CN203568854U - 一种可部分重复利用的还原炉石墨电极 - Google Patents
一种可部分重复利用的还原炉石墨电极 Download PDFInfo
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Abstract
本实用新型涉及一种可部分重复利用的还原炉石墨电极，它包括：石墨底座，石墨盖，石墨夹瓣，石墨底座为柱型结构，底面有与金属电极相互配合的凹槽台面，上部有与石墨盖配合的螺纹，石墨盖为台锥形，中心通孔，底部内孔设有与石墨底座匹配的螺纹，顶部内孔有与石墨夹瓣配合的斜面，石墨夹瓣为三瓣结构，其在中心通孔的圆锥体上每隔120°处做开口，成为三瓣。所述的石墨底座的螺纹圈数为M，石墨盖的螺纹圈数分别为M或M-2或M-2*2。本实用新型在于多晶硅生长过程中，气相沉积的多晶硅只能够渗入到上紧的螺纹的第二圈，通过螺纹的密封并设置不同螺纹圈数的石墨盖，就能够使石墨底座多次利用。
Description
一、技术领域
本实用新型涉及一种可部分重复利用的还原炉石墨电极。
二、背景技术
由于石墨的导电性能好，多晶硅还原炉通常使用石墨作为电极，用于夹紧气相沉积的载体-硅芯。但是通常使用的还原炉石墨件在生长大棒径硅棒后，会在表面及与硅芯连接处沉积一层很厚的晶体硅，导致无法再次使用，而石墨件在多晶硅成本中占有不小的比重，非常浪费。以24对棒还原炉计算，每炉需要石墨件48个，即使忽略后期煅烧、包装等加工成本，单采购成本也需四万元左右，因此如何做到石墨件的重复使用就成为降低多晶硅生产成本的关键。
三、实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种可部分重复利用的还原炉石墨电极，其是对还原炉石墨件进行改进，使得石墨件中最主要的、所占成本最高的部件-石墨底座(占石墨总成本70％以上)可以多次利用，能够大幅降低每炉多晶硅的成本。
本实用新型的目的是这样来实现的：一种可部分重复利用的还原炉石墨电极，它包括：石墨底座，石墨盖，石墨夹瓣，石墨底座为柱型结构，底面有与金属电极相互配合的凹槽台面，上部有与石墨盖配合的螺纹，石墨盖为台锥形，中心通孔，底部内孔设有与石墨底座匹配的螺纹，顶部内孔有与石墨夹瓣配合的斜面，石墨夹瓣为三瓣结构，其在中心通孔的圆锥体上每隔120°处做开口，成为三瓣。所述的石墨底座的螺纹圈数为M，石墨盖的螺纹圈数分别为 M或M-2或M-2*2。
本实用新型在于多晶硅生长过程中，气相沉积的多晶硅只能够渗入到上紧的螺纹的第二圈，通过螺纹的密封并设置不同螺纹圈数的石墨盖，就能够使石墨底座多次利用。
四、附图说明
附图1为本实用新型的石墨底座结构图。
附图2为本实用新型石墨盖螺纹圈数为M的结构图。
附图3为本实用新型石墨盖螺纹圈数为M-2的结构图。
附图4为本实用新型石墨盖螺纹圈数为M-2*2的结构图。
附图5为本实用新型的石墨夹瓣的结构主视图。
附图6为附图5的俯视图。
附图7为本实用新型石墨在第一次使用时的组装图。
附图8为本实用新型石墨在第二次使用时的组装图。
附图9为本实用新型石墨在第三次使用时的组装图。
五、具体实施方式
下面结合附图及实施例来对本实用新型做详细说明。
参照附图，本实用新型一种可部分重复利用的还原炉石墨电极，它包括：石墨底座1、石墨盖2、石墨夹瓣3，石墨底座1为柱型结构，底面有与金属电极相互配合的凹槽台面，上部有与石墨盖2配合的螺纹，石墨盖2为台锥形，中心通孔，底部内孔设有与石墨底座1匹配的螺纹，顶部内孔有与石墨夹瓣3配合的斜面，石墨夹瓣3为三瓣结构，其在中心通孔的圆锥体上每隔120°处做开口，成为三瓣，所述的石墨底座1的螺纹圈数为M，石墨盖2的螺纹圈数分别为M或M-2或M-2*2。
第一次使用圈数为M的石墨盖，经过一次气相沉积后，由于螺纹密封使得气相沉积的硅质只能渗入到第二圈，需重复利用石墨底座时，敲掉石墨盖，更换石墨夹瓣，再安装螺纹圈数M-2的石墨盖，以此类推，实现石墨底座的多次利用。
Claims (2)
1.一种可部分重复利用的还原炉石墨电极，它包括：石墨底座(1)、石墨盖(2)、石墨夹瓣(3)，其特征在于：石墨底座(1)为柱型结构，底面有与金属电极相互配合的凹槽台面，上部有与石墨盖(2)配合的螺纹，石墨盖(2)为台锥形，中心通孔，底部内孔设有与石墨底座(1)匹配的螺纹，顶部内孔有与石墨夹瓣(3)配合的斜面，石墨夹瓣(3)为三瓣结构，其在中心通孔的圆锥体上每隔120°处做开口，成为三瓣。
2.如权利要求1所述的一种可部分重复利用的还原炉石墨电极，其特征在于：石墨底座(1)的螺纹圈数为M，石墨盖(2)的螺纹圈数分别为M或M-2或M-2*2。
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| CN201320404629.3U CN203568854U (zh) | 2013-06-28 | 2013-06-28 | 一种可部分重复利用的还原炉石墨电极 |
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| CN201320404629.3U CN203568854U (zh) | 2013-06-28 | 2013-06-28 | 一种可部分重复利用的还原炉石墨电极 |
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| CN (1) | CN203568854U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105065413A (zh) * | 2015-08-20 | 2015-11-18 | 无锡中强电碳有限公司 | 一种防断石墨螺栓 |
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2013
- 2013-06-28 CN CN201320404629.3U patent/CN203568854U/zh not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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