CN202040334U - 窄形磁性流体密封装置 - Google Patents

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Abstract

本实用新型涉及一种窄形磁性流体密封装置，它包括同轴的壳体、磁铁及位于磁铁两侧的环形磁极、第一间隔环、第二间隔环、密封盖、磁性中空回转轴、向心推力圆柱轴承、轴承轴用挡圈；所述向心推力圆柱轴承固定在磁性中空回转轴轴肩与轴承轴用挡圈之间，磁铁及位于磁铁两侧的环形磁极与向心推力圆柱轴承、第一间隔环、第二间隔环按一定顺序安装在同轴壳体内腔的轴肩及密封盖之间。本实用新型具有如下优点：采用了高刚性向心推力圆柱轴承，可承受径向、轴向以及惯性力等综合负载，磁性流体密封装置长度比现有长度可缩短35％～50％；在磁性中空回转轴内还可设置小尺寸的磁性流体密封装置，可以成为两轴同时旋转的磁性流体密封装置。

Description

窄形磁性流体密封装置
技术领域：
本实用新型涉及一种工程元件或部件的密封装置，尤其是涉及一种窄形磁性流体密封装置。。
背景技术：
现有技术中，由磁场将磁性流体固定于旋转轴的周围、形成非机械接触的密封装置，被广泛应用于半导体太阳能电池以及LED等生产设备中。在这些真空设备中，对工件进行处理时，往往需要外部旋转动力，在某些场合中还需轴向力，将工件进行转动或移动，另外，在需要在真空腔体内导入工艺气体、电流、冷却介质等场合，常使用空心轴的磁性流体密封装置，且工艺布置中期待减小磁性流体密封装置的长度。而现有的磁性流体密封装置常用的布置方式是在二个相隔一定距离的向心滚珠球轴承之间设置密封装置，一是密封装置的长度无法减小、二是不能承受轴向力，无法满足生产上的需要。
实用新型内容：
本实用新型的目的是针对现有技术不足之处而提供一种承载能力大的、密封装置长度小的窄形磁性流体密封装置。
本实用新型的目的是通过以下措施来实现：一种窄形磁性流体密封装置，它包括同轴的壳体、磁铁及位于磁铁两侧的环形磁极、第一间隔环、第二间隔环、密封盖，其特征在于，还有磁性中空回转轴、向心推力圆柱轴承、轴承轴用挡圈；所述同轴壳体内腔设有轴肩，所述磁性中空回转轴设有轴肩及安装轴承轴用挡圈的卡槽，所述磁性中空回转轴位于环形磁极部位设有环形槽；所述向心推力圆柱轴承固定在磁性中空回转轴轴肩与轴承轴用挡圈之间，磁铁及位于磁铁两侧的环形磁极与向心推力圆柱轴承、第一间隔环、第二间隔环按一定顺序安装在同轴壳体内腔的轴肩及密封盖之间。
所述磁铁及位于磁铁两侧的环形磁极与向心推力圆柱轴承、第一间隔环、第二间隔环按一定顺序安装在同轴壳体内腔为磁铁及位于磁铁两侧的环形磁极、第一间隔环、向心推力圆柱轴承、第二间隔环顺序装入，磁铁及位于磁铁两侧的环形磁极的环形磁极侧壁紧靠同轴壳体内腔的轴肩。
所述磁铁及位于磁铁两侧的环形磁极与向心推力圆柱轴承、间隔环按一定顺序安装在同轴壳体内腔为向心推力圆柱轴承、第一间隔环、磁铁及位于磁铁两侧的环形磁极、第二间隔环顺序装入，向心推力圆柱轴承的侧壁紧靠同轴壳体内腔的轴肩。
所述环形磁极与磁性中空回转轴之间的间隙呈阶梯式变动，高真空侧的密封间隙相对大，低真空侧的密封间隙相对小。
与现有技术相比，采用了本实用新型提出的窄形磁性流体密封装置，具有如下优点：1)采用了高刚性向心推力圆柱轴承，可承受径向、轴向以及惯性力等综合负载；2)磁性流体密封装置长度比现有长度可缩短35％～50％；3)在磁性中空回转轴内还可设置小尺寸的磁性流体密封装置，可以成为两轴同时旋转的磁性流体密封装置。
附图说明：
图1是本实用新型提出的一个实施例结构示意图。
图2是本实用新型提出的另一个实施例结构示意图。
具体实施方式：
下面结合附图对具体实施方式作详细说明：在图1所示本实用新型的一个实施例。图中，一种窄形磁性流体密封装置，它包括同轴的壳体1、磁铁2及位于磁铁两侧的环形磁极3、第一间隔环4、第二间隔环5、密封盖6、磁性中空回转轴7、向心推力圆柱轴承8、轴承轴用挡圈9；所述同轴壳体1内腔设有轴肩11，所述磁性中空回转轴7设有轴肩71及安装轴承轴用挡圈9的卡槽，所述磁性中空回转轴7位于环形磁极3部位设有环形槽72；所述向心推力圆柱轴承8固定在磁性中空回转轴7轴肩71与轴承轴用挡圈9之间，磁铁2及位于磁铁两侧的环形磁极3、第一间隔环4、向心推力圆柱轴承8、第二间隔环5顺序装入同轴壳体1内腔的轴肩11及密封盖6之间，磁铁2及位于磁铁两侧的环形磁极3的环形磁极侧壁紧靠同轴壳体1内腔的轴肩11。
图2给出了与图1实施例类似的结构，所不同的是：磁铁2及位于磁铁两侧的环形磁极3与向心推力圆柱轴承8、第一间隔环4、第二间隔环5按一定顺序安装在同轴壳体1内腔为向心推力圆柱轴承8、第一间隔环4、磁铁2及位于磁铁两侧的环形磁极3、第二间隔环5顺序装入，向心推力圆柱轴承8的侧壁紧靠同轴壳体1内腔的轴肩11。
图1、图2两种实施例的选择是根据外部大气侧负载或方向不同来确定，可以将轴承设置在大气侧或真空侧。本实用新型进一步采取如下措施：所述环形磁极与磁性中空回转轴之间的间隙呈阶梯式变动，高真空侧的密封间隙相对大，低真空侧的密封间隙相对小。这有利于真空侧真空度的稳定。
上面结合附图描述了本实用新型的实施方式，实施例给出的结构并不构成对本实用新型的限制，本领域内熟练的技术人员在所附权利要求的范围内做出各种变形或修改均在保护范围内。

