CN202403827U - 一种温度传感器 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种温度传感器，包括硅片衬底，在所述硅片衬底上设有一层绝缘层，在所述绝缘层上设置有铂薄膜电阻和引线层，所述铂薄膜电阻两端分别连接有所述引线层。采用以上结构，本实用新型选用硅片作为衬底，选材容易，制作难度小，同时硅片衬底在受热情况下不易损坏，使用寿命长，具有结构简单、安全可靠、计量准确等特点。
Description
技术领域
本实用新型属于传感器技术领域，尤其是涉及一种温度传感器。
背景技术
利用物质各种物理性质随温度变化的规律把温度转换为电量的是温度传感器。温度传感器是温度测量仪表的核心部分，品种繁多。按测量方式可分为接触式和非接触式两大类，按照传感器材料及电子元件特性分为热电阻和热电偶两类。现有的温度传感器多为铂温度传感器，该温度传感器在一个陶瓷衬底上施加了一个铂薄膜电阻，陶瓷衬底通常由氧化铝组成，在构成铂薄膜电阻的区域中，在陶瓷衬底的表面设有一层保护釉，其中铂薄膜电阻通常被构成波状的铂层附带地具有连接面，该连接面与导线连接形成导电连接以取得传感器信号，而为了固定端子导线设有一个釉层。以上结构，选择陶瓷衬底制作难度较大，而且陶瓷材料易于损坏从而造成传感器的寿命缩短。
实用新型内容
本实用新型所要解决的技术问题在于提供一种结构简单新颖，制作容易、测量精度高的温度传感器。
本实用新型的技术方案如下：一种温度传感器，其要点是：包括硅片衬底，在所述硅片衬底上设有一层绝缘层，在所述绝缘层上设置有铂薄膜电阻和引线层，所述铂薄膜电阻两端分别连接有所述引线层。采用以上结构，选用硅片作为衬底，选材容易，制作难度小，同时硅片衬底在受热情况下不易损坏，使用寿命长。
作为优选：为了提高本实用新型的测量精度，所述铂薄膜电阻呈方形的锯齿结构。
作为优选：为了实现传感器信号的可靠传输，所述引线层的材料为金。
有益效果：本实用新型采用硅片衬底以及分别设置铂薄膜电阻和引线层，从而使得本实用新型容易制作，同时提高了传感器的测量精度和灵敏度；本实用新型具有结构简单、安全可靠、计量准确等特点。
附图说明
图1是本实用新型的结构意图。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型作进一步的说明。
请参见图1：一种温度传感器，包括硅片衬底1，在所述硅片衬底1上设有一层绝缘层2，在所述绝缘层2上设置有铂薄膜电阻3和引线层4，所述铂薄膜电阻3呈方形的锯齿结构，该铂薄膜电阻3两端分别连接有所述引线层4，所述引线层4的材料为金。
以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不以本实用新型为限制，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (3)
1.一种温度传感器，其特征在于：包括硅片衬底(1)，在所述硅片衬底(1)上设有一层绝缘层(2)，在所述绝缘层(2)上设置有铂薄膜电阻(3)和引线层(4)，所述铂薄膜电阻(3)两端分别连接有所述引线层(4)。
2.根据权利要求1所述的一种温度传感器，其特征在于：所述铂薄膜电阻(3)呈方形的锯齿结构。
3.根据权利要求1所述的一种温度传感器，其特征在于：所述引线层(4)的材料为金。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN2011205493365U CN202403827U (zh) | 2011-12-23 | 2011-12-23 | 一种温度传感器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN2011205493365U CN202403827U (zh) | 2011-12-23 | 2011-12-23 | 一种温度传感器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN202403827U true CN202403827U (zh) | 2012-08-29 |
Family
ID=46701469
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN2011205493365U Expired - Lifetime CN202403827U (zh) | 2011-12-23 | 2011-12-23 | 一种温度传感器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN202403827U (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104132745A (zh) * | 2014-08-15 | 2014-11-05 | 武汉工程大学 | 快速测温的微纳米级铂电阻温度传感器 |
| CN112013982A (zh) * | 2020-09-08 | 2020-12-01 | 济南南知信息科技有限公司 | 一种嵌入式铂电偶传感器 |
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2011
- 2011-12-23 CN CN2011205493365U patent/CN202403827U/zh not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104132745A (zh) * | 2014-08-15 | 2014-11-05 | 武汉工程大学 | 快速测温的微纳米级铂电阻温度传感器 |
| CN112013982A (zh) * | 2020-09-08 | 2020-12-01 | 济南南知信息科技有限公司 | 一种嵌入式铂电偶传感器 |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
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| CX01 | Expiry of patent term |
Granted publication date: 20120829 |