CN201440094U - 自锁紧热电偶固定装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种自锁紧热电偶固定装置，设有定位块、夹块，在该定位块和夹块上设有纵向透孔，透孔中设有紧固螺钉和螺母，螺钉上套有锁紧定位块和夹块的弹簧，在定位块和夹块的夹缝中设有固定热电偶瓷管的定位孔。在定位块上设有用于固定在炉体上的固定孔。在所述定位块底部安装弹簧及螺母处做成矩形凹槽，窄边尺寸略大于所使用六角螺母平面边距而小于螺母平面对角线。本实用新型适用于电热加工炉体上固定热电偶，结构精巧实用，安装方便，固定效果好。
Description
技术领域
本实用新型属于一种炉体配件，具体是用于电热加工炉体上固定电热偶的装置。
背景技术
在电热加工工艺中使用的炉子，比如对晶片进行热加工的炉子炉体上，需要设置一种热电偶固定装置，用以固定热电偶。目前使用的热电偶固定装置为金属材料，以螺钉固定热电偶瓷管，无持续弹性力；金属易导热，热涨系数大，容易热变形，有时会造成热电偶瓷管移位或脱落。因此，需要对其进行改进。
实用新型内容
本实用新型的目的是为了解决上述技术问题，提出一种自锁紧热电偶固定装置，该固定装置克服了上述的技术问题。
本实用新型的目的是通过以下技术方案来实现的：自锁紧热电偶固定装置，其特征在于：设有定位块、夹块，在该定位块和夹块上设有纵向透孔，透孔中设有紧固螺钉和螺母，螺钉上套有锁紧定位块和夹块的弹簧，在定位块和夹块的夹缝中设有固定热电偶瓷管的定位孔。
本实用新型进一步完善和实施的补充方案是：
在定位块上设有用于固定在炉体上的固定孔。
在所述定位块底部安装弹簧及螺母处做成矩形凹槽，窄边尺寸略大于所使用六角螺母平面边距而小于螺母平面对角线。
本实用新型的自锁紧热电偶固定装置，使热电偶瓷管穿过定位块与夹块之间的限位方孔，用弹簧锁紧定位块与夹块，以此定位并夹紧瓷管。弹簧提供了一个持续的夹紧力，避免了因热电偶固定块热胀冷缩导致瓷管固定螺钉移位，因而造成的瓷管移位或脱落，保证了测温的稳定可靠。具有结构精巧实用，安装方便，固定效果好的优点。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图；
图2是本实用新型的俯视图；
图3是本实用新型的仰视图。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本实用新型做进一步的说明，实施例：参见附图，自锁紧热电偶固定装置，设有定位块6、夹块1，在该定位块和夹块上设有纵向透孔，透孔中设有紧固螺钉2和螺母4，螺钉上套有锁紧定位块和夹块的弹簧3，在定位块和夹块的夹缝中设有固定热电偶瓷管的定位孔5。在定位块上设有用于固定在炉体上的固定孔7。在所述定位块底部安装弹簧及螺母处做成矩形凹槽4.1，窄边尺寸略大于所使用六角螺母平面边距而小于螺母平面对角线。
本实施例经试用效果非常好。
Claims (3)
1.一种自锁紧热电偶固定装置，其特征在于：设有定位块(6)、夹块(1)，在该定位块和夹块上设有纵向透孔，透孔中设有紧固螺钉(2)和螺母(4)，螺钉上套有锁紧定位块和夹块的弹簧(3)，在定位块和夹块的夹缝中设有固定热电偶瓷管的定位孔(5)。
2.根据权利要求1所述热电偶固定装置，其特征在于：在定位块上设有用于固定在炉体上的固定孔(7)。
3.根据权利要求1所述热电偶固定装置，其特征在于：在所述定位块底部安装弹簧及螺母处做成矩形凹槽(4.1)，窄边尺寸略大于所使用六角螺母平面边距而小于螺母平面对角线。
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106500861A (zh) * | 2016-10-28 | 2017-03-15 | 北京七星华创电子股份有限公司 | 一种热处理设备的热偶安装固定装置 |
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2009
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| CN106500861B (zh) * | 2016-10-28 | 2019-05-14 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 一种热处理设备的热偶安装固定装置 |
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| GR01 | Patent grant | ||
| ASS | Succession or assignment of patent right |
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| C41 | Transfer of patent application or patent right or utility model | ||
| COR | Change of bibliographic data |
Free format text: CORRECT: ADDRESS; FROM: 100016 CHAOYANG, BEIJING TO: 101312 SHUNYI, BEIJING |
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| TR01 | