-盘头螺钉；23-把手；24-弧形凹槽。
具体实施方式
实施例，参照附图，一种真空镀膜机电弧阴极翻转机构，包括在电弧阴极体固定板11中心装有辅助阳极13，在辅助阳极13的中心孔中装有靶材14，电弧阴极体固定板11与密封压板9之间用弹簧压紧手柄10连接在一起，在密封压板9的中心装有电弧阴极体8，其特征在于在密封压板9的下边用盘头螺钉22固定两个翻转套20，在翻转套20和换向块21上用定位螺钉18固定有翻转销19；换向块21中装有直线轴承5，直线轴承5内活动地装有滑杆3，滑杆3右端穿过电弧阴极体固定板11，并用垫圈15、弹簧垫圈16和压紧螺母17与电弧阴极体固定板11固定连接；滑杆3左端用连接螺钉1固定一个挡块2；直线轴承5的左端装有孔用挡圈4。在换向块21上设有弧形凹槽24。在电弧阴极体固定板11与密封压板9之间装有O型密封圈12。在密封压板9上装有换向块21和把手23。在电弧阴极体8上固定有阴极接线柱6，在阴极接线柱6上装有接线螺母7。
具体操作过程：手动拉起弹簧压紧手柄10，弹簧压紧手柄10的定位直口脱离密封压板9定位槽后旋转90°。手握把手23向前用力，由于两个换向块21中装有直线轴承5，电弧阴极体8可在滑杆3上轻松、平稳滑动。当换向块21接触到挡块2时，滑动停止。此时电弧阴极体8已经处于真空室外。手握把手23向下用力，翻转套20带动电弧阴极体8以翻转销19为中心旋转90°，使靶材14靶面处于水平位置，方便更换靶材14。同时电弧阴极体8处于外部较大空间内，便于对其电弧阴极体8进行维修、维护。操作方便省力，效率高。

Claims (2)

1.一种真空镀膜机电弧阴极翻转机构，包括在电弧阴极体固定板（11）中心装有辅助阳极（13），在辅助阳极（13）的中心孔中装有靶材（14），电弧阴极体固定板（11）与密封压板（9）之间用弹簧压紧手柄（10）连接在一起，在密封压板（9）的中心装有电弧阴极体（8），其特征在于在密封压板（9）的下边用盘头螺钉（22）固定两个翻转套（20），在翻转套（20）和换向块（21）上用定位螺钉（18）固定有翻转销（19）；换向块（21）中装有直线轴承（5），直线轴承（5）内活动地装有滑杆（3），滑杆（3）右端穿过电弧阴极体固定板（11），并用垫圈（15）、弹簧垫圈（16）和压紧螺母（17）与电弧阴极体固定板（11）固定连接；滑杆（3）左端用连接螺钉（1）固定一个挡块（2）；直线轴承（5）的左端装有孔用挡圈（4）。
2.根据权利要求1所述的真空镀膜机电弧阴极翻转机构，其特征在于在换向块（21）上设有弧形凹槽（24）。
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