CN202256878U - 光调制器像素单元 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种MEMS光调制器像素单元，所述光调制器像素单元包括：位于衬底上的层间介质层，位于层间介质层内的空腔；位于衬底上的层间介质层内、且与所述空腔的位置对应的底部电极、可动电极和顶部电极；滤光片，位于所述顶部电极上，用于将白光转换为三基色光线；所述可动电极具有光线反射面，所述顶部电极为半透光的金属薄膜，利用所述可动电极在空腔内的运动，使得所述光调制器能够对将滤光片转换后的三基色光线进行调制。本实用新型解决了现有的光调制器像素单元普遍需要利用单色光源发出的单色光线作为入射光线的问题，降低了光调制器像素单元的成本。

Description

光调制器像素单元

技术领域

本实用新型涉及光调制器，特别涉及应用于平板显示系统的光调制器像素单元及其制作方法。

背景技术

在投影系统中，关键的组成部件是光调制器。现有的光调制器包括微机电部件(Micro-Electro-Mechanical Systems，MEMS)，所述光调制器通过控制施加于微机电部件上的电信号，控制微机电部件进行移动，利用微机电部件的移动对入射光调制器的光线进行调制，输出具有一定灰度的光线。

通常光调制器包括多个呈矩阵排布的像素单元，现有的光调制器像素单元有两种：利用光的反射原理的数字镜面器(digital mirror device，DMD)和利用光的衍射原理的光栅光阀(grating light valve，GLV)。其中数字镜面器单个像素的能耗大，特别是在应用于高分辨率的微显示系统时，整体能耗大；而光栅光阀的单个像素的能耗小，整体能耗较小，且由于光栅光阀具有模拟灰度好、光学效率高、调制速度快等优点，成为目前的主流技术。在国际申请号为PCT/US2002/009602 2002.3.27的国际申请中可以发现更多关于现有的光调制器像素单元信息。

在实际中，发现现有的光调制器像素单元普遍需要利用单色光源发出的单色光线作为入射光线，所述单色光源可以通常为价格较为昂贵的LED灯，因此，现有的光调制器像素单元的成本较高。

实用新型内容

本实用新型解决的问题是提供一种光调制器像素单元、MEMS光调制器及其制作方法，解决了现有的光调制器像素单元普遍需要利用单色光源发出的单色光线作为入射光线的问题，降低了光调制器像素单元的成本。

为了解决上述问题，本实用新型提供一种光调制器像素单元，包括：

衬底；

所述衬底上具有含有空腔的层间介质层；

底部电极，位于所述衬底上对应所述空腔的位置；

顶部电极，位于所述空腔上方对应于底部电极位置的层间介质层内，所述顶部电极为半透光的金属薄膜；

滤光片，位于所述顶部电极上，用于将白光转换为三基色光线；

可动电极，位于所述底部电极与顶部电极之间的空腔内，所述可动电极面向顶部电极的表面为光线反射面，所述可动电极能够沿垂直于光线反射面的方向移动，并分别位于第一位置、第二位置或第三位置，使得三基色光线中的一种透过顶部电极并经可动电极反射后的光线在顶部电极发生干涉。

可选地，所述底部电极与所述衬底之间电学绝缘；所述顶部电极与所述衬底之间电学绝缘。

可选地，所述层间介质层覆盖所述衬底表面；

所述底部电极位于覆盖衬底表面的层间介质层内；

所述可动电极位于所述空腔内，所述可动电极与所述空腔的空腔壁之间具有间隙，用于容纳可动电极的运动。

可选地，所述层间介质层为氧化硅、氮氧化硅、碳化硅、氮化硅或者其中的组合。

可选地，还包括位于衬底内的控制电路，所述底部电极与所述控制电路的第一控制端电连接，所述可动电极与所述控制电路的第二控制端电连接，所述顶部电极与所述控制电路的第三控制端电连接，所述层间介质层内形成有多个第二导电插塞，所述多个第二导电插塞将第二控制端和可动电极电连接，所述多个第二导电插塞关于可动电极的中心对称。

可选地，所述顶部电极材质为金属，厚度范围为30～300埃，所述金属为银、铝、铜、钛、铂金、金、镍、钴或者其中的组合。

可选地，所述可动电极的材质为金属，厚度范围为800～10000埃，所述金属可以为银、铝、铜、钛、铂金、金、镍、钴或者其中的组合。

可选地，所述可动电极上形成有顶部绝缘层，所述顶部绝缘层用于增大可动电极的刚性。

与现有技术相比，本实用新型具有以下优点：

本实用新型的实施例所述的光调制器像素单元由于加装了滤光片，因此，所述光调制器像素单元可以白光光源(例如是包括太阳在内的自然光源或普通的日光灯)作为入射光线，而无需专门的单色光源作为入射光线，由于滤光片和白光光源的成本之和通常远远低于单色光源的成本，因此，本实用新型所述的光调制器像素单元与现有的采用单色光源的光调制器像素单元相比，成本大大降低；

本实用新型实施例还在所述可动电极上设置顶部绝缘层，从而增强了顶部电极的刚性，防止所述顶部电极由于反复使用产生金属疲劳，提高了可动电极的使用寿命；

本实用新型的实施例提供MEMS光调制器，所述MEMS光调制器包括用于调制第一光线的第一光调制器像素单元、用于调制第二光线的第二光调制器像素单元和用于调制第三光线的第三光调制器像素单元，所述第一光调制器像素单元、第二光调制器像素单元和第三光调制器像素单元包括滤光片，所述滤光片将白色光线过滤为三基色光线，使得所述第一光调制器像素单元、第二光调制器像素单元和第三光调制器像素单元能够分别调制第一光线、第二光线或第三光线，本实用新型实施例的MEMS光调制器可以对白光光源发出的白光进行调制，无需专门的三基色光源，从而解决了现有的MEMS光调制器无法在白光光源下正常显示的问题，本实用新型的MEMS光调制器特别适合应用于平板显示系统。

附图说明

图1是本实用新型一个实施例的光调制器像素单元的结构示意图。

图2是图1沿AA的剖面结构示意图。

具体实施方式

发明人发现，由于现有技术的光调制器通常是针对单色光源发出的单色光线进行调制，这使得现有的光调制器无法应用于白光光源的情况。比如现有的光调制器在应用于微显示系统(例如手机或电子书)时，在白天的阳光下会出现显示屏的显示不良或无法显示的问题。为了解决上述问题，发明人提出一种光调制像素单元，利用光的干涉原理对白色光线进行调制，所述光调制器像素单元主要应用于平板显示系统、微显示系统。

下面对本实用新型的光调制器像素单元的器件结构进行说明。

请参考图2，图2是本实用新型一个实施例的光调制器像素单元的结构示意图。光调制器像素单元200包括：

衬底201，所述衬底201上形成有层间介质层227，所述层间介质层227内形成有空腔219，位于所述层间介质层227内，所述空腔219具有空腔壁；底部电极205，位于所述衬底201上，且所述底部电极205的位置与所述空腔219的位置对应，所述底部电极205与控制电路的第一控制端202电连接；

顶部电极221，位于所述衬底201和空腔219上的层间介质层227内，所述顶部电极221的位置与所述底部电极205的位置对应，所述顶部电极221与控制电路的第三控制端203电连接，所述顶部电极221为半透光的金属薄膜；

滤光片235，位于所述顶部电极221上，所述滤光片235用于将输入所述光调制器像素单元的白色光线过滤为第一光线、第二光线或第三光线，所述第一光线、第二光线、第三光线为三基色光线；

可动电极212，位于所述底部电极205与顶部电极221之间的空腔内，所述可动电极212与控制电路的第二控制端204电连接，所述可动电极212面向顶部电极221的表面为光线反射面，所述可动电极212能够沿垂直于光线反射面的方向移动，所述可动电极212与顶部电极221之间以及所述可动电极212与底部电极205之间具有电绝缘材料；

所述顶部电极221、可动电极212、底部电极205位置相对应在控制电路控制下，所述可动电极212的位置会发生偏移，分别位于第一位置、第二位置或第三位置，当可动电极212位于第一位置时，入射至光调制器像素单元200的第一光线的经由顶部电极221反射的光线与透过顶部电极221的由可动电极212反射的并再透过顶部电极221的光线发生相消干涉；当可动电极212位于第二位置时，入射至光调制器像素单元200的第二光线的经由顶部电极221反射的光线与透过顶部电极221的由可动电极212反射的并再透过顶部电极221的光线发生相消干涉；当可动电极212位于第三位置时，入射至光调制器像素单元200的第三光线的经由顶部电极221反射的光线与透过顶部电极221的由可动电极212反射的并再透过顶部电极221的光线的发生相消干涉；所述第一光线、第二光线、第三光线为三基色光线。

