CN201801592U - 薄膜太阳能电池板沉积夹具 - Google Patents

Abstract

本实用新型适用于太阳能电池生产领域，提供了一种薄膜太阳能电池板沉积夹具，包括由两侧板、一前挡板和一后盖构成的金属外壳，所述金属外壳围合形成的腔体内设有一气路板、复数个电极，所述两侧板、前挡板、后盖、气路板两两相互呈绝缘连接，所述气路板上具有均匀分布的通孔，所述复数个电极由多个导电平板排列而成，与所述两侧板平行，且与所述两侧板共同构成电极，相邻两电极之间的空间为放置待沉积电池基板的位置，于所述前挡板上，设有多个可采用非干扰式供电的电极端口。该夹具的气路板具有均匀分布的通气孔，电极为平板电极以及非干扰式供电方式，从而可以有效保证等离子体的均匀性，并能沉积大尺寸薄膜太阳能电池，且薄膜厚度均匀。

Description

薄膜太阳能电池板沉积夹具

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池生产领域，更具体地说，是涉及一种薄膜太阳能电池板沉积夹具。

背景技术

近年来，太阳能作为一种新的能源已经在很多领域得到利用，随着光伏产业迅猛发展，利用太阳能进行光电转换并为人们提供电能是对太阳能利用的一种最主要的方式，而实现这个转换过程的基本装置就是太阳能电池。太阳能电池因具有永久性、清洁性和灵活性三大优点而成为一种大有前途的新型电源。

太阳能电池的核心部分便是太阳能电池板，其作用是将太阳能转化为电能，或送往蓄电池中存储起来，或推动负载工作。太阳能电池板(Solar panel)主要分为：晶体硅电池板、薄膜电池板，其中薄膜太阳能电池板以其低廉的成本在光伏行业中的比重迅速攀升，随着节能和节约成本的产业发展趋势，薄膜太阳能电池的发展必将成为主流。但是，从目前的发展来看，薄膜太阳能电池在制造方面还存在很多问题，比如：不能沉积大尺寸薄膜太阳能电池板，沉积薄膜厚度不均匀、质量不稳定、生产效率比较低等。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题在于提供一种薄膜太阳能电池板沉积夹具，利用该夹具，可以有效保证等离子体的均匀性，能沉积大尺寸薄膜太阳能电池板，且沉积的薄膜厚度均匀。

为解决上述技术问题，本实用新型的采用的技术方案是：提供一种薄膜太阳能电池板沉积夹具，包括由两侧板、一前挡板和一后盖构成的金属外壳，所述金属外壳围合形成的腔体内设有一气路板、复数个电极，所述两侧板、前挡板、后盖、气路板相互两两绝缘连接，所述气路板上具有均匀分布的通孔，所述复数个电极由多个导电平板排列而成，与所述两侧板平行，且与所述两侧板共同构成电极，相邻两电极之间的空间为放置待沉积电池基板的位置，于所述前挡板上，设有多个可采用非干扰式供电的电极端口。

进一步地，所述气路板与所述导电平板、前挡板及后盖垂直，且位于所述腔体上端。

进一步地，所述复数个电极至少为八个。

进一步地，所述电极两两之间间距相等。

进一步地，所述电极每两个一组并单独与一个所述供电端口的两极相联接。

进一步地，所述后盖在垂直方向上与所述侧板之一呈活动连接。

进一步地，还包括底部支撑结构，该底部支撑结构为复数个条状的金属板或者柱状的金属棍，呈栅状结构固定于所述两个侧板的下边缘部。

进一步地，所述薄膜太阳能电池板沉积夹具，在所述腔体底部，还设有至少两个转轴，各所述转轴上两端设有车轮。

本实用新型提供的薄膜太阳能电池板沉积夹具，由于采用的气路板具有均匀分布的通气孔，电极为金属平板电极，从而能有效保证等离子体的均匀性，待沉积的太阳能电池板最大可以与平板电极的尺寸一样大，故并能沉积大尺寸薄膜太阳能电池板，且薄膜厚度均匀；另外，夹具底部的车轮式设计，使得操作更为方便，机械化程度提高。

附图说明

图1为本实用新型实施例提供的薄膜太阳能电池板沉积夹具的立体结构图。

具体实施方式

为了使本实用新型所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

参照图1，为本实用新型实施例提供的薄膜太阳能电池板沉积夹具的立体结构图。所述含有本实用新型提供的薄膜太阳能电池板沉积夹具，包括第一侧板11、第二侧板12，前挡板2、后盖(图中未示)、气路板3、复数个电极(图中未示)、复数个电极端口4。

考虑到导电和耐高温等因素，第一侧板11、第二侧板12，前挡板2、后盖、气路板3均选用金属材质的平板，同时，第一侧板11、第二侧板12与气路板3、前挡板2以及后盖用板体连接件固定连接，第一侧板11和第二侧板22相互平行并垂直于前挡板2和后盖，围合形成一金属腔体。两个侧板、前挡板、气路板两两相互接触的部位进行绝缘处理，绝缘的材料可选用陶瓷。气路板3上具有均匀分布的通孔，用于向夹具腔体内通入所需的介质气体。复数个电极呈平行排列且平行于第一侧板11和第二侧板12设置于腔体内，同时第一侧板11和第二侧板22也充当电极，各个电极之间留有一定的空间，这些空间为放置待沉积的电池板基板的位置，沉积之前，待沉积电池板基板可以装夹在每个电极平板的两侧。气路板3设于腔体内，且设置于复数个电极上方，通过它可以从上往下向电极之间通入沉积气体。复数个电极端口4设置在前挡板2上，该些电极端口4与复数个电极相连。

