CN203720438U - 一种显微镜 - Google Patents

Abstract

本实用新型实施例提供了一种显微镜，涉及显示技术领域，可在不翻转样品的情况下观察样品背面的形貌；所述显微镜包括底座、与底座相连的支撑臂和支撑台、设置在底座上方的载物台、固定在支撑台上的目镜和物镜、以及照明系统；其中，目镜和物镜之间保持光路；所述显微镜还包括由多个反射镜构成的光路调节装置，且目镜和物镜正对的反射镜与联动装置相连；所述光路调节装置包括反射光路调节系统和透射光路调节系统；反射光路调节系统用于控制反射光源发出的光到达样品的背面；透射光路调节系统用于控制透射光源发出的光到达样品的正面；其中，所述照明系统包括反射光源和透射光源；所述载物台为透明载物台。用于显微镜的制造。

Description

一种显微镜

技术领域

本实用新型涉及显示技术领域，尤其涉及一种显微镜。

背景技术

实际生产中，在分析显示面板的不良时，需要利用显微镜对其微观形貌进行观察。当在显示面板的一面观察到不良点时，通常需要将该显示面板翻转过来，对相同位置的另一面也进行观察。但将显示面板翻转之后很难保证恰好位于同一位置，这样便需要重新调整显微镜基台的方位，操作起来较为繁琐。

实用新型内容

本实用新型的实施例提供一种显微镜，可在不翻转样品的情况下观察样品背面的形貌。

为达到上述目的，本实用新型的实施例采用如下技术方案；

提供一种显微镜，包括底座、与所述底座相连的支撑臂和支撑台、设置在所述底座上方的载物台、固定在所述支撑台上的目镜和物镜、以及照明系统；其中，所述目镜和所述物镜之间保持光路；所述显微镜还包括由多个反射镜构成的光路调节装置，且所述目镜和所述物镜正对的所述反射镜与联动装置相连；所述光路调节装置包括反射光路调节系统和透射光路调节系统；所述反射光路调节系统用于控制反射光源发出的光到达样品的背面；所述透射光路调节系统用于控制透射光源发出的光到达样品的正面；其中，所述照明系统包括所述反射光源和所述透射光源；所述载物台为透明载物台。

优选的，所述多个反射镜包括固定设置的第一单面反射镜、第二单面反射镜、第三单面反射镜，以及与第一联动装置相连的第一双面反射镜、与第二联动装置相连的第二双面反射镜、与第三联动装置相连的第四单面反射镜；其中，所述第一双面反射镜、所述第一单面反射镜、所述第二单面反射镜、所述第二双面反射镜构成反射光路调节系统；所述第二双面反射镜、所述第三单面反射镜、所述第四单面反射镜、所述第一双面反射镜构成透射光路调节系统。

可选的，所述第一联动装置具有X-Y平面和Y-Z平面的转动自由度；所述第二联动装置沿X方向具有可伸缩性；所述第三联动装置具有X-Y平面和X-Z平面的转动自由度；其中，所述X-Y平面平行于所述载物台；所述Y-Z平面垂直于所述载物台和所述支撑臂；所述X-Z平面垂直于所述X-Y平面和所述Y-Z平面。

进一步可选的，所述底座内部具有中空部分；所述第一单面反射镜设置在所述支撑臂的内壁上，所述第二单面反射镜和所述第三单面反射镜设置在所述底座内部的中空部分。

可选的，所述显微镜还包括设置在所述支撑台上的转换器，所述转换器用于装配所述物镜；其中，所述转换器上装配三个物镜，且所述三个物镜的倍率各不相同。

进一步可选的，所述显微镜还包括设置在所述支撑台上的镜筒，所述镜筒用于装配所述目镜；其中，所述镜筒与所述转换器相连。

进一步的，所述显微镜还包括调焦机构，所述调焦机构用于控制所述转换器相对于所述载物台的升降；其中，所述调焦机构还包括设置在所述支撑臂上的粗准焦螺旋和细准焦螺旋。

可选的，所述显微镜还包括载物台调节装置，所述载物台调节装置用于调节所述载物台的水平位移；其中，所述载物台调节装置还包括设置在所述底座上的调节手柄。

可选的，所述照明系统还包括聚光透镜和孔径光阑。

本实用新型实施例提供一种显微镜，包括底座、与所述底座相连的支撑臂和支撑台、设置在所述底座上方的载物台、固定在所述支撑台上的目镜和物镜、以及照明系统；其中，所述目镜和所述物镜之间保持光路；所述显微镜还包括由多个反射镜构成的光路调节装置，且所述目镜和所述物镜正对的所述反射镜与联动装置相连；所述光路调节装置包括反射光路调节系统和透射光路调节系统；所述反射光路调节系统用于控制反射光源发出的光到达样品的背面；所述透射光路调节系统用于控制透射光源发出的光到达样品的正面；其中，所述照明系统包括所述反射光源和所述透射光源；所述载物台为透明载物台。

