CN203304200U - 兼具气压监控和气压调节功能的石英晶片分选机 - Google Patents

兼具气压监控和气压调节功能的石英晶片分选机 Download PDF

Info

Publication number
CN203304200U
CN203304200U CN2013203697738U CN201320369773U CN203304200U CN 203304200 U CN203304200 U CN 203304200U CN 2013203697738 U CN2013203697738 U CN 2013203697738U CN 201320369773 U CN201320369773 U CN 201320369773U CN 203304200 U CN203304200 U CN 203304200U
Authority
CN
China
Prior art keywords
air pressure
suction tube
microprocessor
suction pipe
air
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
CN2013203697738U
Other languages
English (en)
Inventor
叶竹之
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Chengdu Tai Meike Crystal Tech Inc
Original Assignee
Chengdu Tai Meike Crystal Tech Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Chengdu Tai Meike Crystal Tech Inc filed Critical Chengdu Tai Meike Crystal Tech Inc
Priority to CN2013203697738U priority Critical patent/CN203304200U/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN203304200U publication Critical patent/CN203304200U/zh
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

本实用新型公开了一种兼具气压监控和气压调节功能的石英晶片分选机,包括吸气管、转轴、吸料管、气压传感器、微处理器、显示装置和电磁阀,吸气管与吸料管的出气端连接,吸料管的出气端的一侧与转轴固定连接,吸料管内在弯折处设置有气口,电磁阀设置在吸料管的气口上,气压传感器设置在吸料管内,气压传感器的信号输出端与微处理器的信号输入端连接,微处理器的控制信号输出端与电磁阀的控制信号输入端连接,微处理器的信号输出端与显示装置的信号输入端连接。本实用新型兼具气压监控和气压调节功能的石英晶片分选机,气压传感器将吸料管内的气压值传输至微处理器,根据气压值调节管内的气压,实现气压监控和气压调节功能。

Description

兼具气压监控和气压调节功能的石英晶片分选机
技术领域
本实用新型涉及一种石英晶片分选机,尤其涉及一种兼具气压监控和气压调节功能的石英晶片分选机。
背景技术
在石英晶片的各种生产设备中,分选机作为一种分选的生产设备在其生产流程中有着重要的作用,分选机主要依靠气泵产生的负压将合格的石英晶片从测片台中吸出,移动至接料盘。现在大多数分选机仅仅只有气泵处设置有气压监测装置,不能对吸料管中的气压进行实时监控,也不能随时调节吸料管的压力值。
实用新型内容
本实用新型的目的就在于为了解决上述问题而提供一种兼具气压监控和气压调节功能的石英晶片分选机。
本实用新型通过以下技术方案来实现上述目的:
一种兼具气压监控和气压调节功能的石英晶片分选机,包括吸气管和转轴,所述分选机还包括吸料管、气压传感器、微处理器、显示装置和电磁阀,所述吸气管与所述吸料管的出气端连接,所述吸料管的出气端的一侧与所述转轴固定连接,所述吸料管内在弯折处设置有气口,所述电磁阀设置在所述吸料管的气口上,所述气压传感器设置在所述吸料管内,所述气压传感器的信号输出端与所述微处理器的信号输入端连接,所述微处理器的控制信号输出端与所述电磁阀的控制信号输入端连接,所述微处理器的信号输出端与所述显示装置的信号输入端连接。
具体地,所述吸料管内设置有灰尘过滤网,所述灰尘过滤网为可拆卸灰尘过滤网。
具体地,所述吸料管的吸料端设置有橡胶垫。
本实用新型的有益效果在于:
本实用新型兼具气压监控和气压调节功能的石英晶片分选机,当分选机工作时,气压传感器将吸料管内的气压值传输至微处理器,微处理器处理后将数据信号传输至显示装置,再根据吸料管内的气压值调节电磁阀,以调节管道内的气压,采用这种装置能够实时监控吸料管内的气压值,同时气压过低时可以调节气压。
附图说明
图1是本实用新型兼具气压监控和气压调节功能的石英晶片分选机的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型作进一步说明:
如图1所示,一种兼具气压监控和气压调节功能的石英晶片分选机,包括吸气管1、转轴2、吸料管7、气压传感器5、微处理器4、显示装置3和电磁阀6,所述吸气管1与所述吸料管7的出气端连接,所述吸料管7的出气端的一侧与所述转轴2固定连接,所述吸料管7内在弯折处设置有气口,所述电磁阀6设置在所述吸料管7的气口上,所述气压传感器5设置在所述吸料管7内,所述气压传感器5的信号输出端与所述微处理器4的信号输入端连接,所述微处理器4的控制信号输出端与所述电磁阀6的控制信号输入端连接,所述微处理器4的信号输出端与所述显示装置3的信号输入端连接。
所述吸料管7内设置有灰尘过滤网8,所述灰尘过滤网8为可拆卸灰尘过滤网。所述吸料管7的吸料端设置有橡胶垫。
本实用新型兼具气压监控和气压调节功能的石英晶片分选机的工作原理如下所示:
分选机工作时,当吸料管7下方的测片台8上的的晶片需要移动时,气泵工作产生负压,将石英晶片吸附到吸料管7的吸料端,吸料端处设置有橡胶垫缓冲,气压传感器5将吸料管7内的吸料管内的气压信号传输至微处理器4,微处理器4处理分析后,根据吸料管7内的气压值控制电磁阀6,以调节吸料管7内的气压值,防止负压持续过大损坏气泵或石英晶片,微处理器4的信号输出端与显示装置3的信号输入端连接,可以实时显示吸料管7内的气压值。

