CN203556212U - 一种可快速更换的囊式过滤装置 - Google Patents

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Abstract

本实用新型公开了一种可快速更换的囊式过滤装置,该装置有一个连接盖、一个固定环和一个囊式过滤器。固定环和连接盖螺纹连接。囊式过滤器有一个分离结构的顶盖,顶盖有环形凸出部A和环形凸出部B。环形凸出部A和环形凸出部B的外侧分别有一个密封圈的槽,可以与连接盖相互连接安装,形成密封效果。环形凸出部B有一个固定槽。连接盖外侧有小孔,用于放置弹珠,在固定环下端斜面的作用下,弹珠可以卡入或者脱离环形凸出部B上的固定槽。更换囊式过滤器的过程不需要重新连接3个接口,方便安全,更换快速,省时省力。

Description

一种可快速更换的囊式过滤装置
技术领域
本实用新型涉及一种囊式过滤装置,更确切地说,涉及这样一种装置,该装置包括囊式过滤器和囊式过滤器易快速更换的分离装置,该装置能与和其相配的转接口安装并形成液体密封关系。
有多种液体是非常昂贵的,例如在微电子工业中使用的光致抗蚀剂。由于所涉及的范围必然是亚微米范围和更小的特征尺寸,控制这类液体的杂质非常必要。这类液体必须在使用前进行过滤处理,否则液体中的杂质会在微电子装置生产中对电子元件造成损害。
背景技术
通常有两种过滤装置。第一种是使用传统的过滤器,包括可重复使用的耐高压外壳和可更换的滤芯。外壳上带有与过滤装置其它部分相连的接口。更换滤芯时,需要先打开外壳,取出需要更换的滤芯,将新的滤芯装入外壳,然后封闭外壳。这种使用传统过滤器的过滤装置存在很多缺点。首先,更换操作需要很长时间,费时费力,特别是部分经过设计需要在特殊环境使用的外壳,入口很窄,尤其不便。其次,由于滤芯中通常充满了液体,外壳中也包含了一定量的液体,常常会发生液体泄漏的现象。在所泄漏液体是危险有害的情况下,泄漏液体将危及区域内正常工作的人员,并对附近的设备造成潜在的破坏影响。
第二类是将滤芯永久熔接在外壳上,通过分离装置使滤芯与外壳同时更换。更换过程包括将整个过滤器从过滤装置上拆下和将一个新的过滤器重新安装连接到系统上。用这种方式,可以很容易地完成更换操作,提高效率,且最大程度地减少了操作员工暴露于危险化学品面前的机会,减小了设备潜在破坏的影响,提高过滤系统连接的可靠性。
在工业应用中有多种第二类过滤装置。这类过滤装置都需要分别制造与过滤器相连的每个接口。一般情况下,是通过对过滤器每一个接口和过滤装置互相进行定位,用螺纹结构互相连接,从而保持液密密封。一个过滤装置至少是两个接口,多数为三或四个接口。这时,螺纹接口紧固显得很费时费力。当采用柔性管道时,如果连接时没有安装好就会再次出现液体泄漏的现象。所有这些问题会增加过滤器更换时所需的时间。
发明内容
本实用新型克服了已有技术的缺陷和限制,提供了一种可快速更换的囊式过滤装置。该囊式过滤装置包含一个分离装置和一个囊式过滤器,囊式过滤器可以卡入分离装置,也可以脱离分离装置。分离装置包含一个连接盖和一个固定环,固定环内侧与连接盖外侧通过螺纹连接。连接盖顶端有3个直径高度不同的接口,中间的接口的是滤液出口,另外两个分别是滤液进口和排气口。连接盖中间有一条独立的通道,通道与滤液出口相通。通道外侧与连接盖内侧形成一个环形空间,环形空间与滤液入口和排气口相通。连接盖螺纹下方有小孔,小孔内有一个弹珠。囊式过滤器有一个有分离结构的顶盖。顶盖中间有一个环形凸出部A,环形凸出部A可以插入通道。环形凸出部A外侧有一个环形凸出部B,环形凸出部B可以插入环形空间。环形凸出部A和环形凸出部B外侧都有一个放置密封圈的半圆槽。密封圈可以使环形凸出部A和环形凸出部B分别与相紧靠的壁侧形成密封效果。环形凸出部B的半圆槽下方还有一圈固定槽,弹珠可以卡入固定槽中。固定环内侧下端有一个斜面。更换囊式过滤器时,先将固定环向上旋转,使斜面到达弹珠所在高度,弹珠由于重力滑出固定槽,这时可以取出囊式过滤器。更换囊式过滤器后,固定环向下旋转,斜面下降,弹珠重新卡回固定槽,使滤芯固定在连接盖内。更换过程不需要重新连接3个接口,方便安全,更换快速,省时省力。
附图说明
下面将结合附图详细说明本实用新型的这些和其它方面及特征。
图1是本实用新型第一个实施例的外观图。
图2是本实用新型第一个实施例的分解图。
图3是本实用新型第一个实施例囊式过滤前安装前的截面图。
图4是本实用新型第一个实施例囊式过滤器安装后的截面图。
具体实施方式
图1是本实用新型第一个实施例的外观图。包含连接盖1、固定环2和囊式过滤器3。连接盖顶端有3个直径高度不同的接口,在中间最高的接口4-2是滤液出口,略小的接口4-1是滤液入口,最小的接口4-3是排气口。固定环2套在连接盖1外侧,囊式过滤器3固定在连接盖1下端。
图2是本实用新型第一个实施例的分解图。先将连接盖1与固定环2螺旋连接,放好密封圈和弹珠后,将囊式过滤器3塞入连接盖1。囊式过滤器3上端是一个有分离结构的顶盖5。
如图3所示,分离结构的顶盖5有环形凸出部A7,环形凸出部A7的侧面有一个半圆槽,用于放置密封圈8。连接盖1中间有一个通道6,环形凸出部A7插入通道6内,在密封圈8的紧靠作用下,形成密封效果。滤液出口4-2与通道6内侧相通。环形凸出部A7外侧是环形凸出部B14,环形凸出部B14的侧面有一个半圆槽,用于放置密封圈9。环形凸出部B14紧靠在连接盖1外侧内壁上,在密封圈9的作用下达到密封效果。半圆槽下面是固定槽10,正好可以让一个弹珠11卡入。连接盖1螺纹下方有小孔12,小孔12内放置一个弹珠11,一般有3个小孔。连接盖1外侧连接着一个固定环2,固定环下端有一个斜面13。此时,斜面13与弹珠11在同一高度,弹珠11脱离固定槽10,囊式过滤器可以取出与更换。
如图4所示,囊式过滤器塞入连接盖1后,固定环2向下旋转,使斜面13下降,将弹珠压入固定槽10中。囊式过滤器即被卡住固定。此时可以正常过滤。