通过设置由多个反射镜构成的所述光路调节装置，便可以对所述显微镜的透射光路和反射光路进行调节。由于所述目镜和所述物镜正对的所述反射镜与联动装置相连，其具有可移动性；当需要对样品的正面形貌进行观察时，可以将所述目镜和所述物镜正对的所述反射镜移开，从而直接对样品的正面形貌进行观察；当需要对样品的背面形貌进行观察时，可以将所述目镜和所述物镜正对的所述反射镜固定在工作位置，此时所述反射光源发出的光可以经过所述反射光路调节系统的一组反射镜的反射之后到达样品的背面，所述透射光源发出的光可以经过所述透射光路调节系统的一组反射镜的反射之后，到达样品的正面，这样便可以对样品的背面形貌进行观察。基于此，在需要对样品的正面形貌和背面形貌同时进行观察时，无需再将所述样品进行翻转，可以直接通过调节所述反射镜的位置来对所述显微镜的透射光路和反射光路进行调节，从而实现对样品的正面形貌和背面形貌的观察。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例提供的一种显微镜的结构示意图；

图2为本实用新型实施例提供的一种显微镜的剖面结构示意图；

图3为本实用新型实施例提供的一种第一联动装置的结构示意图；

图4为本实用新型实施例提供的一种第二联动装置的结构示意图；

图5为本实用新型实施例提供的一种第三联动装置的结构示意图。

附图说明；

101-底座；102-支撑臂；103-支撑台；20-载物台；30-目镜；300-镜筒；40-物镜；400-转换器；50-透射光源；601-第一单面反射镜；602-第二单面反射镜；603-第三单面反射镜；604-第四单面反射镜；605-第一双面发射镜；606-第二双面反射镜；701-第一联动装置；702-第二联动装置；703-第三联动装置；80-样品。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

本实用新型实施例提供一种显微镜，如图1和图2所示，包括底座101、与所述底座101相连的支撑臂102和支撑台103、设置在所述底座101上方的载物台20、固定在所述支撑台103上的目镜30和物镜40、以及照明系统；其中，所述目镜30和所述物镜40之间保持光路；所述显微镜还包括由多个反射镜构成的光路调节装置，且所述目镜30和所述物镜40正对的所述反射镜与联动装置相连；所述光路调节装置包括反射光路调节系统和透射光路调节系统；所述反射光路调节系统用于控制反射光源(图中未示出)发出的光到达样品80的背面；所述透射光路调节系统用于控制透射光源50发出的光到达样品80的正面；其中，所述照明系统包括所述反射光源和所述透射光源50；所述载物台20为透明载物台。

需要说明的是，第一，所述底座101、所述支撑臂102和所述支撑台103共同组成所述显微镜的构架；其中，所述支撑台103和所述底座101对置设置，以便于使所述目镜30和所述物镜40之间的光路可以经过所述载物台20。

第二，所述载物台20优选为透明载物台，这样便可以使经过所述光路调节装置形成的反射光到达样品80的表面。

此外，由于在进行样品80表面形貌的观察时，所述样品80需要固定在所述载物台20上，因此所述载物台20还可以包括用于固定样品80的固定夹。

第三，所述目镜30和所述物镜40均设置在所述支撑台103上，本实用新型实施例对所述目镜30和所述物镜40的个数不作具体限定；例如，所述目镜30可以为单个或两个，所述物镜40可以为两个或三个。

第四，所述照明系统至少可以包括反射光源(图中未示出)和透射光源50；其中，所述反射光源可以设置在所述物镜40上方且位于所述支撑台103的内部，所述透射光源50可以设置在所述底座101的内部。

这里，所述反射光源和所述透射光源50均可作为照明光源，具体可以根据需要对光源的亮度进行调节。但基于样品类型的不同，所述反射光源和所述透射光源50不一定同时使用；也就是说，在观察样品80的表面形貌时，可能仅需使用所述透射光源50、或仅需使用所述反射光源、也可能同时使用所述透射光源50和所述反射光源。

