CN203470387U - Led外延片清洗水槽 - Google Patents
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Abstract
LED外延片清洗水槽，由排风柜、水槽体、排水阀门、排水管、支架组成，其特征是支架的上端设置排风柜，支架的中部设置水槽体，水槽体的下端设置排水阀门，支架的下部设置排水管，本实用新型的有益效果是LED外延片清洗水槽使用水量小，操作方便，作业环境较好，生产成本较低，产品质量稳定。
Description
技术领域
本实用新型属于晶体生长设备技术领域，更具体的说是一种LED外延片清洗水槽。
背景技术
LED外延片生产过程中，需要进行大量的清洗作业，现有技术的LED外延片清洗设备操作不方便，用水量大，清洗作业过程中，需要使用挥发性及刺激性清洗剂，作业环境差，对操作者容易产生身体危害，有损操作者的身体健康，而且生产成本较高，产品质量也不稳定。
发明内容
为了解决上述问题，本实用新型提供了一种用水量小、操作方便、作业环境较好的LED外延片清洗水槽，其具体方案为：所述的LED外延片清洗水槽由排风柜、水槽体、排水阀门、排水管、支架组成，其特征是支架的上端设置排风柜，支架的中部设置水槽体，水槽体的下端设置排水阀门，支架的下部设置排水管。
本实用新型所述的水槽体，其特征在于水槽体的材质采用聚丙烯，具有优良的抗腐蚀、耐锈蚀、耐高温特性，水槽体既可进行快速清洗，亦可经受长时间浸泡作业。
本实用新型所述的排水阀门，其特征在于排水阀门采用电磁阀开关控制，采用按键式操作，按键的一侧设置信号灯，排水阀门关闭，信灯号灭掉，按下供水键，信灯号亮起，方便快捷。
本实用新型的有益效果是LED外延片清洗水槽使用水量小，操作方便，作业环境较好，生产成本较低，产品质量稳定。
附图说明
附图1是本实用新型的结构示意图；附图1中：
1. 排风柜，2. 水槽体，3. 排水阀门，4. 排水管，5. 支架。
具体实施方式
结合附图1对本实用新型进一步详细描述，以便公众更好地掌握本实用新型的实施方法，本实用新型具体的实施方案为：所述的LED外延片清洗水槽由排风柜1、水槽体2、排水阀门3、排水管4、支架5组成，其特征是支架5的上端设置排风柜1，支架5的中部设置水槽体2，水槽体2的下端设置排水阀门3，支架5的下部设置排水管4。
本实用新型所述的水槽体2，其特征在于水槽体2的材质采用聚丙烯，具有优良的抗腐蚀、耐锈蚀、耐高温特性，水槽体2既可进行快速清洗，亦可经受长时间浸泡作业。
本实用新型所述的排水阀门3，其特征在于排水阀门3采用电磁阀开关控制，采用按键式操作，按键的一侧设置信号灯，排水阀门关闭，信灯号灭掉，按下供水键，信灯号亮起，方便快捷。
本实用新型的有益效果是LED外延片清洗水槽使用水量小，操作方便，作业环境较好，生产成本较低，产品质量稳定。
Claims (3)
1.LED外延片清洗水槽，由排风柜（1）、水槽体（2）、排水阀门（3）、排水管（4）、支架（5）组成，其特征是支架（5）的上端设置排风柜（1），支架（5）的中部设置水槽体（2），水槽体（2）的下端设置排水阀门（3），支架（5）的下部设置排水管（4）。
2.根据权利要求1所述的LED外延片清洗水槽，其特征在于水槽体（2）的材质采用聚丙烯，水槽体（2）既可进行快速清洗，亦可经受长时间浸泡作业。
3.根据权利要求1所述的LED外延片清洗水槽，其特征在于排水阀门（3）采用电磁阀开关控制，采用按键式操作，按键的一侧设置信号灯，排水阀门关闭，信灯号灭掉，按下供水键，信灯号亮起。
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| CN201320559269.4U CN203470387U (zh) | 2013-09-10 | 2013-09-10 | Led外延片清洗水槽 |
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| CN (1) | CN203470387U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110813885A (zh) * | 2019-11-27 | 2020-02-21 | 江苏晶曌半导体有限公司 | 一种led外延片清洗装置 |
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2013
- 2013-09-10 CN CN201320559269.4U patent/CN203470387U/zh not_active Expired - Fee Related
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Granted publication date: 20140312 Termination date: 20190910 |
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