具体地，作为一个实施例，所述衬底201为半导体衬底，例如为硅、锗或砷化镓等等。作为其他的实施例，所述衬底201还可以为玻璃基板。下面将以所述衬底201为半导体衬底为例进行说明。

所述控制电路用于对衬底201内的各个结构(例如可动电极212、顶部电极221和底部电极205)施加控制信号，所述控制电路具有第一控制端202、第二控制端204、第三控制端203。所述控制电路可以形成于所述衬底201内(当衬底201为半导体衬底时)，也可以形成于另一半导体衬底内，通过导电结构与衬底201上的各个结构电连接。

仍然参考图2，作为一个实施例，所述层间介质层227覆盖所述衬底201的表面，所述空腔219分为第一部分208和第二部分217，所述第一部分208位于空腔219的下部，所述第二部分217位于空腔219的上部。

所述底部电极205位于所述衬底201上并与衬底201之间的层间介质层227内。

所述顶部电极221位于空腔219的第二部分217与衬底201之间的层间介质层227内。

所述可动电极212位于所述空腔219内，空腔219的尺寸和形状与可动电极212的尺寸和形状对应，所述可动电极212与所述空腔219的空腔壁之间具有间隙，用于容纳可动电极212的运动，所述可动电极212面积小于顶部电极221的面积。

所述可动电极212，位于所述底部电极205与顶部电极221之间，所述可动电极212与第二控制端204电连接，所述可动电极212面向顶部电极221的表面为光线反射面，所述可动电极212能够沿垂直于光线反射面的方向移动，所述可动电极212与顶部电极221之间以及所述可动电极212与底部电极221之间具有电绝缘材料。其中，本实用新型所述的光线反射面，具体是指平行光线入射至光线反射面后，经反射后形成的反射光线仍然为平行光线(即光线发射表面对入射光线的反射为镜面反射)。

进一步地，本实施例中，所述可动电极212与顶部电极221之间具有顶部绝缘层224，所述顶部绝缘层224包括位于可动电极212上的第二绝缘层214和顶部电极221之间的第一绝缘层223，所述第一绝缘层223直接采用部分层间介质层227。此外，还可以在顶部电极221下方额外形成绝缘材料以便对可动电极212和顶部电极221之间进行电学绝缘。

所述可动电极212与底部电极205之间具有底部绝缘层211。本实施例中，所述底部绝缘层211直接采用部分的层间介质层227。此外，还可以在可动电极212与底部电极205之间额外形成绝缘材料以便可动电极212与底部电极205之间进行电学绝缘。

所述顶部电极221、可动电极212、底部电极205位置相对应，所述可动电极212面积小于顶部电极221的面积，在控制电路控制下，所述可动电极212的位置会发生偏移。

所述层间介质层227内形成有多个第二导电插塞215。所述第二导电插塞215将第二控制端204和可动电极212电连接，所述多个第二导电插塞215关于可动电极212的中心对称。本实施例中，所述多个第二导电插塞215为2个，由于截面的关系，图1中仅示出了一个第二导电插塞215，后续图2中将会进一步介绍第二导电插塞215与可动电极212和空腔219的关系。

所述层间介质层227内还形成有第一导电插塞206、第三导电插塞222。其中所述第一导电插塞206用于将第一控制端202和底部电极205电连接，所述第三导电插塞222用于将第三控制端203和顶部电极221电连接。

进一步地，所述顶部电极221用于分光，即用于将从顶部电极221上方入射的光线一分为二，因此所述顶部电极221为半透光的金属薄膜。发明人发现，金属薄膜在厚度为30～300埃时，具有半透光的性质，可以将入射光线一半透过，一半反射。发明人还发现，金属薄膜半透光的性质主要取决于金属层的厚度，与入射光线的波长关系不大。本实用新型利用金属薄膜厚度为30～300埃时具有半透光的性质，将其作为半透光薄膜，进行分光。其中，所述金属为银、铝、铜、钛、铂金、金、镍、钴或者其中的组合。

由于顶部电极221位于层间介质层227内，光线自滤光片235入射光调制器像素单元200时，被所述滤光片235过滤为第一光线、第二光线或第三光线，所述第一光线、第二光线或第三光线到达所述顶部电极221，由于所述顶部电极221远离底部电极205的表面为光线反射面，因此，从顶部电极221上方入射的第一光线、第二光线或第三光线被顶部电极221分为第一部分和第二部分。即第一部分被顶部电极221反射面反射，第二部分透过所述顶部电极221入射可动电极212。

作为一个实施例，所述可动电极212的材质为金属，所述金属为银、铝、铜、钛、铂金、金、镍、钴或者其中的组合。所述可动电极212的厚度范围为800～10000埃。

进一步地，参考图2所示，所述第一绝缘层223为层间介质层227的一部分，这样不需要额外的工艺步骤形成第一绝缘层223。所述第二绝缘层214形成于所述可动电极212的光线反射面上方。所述第二绝缘层214为额外形成的电绝缘层，所述电绝缘层的材质为氧化硅、氮氧化硅、碳化硅、氮化硅或者其中的组合。

作为本实用新型的一个实施例，所述第二绝缘层214随着可动电极212在空腔219内沿垂直于光线反射面的方向偏移运动而偏移运动。由于可动电极223的材质为金属，制作过程中工艺条件的限制会造成厚度不均匀或使用过程中可动电极212反复运动会造成金属疲劳(金属失效，或失去弹性)，本实用新型在可动电极212上方设置第二绝缘层214，可以增大可动电极212的刚性。

因此，本实用新型所述的可动电极212在空腔219内偏移运动的时候，可动电极212上方的第二绝缘层214也会跟随可动电极212一起进行偏移运动，另外，由于第二绝缘层214是完全透光的，因此光线可以穿过第二绝缘层214到达可动电极212，并在可动电极212的表面发生反射。

在其他的实施例中，若通过优化制作工艺、材质选择合适，也可使得可动电极212具有良好的刚性，这样不用在可动电极212的光线反射面设置第二绝缘层214。此时，顶部绝缘层仅由第一绝缘层223构成，即可动电极212和顶部电极221之间仅有第一绝缘层223进行电学绝缘，本实施例中，所述第一绝缘层223直接利用所述层间介质层的一部分，也可以额外在顶部电极221下形成绝缘材料，比如采用氧化硅、氮氧化硅、碳化硅、氮化硅或者其中的组合。

本实用新型所述的顶部绝缘层224的厚度与调制的入射光线的波长有关，因此，顶部绝缘层224的厚度应根据待调制的入射光线波长进行确定。在本实施例中，顶部绝缘层224的厚度应满足可动电极212运动至第一位置时，所述可动电极212的光线反射面与顶部电极221的距离为第一光线波长的1/4的奇数倍。由于位于第一位置时，可动电极212与顶部电极221之间没有间隙，只有顶部绝缘层224，因此所述顶部绝缘层224的厚度与顶部电极221的厚度之和应等于第一光线波长的1/4的奇数倍。所述顶部绝缘层224确定后，第一绝缘层223和第二绝缘层214的厚度可以根据实际情况进行设置。

所述可动电极212与底部电极205之间的底部绝缘层211用于可动电极212与底部电极205电学绝缘。作为本实用新型的一个实施例，所述底部绝缘层211可以为所述层间介质层227的一部分，这样无需额外制作电学绝缘层；作为本实用新型的又一实施例，所述底部绝缘层211为额外制作的电学绝缘层，其材质选自氧化硅、氮氧化硅、碳化硅、氮化硅或者其中的组合。

为了更好的说明本实用新型的光调制器像素单元结构，请参考图2，为图1沿AA的剖面结构示意图。所述可动电极212与所述空腔219的空腔壁之间具有间隙，以便可动电极212的偏移运动，所述可动电极212通过多个第二导电插塞215与控制电路的第二控制端204电连接，所述多个第二导电插塞215关于可动电极212的中心对称。所述第二导电插塞215一方面用于可动电极212与第二控制端204电连接，另一方面，所述第二导电插塞215用于将可动电极212悬空于空腔219内，支撑可动电极212运动。所述第二导电插塞215的数目可以为2个或2个以上，本实施例中为2个，由于可动电极212通过第二导电插塞215接收来自控制电路的静电力，在保证可动电极212受到的静电力平衡的情况下，第二导电插塞212的排布可以根据实际进行设置。下面结合图2，所述控制电路通过第一控制端202、第二控制端204、第三控制端203分别与所述底部电极205、可动电极212、顶部电极221电连接。由于顶部电极221、可动电极212之间设置顶部绝缘层224，因而顶部电极221、顶部绝缘层224与可动电极212构成第一电容结构。若控制电路对第二控制端204、第三控制端203之间施加电信号(相当于对第一电容结构充电)，在顶部电极221、可动电极212之间会产生第一静电力，所述第一静电力使得可动电极212(包括可动电极212上方的第二绝缘层214)向顶部电极221偏移运动(第二导电插塞215与可动电极212电连接，从而第二导电插塞215发生弹性变形)，所述可动电极212会移动至顶部绝缘层224的第一绝缘层223与第二绝缘层214接触，此时所述可动电极212位于第一位置，所述可动电极212的光线反射面与顶部电极221之间具有第一预定距离，所述第一预定距离应等于第一光线波长的1/4的奇数倍。此时，若第一光线入射至光调制器像素单元200，则第一光线经过顶部电极221被分为第一部分和第二部分，其中第一部分被顶部电极221反射，第二部分则透过顶部电极221传输至可动电极212的光线反射面，然后被光线反射面反射至顶部电极221，并透过顶部电极221向上传输，从而第一光线的第二部分相对于第一部分的波长差为第一光线波长的1/2的奇数倍。由于第一光线的第二部分和第一部分频率相同，并且第二部分相对于第一部分的波长差为第一光线波长的1/2的奇数倍，因此，第一光线的第二部分与第一部分会发生相消干涉，光调制器像素单元200输出为零(全黑)。

若控制电路对第二控制端204、第三控制端203之间没有施加电信号或者撤去电信号，则在顶部电极221、可动电极212之间产生的第一静电力消失，第二导电插塞215恢复至弹性形变前的状态，从而可动电极212在第二导电插塞215的牵引作用下，进行偏移运动至放松状态。此时所述可动电极212位于第二位置，可动电极212的光线反射面与顶部电极221之间具有第二预定距离，所述第二预定距离应等于第二光线波长的1/4的奇数倍，此时，若第二光线入射至光调制器像素单元200，则第二光线经过顶部电极221被分为第一部分和第二部分，其中第一部分被顶部电极221反射，第二部分则透过顶部电极221传输至可动电极212的光线反射面，然后被光线反射面反射至顶部电极221，并透过顶部电极221向上传输，从而第二光线的第二部分相对于第一部分的波长差为第二光线波长的1/2的奇数倍。由于第二光线的第二部分和第一部分频率相同，并且第二部分相对于第一部分的波长差为第二光线波长的1/2的奇数倍，因此，第二光线的第二部分与第一部分发生相消干涉，光调制器像素单元200输出为零(全黑)。

可动电极212、底部电极205之间设置有底部绝缘层211，所述可动电极212、底部绝缘层211、底部电极205构成第二电容结构。若控制电路对第一控制端202、第二控制端204之间施加电信号(相当于对第二电容结构充电)，则在可动电极212、底部电极205之间产生第二静电力，所述第二静电力使得可动电极212朝向底部电极205偏移运动(第二导电插塞215与可动电极212电连接，从而第二导电插塞215发生弹性变形)，所述可动电极212会移动至可动电极212与空腔219底部接触，此时所述可动电极212位于第三位置，可动电极212的光线反射面与顶部电极221之间具有第三预定距离，所述第三预定距离应等于第三光线波长的1/4的奇数倍，此时，若第三光线入射至光调制器像素单元200，则第三光线经过顶部电极221被分为第一部分和第二部分，其中第一部分被顶部电极221反射，第二部分则透过顶部电极221传输至可动电极212的光线反射面，然后被光线反射面反射至顶部电极221，并透过顶部电极221向上传输，从而第三光线的第二部分相对于第一部分的波长差为第三光线的波长的1/2的奇数倍。由于第三光线的第二部分和第一部分频率相同，并且第二部分与第一部分的波长差为第三光线的波长的1/2的奇数倍，因此，第三光线第二部分与第一部分发生相消干涉，光调制器像素单元200输出为零(全黑)。

从上述分析可知，当可动电极212的光线反射面与顶部电极221的距离等于第一光线波长的1/4奇数倍时，光调制器像素单元200输入第一光线，输出为全黑，若光调制器像素单元200输入第二光线或第三光线，则此时的光调制器像素单元200相对于第二光线和第三光线为镜面，即光调制器像素单元200输入第二光线，反射第二光线并将其输出；或输入第三光线，同样反射第三光线并将其输出。

同理，对于当可动电极212的光线反射面与顶部电极221的距离等于第二光线波长的1/4奇数倍时，光调制器像素单元200输入第二光线，输出为全黑；光调制器像素单元200输入第三光线或第一光线，则此时光调制器像素单元200相对于第三光线或第一光线为镜面，即光调制器像素单元200输入第一光线，反射第一光线并将其输出；光调制器像素单元200输入第三光线，反射第三光线并将其输出。

