CN201845216U - 集成电路用真空机组控制装置 - Google Patents

集成电路用真空机组控制装置 Download PDF

Info

Publication number
CN201845216U
CN201845216U CN201020215531XU CN201020215531U CN201845216U CN 201845216 U CN201845216 U CN 201845216U CN 201020215531X U CN201020215531X U CN 201020215531XU CN 201020215531 U CN201020215531 U CN 201020215531U CN 201845216 U CN201845216 U CN 201845216U
Authority
CN
China
Prior art keywords
interface
control
communication module
quantity input
vacuum unit
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
CN201020215531XU
Other languages
English (en)
Inventor
张利国
郭丽娟
薛玉茹
王光玉
张振厚
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sky Technology Development Co Ltd
Original Assignee
Shenyang Scientific Instrument R&D Center of CAS
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shenyang Scientific Instrument R&D Center of CAS filed Critical Shenyang Scientific Instrument R&D Center of CAS
Priority to CN201020215531XU priority Critical patent/CN201845216U/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN201845216U publication Critical patent/CN201845216U/zh
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02PCLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P90/00Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
    • Y02P90/02Total factory control, e.g. smart factories, flexible manufacturing systems [FMS] or integrated manufacturing systems [IMS]

Landscapes

  • Programmable Controllers (AREA)

Abstract

本实用新型涉及一种集成电路用真空机组控制装置,具有控制单元、人机界面、开关量输入输出接口、通讯模块以及模拟量输入接口,其中控制单元为控制核心,其数字量输入/输出端通过开关量输入/输出接口分别连接真空机组的工作状态信号和真空机组的控制信号,控制单元的模拟量输入端通过模拟量输入接口连接各类模拟量传感器;控制单元通过通讯模块与上位机或本地控制盒进行通讯连接。本实用新型配置RS-232、RS-485、PLC兼容继电器接口三种接口方式使,真空机组在IC生产线上任意位置的远程控制得以方便实现,对真空机组的各种参数实时监控,对故障发生可能的预见性大大提高,保证真空机组在健康的条件下正常运行。

Description

集成电路用真空机组控制装置
技术领域
本实用新型涉及集成电路设备真空获得领域,具体地说是一种集成电路用真空机组控制装置。
背景技术
在集成电路(IC)设备真空获得领域,真空机组的控制系统必不可少。传统的真空机组缺乏必要的控制功能,如自身保护功能、通讯及远程遥控接口等。在IC生产线上,主控系统需要依据真空机组的抽速、真空度及机组温度、压力等各种参数设定、调整工艺流程,而现有技术中,上述参数无法获取,没有对真空机组在运行过程中的安全监控措施。
实用新型内容
针对现有技术中存在的参数无法获取,没有对真空机组在运行过程中的安全监控措施的缺陷,本实用新型要解决的技术问题是提供一种具备多种参数监控的、在通讯及远程控制方面提供多种上位机接口的集成电路用真空机组控制装置。
为解决上述技术问题,本实用新型采用的技术方案是:
本实用新型集成电路用真空机组控制装置具有控制单元、人机界面、开关量输入输出接口、通讯模块以及模拟量输入接口,其中控制单元为控制核心,其数字量输入/输出端通过开关量输入/输出接口分别连接真空机组的工作状态信号和真空机组的控制信号,控制单元的模拟量输入端通过模拟量输入接口连接各类模拟量传感器;控制单元通过通讯模块与上位机或本地控制盒进行通讯连接。
所述通讯模块包括第1通讯模块及第2通讯模块,其中第1通讯模块采用RS485串口,用于一对多远程控制;第2通讯模块采用RS232串口,用于一对一近距离控制。
所述各类模拟量传感器包括变送器、气体流量变送器、温度传感器、水流量传感器、功率变送器。
还具有PLC兼容继电器接口,控制单元的控制输出端通过PLC兼容继电器接口选择性的连接PLC或继电器。
本实用新型具有以下有益效果及优点:
1.接口丰富。本实用新型配置RS-232、RS-485、PLC兼容继电器接口三种接口方式使,真空机组在IC生产线上任意位置的远程控制得以方便实现。
2.真实反应真空机组实时状态。真空机组的排气口压力、氮气吹扫的气体流量、真空机组的泵体温度、真空机组的冷却水流量、真空机组功率(变送器)等各类传感器信号的采集使真空机组本身自成体系,对真空机组的各种参数实时监控,对故障发生可能的预见性大大提高,保证真空机组在健康的条件下正常运行。
3.符合IC生产设备控制系统要求。真空机组的工作情况可及时反应到上位机,便于上位机操作人员掌握整条生产线的工作状况。
附图说明
图1为本实用新型系统结构图。
具体实施方式
本实用新型集成电路用真空机组控制装置具有控制单元、人机界面、开关量输入输出接口、通讯模块以及模拟量输入接口,其中控制单元为控制核心,其数字量输入/输出端通过开关量输入/输出接口分别连接真空机组的工作状态信号和真空机组的控制信号,控制单元的模拟量输入端通过模拟量输入接口连接各类模拟量传感器;控制单元通过通讯模块与上位机或本地控制盒进行通讯连接。
所述通讯模块包括第1通讯模块及第2通讯模块,其中第1通讯模块采用RS485串口,用于一对多远程控制;第2通讯模块采用RS232串口,用于一对一近距离控制;所述各类模拟量传感器包括变送器、气体流量变送器、温度传感器、水流量传感器、功率变送器;还具有PLC兼容继电器接口,控制单元的控制输出端通过PLC兼容继电器接口选择性的连接PLC或继电器。,
本实施例中,控制单元采用微控制器(MCU),压力变送器、气体流量变送器、温度传感器、水流量传感器、功率变送器分别为MCU提供真空机组的排气口压力、氮气吹扫的气体流量、真空机组的泵体温度、真空机组的冷却水流量、真空机组功率标准信号(0~5V)的采样数据;通讯模块的RS-232、RS-485接口、PLC兼容继电器接口与MCU进行双向通讯,一方面上位机通过其中一种接口协议对MCU下达控制执行指令,同时MCU也通过该接口向上位机返回各种状态参数;MCU对各种开关量执行器件的控制及各种开关量信号数据采集通过开关量输入输出接口完成;人机界面与MCU的双向通讯实现机组的本地控制。

