CN201915163U - 一种太阳能硅单晶炉的充气装置 - Google Patents
一种太阳能硅单晶炉的充气装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN201915163U CN201915163U CN2010205412895U CN201020541289U CN201915163U CN 201915163 U CN201915163 U CN 201915163U CN 2010205412895 U CN2010205412895 U CN 2010205412895U CN 201020541289 U CN201020541289 U CN 201020541289U CN 201915163 U CN201915163 U CN 201915163U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- valve
- normally closed
- electromagnet cut
- closed electromagnet
- manual diaphragm
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Fluid-Driven Valves (AREA)
Abstract
本实用新型涉及一种太阳能级硅单晶炉的充气装置，它由副室充气管接头1、主室充气管接头2、气源充气管接头3、第一常闭电磁截止阀7、第二常闭电磁截止阀8、第三常闭电磁截止阀9、第一手动隔膜阀4、第二手动隔膜阀6、质量流量控制器5用无缝钢管及相应管接头按特定结构顺序连接而成。通过质量流量控制器5、第二常闭电磁截止阀8、第三常闭电磁截止阀9来实现对硅单晶炉主室和副室进行自动精确充气；通过第一常闭电磁截止阀7来实现对硅单晶炉副室的自动快速充气；通过第一手动隔膜阀4和第二手动隔膜阀6来实现对硅单晶炉的主室和副室进行手动充气。本实用新型使用方便，结构简单。
Description
所属技术领域
本实用新型涉及一种太阳能硅单晶的炉充气装置，所属技术领域为太阳能光伏产业。它适用于采用直拉法工艺拉制太阳能级单晶硅的硅单晶炉，尤其是要求对硅单晶炉充气量有精确控制要求及有断电应急手动操作功能要求的硅单晶炉。
背景技术
目前公知的太阳能级直拉法硅单晶炉的充气装置主要有采用电磁阀或气动阀实现自动控制或完全手动控制两种，也有部分的硅单晶炉在采用自动控制的同时在副室部分又增加了一路手动控制阀。目前还没有具有手动和自动控制功能一体的硅单晶炉充气装置。一般来说，手动控制的充气装置需要完全由人手工操作，且对充气量的控制也要靠人工来调节，精确度不高，也不能实现自动化控制。自动控制充气装置用三个常闭电磁截止阀或气动阀来控制对硅单晶炉的主室和副室充气，它在突然断电时就不能工作，而且缺少断电保护功能，而仅在副室部分增加了一路手动控制阀，也只能应急保护硅料而不能将生产工艺过程继续下去。
发明内容
为了解决现有硅单晶炉充气装置中存在的不足，实现自动精确充气控制和应急手动控制功能兼备，本实用新型提供了一种新型的太阳能级硅单晶炉充气装置。该装置不但具有通常充气装置的充气功能，还具有断电应急手动控制功能，并可选择自动控制和手动控制。
本实用新型所采用的技术方案是：充气装置中的副室充气管接头1、主室充气管接头2、气源充气管接头3、第一常闭电磁截止阀7、第二常闭电磁截止阀8、第三常闭电磁截止阀9、第一手动隔膜阀4、第二手动隔膜阀6和质量流量控制器5按特定结构连接固定在面板上，第一手动隔膜阀4、第二手动隔膜阀6、第一常闭电磁截止阀7和质量流量控制器5并联，第一手动隔膜阀4、第二手动隔膜阀6、第一常闭电磁截止阀7和质量流量控制器5的进气口和气源充气管接头3相连接，第二常闭电磁截止阀8和第三常闭电磁截止阀9并联后与质量流量控制器5串联，第二常闭电磁截止阀8和第三常闭电磁截止阀9的进气口与质量流量控制器5的出气口相连接，第一手动隔膜阀4和第三常闭电磁截止阀9并联，第一手动隔膜阀4和第三常闭电磁截止阀9的出气口与副室充气管接头1相连接，第二常闭电磁截止阀8、第一常闭电磁截止阀7和第二手动隔膜阀6并联，第二常闭电磁截止阀8、第一常闭电磁截止阀7和第二手动隔膜阀6的出气口与主室充气管接头2相连接。
