CN202576653U - 一种单晶实时称重装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种单晶实时称重装置,包括籽晶绳、滑轮、称重传感器,所述的称重传感器用螺钉固定在腔体上臂,滑轮与称重传感器通过连接螺钉连接在一起,滑轮一端悬挂有籽晶绳,滑轮可通过连接螺钉拉动称重传感器。本实用新型通过连接螺钉将滑轮与称重传感器连接在一起,当籽晶绳上的晶棒使滑轮受力后通过连接螺钉拉动称重传感器,使称重传感器产生读数,结构简单,紧凑,实时读数。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种称重装置,特别是一种单晶实时称重装置。
背景技术
单晶硅炉主要用于生产硅半导体材料,对生长的硅晶体要求实时监控其重量,是控制硅晶体合格率的有效保证,但传统的监控硅晶体重量的方法是单晶硅炉外用目测方式通过测量其直径进行推算,十分不准确,不能达到实时监控其重量的要求,从而生产出来的硅晶体质量很差,现有的称重装置结构非常复杂,占用空间又非常大,生产效率也低。
发明内容
为解决上述问题,本实用新型的目的是提供一种结构简单、占用空间小、够实时测量掌握单晶晶棒重量的单晶实时称重装置。
为实现上述目的,本实用新型的技术方案为:
一种单晶实时称重装置,包括籽晶绳、滑轮、称重传感器,所述的称重传感器用螺钉固定在腔体上臂,滑轮与称重传感器通过连接螺钉连接在一起,滑轮一端悬挂有籽晶绳。
作为优选,滑轮可通过连接螺钉拉动称重传感器。
本实用新型通过连接螺钉将滑轮与称重传感器连接在一起,当籽晶绳上的晶棒使滑轮受力后通过连接螺钉拉动称重传感器,使称重传感器产生读数,结构简单,紧凑,实时读数。
附图说明
图1为本实用新型的剖视图。
具体实施方式
如图1所示,一种单晶实时称重装置,包括籽晶绳1、滑轮2、称重传感器3,所述的称重传感器3用螺钉6固定在腔体5上臂,滑轮2与称重传感器3通过连接螺钉3连接在一起,滑轮2一端悬挂有籽晶绳1。滑轮2可通过连接螺钉3拉动称重传感器4。本实用新型通过连接螺钉将滑轮与称重传感器连接在一起,当籽晶绳上的晶棒使滑轮受力后通过连接螺钉拉动称重传感器,使称重传感器产生读数,结构简单,紧凑,实时读数。
Claims (2)
1.一种单晶实时称重装置,包括籽晶绳(1)、滑轮(2)、称重传感器(3),其特征在于,所述的称重传感器(3)用螺钉(6)固定在腔体(5)上臂,滑轮(2)与称重传感器(3)通过连接螺钉(3)连接在一起,滑轮(2)一端悬挂有籽晶绳(1)。
2.根据权利要求1所述的一种单晶实时称重装置,其特征在于,滑轮(2)可通过连接螺钉(3)拉动称重传感器(4)。
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GR01 | Patent grant | ||
C17 | Cessation of patent right | ||
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