CN203218223U - 管型汞灯 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种管型汞灯，包括管型的放电管和分别设置在放电管两端的阴极与阳极，放电管两端还分别连接有膨胀管并通过膨胀管连接有灯头，所述膨胀管内径大于放电管内径，所述的阴极与阳极分别位于膨胀管内并与灯头连接，膨胀管与灯头连接处具有遮光镀层。本实用新型结构简单，可控制紫外线辐射范围和汞凝结范围，延长汞灯的使用寿命。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种管型汞灯。
背景技术
在光刻机、大规模集成电路中，会运用到各种汞灯。目前市场上的汞灯不能有效地控制紫外线的辐射范围，且汞容易在管壁凝结，导致灯管发黑，影响正常使用。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是：克服现有技术中之不足，提供一种可控制紫外线辐射范围和汞凝结范围的管型汞灯。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种管型汞灯，包括管型的放电管和分别设置在放电管两端的阴极与阳极，放电管两端还分别连接有膨胀管并通过膨胀管连接有灯头，所述膨胀管内径大于放电管内径，所述的阴极与阳极分别位于膨胀管内并与灯头连接，膨胀管与灯头连接处具有遮光镀层。
进一步地，膨胀管与放电管一体成型。
进一步地，膨胀管与放电管由石英玻璃制成。
本实用新型的有益效果是：本实用新型提供的管型汞灯结构简单，可控制紫外线辐射范围和汞凝结范围，延长汞灯的使用寿命。
附图说明
下面结合附图和实施方式对本实用新型进一步说明。
图1是本实用新型的结构示意图。
图中1.放电管2.阴极3.阳极4.膨胀管5.灯头6.遮光镀层
具体实施方式
现在结合附图对本实用新型作进一步的说明。这些附图均为简化的示意图仅以示意方式说明本实用新型的基本结构，因此其仅显示与本实用新型有关的构成。
如图1所示的一种管型汞灯，包括管型的放电管1和分别设置在放电管1两端的阴极2与阳极3，放电管1两端还分别连接有膨胀管4并通过膨胀管4连接有灯头5，所述膨胀管4内径大于放电管1内径，所述的阴极2与阳极3分别位于膨胀管4内并与灯头5连接，膨胀管4与灯头5连接处具有遮光镀层6。膨胀管4与放电管1由石英玻璃一体成型制成。在发光时，遮光镀层6能控制紫外线辐射范围仅在膨胀管4与放电管1间，而由于膨胀管3内径大于放电管1内径，汞真气凝固时，将会凝固在膨胀管3的范围内，而不会扩大到整个放电管1，减少了放电管1发黑的几率，大大提高了汞灯的使用寿命。
上述实施方式只为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本实用新型的内容并加以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围，凡根据本实用新型精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围内。
Claims (3)
1.一种管型汞灯，包括管型的放电管（1）和分别设置在放电管（1）两端的阴极（2）与阳极（3），其特征是：所述的放电管（1）两端还分别连接有膨胀管（4）并通过膨胀管（4）连接有灯头（5），所述膨胀管（4）内径大于放电管（1）内径，所述的阴极（2）与阳极（3）分别位于膨胀管（4）内并与灯头（5）连接，膨胀管（4）与灯头（5）连接处具有遮光镀层（6）。
2.根据权利要求1所述的管型汞灯，其特征是：所述的膨胀管（4）与放电管（1）一体成型。
3.根据权利要求1所述的管型汞灯，其特征是：所述的膨胀管（4）与放电管（1）由石英玻璃制成。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN 201320156741 CN203218223U (zh) | 2013-03-31 | 2013-03-31 | 管型汞灯 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN 201320156741 CN203218223U (zh) | 2013-03-31 | 2013-03-31 | 管型汞灯 |
Publications (1)
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| CN203218223U true CN203218223U (zh) | 2013-09-25 |
Family
ID=49207736
Family Applications (1)
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| CN 201320156741 Expired - Fee Related CN203218223U (zh) | 2013-03-31 | 2013-03-31 | 管型汞灯 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN203218223U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110339378A (zh) * | 2019-07-22 | 2019-10-18 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 强脉冲紫外辐照系统 |
-
2013
- 2013-03-31 CN CN 201320156741 patent/CN203218223U/zh not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110339378A (zh) * | 2019-07-22 | 2019-10-18 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 强脉冲紫外辐照系统 |
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