CN203101028U - 显微球面光谱分析仪 - Google Patents
显微球面光谱分析仪 Download PDFInfo
- Publication number
- CN203101028U CN203101028U CN 201320061866 CN201320061866U CN203101028U CN 203101028 U CN203101028 U CN 203101028U CN 201320061866 CN201320061866 CN 201320061866 CN 201320061866 U CN201320061866 U CN 201320061866U CN 203101028 U CN203101028 U CN 203101028U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- light path
- micro
- eyepiece
- sphere
- path
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
本实用新型公开了一种显微球面光谱分析仪，包括光源、与光源连接的光谱分析系统和与光谱分析系统连接的数据处理装置，光谱分析系统包括与光源连通的光路系统、与光路系统连通的物镜、与光路系统连通的目镜、与光路系统连接的检测器，目镜为电子目镜。本实用新型公开的显微球面光谱分析仪具有聚焦方便、快捷，球差小，操作方便的特点。
Description
技术领域
本实用新型属于一种光学镜片检测仪器，尤其是涉及一种显微球面光谱分析仪。
背景技术
目前，市面上光学镜片光谱检测仪采用的是一般目镜，需要操作者用肉眼观察，且因镜片为球面，光线进入球面后透过与反射的光方向会不同，光的能量分散，所以在球面上采集光的难度很大，观察到的镜片焦点误差较大，很难聚焦。大多检测仪检测到的光学镜片球差在0.005左右，误差较大，检测球面光谱特性时，偏差较大，检测结果不精确。市面上也有利用平面的检测结果代表球面光谱特性的，但是差异太大。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种聚焦方便、快捷，球差小，操作方便的显微球面光谱分析仪。
根据本实用新型的一个方面，提供了一种显微球面光谱分析仪，包括光源、与光源连接的光谱分析系统和与光谱分析系统连接的数据处理装置，光谱分析系统包括与光源连通的光路系统、与光路系统连通的物镜、与光路系统连通的目镜、与光路连接的检测器，目镜为电子目镜。数据处理装置与光谱分析系统相连接，保证了检测到的结果能够直接在数据处理装置中分析和显示出来，方便操作，提高检测速度。采用电子目镜结构，使得由物镜进入光路的光直接由电子目镜检测到，能够快速聚焦。光路系统与检测器相连接，从而检测器可以直接得出检测结果，同时也减小了球差，将球差减小至0.003。
在一些实施方式中，数据处理装置为计算机，计算机与电子目镜和检测器相连接。从而计算机透过电子目镜显示光斑能量及被测物曲线图形，直接显示电子目镜和检测器所检测到的光谱结果。
在一些实施方式中，光路系统包括入射光路和反射光路，入射光路和反射光路垂直连接，入射光路和反射光路连接处设有反射镜，反射光路包括显微光路和分析光路，分析光路包括目镜光路和检测光路，目镜光路与检测光路连接处设有分光棱镜。从而，从入射光路入射的光经过反射镜的反射进入显微光路到达物镜作用于待测光学镜片上，待测光学镜片上反射的光通过物镜再进入作用于反射镜，然后再经过分光棱镜进行分光，一部分反射光进入目镜光路，一部分反射光进入检测光路。设有光路系统，使得待测光学镜片在检测过程中，待测光学镜片的上表面和下表面所形成的焦点不在同一点，从而排除了下表面反射的光线对检测结果的干扰，从而得到准确的检测结果。
在一些实施方式中，反射镜与入射光路成45°夹角。从而使得入射光路的光能够进入显微光路，进而进入物镜。
在一些实施方式中，物镜与显微光路相连通，电子目镜与目镜光路相连通，检测器与检测光路相连通。同时，可以通过计算机调节进入检测光路和目镜光路的能量比例，实现精准测量。
在一些实施方式中，光谱分析系统还包括设于物镜下方的载物台和与载物台连接的控制器。设有控制器可以方便地控制载物台的与物镜的相对位置。
在一些实施方式中，显微球面光谱分析仪还包括底座，光谱分析系统设于底座上。从而，保证了光谱分析系统的稳定和平衡。
附图说明
图1是本实用新型的显微球面光谱分析仪的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型作进一步详细的说明。
参照图1:显微球面光谱分析仪，包括光源2、与光源2通过光纤连接的光谱分析系统1和与光谱分析系统1通过数据线连接的数据处理装置3，光谱分析系统1包括与光源2连通的光路系统11、与光路系统11连通的物镜12、与光路系统11连通的目镜13、与光路系统11连接的检测器14，目镜13为电子目镜，电子目镜为广州柏菲光电科技有限公司生产的，型号为SP—II，像素为500万。数据处理装置3为计算机，计算机与电子目镜和检测器14相连接，计算机与电子目镜和检测器14之间通过数据线相连接。
