CN203225245U - 优质晶圆环 - Google Patents

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Abstract

本实用新型提供了一种优质晶圆环，其具有一个呈环状的框体，该框体以一个玻璃纤维增强尼龙材质构成，其中该框体的外缘具有：至少一个凹槽；以及至少一个平坦区。又，该玻璃纤维增强尼龙材质的玻璃纤维含量为尼龙的20%至40%，而其厚度为1.5mm至2.5mm。本实用新型耐高温、不易变形、低成本，且其不仅质轻，更方便晶圆件的传输、搬动、及切割。

Description

优质晶圆环
技术领域
 本实用新型涉及一种晶圆环，特别是一种优质晶圆环。
背景技术
在IC(晶体电路)的切割制程中，需用到晶圆环作为晶圆的传输及定位手段，而公知的晶圆环一般以金属材质，比如铁构成。然而公知的金属晶圆环具有以下缺点：1.其易因碰撞产生变形；2.其因具有相当的重量而不利传输、搬动； 3.其成本因金属价格不断上升而不利竞争。
发明内容
为了克服现有技术中的缺陷，本实用新型提供了一种优质晶圆环，其耐高温、不易变形、低成本，且其不仅质轻，更方便晶圆件的传输、搬动、及切割。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：本实用新型提供了一种优质晶圆环，其耐高温、不易变形、低成本，且其不仅质轻，更方便晶圆件的传输、搬动、及切割。一种优质晶圆环，其具有一个呈环状的框体，该框体以一个玻璃纤维增强尼龙材质构成，其中该框体的外缘具有：至少一个凹槽；以及至少一个平坦区。又，该玻璃纤维增强尼龙材质的玻璃纤维含量为尼龙的20%至40%，而其厚度为1.5 mm至2.5mm。
本实用新型的有益效果是: 耐高温、不易变形、低成本，且其不仅质轻，更方便晶圆件的传输、搬动、及切割。
附图说明
下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
图1是本实用新型的包含优质晶圆环的一个固定晶圆件的分解图。
图2是本实用新型的包含优质晶圆环的一个固定晶圆件的组合图。
图中  1. 优质晶圆环 ，2. 贴膜，3. 晶圆片 ，4. 凹槽，5. 平坦区。
具体实施方式
如图1和图2所示，其分别绘示包含本实用新型优质晶圆环的一个固定晶圆件的分解图及组合图。该固定晶圆件包含一个优质晶圆环1、一个贴膜2、以及一个晶圆片3。
该优质晶圆环1具有一个呈环状的框体，该框体以一个玻璃纤维增强尼龙材质构成，其中该框体的外缘具有至少一个凹槽4以及至少一个平坦区5，如此以利晶圆件的传输、搬动、及切割。该玻璃纤维增强尼龙材质的厚度为1.5 mm至2.5mm，较佳为2mm，而其玻璃纤维含量为尼龙的20%至40%，较佳为30%。该贴膜2是用以结合该优质晶圆环1与该晶圆片3。该晶圆片3可为一个硅晶圆片或一个蓝宝石晶圆片。

Claims (2)

1.一种优质晶圆环，具有一个呈环状的框体，其特征是：所述框体以一个玻璃纤维增强尼龙材质构成，其中该框体的外缘具有至少一个凹槽以及至少一个平坦区。
2.根据权利要求1所述的优质晶圆环，其特征是：所述玻璃纤维增强尼龙材质厚度为1.5 mm至2.5mm。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108630614A (zh) * 2017-03-23 2018-10-09 扬州朗日新能源科技有限公司 一种防碰撞硅片及其制备方法
WO2019232986A1 (zh) * 2018-06-05 2019-12-12 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 一种导向装置及切割设备

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Patentee after: Kaist Valve Group Co., Ltd.

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