第五，由于所述光路调节装置可以由多个所述反射镜组成，本实用新型实施例中对于所述反射镜的个数不做具体限定，以可以构成反射光路调节系统和透射光路调节系统为准。根据所述反射镜个数的不同，还可以对所述反射镜的设置角度进行调节。

其中，所述目镜30和所述物镜40正对的所述反射镜与联动装置相连，也就是说，与所述目镜30和所述物镜40正对的所述反射镜具有可移动性，这样便可以根据实际需要将其放置在合适的位置；这里所述合适的位置是指与所述目镜30和所述物镜40正对的工作位置或移出所述载物台20的平面。

本实用新型实施例提供一种显微镜，包括底座101、与所述底座101相连的支撑臂102和支撑台103、设置在所述底座101上方的载物台20、固定在所述支撑台103上的目镜30和物镜40、以及照明系统；其中，所述目镜30和所述物镜40之间保持光路；所述显微镜还包括由多个反射镜构成的光路调节装置，且所述目镜30和所述物镜40正对的所述反射镜与联动装置相连；所述光路调节装置包括反射光路调节系统和透射光路调节系统；所述反射光路调节系统用于控制反射光源发出的光到达样品80的背面；所述透射光路调节系统用于控制透射光源50发出的光到达样品80的正面；其中，所述照明系统包括所述反射光源和所述透射光源50；所述载物台20为透明载物台。

通过设置由多个反射镜构成的所述光路调节装置，便可以对所述显微镜的透射光路和反射光路进行调节。由于所述目镜30和所述物镜40正对的所述反射镜与联动装置相连，其具有可移动性；当需要对样品80的正面形貌进行观察时，可以将所述目镜30和所述物镜40正对的所述反射镜移开，从而直接对样品80的正面形貌进行观察；当需要对样品80的背面形貌进行观察时，可以将所述目镜30和所述物镜40正对的所述反射镜固定在工作位置，此时所述反射光源发出的光可以经过所述反射光路调节系统的一组反射镜的反射之后到达样品80的背面，所述透射光源50发出的光可以经过所述透射光路调节系统的一组反射镜的反射之后，到达样品80的正面，这样便可以对样品80的背面形貌进行观察。基于此，在需要对样品80的正面形貌和背面形貌同时进行观察时，无需再将所述样品80进行翻转，可以直接通过调节所述反射镜的位置来对所述显微镜的透射光路和反射光路进行调节，从而实现对样品80的正面形貌和背面形貌的观察。

优选的，参考图1和图2所示，所述多个反射镜可以包括固定设置的第一单面反射镜601、第二单面反射镜602、第三单面反射镜603，以及与第一联动装置701相连的第一双面反射镜605、与第二联动装置702相连的第二双面反射镜606、与第三联动装置703相连的第四单面反射镜604。

其中，所述第一双面反射镜605、所述第一单面反射镜601、所述第二单面反射镜602、所述第二双面反射镜606构成反射光路调节系统；所述第二双面反射镜606、所述第三单面反射镜603、所述第四单面反射镜604、所述第一双面反射镜605构成透射光路调节系统。

这里，所述反射镜的形状可以均为直角三棱柱，且所述直角三棱柱的斜面即为反射面。其中，所述反射面与水平面之间的夹角均为45度。

需要说明的是，上述的双面反射镜是指反射面的上下表面均不透光的反射镜；无论光线入射到哪个表面，都会被完全反射回去。此外，对于上述的双面反射镜而言，与所述反射面相邻的两个平面应该均为透光面，且具有良好的透光率。

在此基础上，所述反射光源发出的光便会依次经过所述第一双面反射镜605、所述第一单面反射镜601、所述第二单面反射镜602、所述第二双面反射镜606的反射，从而到达样品80的背面；所述透射光源50发出的光便会依次经过所述第二双面反射镜606、所述第三单面反射镜603、所述第四单面反射镜604、所述第一双面反射镜605的反射，从而到达样品80的正面；这样便可以等效为将所述样品80的上下表面翻转之后所产生的效果。具体的，在进行样品80背面形貌的观察时，入射到所述样品80正面的光可以作为背景光源，入射到所述样品80背面的光可以原路返回至所述物镜40中，从而进入观察者的视野范围，实现对样品80背面形貌的观察。

下面以观察液晶显示面板的彩膜基板为例，对所述显微镜的工作原理进行说明。其中，所述彩膜基板可以依次包括位于衬底基板上的彩色滤光片和黑矩阵、以及隔垫物；所述黑矩阵填充在所述彩色滤光片的间隙位置，所述隔垫物与所述黑矩阵对应设置。