光路系统11包括入射光路111和反射光路112，入射光路111和反射光路112垂直连接，入射光路111和反射光路112连接处设有反射镜17，反射镜17与入射光路111成45°夹角。反射光路112包括显微光路21和分析光路22，分析光路22包括目镜光路221和检测光路222，目镜光路221与检测光路222连接处设有分光棱镜18。
光路系统11通过光纤与发射光路112相连接。
物镜12与显微光路21相连通，电子目镜与目镜光路221相连通，检测器14与检测光路223相连通。通过计算机调节进入检测光路223和目镜光路221的光线比例，设定在380nm~1100nm波长范围内的光线可以通过，实现精准测量。
光谱分析系统1还包括设于物镜12下方的载物台15和与载物台15连接的控制器16。
显微球面光谱分析仪还包括底座4，光谱分析系统1设于底座4上。
当显微球面光谱分析仪工作时，开启光源2，将待测光学镜片放在载物台15上固定，通过调节控制器16上的调节旋钮进行手动调整载物台15的位置，将待测光学镜片调节到物镜12下方，使得呈像清晰。光源2的光通过入射光路111入射，再经过反射镜17的反射进入显微光路21到达物镜12作用于待测光学镜片上，待测光学镜片上反射的光通过物镜12，作用于反射镜17，然后再经过分光棱镜18进行分光，一部分反射光进入目镜光路221，作用于电子目镜，另一部分反射光进入检测光路222。直接传输至检测器14。电子目镜接收到的反射光传输至数据处理装置3计算机，计算机直接显示出待测光学镜片的聚焦情况，以保证快速聚焦和得出相应数据，检测器14检测到的数据同时传输至计算机，计算机显示出待测光学镜片的光谱特性，同时根据待测光学镜片的反射光的情况，检测到镜片的反射率和透光率。
以上所述的仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型创造构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。
Claims (7)
1.显微球面光谱分析仪，其特征在于，包括光源（2）、与光源（2）连接的光谱分析系统（1）和与光谱分析系统（1）连接的数据处理装置（3），所述光谱分析系统（1）包括与光源（2）连通的光路系统（11）、与光路系统（11）连通的物镜（12）、与光路系统（11）连通的目镜（13）、与光路系统（11）连接的检测器（14），所述目镜（13）为电子目镜。
2.根据权利要求1所述的显微球面光谱分析仪，其特征在于，所述数据处理装置（3）为计算机，所述计算机与电子目镜和检测器（14）相连接。
3.根据权利要求2所述的显微球面光谱分析仪，其特征在于，所述光路系统（11）包括入射光路（111）和反射光路（112），所述入射光路（111）和反射光路（112）垂直连接，所述入射光路（111）和反射光路（112）连接处设有反射镜（17），所述反射光路（112）包括显微光路（21）和分析光路（22），所述分析光路（22）包括目镜光路（221）和检测光路（222），所述目镜光路（221）与检测光路（222）连接处设有分光棱镜（18）。
4.根据权利要求3所述的显微球面光谱分析仪，其特征在于，所述反射镜（17）与入射光路（111）成45°夹角。
5.根据权利要求3所述的显微球面光谱分析仪，其特征在于，所述物镜（12）与显微光路（21）相连通，所述电子目镜与目镜光路（221）相连通，所述检测器（14）与检测光路（223）相连通。
6.根据权利要求5所述的显微球面光谱分析仪，其特征在于，所述光谱分析系统（1）还包括设于物镜（12）下方的载物台（15）和与载物台（15）连接的控制器（16）。
7.根据权利要求1—6中任一项所述的显微球面光谱分析仪，其特征在于，还包括底座（4），所述光谱分析系统（1）设于底座（4）上。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN 201320061866 CN203101028U (zh) | 2013-02-01 | 2013-02-01 | 显微球面光谱分析仪 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN 201320061866 CN203101028U (zh) | 2013-02-01 | 2013-02-01 | 显微球面光谱分析仪 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN203101028U true CN203101028U (zh) | 2013-07-31 |
Family
ID=48852420
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN 201320061866 Expired - Fee Related CN203101028U (zh) | 2013-02-01 | 2013-02-01 | 显微球面光谱分析仪 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN203101028U (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106248638A (zh) * | 2016-10-09 | 2016-12-21 | 佛山市北创光电科技有限公司 | 球面透镜反射透过一体式光谱仪 |