对于当可动电极212的光线反射面与顶部电极221的距离等于第三波长的1/4奇数倍时，光调制器像素单元200输入第三光线，输出为全黑；此时光调制器像素单元200相对于第一光线或第二光线为镜面，即光调制器像素单元200输入第一光线，反射第一光线并将其输出；或输入第二光线，反射第二光线并将其输出。

由于可以利用白色光线作为光源，从而本实用新型所述的MEMS光调制器可以直接利用日光灯或太阳光作为光源，利用滤光片对日光灯或太阳光发出的白色光线进行过滤，从而无需专门的单色光源，由于滤光片的成本远低于单色光源的成本，因此本实施例的MEMS光调制器的成本比现有的光调制器降低。

本实用新型实施例的MEMS光调制器可以对白光光源发出的白光进行调制，无需专门的三基色光源，从而解决了现有的MEMS光调制器无法在白光光源下正常显示的问题，本实用新型的MEMS光调制器特别适合应用于平板显示系统。

本实用新型的实施例提供MEMS光调制器，所述MEMS光调制器包括用于调制第一光线的第一光调制器像素单元、用于调制第二光线的第二光调制器像素单元和用于调制第三光线的第三光调制器像素单元，所述第一光调制器像素单元、第二光调制器像素单元和第三光调制器像素单元包括滤光片，所述滤光片将白色光线过滤为三基色光线，使得所述第一光调制器像素单元、第二光调制器像素单元和第三光调制器像素单元能够分别调制第一光线、第二光线或第三光线，本实用新型实施例的MEMS光调制器可以对白光光源发出的白光进行调制，无需专门的三基色光源，从而解决了现有的MEMS光调制器无法在白光光源下正常显示的问题，本实用新型的MEMS光调制器特别适合应用于平板显示系统。

本实用新型虽然已以较佳实施例公开如上，但其并不是用来限定本实用新型，任何本领域技术人员在不脱离本实用新型的精神和范围内，都可以利用上述揭示的方法和技术内容对本实用新型技术方案做出可能的变动和修改，因此，凡是未脱离本实用新型技术方案的内容，依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化及修饰，均属于本实用新型技术方案的保护范围。

Claims (7)

1.一种光调制器像素单元，其特征在于，包括：

衬底；

所述衬底上具有含有空腔的层间介质层；

底部电极，位于所述衬底上对应所述空腔的位置；

顶部电极，位于所述空腔上方对应于底部电极位置的层间介质层内，所述顶

部电极为半透光的金属薄膜；

滤光片，位于所述顶部电极上，用于将白光转换为三基色光线；

可动电极，位于所述底部电极与顶部电极之间的空腔内，所述可动电极面向顶部电极的表面为光线反射面，所述可动电极能够沿垂直于光线反射面的方向移动，并分别位于第一位置、第二位置或第三位置，使得三基色光线中的一种透过顶部电极并经可动电极反射后的光线在顶部电极发生干涉。

2.如权利要求1所述的光调制器像素单元，其特征在于，所述底部电极与所述衬底之间电学绝缘；所述顶部电极与所述衬底之间电学绝缘。

3.如权利要求1所述的光调制器像素单元，其特征在于，

所述层间介质层覆盖所述衬底表面；

所述底部电极位于覆盖衬底表面的层间介质层内；

所述可动电极位于所述空腔内，所述可动电极与所述空腔的空腔壁之间具有间隙，用于容纳可动电极的运动。

4.如权利要求3所述的光调制器像素单元，其特征在于，还包括：位于衬底内的控制电路，所述底部电极与所述控制电路的第一控制端电连接，所述可动电极与所述控制电路的第二控制端电连接，所述顶部电极与所述控制电路的第三控制端电连接，所述层间介质层内形成有多个第二导电插塞，所述多个第二导电插塞将第二控制端和可动电极电连接，所述多个第二导电插塞关于可动电极的中心对称。

5.如权利要求1所述的光调制器像素单元，其特征在于，所述顶部电极材质为金属，厚度范围为30～300埃。

6.如权利要求1所述的光调制器像素单元，其特征在于，所述可动电极的材质为金属，厚度范围为800～10000埃。

7.如权利要求1所述的光调制器像素单元，其特征在于，所述可动电极上形成有顶部绝缘层，所述顶部绝缘层用于增大可动电极的刚性。

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