当需要对所述彩膜基板进行观察时，可以将所述彩膜基板放置在所述显微镜的载物台20上，且所述衬底基板的一侧紧贴所述载物台20。在此情况下，如果需要对所述彩色滤光片进行观察，仅需使用所述透射光源50即可；如果需要对所述隔垫物进行观察，仅需使用所述反射光源即可；但如果需要同时对所述彩色滤光片和所述隔垫物进行观察时，便需要将所述透射光源50和所述反射光源同时使用。

在此基础上，进一步的，所述第一联动装置701具有X-Y平面和Y-Z平面的转动自由度；所述第二联动装置702沿X方向具有可伸缩性；所述第三联动装置703具有X-Y平面和X-Z平面的转动自由度。

其中，所述X-Y平面平行于所述载物台20；所述Y-Z平面垂直于所述载物台20和所述支撑臂102；所述X-Z平面垂直于所述X-Y平面和所述Y-Z平面。

所述第一联动装置701、所述第二联动装置702、所述第三联动装置703的具体结构如图3至图5所示。

这里需要说明的是，所述具有某一平面的转动自由度是指，在指定平面内，可以以某一点为支点，在指定平面内绕该支点转动。

基于上述描述可知，参考图1和图3所示，所述第一双面反射镜605可以通过与所述第一联动装置701相连，在所述X-Y平面内进行平面转动；当不需要所述第一双面反射镜605时，可以通过所述第一联动装置701将所述第一双面反射镜605移出样品观察的光路系统。

参考图1和图4所示，所述第二双面反射镜606可以通过与所述第二联动装置702相连，沿X方向进行伸缩；当不需要所述第二双面反射镜606时，可以通过所述第二联动装置702将所述第二双面反射镜606移出样品观察的光路系统。

参考图1和图5所示，所述第四单面反射镜604可以通过与所述第三联动装置703相连，在所述X-Y平面内进行平面转动；当不需要所述第四单面反射镜604时，可以通过所述第三联动装置703将所述第四单面反射镜604移出进行样品观察的光路系统。

进一步的，参考图1和图2所示，所述底座101内部具有中空部分；所述第一单面反射镜601可以设置在所述支撑臂102的内壁上，所述第二单面反射镜602和所述第三单面反射镜603可以设置在所述底座101内部的中空部分。

其中，所述第一单面反射镜601、所述第一双面反射镜605、所述第四单面反射镜604位于同一水平面上，所述第二单面反射镜602、所述第二双面反射镜606、所述第三单面反射镜603位于同一水平面上。

考虑到所述显微镜应该具有不同的放大倍率，即放大倍率可调；因此，可选的，参考图1所示，所述显微镜还可以包括设置在所述支撑台103上的转换器400，所述转换器400用于装配所述物镜40；其中，所述转换器400上可以装配三个物镜40，且所述三个物镜40的倍率各不相同。

其中，所述物镜40的放大倍率通常为5～100倍。

这样，通过在所述转换器400上装配多个不同放大倍率的物镜40，在所述显微镜的工作过程中，只需转动所述转换器400便可以实现所述物镜40的切换。

进一步可选的，所述显微镜还可以包括设置在所述支撑台103上的镜筒300，所述镜筒300用于装配所述目镜30。

其中，所述目镜30的放大倍率通常为5～20倍。

在此基础上，用于装配所述目镜30的所述镜筒300可以与用于装配所述物镜40的所述转换器400相连。在进行样品表面形貌的观察时，所述物镜40靠近所述样品80，用于实现第一级放大；所述目镜30靠近观察者，用于实现第二级放大；二者相互叠加，即为样品的实际放大倍数。

进一步的，用于装配所述目镜30的镜筒300可以包括单筒和双筒两种模式；其中，单筒式镜筒300可以分为直立式和倾斜式，双筒式镜筒则均为倾斜式。在此基础上，使用双筒式显微镜，观察者的双眼可以同时进行观察，从而可以缓解视疲劳；另外，双筒之间的间距可以调节，且其中一个目镜30还可以具有屈光度调节装置，有利于双眼视力不同的观察者使用。基于此，本实用新型实施例优选采用双筒式显微镜。

可选的，所述显微镜还可以包括调焦机构，所述调焦机构用于控制所述转换器400相对于所述载物台20的升降；其中，所述调焦机构还可以包括设置在所述支撑臂102上的粗准焦螺旋和细准焦螺旋。

在显微镜的使用过程中，可以根据实际情况，首先通过调节所述粗准焦螺旋将所述物镜40与样品80之间的距离调节至某一范围，然后再通过所述细准焦螺旋进行调节。

进一步可选的，所述显微镜还可以包括载物台调节装置，所述载物台调节装置用于调节所述载物台20的水平位移；其中，所述载物台调节装置还可以包括设置在所述底座101上的调节手柄。

基于上述描述可知，所述物镜40与样品80之间的距离可以通过所述调焦机构进行调节，而对于所述样品80需要观察的区域，则需要通过移动所述载物台20来进行选择。

可选的，所述显微镜的照明系统还可以包括聚光透镜和孔径光阑。

所述聚光透镜可以设置在所述底座101的中空部分，且位于所述透射光源50的正上方。所述透射光源50发出的光经过所述聚光透镜，可以更好的聚焦在样品80的表面，从而提高样品80表面的亮度。

所述孔径光阑可以设置在所述透射光源50和所述聚光透镜之间。所述孔径光阑可以用于调节所述透射光源50发出的光的强度和光束孔径，以使所述聚光透镜的数值孔径与所述物镜40的数值孔径相匹配，从而达到最大的分辨率。

以上所述，仅为本实用新型的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。

Claims (9)

1.一种显微镜，包括底座、与所述底座相连的支撑臂和支撑台、设置在所述底座上方的载物台、固定在所述支撑台上的目镜和物镜、以及照明系统；其中，所述目镜和所述物镜之间保持光路；其特征在于，

所述显微镜还包括由多个反射镜构成的光路调节装置，且所述目镜和所述物镜正对的所述反射镜与联动装置相连；

所述光路调节装置包括反射光路调节系统和透射光路调节系统；

所述反射光路调节系统用于控制反射光源发出的光到达样品的背面；

所述透射光路调节系统用于控制透射光源发出的光到达样品的正面；

其中，所述照明系统包括所述反射光源和所述透射光源；所述载物台为透明载物台。

2.根据权利要求1所述的显微镜，其特征在于，所述多个反射镜包括固定设置的第一单面反射镜、第二单面反射镜、第三单面反射镜，以及与第一联动装置相连的第一双面反射镜、与第二联动装置相连的第二双面反射镜、与第三联动装置相连的第四单面反射镜；

其中，所述第一双面反射镜、所述第一单面反射镜、所述第二单面反射镜、所述第二双面反射镜构成反射光路调节系统；

所述第二双面反射镜、所述第三单面反射镜、所述第四单面反射镜、所述第一双面反射镜构成透射光路调节系统。

3.根据权利要求2所述的显微镜，其特征在于，所述第一联动装置具有X-Y平面和Y-Z平面的转动自由度；所述第二联动装置沿X方向具有可伸缩性；所述第三联动装置具有X-Y平面和X-Z平面的转动自由度；

其中，所述X-Y平面平行于所述载物台；

所述Y-Z平面垂直于所述载物台和所述支撑臂；

所述X-Z平面垂直于所述X-Y平面和所述Y-Z平面。

4.根据权利要求2所述的显微镜，其特征在于，所述底座内部具有中空部分；

所述第一单面反射镜设置在所述支撑臂的内壁上，所述第二单面反射镜和所述第三单面反射镜设置在所述底座内部的中空部分。

5.根据权利要求1所述的显微镜，其特征在于，所述显微镜还包括设置在所述支撑台上的转换器，所述转换器用于装配所述物镜；

其中，所述转换器上装配三个物镜，且所述三个物镜的倍率各不相同。

6.根据权利要求5所述的显微镜，其特征在于，所述显微镜还包括设置在所述支撑台上的镜筒，所述镜筒用于装配所述目镜；

其中，所述镜筒与所述转换器相连。

7.根据权利要求5所述的显微镜，其特征在于，所述显微镜还包括调焦机构，所述调焦机构用于控制所述转换器相对于所述载物台的升降；

其中，所述调焦机构还包括设置在所述支撑臂上的粗准焦螺旋和细准焦螺旋。

8.根据权利要求1所述的显微镜，其特征在于，所述显微镜还包括载物台调节装置，所述载物台调节装置用于调节所述载物台的水平位移；

其中，所述载物台调节装置还包括设置在所述底座上的调节手柄。

9.根据权利要求1所述的显微镜，其特征在于，所述照明系统还包括聚光透镜和孔径光阑。