CN203629225U - 晶圆片的烘干机 - Google Patents
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Abstract
一种晶圆片的烘干机，包括：设在烘干箱上部的电机、设在烘干箱中的喷气嘴、设在烘干箱上的上盖、设在上盖上的出气口以及设在烘干箱底部的排水口；该烘干箱的上部设置一通风橱，电机固定在通风橱的顶部；电机的转轴上连接有一连接杆，该连接杆延伸至烘干箱内，连接杆的端部悬吊一花篮，花篮的底部设置一用于放置有晶圆片的托盘。本实用新型操作简单，不仅有效地解决了烘干过程中，晶圆片干燥不均匀的问题，而且，晶圆片还不易产生断裂；同时，提高了晶圆片稳定性。
Description
技术领域
本实用新型涉及烘干机，尤其涉及一种用于晶圆片的烘干机。
背景技术
目前，用于干燥晶圆片的方法一般有两种：一种是通过手动方式用氮气枪对晶圆片进行吹干；由于此种方式需要通过手动操作，工作效率较低；操作时，不仅容易在晶圆片的边缘产生水痕；而且，还容易导致晶圆片干燥不均匀；同时，稍不小心，还容易使晶圆片破碎。另一种是通过晶圆片烘干机对晶圆片进行干燥，此种方式大大提高了干燥晶圆片的工作效率。
如图1所示，现有的晶圆片烘干机包括：安装在烘干箱5上的旋转电机1、安装在旋转电机1转轴上的托盘2、设在托盘2上的花篮3、设在烘干箱5上的喷气嘴6、设在烘干箱5上的上盖8、设在上盖8上的出气口7以及设在烘干箱5底部的排水口9，其中，旋转电机1设在烘干箱5的底部。操作时，将晶圆片4放在花篮3中，然后，启动晶圆片烘干机，在电机1的带动下，通过托盘2的旋转，将晶圆片4旋干。
但是，由于电机1安装在旋干机的底部，而同时，排水口9也设在旋干机的底部，因此，排水口9的排出的水有可能喷溅到电机1上或是在烘干机底部其他地方有漏水的异常情况发生时，也可能导致电机1进水。一旦电机1进水，电机1将停止工作，托盘2也随之从高速旋转中突然停止旋转，而花篮3由于强大的惯性，有可能飞出托盘2，从而，导致花篮3中的晶圆片4破损；而且，由于放置晶圆片4的花篮3是设在烘干箱5的底部，导致晶圆片在干燥过程中由于烘干箱5内底部温度与上部温度的不同，而出现干燥不均匀的问题。
实用新型内容
本实用新型的主要目的在于克服现有技术存在的上述缺点，而提供一种改进的晶圆片的烘干机，其操作简单，不仅有效地解决了烘干过程中，晶圆片干燥不均匀的问题，而且，晶圆片还不易产生断裂；同时，提高了晶圆片稳定性。
本实用新型的目的是由以下技术方案实现的：
一种晶圆片的烘干机，包括：设在在烘干箱上部的电机、设在烘干箱中的喷气嘴、设在烘干箱上的上盖、设在上盖上的出气口以及设在烘干箱底部的排水口；其特征在于：该烘干箱的上部设置一通风橱，电机固定在通风橱的顶部；电机的转轴上连接有一连接杆，该连接杆延伸至烘干箱内，连接杆的端部悬吊一花篮，花篮的底部设置一用于放置有晶圆片的托盘。
所述烘干箱内部充有热氮气。
所述花篮为圆形，且花篮悬吊的位置设在烘干箱的中部。
本实用新型的有益效果：本实用新型由于采用上述技术方案，其操作简单，不仅有效地解决了烘干过程中，晶圆片干燥不均匀的问题，而且，晶圆片还不易产生断裂；同时，提高了晶圆片稳定性。
下面结合附图和实施方式对本实用新型进一步说明。
附图说明：
图1为现有技术结构示意图。
图2为本实用新型结构示意图。
图中主要标号说明：
1.电机，2.托盘，3.花篮，4.晶圆片，5.烘干箱，6.喷气嘴，7.出气口，8.上盖，9.排水口，10.连接杆，11.通风橱。
具体实施方式
如图2所示，本实用新型包括：设在烘干箱5上的电机1、设在烘干箱5中的喷气嘴6、设在烘干箱5上的上盖8、设在上盖8上的出气口7以及设在烘干箱5底部的排水口9；其中，烘干箱5的上部设置一通风橱11，电机1固定在通风橱11的顶部；电机1的转轴上连接有一连接杆10，连接杆10延伸至烘干箱5内，连接杆10的端部悬吊一花篮3，花篮3的底部设置一用于放置有晶圆片4的托盘2。
上述电机1上述烘干箱5内部充有热氮气。
上述花篮3为圆形，且花篮3悬吊的位置设在烘干箱5的中部。
使用时，采用以下操作步骤：
（1）将待干燥的晶圆片4按次序放置在圆形花篮3中。
（2）打开热氮气烘干箱5的上盖8，将花篮3悬吊在连接杆10上，此时，花篮3处于热氮气烘干箱5的中间位置。
（3）调节热氮气烘干箱5内喷气嘴6的位置，使喷气嘴6对准吊篮3中待干燥的晶圆片4。
（4）合上热氮气烘干箱5的上盖8。
（5）开启设在通风厨面板上的启动按钮和计时表，烘干箱开始工作，热氮喷气嘴6喷扫热氮、电机1旋转。在规定时间内装置工作完毕：热氮喷气嘴6停止喷扫、电机1停止旋转。
（6）打开热氮气烘干箱5的上盖8，取出悬吊在连接杆上的花篮3。再从花篮3中取出已干燥好的晶圆片4，整个烘干过程完毕。
本实用新型由于将电机1设在烘干箱5的顶部，远离了设在烘干箱5底部的排水口9，因此，排水口9的排出的水绝不会喷溅到电机1上，即使烘干箱5底部其他地方有漏水的异常情况发生时，也绝不会导致电机1进水；而且，由于花篮3悬吊的位置设在烘干箱5的中部，此处的温差较小；因此，使晶圆片4在烘干箱5内的干燥更加均匀。
以上所述，仅是本实用新型的较佳实施例而已，并非对本实用新型作任何形式上的限制，凡是依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本实用新型技术方案的范围内。
Claims (3)
1.一种晶圆片的烘干机，包括：设在在烘干箱上部的电机、设在烘干箱中的喷气嘴、设在烘干箱上的上盖、设在上盖上的出气口以及设在烘干箱底部的排水口；其特征在于：该烘干箱的上部设置一通风橱，电机固定在通风橱的顶部；电机的转轴上连接有一连接杆，该连接杆延伸至烘干箱内，连接杆的端部悬吊一花篮，花篮的底部设置一用于放置有晶圆片的托盘。
2.根据权利要求1所述的晶圆片的烘干机，其特征在于：所述烘干箱内部充有热氮气。
3.根据权利要求1所述的晶圆片的烘干机，其特征在于：所述花篮为圆形，且花篮悬吊的位置设在烘干箱的中部。
Priority Applications (1)
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| CN203629225U true CN203629225U (zh) | 2014-06-04 |
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| CN (1) | CN203629225U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114353476A (zh) * | 2022-01-04 | 2022-04-15 | 江西中弘晶能科技有限公司 | 一种改善单晶硅片烘干的方法 |
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2013
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