CN203323956U - 一种传感型真空度测量装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种传感型真空度测量装置，包括壳体，所述壳体的两轴向端面上分别设有真空连接口及仪表连接座；所述壳体内设有真空室，该真空室中安装有半导体敏感元件，所述半导体敏感元件与仪表连接座呈桥路电路连接。本实用新型利用半导体敏感元件在不同的真空度条件下的散热变化，得出相应的桥路电阻变化，由此测量出精确的真空度，不仅电荷传输过程中有非常高的灵敏度，而且工艺简单、抗污染性能好。
Description
技术领域
本实用新型属于精密测量技术领域，具体涉及一种传感型真空度测量装置。
背景技术
目前常规的真空测量装置存在着很多缺陷，比如采用电阻规皮拉尼、热偶，所一致产生的问题就是测量范围小，一般都在1000P~1P或是20P~1*10P-1，而且在测量过程中容易受到污染，同时受到环境温度影响也较大，温度范围大都限制在10℃~40℃，并且在10℃~40℃范围内温度对测量精度的影响也是很大的。
发明内容
本实用新型的目的在于克服上述现有技术的不足，提供一种工艺简单、灵敏度高、抗污性能好、真空测量范围广的传感型真空度测量装置。
一种传感型真空度测量装置，包括壳体，所述壳体的两轴向端面上分别设有真空连接口及仪表连接座；所述壳体内设有真空室，该真空室中安装有半导体敏感元件，所述半导体敏感元件与仪表连接座呈桥路电路连接。
所述真空室外设有恒温装置。
本实用新型利用半导体敏感元件在不同的真空度条件下的散热变化，得出相应的桥路电阻变化，由此测量出精确的真空度，不仅电荷传输过程中有非常高的灵敏度，而且工艺简单、抗污染性能好，并且恒温装置的设置更加能够保证其在测量时的精度不会受到影响。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
以下结合具体实施例，对本实用新型做进一步说明。应理解，以下实施例仅用于说明本实用新型而非用于限制本实用新型的范围。
实施例1
参见图1，本实用新型提供的一种传感型真空度测量装置，包括壳体1，所述壳体1的两轴向端面上分别设有真空连接口2及仪表连接座3，所述壳体1内设有真空室4，该真空室4中安装有半导体敏感元件5，所述半导体敏感元件5的一端穿过高真空密封座6电连接电路板7上，所述电路板7与仪表连接座3电连接，所述半导体敏感元件5与仪表连接座3的电连接方式为桥路连接。
实施例2
[0012]本实施例与实施例1的不同之处在于，所述真空室4外设有恒温装置8，用于保证工作时真空室4温度恒定在50℃±0.5℃。
实施例3
运行原理：半导体敏感元件5桥路通电加热后，升至100~180℃，在精确的电压及恒定的温度下，桥路会产生精度很高的电压，在不同的真空度条件下，半导体敏感元件5的散热发生了变化，相应的桥路电阻发生了变化，其变化值就是真空度，由于半导体敏感元件5受温面积极小，在0.2~1m/m间，所以在电荷传输过程中有非常高的灵敏度。
Claims (2)
1.一种传感型真空度测量装置，包括壳体，所述壳体的两轴向端面上分别设有真空连接口及仪表连接座，其特征在于：所述壳体内设有真空室，该真空室中安装有半导体敏感元件，所述半导体敏感元件与仪表连接座呈桥路电路连接。
2.根据权利要求1所述的一种传感型真空度测量装置，其特征在于：所述真空室外设有恒温装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN2013201923005U CN203323956U (zh) | 2013-04-17 | 2013-04-17 | 一种传感型真空度测量装置 |
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| CN203323956U true CN203323956U (zh) | 2013-12-04 |
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| CN (1) | CN203323956U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103234692A (zh) * | 2013-04-17 | 2013-08-07 | 上海祖发实业有限公司 | 一种传感型真空度测量装置 |
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2013
- 2013-04-17 CN CN2013201923005U patent/CN203323956U/zh not_active Expired - Fee Related
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Legal Events
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| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20131204 Termination date: 20180417 |