本实用新型的有益效果是：可以自由选择手动控制和自动远程控制的充气控制方式，通过质量流量控制来实现对主室及副室充气量的精确控制，同时还能在发生断电的紧急情况时采用手动控制操作，直至有备用电源接上或恢复供电。本实用新型结构简单，使用方便。
附图说明
下面结合附图对本实用新型的实施例进一步说明。
附图是本实用新型结构图。
图中1.副室充气管接头，2.主室充气管接头，3.气源充气管接头，4.第一手动隔膜阀，5.质量流量控制器，6.第二手动隔膜阀， 7.第一常闭电磁截止阀，8.第二常闭电磁截止阀，9.第三常闭电磁截止阀
具体实施方式
充气装置中的副室充气管接头1、主室充气管接头2、气源充气管接头3、第一常闭电磁截止阀7、第二常闭电磁截止阀8、第三常闭电磁截止阀9、第一手动隔膜阀4、第二手动隔膜阀6和质量流量控制器5按特定结构连接固定在面板上，第一手动隔膜阀4、第二手动隔膜阀6、第一常闭电磁截止阀7和质量流量控制器5并联，第一手动隔膜阀4、第二手动隔膜阀6、第一常闭电磁截止阀7和质量流量控制器5的进气口和气源充气管接头3相连接，第二常闭电磁截止阀8和第三常闭电磁截止阀9并联后与质量流量控制器5串联，第二常闭电磁截止阀8和第三常闭电磁截止阀9的进气口与质量流量控制器5的出气口相连接，第一手动隔膜阀4和第三常闭电磁截止阀9并联，第一手动隔膜阀4和第三常闭电磁截止阀9的出气口与副室充气管接头1相连接，第二常闭电磁截止阀8、第一常闭电磁截止阀7和第二手动隔膜阀6并联，第二常闭电磁截止阀8、第一常闭电磁截止阀7和第二手动隔膜阀6的出气口与主室充气管接头2相连接。
关闭第三常闭电磁截止阀9和第一常闭电磁截止阀7，启动第二常闭电磁截止阀8和质量流量控制器5，经自动控制系统控制质量流量控制器5的气体质量流量，可实现向副室精确充气。
关闭第二常闭电磁截止阀8和第一常闭电磁截止阀7，启动第三常闭电磁截止阀9和质量流量控制器5，经自动控制系统控制质量流量控制器5的气体质量流量，可实现向主室精确充气。
关闭第二常闭电磁截止阀8、第三常闭电磁截止阀9和质量流量控制器5， 启动第一常闭电磁截止阀7，可实现向副室快速充气。
当紧急停电时，第一常闭电磁截止阀7、第二常闭电磁截止阀8和第三常闭电磁截止阀9不工作，通过调节第一手动隔膜阀4和第二手动隔膜阀6，可实现对硅单晶炉的主室和副室进行手动充气。
Claims (1)
1.一种太阳能级硅单晶炉的充气装置，其特征是：充气装置中的副室充气管接头(1)、主室充气管接头(2)、气源充气管接头(3)、第一常闭电磁截止阀(7)、第二常闭电磁截止阀(8)、第三常闭电磁截止阀(9)、第一手动隔膜阀(4)、第二手动隔膜阀(6)和质量流量控制器(5)按特定结构连接固定在面板上，第一手动隔膜阀(4)、第二手动隔膜阀(6)、第一常闭电磁截止阀(7)和质量流量控制器(5)并联，第一手动隔膜阀(4)、第二手动隔膜阀(6)、第一常闭电磁截止阀(7)和质量流量控制器(5)的进气口和气源充气管接头(3)相连接，第二常闭电磁截止阀(8)和第三常闭电磁截止阀(9)并联后与质量流量控制器(5)串联，第二常闭电磁截止阀(8)和第三常闭电磁截止阀(9)的进气口与质量流量控制器(5)的出气口相连接，第一手动隔膜阀(4)和第三常闭电磁截止阀(9)并联，第一手动隔膜阀(4)和第三常闭电磁截止阀(9)的出气口与副室充气管接头(1)相连接，第二常闭电磁截止阀(8)、第一常闭电磁截止阀(7)和第二手动隔膜阀(6)并联，第二常闭电磁截止阀(8)、第一常闭电磁截止阀(7)和第二手动隔膜阀(6)的出气口与主室充气管接头(2)相连接。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN2010205412895U CN201915163U (zh) | 2010-09-26 | 2010-09-26 | 一种太阳能硅单晶炉的充气装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN2010205412895U CN201915163U (zh) | 2010-09-26 | 2010-09-26 | 一种太阳能硅单晶炉的充气装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN201915163U true CN201915163U (zh) | 2011-08-03 |
