CN203325833U - 具有双离子源的离子注入机 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提出一种具有双离子源的离子注入机，包括：两个离子源，每一所述离子源的出口端的前部增加一隔离阀；一偏转磁场分析器；以及一连接管道，所述连接管道具有第一端、第二端和第三端，所述第一端和第二端的外侧分别增加一离子源偏转磁场，所述第一端和第二端分别连接一所述离子源的出口端，所述第三端连接所述偏转磁场分析器的进口端，用以解决当离子源拆卸下来进行维护时，做到离子注入机运行维护两不误的问题。
Description
技术领域
本实用新型属于离子注入机，尤其涉及一种具有双离子源的离子注入机。
背景技术
现有的离子注入机只有一个单独的离子源A，如图1所示，在离子源出口处有适配的偏转磁场分析器(Source Analysis Magic，SAM)B。当离子源寿命极限到达时，需要对离子源进行维护保养，而此时的离子注入机不能进行正常的产品运行。因此离子源的维护保养是降低转离子注入机运行率的极大因素。
为此，急需提供一种新的离子注入机，当离子源在拆卸下来进行维护时，提高离子注入机的运行率。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种具有双离子源的离子注入机，用以解决当离子源拆卸下来进行维护时，做到离子注入机运行维护两不误的问题。
为解决上述问题，本实用新型提供了一种具有双离子源的离子注入机，包括：
两个离子源，每一所述离子源的出口端的前部增加一隔离阀；
一偏转磁场分析器；以及
一连接管道，所述连接管道具有第一端、第二端和第三端，所述第一端和第二端的外侧分别增加一离子源偏转磁场，所述第一端和第二端分别连接一所述离子源的出口端，所述第三端连接所述偏转磁场分析器的进口端。
优选的，所述连接管道的形状为“Y”型，所述“Y”型的第一边、第二边和第三边分别与所述第一端、第二端和第三端一一对应。
进一步的，两个所述离子源不同时工作。
进一步的，一所述离子源工作时，另一所述离子源上的隔离阀关闭。
进一步的，每个所述离子源偏转磁场使与其对应的离子源输出的离子束流平行进入所述偏转磁场分析器。
由以上技术方案可知，本实用新型公开的一种具有双离子源的离子注入机，所述具有双离子源的离子注入机包括两个离子源，每一所述离子源的出口端的前部增加一隔离阀；一偏转磁场分析器；以及一连接管道，所述连接管道具有第一端、第二端和第三端，所述第一端和第二端的外侧分别增加一离子源偏转磁场，所述第一端和第二端分别连接一所述离子源的出口端，所述第三端连接所述偏转磁场分析器的进口端，通过交叠使用不同的离子源，使其中的一个离子源在拆卸下来进行维护的过程中，使用另一个离子源，做到设备运行维护两不误，大大提高了设备的使用效率。
附图说明
图1为现有技术实施例中的离子注入机的结构示意图；
图2为图1所示的离子注入机的结构俯视示意图；
图3为本实用新型实施例中的具有双离子源的离子注入机的结构示意图；
图4为图3所示的具有双离子源的离子注入机的结构俯视示意图。
具体实施方式
为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细的说明。
在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型。但是本实用新型能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本实用新型内涵的情况下做类似推广，因此本实用新型不受下面公开的具体实施的限制。
参见图3，结合图4，对本实用新型提供的一种具有双离子源的离子注入机进行详细描述。
所述具有双离子源的离子注入机包括：两个离子源、一偏转磁场分析器B以及一连接管道C。其中，两个离子源分别是离子源一A1和离子源二A2，所述离子源一的出口端的前部增加隔离阀一D1，所述离子源二的出口端的前部增加隔离阀二D2。所述连接管道具有第一端、第二端和第三端，所述第一端连接所述离子源一的出口端，且所述第一端的外侧增加离子源偏转磁场一E1，所述第二端连接所述离子源二的出口端，且所述第二端的外侧增加离子源偏转磁场二E2，所述第三端连接所述偏转磁场分析器的进口端。
在本实用新型最佳实施例中，所述连接管道的形状为“Y”型，所述“Y”型具有三边，所述三边分别为第一边、第二边和第三边，所述第一边的端口为所述第一端，所述第二边的端口为所述第二端，所述第三边的端口为所述第三端。
所述离子源一和离子源二不同时工作。当所述离子注入机正常使用所述离子源一时，关闭所述离子源二上的隔离阀二，此时所述离子源二腔体可以为真空隔离状态，也可以为充满大气压状态。当所述离子源一到使用寿命需要维护时，关闭所述离子源一上的隔离阀一，并使所述离子源一腔体中的真空气压到达大气压值，此时可以拆卸所述离子源一进行维护。如所述离子源二腔体为真空隔离状态时，打开所述离子源二上的隔离阀二，所述离子注入机可以正常进行产品作业；如所述离子源二腔体为大气压值时，把所述离子源二腔体抽到真空隔离状态，打开所述离子源二上的隔离阀二，所述离子注入机可以正常进行产品作业。当所述离子注入机正常使用所述离子源二时，反之亦然。
两个所述离子源中的一个离子源在工作时，与处于工作状态的离子源对应的所述离子源偏转磁场，可以保证使与其对应的离子源输出的离子束流平行进入所述偏转磁场分析器。
由此可见，本实用新型提供的一种具有双离子源的离子注入机通过双离子源的设计和使用，每当两个离子源中的一个离子源进行维护时，均可以节省4个小时的维护时间，一个月两次离子源维护，则可以节省8个小时的维护时间，因此所述具有双离子源的离子注入机月可运行效率可以提高1.1％。
本发明虽然以较佳实施例公开如上，但其并不是用来限定权利要求，任何本领域技术人员在不脱离本发明的精神和范围内，都可以做出可能的变动和修改，因此本发明的保护范围应当以本发明权利要求所界定的范围为准。
Claims (5)
1.一种具有双离子源的离子注入机，其特征在于，包括：
两个离子源，每一所述离子源的出口端的前部增加一隔离阀；
一偏转磁场分析器；以及
一连接管道，所述连接管道具有第一端、第二端和第三端，所述第一端和第二端的外侧分别增加一离子源偏转磁场，所述第一端和第二端分别连接一所述离子源的出口端，所述第三端连接所述偏转磁场分析器的进口端。
2.根据权利要求1所述的具有双离子源的离子注入机，其特征在于，所述连接管道的形状为“Y”型，所述“Y”型的第一边、第二边和第三边分别与所述第一端、第二端和第三端一一对应。
3.根据权利要求1所述的具有双离子源的离子注入机，其特征在于，两个所述离子源不同时工作。
4.根据权利要求1所述的具有双离子源的离子注入机，其特征在于，一所述离子源工作时，另一所述离子源上的隔离阀关闭。
5.根据权利要求1所述的具有双离子源的离子注入机，其特征在于，每个所述离子源偏转磁场使与其对应的离子源输出的离子束流平行进入所述偏转磁场分析器。
Priority Applications (1)
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Applications Claiming Priority (1)
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Publications (1)
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| CN203325833U true CN203325833U (zh) | 2013-12-04 |
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Country Status (1)
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Cited By (3)
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| CN105140093A (zh) * | 2015-06-30 | 2015-12-09 | 上海华力微电子有限公司 | 一种具有双离子源的离子注入机 |
| CN107359100A (zh) * | 2017-06-28 | 2017-11-17 | 武汉华星光电技术有限公司 | 一种离子注入装置及其使用方法 |
| CN107359104A (zh) * | 2017-06-14 | 2017-11-17 | 中国科学院地质与地球物理研究所 | 一种磁质谱分析器与双离子源的联接转换装置 |
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- 2013-06-03 CN CN2013203160592U patent/CN203325833U/zh not_active Expired - Lifetime
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| CN107359104B (zh) * | 2017-06-14 | 2018-07-20 | 中国科学院地质与地球物理研究所 | 一种磁质谱分析器与双离子源的联接转换装置 |
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