Claims (3)

1.一种兼具气压监控和气压调节功能的石英晶片分选机,包括吸气管和转轴,其特征在于:还包括吸料管、气压传感器、微处理器、显示装置和电磁阀,所述吸气管与所述吸料管的出气端连接,所述吸料管的出气端的一侧与所述转轴固定连接,所述吸料管内在弯折处设置有气口,所述电磁阀设置在所述吸料管的气口上,所述气压传感器设置在所述吸料管内,所述气压传感器的信号输出端与所述微处理器的信号输入端连接,所述微处理器的控制信号输出端与所述电磁阀的控制信号输入端连接,所述微处理器的信号输出端与所述显示装置的信号输入端连接。
2.根据权利要求1所述的兼具气压监控和气压调节功能的石英晶片分选机,其特征在于:所述吸料管内设置有灰尘过滤网,所述灰尘过滤网为可拆卸灰尘过滤网。
3.根据权利要求1所述的兼具气压监控和气压调节功能的石英晶片分选机,其特征在于:所述吸料管的吸料端设置有橡胶垫。
CN2013203697738U 2013-06-26 2013-06-26 兼具气压监控和气压调节功能的石英晶片分选机 Expired - Fee Related CN203304200U (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN2013203697738U CN203304200U (zh) 2013-06-26 2013-06-26 兼具气压监控和气压调节功能的石英晶片分选机

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN2013203697738U CN203304200U (zh) 2013-06-26 2013-06-26 兼具气压监控和气压调节功能的石英晶片分选机

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN203304200U true CN203304200U (zh) 2013-11-27

Family

ID=49610436

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN2013203697738U Expired - Fee Related CN203304200U (zh) 2013-06-26 2013-06-26 兼具气压监控和气压调节功能的石英晶片分选机

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN203304200U (zh)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114509202A (zh) * 2021-12-29 2022-05-17 浙江力夫传感技术有限公司 球形压力传感器和使用该传感器的气压控制平衡调节系统
CN114737199A (zh) * 2022-03-28 2022-07-12 成都泰美克晶体技术有限公司 一种sc圆片腐蚀清洗系统

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114509202A (zh) * 2021-12-29 2022-05-17 浙江力夫传感技术有限公司 球形压力传感器和使用该传感器的气压控制平衡调节系统
CN114509202B (zh) * 2021-12-29 2024-04-16 浙江力夫传感技术有限公司 球形压力传感器和使用该传感器的气压控制平衡调节系统
CN114737199A (zh) * 2022-03-28 2022-07-12 成都泰美克晶体技术有限公司 一种sc圆片腐蚀清洗系统
CN114737199B (zh) * 2022-03-28 2023-06-27 成都泰美克晶体技术有限公司 一种sc圆片腐蚀清洗系统

Similar Documents

Publication Publication Date Title
NZ602761A (en) Air compressor system and method of operation
CN203304200U (zh) 兼具气压监控和气压调节功能的石英晶片分选机
MY178994A (en) Pick and place device with automatic pick-up-height adjustment and a method and a computer program product to automatically adjust the pick-up-height of a pick and place device
CN202554160U (zh) 自控式动物实验低氧箱
CN203858138U (zh) 一种安装调节阀门水稻田间氨挥发收集装置
CN103926945B (zh) 腔体智能压力控制系统及其压力控制方法
CN204228364U (zh) 一种气密检测装置
CN102350701B (zh) 助力机械手或气动平衡吊的平衡控制方法及装置
CN203098176U (zh) 一种新型计量泵
CN103982695A (zh) 气动阀门智能控制器
CN204294478U (zh) 非接触式引振器
CN204328181U (zh) 一种电子数显式减压阀
CN202437620U (zh) 一种用于真空负压美容仪器的压力检测和调节装置
CN206934975U (zh) 除尘器节能防堵压力控制系统
CN202288779U (zh) 体外反搏系统的电磁阀动态延时补偿装置
CN202579258U (zh) 一种尾气回收用鼓风机调节装置
CN202376221U (zh) 高频氩气电刀可智能分配气体流量装置
CN204043998U (zh) 一种自动负压测试试验系统
CN203836346U (zh) 气动阀门智能控制器
CN203450397U (zh) 一种纳米粉定量分装装置
CN205308470U (zh) 一种带有自动排气装置的球磨机
CN203820989U (zh) 一种用于羊绒分梳的新型吸风装置
CN203393157U (zh) 一种发酵罐氧气监控装置
CN204672667U (zh) 一种用于漆包机废气处理的气压恒定装置
CN203248331U (zh) 一种新型真空发生器

Legal Events

Date Code Title Description
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20131127

Termination date: 20160626