Family
ID=44414971
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN2010205412895U Expired - Fee Related CN201915163U (zh) | 2010-09-26 | 2010-09-26 | 一种太阳能硅单晶炉的充气装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN201915163U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106881029A (zh) * | 2017-03-10 | 2017-06-23 | 大连大特气体有限公司 | 手自一体式混合气配置系统 |
-
2010
- 2010-09-26 CN CN2010205412895U patent/CN201915163U/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106881029A (zh) * | 2017-03-10 | 2017-06-23 | 大连大特气体有限公司 | 手自一体式混合气配置系统 |
| CN106881029B (zh) * | 2017-03-10 | 2022-10-18 | 大连大特气体有限公司 | 手自一体式混合气配置系统 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN109372055A (zh) | 供水系统及其控制方法 | |
| CN201593641U (zh) | 智能控制阀 | |
| CN203731501U (zh) | 烟灶联动系统用燃气灶 | |
| CN201915163U (zh) | 一种太阳能硅单晶炉的充气装置 | |
| CN202252130U (zh) | 一种新型的节能型恒温水龙头 | |
| CN201488297U (zh) | 单管冷热水龙头电控装置 | |
| CN101839396B (zh) | 双气源气路自动转换保压装置 | |
| WO2017120950A1 (zh) | 一种智能节能空调系统 | |
| CN202692444U (zh) | 燃气热水器压力差启动装置的改良结构 | |
| CN202382431U (zh) | 管道式电子水温调节装置 | |
| CN203224006U (zh) | 一种智能空调开关 | |
| CN213809014U (zh) | 一种电子控制水路系统 | |
| CN202581668U (zh) | 无线空调机控制装置 | |
| CN202057993U (zh) | 一种气锤控制仪 | |
| CN201780515U (zh) | 反渗透装置进水温度控制装置 | |
| CN212616667U (zh) | 基于管网动态平衡的微功耗远控减压阀 | |
| CN207634800U (zh) | 一种电磁阀节能降温电源 | |
| CN220911493U (zh) | 一种用于炉灶的空燃比自适应调节系统 | |
| CN203100073U (zh) | 中央空调系统中末端设备回水温度调节阀 | |
| CN204141795U (zh) | 建筑物内空调智能控制系统 | |
| CN215257855U (zh) | 一种可根据楼栋平均室内温度控制楼栋平衡阀开度的系统 | |
| CN202545882U (zh) | 一种新型太阳能管道排空阀 | |
| CN203797989U (zh) | 一种太阳能呼吸节能装置 | |
| CN212206432U (zh) | 一种可调控热量计量装置 | |
| CN101988742A (zh) | 应用于电热水器上的安全恒温系统 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20110803 Termination date: 20150926 |
|
| EXPY | Termination of patent right or utility model |