CN201449984U - 一种金属卤素曝光灯 - Google Patents

Abstract

一种用于电子网板制造过程中曝光机用的金属卤素曝光灯，由珍珠屏灯罩和灯锥组成曝光灯外壳，内部充入氮气；在灯锥内壁上涂有一层对不同波长紫外线光反射有不同选择作用的特殊紫外线反光膜；在灯锥尾部，两电源接片、金属帽、支架分别依次连接，将外部电源引入曝光灯外壳内；与支架相连的两钼杆，与钼片、钍钨电极依次连接组成灯芯两放电极；灯芯内充入金属卤素物。该金属卤素曝光灯对波长为320～450nm的紫外线光反射率高、输出功率大；反光膜附着率强、耐高温性能好，性能稳定、工作可靠；工作中灯芯不熄弧。

Description

一种金属卤素曝光灯

技术领域

本实用新型涉及一种电子网板制造中曝光机用金属卤素曝光灯。

背景技术

对于制造电子网板曝光机用金属卤素曝光灯，目前国内处于空白状态，国际上也只有荷兰Calmat公司能设计生产，型号为SBL-8T。国内制造电子网板曝光机用曝光灯，目前主要从荷兰Calmat公司进口。但荷兰Calmat公司生产的SBL-8T曝光灯，存在反光膜对所需波长的紫外线反射率低、反射功率小、反光膜耐高温性能差、性能不稳定、工作中灯芯易熄弧等技术问题，影响电子网板的制造质量。

发明内容

为克服现有进口金属卤素曝光灯存在的技术不足，本实用新型提供一种金属卤素曝光灯，该金属卤素曝光灯，不仅解决了进口金属卤素曝光灯在技术上存在的不足问题，而且在技术性能上比进口金属卤素曝光灯有了大幅度提高。

本实用新型解决技术问题所采用的技术方案是：珍珠屏灯罩和灯锥结合处，经熔焊后组成金属卤素曝光灯外壳，内部充入氮气；在灯锥内壁上涂有一层特殊的紫外线反光膜；在灯锥尾部，两电源接片、金属帽、支架分别依次连接，将外部电源引入金属卤素曝光灯外壳内；与支架相连的两钼杆，与钼片、钍钨电极依次连接组成灯芯两放电极；灯芯内充入金属卤化物。当两电源接片接入电源，灯芯两放电极，因受电压作用击穿金属卤化物而放电，灯芯将发出波长从300～1000nm的各种波长的紫外线光。又因受灯锥紫外线反光膜对不同波长紫外线光反射的特殊选择作用：波长320～350nm、420～450nm的紫外线光将有90％以上被反射回去；波长350～420nm的紫外线光将几乎100％的被反射回去；而波长450～1000nm的紫外线光则只有不到30％被反射回去。而波长320～450nm的紫外线光，正是电子网板制造过程中所需要的紫外线光。

其中：所述在灯锥内壁上涂有一层特殊的紫外线反光膜，其对波长350～420nm的紫外线光透过率接近零；对波长320～350nm、420～450nm的紫外线光透过率小于10％；而对波长450～1000nm的紫外线光透过率高于70％。

所述灯芯内充入金属卤化物，其成分含K85气体、碘化铁、碘化镓、碘化铟和水银。

本发明的有益效果是：反光膜对所需波长的紫外线光反射率高、输出功率大；反射膜附着率强、耐高温性能好而且稳定、工作可靠；工作中灯芯不熄弧。

附图说明

下面结合图1和实施例对本实用新型作进一步说明。

图1为本实用新型纵剖面结构图。

图中1.珍珠屏灯罩，2.支架，3.钼片，4.钍钨电极，5.金属卤化物，6.钼杆，7.灯锥，8.电源接片，9.金属帽，10.反光膜，11.氮气。

具体实施方式

下面参阅图1所示实施例，对本实用新型技术方案作进一步说明。珍珠屏灯罩(1)和灯锥(7)结合处经熔焊组成金属卤素曝光灯外壳，内部充入氮气(11)；在灯锥(7)内壁上涂有一层特殊紫外线反光膜(10)，其对波长350～420nm的紫外线光透过率接近零；对波长320～350nm、420～450nm的紫外线光透过率小于10％；而对波长450～1000nm的紫外线光透过率高于70％；在灯锥尾部，两电源接片(8)、金属帽(9)、支架(2)分别依次连接，作为电源引线，将外部电源引入金属卤素曝光灯外壳内；与支架(2)相连的两钼杆(6)，与钼片(3)、钍钨电极(4)依次连接组成灯芯两放电极；灯芯内充入金属卤化物，其由K85气体、碘化铁、碘化镓、碘化铟和水银组成。

Claims (2)

1.一种金属卤素曝光灯，其特征是：珍珠屏灯罩和灯锥结合处，经熔焊后组成金属卤素曝光灯外壳，内部充入氮气；在灯锥内壁上涂有一层紫外线反光膜；在灯锥尾部，两电源接片、金属帽、支架分别依次连接；与支架相连的两钼杆，与钼片、钍钨电极依次连接组成灯芯两放电极，灯芯内充入金属卤化物。

2.根据权利要求1所述的一种金属卤素曝光灯，其特征是：所述在灯锥内壁上涂有一层紫外线反光膜，其对波长350～420nm的紫外线光透过率接近零；对波长320～350nm、420～450nm的紫外线透过率小于10％；而对波长450～1000nm的紫外线光透过率高于70％。

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