CN202083828U - 显微镜载物台改良结构 - Google Patents
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Abstract
本实用新型是有关于一种显微镜载物台改良结构，是用以承载一芯片支持环，包括有一底座及二卡槽。其中，底座设置于一显微镜载物台上，而二卡槽则固设于底座的相对二侧，使芯片支持环可滑设于二卡槽内。由此，含芯片的芯片支持环可从显微镜载物台的右侧平行插入二卡槽内，可确保芯片支持环放入显微镜载物台时，其内的芯片不会与显微镜的物镜撞击。
Description
技术领域
本实用新型是关于一种载物台改良结构，尤指一种适用于承载一芯片支持环的显微镜载物台改良结构。
背景技术
请参阅图1是已知的显微镜载物台的立体图，显微镜机座92上具有二水平滑轨93，而显微镜载物台90则由其底面的二水平滑块91而可左右滑设于显微镜机座92的二水平滑轨93上，显微镜载物台90上，用以承载一芯片支持环94，芯片支持环94内容设有一芯片95，作业人员是利用显微镜96上的物镜97目视检验芯片95上是否有缺点，进而判断该芯片95是否合格。
一般而言，以显微镜96检验芯片95时，于检验芯片95前，为防止芯片支持环94放入显微镜载物台90时，作业人员需将显微镜载物台90必须降到最低点，显微镜96的物镜97的倍率调为最低(亦即相对地使显微镜96的物镜97向上升高)，之后将显微镜载物台90移至最右端，再将芯片支持环94放上显微镜载物台90，重新将显微镜载物台90左移至显微镜96的物镜97下，再调整显微镜96的倍数、焦距等，方可开始进而芯片95的检验动作。
如上所言，上述的操作程序，其动作要求过多，若作业人员忘记将显微镜载物台90降到最低点，或显微镜96的物镜97倍数未调整，或者作业人员稍有疏忽，将芯片支持环94以倾斜角度放入显微镜载物台90时，则芯片支持环94的芯片95会与显微镜96的物镜97碰触，对芯片95的晶面造成刮伤甚至破片，并非十分理想，尚有改善空间。
创作人原因于此，本于积极发明创作的精神，亟思一种可以解决上述问题的“显微镜载物台改良结构”，几经研究实验终至完成本实用新型。
实用新型内容
本实用新型的主要目的是在提供一种显微镜载物台改良结构，以便能将含芯片(wafer)的芯片支持环(frame)从显微镜载物台的右侧水平平行插入二卡槽内，可确保芯片支持环放入显微镜载物台检验时，其内的芯片不会与显微镜的物镜撞击，且芯片支持环放入显微镜载物台的动作也符合人体工学原理，作业人员操作容易方便。
为达上述的目的，本实用新型的显微镜载物台改良结构是用以承载一芯片支持环，包括有一底座及二卡槽。其中，底座设置于一显微镜载物台上，而二卡槽则固设于底座的相对二侧，使芯片支持环可滑设于二卡槽内。
上述底座与二卡槽可为一体式结构，也可为分离式的三件式结构再组合而成。
上述显微镜载物台可由二水平滑块而滑设于一相对应具有二水平滑轨的显微镜机座上。
上述二卡槽可相互平行，且等间距水平设置。
上述底座可由一双面胶粘设于显微镜载物台上，当然也可采用其它的固定技术手段，如螺设、铆设等技术手段。
上述卡槽可为铝合金材质、或聚缩醛树脂(POM：polyoxymethylene)材质、或其它等效材质的结构。
本实用新型的有益效果是：其可将含芯片的芯片支持环从显微镜载物台的右侧水平平行插入二卡槽内，可确保芯片支持环放入显微镜载物台检验时，其内的芯片不会与显微镜的物镜撞击，且芯片支持环放入显微镜载物台的动作也符合人体工学原理，作业人员操作容易方便。
附图说明
以下由附图以及本实用新型的较佳实施例，进一步阐述本实用新型为达上述目的所使用的技术手段，其中：
图1是已知的显微镜载物台的立体图。
图2是本实用新型一较佳实施例的显微镜载物台的分解图。
图3是本实用新型一较佳实施例的显微镜载物台的立体图。
具体实施方式
请参阅图2与图3，其分别为本实用新型一较佳实施例的显微镜载物台的分解图与立体图。本实施例的显微镜载物台改良结构，用以承载一芯片支持环40，芯片支持环40内则容设有一芯片41。
如图所示，显微镜机座50上具有二水平滑轨51，而显微镜载物台30则藉由其底面的二水平滑块31而可左右滑设于显微镜机座50的二水平滑轨51上，显微镜载物台30上并设置有一底座10，且底座10的相对二侧固设有二卡槽20，二卡槽20的间距恰好与芯片支持环40的最大外径相对应，可使芯片支持环40左右滑设于二卡槽20内，而不会掉落卡槽20外。
在本实施例中，底座10与二卡槽20是为一体式结构，且二卡槽20是相互平行设置于底座10上。此外，底座10是由一双面胶15而粘设于显微镜载物台30上。又，在本实施例中，卡槽20与底座10皆为聚缩醛树脂(POM：polyoxymethylene，俗称塑料钢)材质的结构。
由此，本实施例可将具有芯片41的芯片支持环40从显微镜载物台30的右侧以水平方式平行插入二卡槽20内，而不能如已知方式以倾斜角度将芯片支持环放入显微镜载物台上，可确保芯片支持环40放入显微镜载物台30检验时，芯片支持环40上的芯片41不会与显微镜35的物镜351撞击，且芯片支持环40放入显微镜载物台30的动作也符合人体工学原理，作业人员操作容易方便。
上述实施例仅是为了方便说明而举例而已，本实用新型所主张的权利范围自应以权利要求范围所述为准，而非仅限于上述实施例。
Claims (7)
1.一种显微镜载物台改良结构，用以承载一芯片支持环，其特征在于，包括：
一底座，设置于一显微镜载物台上；以及
二卡槽，固设于该底座的相对二侧，该芯片支持环滑设于该二卡槽内。
2.如权利要求1所述的显微镜载物台改良结构，其特征在于，其中，该底座与该二卡槽为一体式结构。
3.如权利要求1所述的显微镜载物台改良结构，其特征在于，其中，该显微镜载物台由二水平滑块而滑设于一相对应具有二水平滑轨的显微镜机座上。
4.如权利要求1所述的显微镜载物台改良结构，其特征在于，其中，该二卡槽相互平行。
5.如权利要求1所述的显微镜载物台改良结构，其特征在于，其中，该底座由一双面胶粘设于该显微镜载物台上。
6.如权利要求1所述的显微镜载物台改良结构，其特征在于，其中，该卡槽为铝合金材质的结构。
7.如权利要求1所述的显微镜载物台改良结构，其特征在于，其中，该卡槽为聚缩醛树脂材质的结构。
Priority Applications (2)
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|---|---|---|---|
| CN2011201382823U CN202083828U (zh) | 2011-05-05 | 2011-05-05 | 显微镜载物台改良结构 |
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Applications Claiming Priority (1)
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|---|---|---|---|
| CN2011201382823U CN202083828U (zh) | 2011-05-05 | 2011-05-05 | 显微镜载物台改良结构 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
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| CN202083828U true CN202083828U (zh) | 2011-12-21 |
Family
ID=45344452
Family Applications (1)
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Country Status (2)
| Country | Link |
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| TW (1) | TWM415308U (zh) |
Cited By (2)
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|---|---|---|---|---|
| CN106526825A (zh) * | 2015-10-22 | 2017-03-22 | 安徽超元半导体有限公司 | 一种用于晶圆目检的显微镜 |
| CN111413337A (zh) * | 2016-08-29 | 2020-07-14 | 爱威科技股份有限公司 | 镜检平台及包括其的镜检装置 |
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- 2011-06-03 TW TW100210161U patent/TWM415308U/zh not_active IP Right Cessation
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| CN112326660A (zh) * | 2016-08-29 | 2021-02-05 | 爱威科技股份有限公司 | 样本检测系统 |
| CN112326660B (zh) * | 2016-08-29 | 2024-01-02 | 爱威科技股份有限公司 | 样本检测系统 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
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| TWM415308U (en) | 2011-11-01 |
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