Claims (5)

1.一种窄形磁性流体密封装置，它包括同轴的壳体、磁铁及位于磁铁两侧的环形磁极、第一间隔环、第二间隔环、密封盖，其特征在于，还有磁性中空回转轴、向心推力圆柱轴承、轴承轴用挡圈；所述同轴壳体内腔设有轴肩，所述磁性中空回转轴设有轴肩及安装轴承轴用挡圈的卡槽，所述磁性中空回转轴位于环形磁极部位设有环形槽；所述向心推力圆柱轴承固定在磁性中空回转轴轴肩与轴承轴用挡圈之间，磁铁及位于磁铁两侧的环形磁极与向心推力圆柱轴承、第一间隔环、第二间隔环按一定顺序安装在同轴壳体内腔的轴肩及密封盖之间。
2.根据权利要求1所述的窄形磁性流体密封装置，其特征在于，所述磁铁及位于磁铁两侧的环形磁极与向心推力圆柱轴承、第一间隔环、第二间隔环按一定顺序安装在同轴壳体内腔为磁铁及位于磁铁两侧的环形磁极、第一间隔环、向心推力圆柱轴承、第二间隔环顺序装入，磁铁及位于磁铁两侧的环形磁极的环形磁极侧壁紧靠同轴壳体内腔的轴肩。
3.根据权利要求1所述的窄形磁性流体密封装置，其特征在于，所述磁铁及位于磁铁两侧的环形磁极与向心推力圆柱轴承、间隔环按一定顺序安装在同轴壳体内腔为向心推力圆柱轴承、第一间隔环、磁铁及位于磁铁两侧的环形磁极、第二间隔环顺序装入，向心推力圆柱轴承的侧壁紧靠同轴壳体内腔的轴肩。
4.根据权利要求1或2所述的窄形磁性流体密封装置，其特征在于，所述环形磁极与磁性中空回转轴之间的间隙呈阶梯式变动，高真空侧的密封间隙相对大，低真空侧的密封间隙相对小。
5.根据权利要求3所述的窄形磁性流体密封装置，其特征在于，所述环形磁极与磁性中空回转轴之间的间隙呈阶梯式变动，高真空侧的密封间隙相对大，低真空侧的密封间隙相对小。
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