Claims (14)

1.一种可快速更换的囊式过滤装置,其特征在于所说的囊式过滤装置包含一个分离装置和一个囊式过滤器,所说的囊式过滤器可以卡入所说的分离装置,也可以脱离所说的分离装置。
2.根据权利要求1所述的囊式过滤装置,其特征在于所说的分离装置包含一个连接盖和一个固定环,所说的固定环内侧与所说的连接盖外侧通过螺纹连接。
3.根据权利要求2所述的囊式过滤装置,其特征在于所说的连接盖顶端有3个直径高度不同的接口,中间的接口是滤液出口,另外两个分别是滤液进口和排气口。
4.根据权利要求3所述的囊式过滤装置,其特征在于所说的连接盖中间有一条独立的通道,所说的通道与所说的滤液出口相通。
5.根据权利要求3或4所述的囊式过滤装置,其特征在于所说的通道外侧与所说的连接盖内侧形成一个环形空间,所说的环形空间与所说的滤液入口和所说的排气口相通。
6.根据权利要求2所述的囊式过滤装置,其特征在于所说的连接盖螺纹下方有小孔。
7.根据权利要求6所述的囊式过滤装置,其特征在于所说的小孔内有一个弹珠。
8.根据权利要求1所述的囊式过滤装置,其特征在于所说的囊式过滤器有一个有分离结构的顶盖。
9.根据权利要求4或8所述的囊式过滤装置,其特征在于所说的顶盖中间有一个环形凸出部A,所说的环形凸出部A可以插入所说的通道。
10.根据权利要求5或9所述的囊式过滤装置,其特征在于所说的环形凸出部A外侧有一个环形凸出部B,所说的环形凸出部B可以插入所说的环形空间。
11.根据权利要求10所述的囊式过滤装置,其特征在于所说的环形凸出部A和所说的环形凸出部B外侧都有一个放置密封圈的半圆槽。
12.根据权利要求11所述的囊式过滤装置,其特征在于所说的环形凸出部B的半圆槽下方还有一圈固定槽。
13.根据权利要求7或12所述的囊式过滤装置,其特征在于所说的弹珠可以卡入所说的固定槽中。
14.根据权利要求2所述的囊式过滤装置,其特征在于所说的固定环内侧下端有一个斜面。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN106139669A (zh) * 2015-03-17 2016-11-23 杭州费尔过滤技术有限公司 一种可快速更换的过滤器
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