| CN110411717A (zh) * | 2019-08-30 | 2019-11-05 | 广东北创光电科技股份有限公司 | 显微球面光谱自动分析仪及应用其的光谱自动分析方法 |
-
2013
- 2013-02-01 CN CN 201320061866 patent/CN203101028U/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106248638A (zh) * | 2016-10-09 | 2016-12-21 | 佛山市北创光电科技有限公司 | 球面透镜反射透过一体式光谱仪 |
| CN110411717A (zh) * | 2019-08-30 | 2019-11-05 | 广东北创光电科技股份有限公司 | 显微球面光谱自动分析仪及应用其的光谱自动分析方法 |
| CN110411717B (zh) * | 2019-08-30 | 2021-06-18 | 广东北创光电科技股份有限公司 | 显微球面光谱自动分析仪及应用其的光谱自动分析方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN109900621B (zh) | 一种多角度偏振光散射pm2．5单颗粒物测量装置 | |
| CN104122228B (zh) | 一种集成光干涉和散射信息分析的显微成像系统及方法 | |
| CN110186653B (zh) | 非成像系统的光轴一致性校准和裂像定焦装调装置及方法 | |
| KR20180008721A (ko) | 투명 기판이 제공되는 박막을 위한 측정 장치 및 측정 방법 | |
| TWI670466B (zh) | 膜厚測量系統及方法 | |
| CN107144529B (zh) | 一种用于椭偏仪精确定位测量的装置及方法 | |
| CN209086170U (zh) | 一种高反射镜表面疵病参数表征装置 | |
| CN103292739B (zh) | 一种无执行机构的曲面形状精密测量装置与方法 | |
| CN204831226U (zh) | 用于检测透镜中心偏的光学光路及其光学检测装置 | |
| CN105067528B (zh) | 二维共焦显微非线性强度扫描系统和测量方法 | |
| CN102589428B (zh) | 基于非对称入射的样品轴向位置跟踪校正的方法和装置 | |
| CN104792798A (zh) | 基于全内反射照明技术的亚表面损伤测量装置及方法 | |
| CN105092585A (zh) | 基于全内反射及光学相干层析的亚表面测量装置及方法 | |
| CN203101028U (zh) | 显微球面光谱分析仪 | |
| CN203116699U (zh) | 用于纳米厚度薄膜动态观测的偏振光显微系统 | |
| CN104931481A (zh) | 激光双轴差动共焦诱导击穿-拉曼光谱成像探测方法与装置 | |
| CN109297986A (zh) | 激光陀螺高反射镜表面疵病参数表征装置和检测方法 | |
| CN204578635U (zh) | 一种红外相机及其焦面配准设备 | |
| CN203100685U (zh) | 透镜中心厚度光学检测仪 | |
| CN204085848U (zh) | 平曲两用透过率检测仪 | |
| CN212540054U (zh) | 一种不溶性微粒检测用光阻法粒度仪 | |
| CN107478332B (zh) | 一种环形光束共聚焦纵向高分辨成像装置 | |
| CN109520973A (zh) | 后置分光瞳激光差动共焦显微检测方法及装置 | |
| CN105067224A (zh) | 终端光学元件损伤在线检测中孪生像尺寸的定量检测方法 | |
| CN205537546U (zh) | 基于psd和楔形平晶微分干涉法的晶圆表面检测装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| C56 | Change in the name or address of the patentee | ||
| CP03 | Change of name, title or address |
Address after: One of the 528000 Chancheng District of Guangdong city of Foshan province Huayi four season Road No. 28 room 1001 Patentee after: GUANGDONG BEICHUANG OPTOELECTRONICS TECHNOLOGY CO.,LTD. Address before: Chancheng District of Guangdong city in Foshan province 528000 quarter of Huayi Road No. 28, room 1001 four Patentee before: FOSHAN BEICHUANG PHOTOELECTRIC TECHNOLOGY Co.,Ltd. |
|
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20130731 Termination date: 20220201 |