CN203197458U - 一种激光加工装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种激光加工装置，包括激光发射器，反射镜，透镜以及基板，其特征在于，还包括激光分束器，所述激光分束器位于透镜的焦点上，所述激光发射器发射出激光束后，经反射镜反射后射入激光分束器，激光束经激光分束器射出多道具有相同光学特性且间距角度相同的激光束，该多道激光束射入透镜后形成间距相等的平行激光束，该平行激光束射到基板上形成间距相等的激光点。本实用新型优点在于，通过激光分束器分离出多道激光束，从而减小激光点间距，实现两倍、三倍、四倍等以上的激光发射频率的增大效果。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种加工装置，尤其是一种激光加工装置。
背景技术
现有技术中激光加工装置受到激光光源的限制，发射出一定发射频率的激光束，当激光束打到基板上形成一定间距的激光点，当激光加工装置高速运行时，在其发射频率一定的情况下，激光点之间的距离就会变大，目前激光加工装置利用两个分束器和两个反射镜，可以将激光发射频率等同于增大两倍的效果，以减小激光点的距离，但是效果不明显，仍不能满足激光加工装置高速运转的情况。
发明内容
本实用新型目的是：提供一种安装设备简单，激光点间距减小的激光加工装置。
本实用新型的技术方案是：一种激光加工装置，包括激光发射器，反射镜，透镜以及基板，其特征在于，还包括激光分束器，所述激光分束器位于透镜的焦点上，所述激光发射器发射出激光束后，经反射镜反射后射入激光分束器，激光束经激光分束器射出多道具有相同光学特性且间距角度相同的激光束，该多道激光束射入透镜后形成间距相等的平行激光束，该平行激光束射到基板上形成间距相等的激光点。
优选地，所述透镜为平场透镜。
优选地，所述基板为可移动基板。
本实用新型减小激光点间距所运用的原理类似于增大了激光的发射频率，基板的移送速度、激光的发射频率、透镜的焦点距离、及入射光的角度之间的关系式如下，即激光点距离
(um) =
移送速度
(um/s) /
频率
(1/s)
，当透镜为
F-theta
透镜，即平场透镜时，点距离
(um) =
焦点距离
(um)*
入射角
(radian)
，本实用新型利用激光分束器做出均等的强度、均等的间距角度的多重激光束即实现两倍、三倍、四倍等以上的激光发射频率的增大效果。
本实用新型的优点是：通过激光分束器分离出多道激光束，从而减小激光点间距，实现两倍、三倍、四倍等以上的激光发射频率的增大效果。
附图说明
下面结合附图及实施例对本实用新型作进一步描述：
图
1
为本实用新型的结构示意图；
图
2
为本实用新型激光点距离增大四倍示意图；
图
3
为本实用新型激光点距离增大五倍示意图；
其中：
1
激光发射器，
2
反射镜，
3
激光分束器，
4
透镜，
5
基板。
具体实施方式
实施例：参照图
1
，
2
，
3
所示，一种激光加工装置，包括激光发射器
1
，反射镜
2
，激光分束器
3
，透镜
4
以及基板
5
，该激光分束器
3
位于透镜
4
的焦点上，该透镜
4
为平场透镜，该基板
5
为可移动基板，激光发射器
1
发射出激光束后，经反射镜
2
反射后射入激光分束器
3
，激光束经激光分束器
3
射出多道具有相同光学特性且间距角度相同的激光束，该多道激光束射入透镜
4
后形成间距相等的平行激光束，该平行激光束射到基板
5
上形成间距相等的激光点。
本实用新型减小激光点间距所运用的原理类似于增大了激光的发射频率，基板
5
的移送速度、激光的发射频率、透镜
4
的焦点距离、及入射光的角度之间的关系式如下，即激光点距离
(um) =
移送速度
(um/s) /
频率
(1/s)
，当透镜
4
为
F-theta
透镜时，激光点距离
(um) =
焦点距离
(um)*
入射角
(radian)
，本实用新型利用激光分束器
3
做出均等的强度、均等的间距角度的多重光斑即实现两倍、三倍、四倍等以上的激光发射频率的增大效果。
当激光的移送速度为
1m/s
，激光的发射频率为
10kHz
时，根据公式：激光点距离
(um) =
移送速度
(um/s) /
频率
(1/s)
，激光点之间的距离为
100
㎛
，这时，若使用透镜的焦距为
100mm
时，利用激光分束器衍射出
0.00025radian
间距的
4
道激光或
0.0002radian
间距的
5
道激光，就可以得到发射频率
4
倍、
5
倍增大的效果。
上述实施例只为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人能够了解本实用新型的内容并据以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围。凡根据本实用新型主要技术方案的精神实质所做的修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
Claims (3)
1.一种激光加工装置，包括激光发射器，反射镜，透镜以及基板，其特征在于，还包括激光分束器，所述激光分束器位于透镜的焦点上，所述激光发射器发射出激光束后，经反射镜反射后射入激光分束器，激光束经激光分束器射出多道具有相同光学特性且间距角度相同的激光束，该多道激光束射入透镜后形成间距相等的平行激光束，该平行激光束射到基板上形成间距相等的激光点。
2.根据权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于，所述透镜为平场透镜。
3.根据权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于，所述基板为可移动基板。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN 201320083878 CN203197458U (zh) | 2013-02-25 | 2013-02-25 | 一种激光加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN 201320083878 CN203197458U (zh) | 2013-02-25 | 2013-02-25 | 一种激光加工装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN203197458U true CN203197458U (zh) | 2013-09-18 |
Family
ID=49141598
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN 201320083878 Expired - Lifetime CN203197458U (zh) | 2013-02-25 | 2013-02-25 | 一种激光加工装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN203197458U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109877463A (zh) * | 2019-04-10 | 2019-06-14 | 广东利元亨智能装备股份有限公司 | 激光钻孔系统及方法 |
-
2013
- 2013-02-25 CN CN 201320083878 patent/CN203197458U/zh not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109877463A (zh) * | 2019-04-10 | 2019-06-14 | 广东利元亨智能装备股份有限公司 | 激光钻孔系统及方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CX01 | Expiry of patent term |
Granted publication date: 20130918 |
|
| CX01 | Expiry of patent term |