作为本实用新型的一种实施例提供的薄膜太阳能电池板沉积夹具，由于采用电极为平板形状，这样可以使两极间的电弧均匀地分布，有利于形成均匀的等离子体；并且气路板上布孔均匀，均匀分布的通孔可以较好地保证介质气体均匀地分布于各电极之间，利于在基板上形成均匀的膜。利用该种夹具，不但能沉积大尺寸薄膜太阳能电池板，最大可以和电极平板一样大，且沉积的薄膜厚度均匀。

请再参照图1，作为本实用新型实施例的一种优选方式，气路板3同时垂直于第一侧板11、第二侧板12、前挡板2和后盖设置于腔体上端，这样设计不但可以节约空间，减少整个夹具的体积，而且气路板3离各个电极的距离平均，能够进一步保证通入各电极之间的沉积气体更加均匀。

作为本实用新型的一种实施方式，电极的数量设置至少八个，这样相同时间内一次沉积的电池板的产量不至于太低，从而保证生产效率，减低生产成本。

作为本实用新型实施例的进一步改进，两个电极之间的间距设置成等距离，这样可以使两极间的电弧均匀内分布，进一步有利于形成均匀的等离子体。

作为本实用新型的进一步改进，电极每两个一组并单独与一个供电端口4的两极相联接。这种连接方式为非干扰式供电连接方式，就是每个端口可以独立地对所连接的两个电极进行供电，当一个供电端口出现问题的时候，只会影响到与之相联接的两个电极，对其他的电极的正常工作不会造成影响。同时，这样的设计也可以根据待沉积的基板的数量和放置的位置来决定对哪些电极端口进行选择性供电，从而避免对空置的电极进行供电，以降低消耗，节约能源。

作为本实用新型实施例的进一步改进，后盖在垂直方向上与第一侧板11或者第二侧板22呈活动连接，连接件可选用合页，但也必须做绝缘处理，保持与侧板绝缘。这样使用时，只需将后盖打开，在两电极之间的位置装好待沉积的基板，关闭后盖，将夹具推入沉积腔室即可进行后续的沉积操作。

作为本实用新型实施例的进一步改进，在夹具腔体的底部设置底部支撑结构，该底部支撑结构可选用复数个条状的金属板或者柱状的金属棍，呈栅状结构固定于所述两个侧板的下边缘部。底部支撑结构用于支撑各个电极和放在各电极之间的待沉积电池板的基板，做成中空的栅状结构目的在于排放出沉积过程中夹具箱体内产生的废气。

请继续参照图1，作为本实用新型实施例的进一步改进，在腔体底部，还设有至少两个转轴5，各转轴5上两端设有车轮6，车轮6外缘设置呈凹形，以便于与之配套使用的沉积腔室里的导轨相配合。这种车轮式设计方便于将夹具推进或拉出沉积腔室，易于操作，机械化程度提高。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种薄膜太阳能电池板沉积夹具，其特征在于，包括由两侧板、一前挡板和一后盖构成的金属外壳，所述金属外壳围合形成的腔体内设有一气路板、复数个电极，所述两侧板、前挡板、后盖、气路板相互两两绝缘连接，所述气路板上具有均匀分布的通孔，所述复数个电极由多个导电平板排列而成，与所述两侧板平行，且与所述两侧板共同构成电极，相邻两电极之间的空间为放置待沉积电池基板的位置，于所述前挡板上，设有多个可采用非干扰式供电的电极端口。

2.根据权利要求1所述的薄膜太阳能电池板沉积夹具，其特征在于，所述气路板与所述导电平板、前挡板及后盖垂直，且位于所述腔体上端。

3.根据权利要求1所述的薄膜太阳能电池板沉积夹具，其特征在于，所述复数个电极至少为八个。

4.根据权利要求1所述的薄膜太阳能电池板沉积夹具，其特征在于，所述电极两两之间间距相等。

5.根据权利要求1所述的薄膜太阳能电池板沉积夹具，其特征在于，所述电极每两个一组并单独与一个所述供电端口的两极相联接。

6.根据权利要求1所述的薄膜太阳能电池板沉积夹具，其特征在于，所述后盖在垂直方向上与所述侧板之一呈活动连接。

7.根据权利要求1所述的薄膜太阳能电池板沉积夹具，其特征在于，还包括底部支撑结构，该底部支撑结构为复数个条状的金属板或者柱状的金属棍，呈栅状结构固定于所述两个侧板的下边缘部。

8.根据权利要求1-7任一项所述的薄膜太阳能电池板沉积夹具，其特征在于，在所述腔体底部，还设有至少两个转轴，各所述转轴上两端设有车轮。

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