CN202461808U - 非晶硅薄膜太阳能电池激光刻线系统中的多光路分光装置 - Google Patents

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钱腾达
严锦春
顾锡淼
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Abstract

本实用新型提供非晶硅薄膜太阳能电池激光刻线系统中的多光路分光装置，包括如下部件：透光率为1/4、反射率为3/4的第一分光镜21；透光率为1/3、反射率为2/3的第二分光镜22；透光率为1/2、反射率为1/2的第三分光镜23；反射率为100％的第一反射镜41；反射率为100％的第二反射镜42。本实用新型通过多个分光镜以及反射镜实现了一个光源供给四条激光切割线的装置，能大大提高刻线系统的效率，降低工艺成本。

Description

非晶硅薄膜太阳能电池激光刻线系统中的多光路分光装置
技术领域
本实用新型涉及太阳能电池刻线系统，具体地，涉及非晶硅薄膜太阳能电池激光刻线系统中的多光路分光装置。
背景技术
薄膜太阳能电池因制作工艺简单、生产成本低、光电转换效率较高、可连续自动化批量生产等优点受到业界青睐。非晶硅薄膜太阳能电池制备过程中需要将膜层分割成独立的窄条，每个窄条对应一个独立的电池单元，然后将各电池单元串联成一个太阳能电池组件。具体的膜层分割方式有激光刻线、机械刻划和化学腐蚀等方式，激光刻线方式因其具有非接触式加工(不会对材料造成机械挤压或机械应力)、高效率、高精度、可精确地刻划出微米级的凹槽(使得膜层面积损失率小，利用率高)、可精确控制加工能量、整齐分割待加工膜层、不损伤导电层、无需使用任何化学品等优点而被业界广泛采用。
激光刻线装置是薄膜太阳能电池制备工艺中的一个重要设备，其设计和性能的好坏直接影响到太阳能电池的质量和生产过程中的良品率。早期的工艺中采用单激光器单光路的光学系统进行加工，目前在工艺上通常采用单激光器多光路的光学系统进行刻线，但也有采用多激光器多光路的结构型式。常见的单激光器多光路结构型式有单激光器二分光路和单激光器四分光路。四分光路系统刻线效率高，在工程应用上具有更高的使用价值，大多数刻线系统都采用这种结构型式。
实用新型内容
针对现有技术中的缺陷，本实用新型的目的是提供一种非晶硅薄膜太阳能电池激光刻线系统中的多光路分光装置。
根据本实用新型的一个方面，提供一种非晶硅薄膜太阳能电池激光刻线系统中的多光路分光装置，其特征在于，包括如下部件：
透光率为1/4、反射率为3/4的第一分光镜；
透光率为1/3、反射率为2/3的第二分光镜；
透光率为1/2、反射率为1/2的第三分光镜；
反射率为100％的第一反射镜；
反射率为100％的第二反射镜，其中：
所述第一分光镜和第一反射镜相互平行地依次位于入射的准直光束所在的同一直线上，所述准直光线呈倾斜地入射至所述第一分光镜上形成第一透射光线和第一反射光线，所述第一透射光线入射至所述第一反射镜，
所述第一反射光线倾斜地入射至所述第二分光镜形成第二透射光线和第二反射光线，
所述第二反射光线倾斜地入射至所述第三分光镜形成第三透射光线和第三反射光线，
所述第三透射光线倾斜地入射至所述第二反光镜。
本实用新型通过多个分光镜以及反射镜实现了一个光源供给四条激光切割线的装置，能大大提高刻线系统的效率，降低工艺成本。
附图说明
通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本实用新型的其它特征、目的和优点将会变得更明显：
图1示出根据本实用新型的非晶硅薄膜太阳能电池激光刻线系统中的多光路分光装置的结构示意图。
具体实施方式
根据本实用新型提供的非晶硅薄膜太阳能电池激光刻线系统中的多光路分光装置，包括如下部件：透光率为1/4、反射率为3/4的第一分光镜21；透光率为1/3、反射率为2/3的第二分光镜22；透光率为1/2、反射率为1/2的第三分光镜23；反射率为100％的第一反射镜41；反射率为100％的第二反射镜42，其中：所述第一分光镜和第一反射镜相互平行地依次位于入射的准直光束所在的同一直线上，所述准直光线呈倾斜地入射至所述第一分光镜上形成第一透射光线和第一反射光线，所述第一透射光线入射至所述第一反射镜，所述第一反射光线倾斜地入射至所述第二分光镜形成第二透射光线和第二反射光线，所述第二反射光线倾斜地入射至所述第三分光镜形成第三透射光线和第三反射光线，所述第三透射光线倾斜地入射至所述第二反光镜。
以上对本实用新型的具体实施例进行了描述。需要理解的是，本实用新型并不局限于上述特定实施方式，本领域技术人员可以在权利要求的范围内做出各种变形或修改，这并不影响本实用新型的实质内容。

Claims (1)

1.一种非晶硅薄膜太阳能电池激光刻线系统中的多光路分光装置，其特征在于，包括如下部件：
透光率为1/4、反射率为3/4的第一分光镜；
透光率为1/3、反射率为2/3的第二分光镜；
透光率为1/2、反射率为1/2的第三分光镜；
反射率为100％的第一反射镜；
反射率为100％的第二反射镜，其中：
所述第一分光镜和第一反射镜相互平行地依次位于入射的准直光束所在的同一直线上，所述准直光线呈倾斜地入射至所述第一分光镜上形成第一透射光线和第一反射光线，所述第一透射光线入射至所述第一反射镜，
所述第一反射光线倾斜地入射至所述第二分光镜形成第二透射光线和第二反射光线，
所述第二反射光线倾斜地入射至所述第三分光镜形成第三透射光线和第三反射光线，
所述第三透射光线倾斜地入射至所述第二反光镜。
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