CN202465961U - 高温真空单晶烧结炉控温装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种高温真空单晶烧结炉控温装置,属于控温装置。加热器与交直流转换装置电连接,交直流转换装置与变压器电连接,变压器与电流检测模块电连接,电流检测模块与控制电路、电源电连接,控制电路与温度控制器电连接,电流检测模块与报警装置电连接,温度控制器与加热器连接。本实用新型的优点在于:具有新颖性,用控温装置代替了钨铼热偶,控温装置与烧结炉的内加热装置结合为一体,通过温控仪表、控制电路、电流检测模块、交直流转换装置在前端就控制了温度,使工作温度准确稳定,降低了费用,提高了效率,更换简单,维修方便。
Description
技术领域
本实用新型属于一种---控温装置,尤其是指一种应用在高温真空单晶烧结炉中的控温装置。
背景技术
高温真空单晶烧结炉在工作过程中需要随时监测温度,常规的测温方法是将钨铼热偶直接置于高温环境中获取烧结温度,现有技术无法解决在高温作用下氟化物对钨铼热偶的严重腐蚀,需要经常更换而造成极大浪费的问题。
发明内容
本实用新型提供一种高温真空单晶烧结炉控温装置,以解决在高温作用下氟化物对钨铼热偶的严重腐蚀,需要经常更换而造成极大浪费的问题。
本实用新型采取的技术方案是:加热器与交直流转换装置电连接,交直流转换装置与变压器电连接,变压器与电流检测模块电连接,电流检测模块与控制电路、电源电连接,控制电路与温度控制器电连接,电流检测模块与报警装置电连接,温度控制器与加热器连接。
本实用新型的优点在于:具有新颖性,用控温装置代替了钨铼热偶,控温装置与烧结炉的内加热装置结合为一体,通过温控仪表、控制电路、电流检测模块、交直流转换装置在前端就控制了温度,使工作温度准确稳定,降低了费用,提高了效率,更换简单,维修方便。
附图说明
图 1是本实用新型的电路原理图。
具体实施方式
加热器8与交直流转换装置7电连接,交直流转换装置7与变压器3电连接,变压器3与电流检测模块1电连接,电流检测模块1与控制电路2、电源4电连接,控制电路2与温度控制器6电连接,电流检测模块1与报警装置5电连接,温度控制器6与加热器8连接。
本实用新型的工作方式是:控温装置与烧结炉的内加热装置结合为一体,通过温控仪表掌握控制温度变化,与温控仪表相连接的控制电路、电流检测模块、交直流转换装置使控制了温度的工作在前端完成,保证了工作温度准确稳定。
Claims (1)
1.一种高温真空单晶烧结炉控温装置,其特征在于:加热器与交直流转换装置电连接,交直流转换装置与变压器电连接,变压器与电流检测模块电连接,电流检测模块与控制电路、电源电连接,控制电路与温度控制器电连接,电流检测模块与报警装置电连接,温度控制器与加热器连接。
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