Claims (4)

1.一种集成电路用真空机组控制装置,其特征在于:具有控制单元、人机界面、开关量输入输出接口、通讯模块以及模拟量输入接口,其中控制单元为控制核心,其数字量输入/输出端通过开关量输入/输出接口分别连接真空机组的工作状态信号和真空机组的控制信号,控制单元的模拟量输入端通过模拟量输入接口连接各类模拟量传感器;控制单元通过通讯模块与上位机或本地控制盒进行通讯连接。
2.按权利要求1所述的集成电路用真空机组控制装置,其特征在于:
所述通讯模块包括第1通讯模块及第2通讯模块,其中第1通讯模块采用RS485串口;第2通讯模块采用RS232串口。
3.按权利要求1所述的集成电路用真空机组控制装置,其特征在于:所述各类模拟量传感器包括变送器、气体流量变送器、温度传感器、水流量传感器、功率变送器。
4.按权利要求1所述的集成电路用真空机组控制装置,其特征在于:还具有PLC兼容继电器接口,控制单元的控制输出端通过PLC兼容继电器接口连接PLC或继电器。 
CN201020215531XU 2010-06-04 2010-06-04 集成电路用真空机组控制装置 Expired - Fee Related CN201845216U (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201020215531XU CN201845216U (zh) 2010-06-04 2010-06-04 集成电路用真空机组控制装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201020215531XU CN201845216U (zh) 2010-06-04 2010-06-04 集成电路用真空机组控制装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN201845216U true CN201845216U (zh) 2011-05-25

Family

ID=44040103

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201020215531XU Expired - Fee Related CN201845216U (zh) 2010-06-04 2010-06-04 集成电路用真空机组控制装置

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN201845216U (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102269985A (zh) * 2010-06-04 2011-12-07 中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司 集成电路用真空机组控制装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102269985A (zh) * 2010-06-04 2011-12-07 中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司 集成电路用真空机组控制装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN203848970U (zh) 冗余型数字式压力采集变送装置
CN204028639U (zh) 一种采煤机控制系统
CN103660360A (zh) 四柱液压机床智能控制系统
CN105573271A (zh) 一种多通道测试信号采集系统
CN201823217U (zh) 消防水泵低频自动巡检系统
CN202812387U (zh) 恒压差锅炉供水电动调节阀保护控制装置
CN202372210U (zh) 用于农业传感器的通用智能变送装置
CN201845216U (zh) 集成电路用真空机组控制装置
CN207366986U (zh) 一种机电设备检测系统
CN102707656B (zh) 抛丸机智能控制器
CN102269985A (zh) 集成电路用真空机组控制装置
CN202815473U (zh) 抛丸机智能控制器
CN203680872U (zh) 四柱液压机床智能控制系统
CN104864482A (zh) 一种楼栋供热的节能计量控制装置
CN202018590U (zh) 一种气井前端集成控制平台
CN202757379U (zh) 一种冷库控制装置
CN202677161U (zh) 一种基于Zigbee无线通信的测控装置
CN101804270B (zh) 过滤器压差发讯器
CN204759251U (zh) 一种用于中央空调机组的多功能管道温湿度传感装置
CN201643861U (zh) 过滤器压差发讯器
CN202025227U (zh) 热力站can总线监控系统
CN106142651A (zh) 四柱液压机床智能控制系统
CN103743415B (zh) 一种具有压降速率检测的低功耗压力变送器
CN105840481B (zh) 一种基于can总线的供水控制器
CN204788532U (zh) 浇封式通信组件及安装该组件的智能燃气表

Legal Events

Date Code Title Description
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20110525

Termination date: 20170604

CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee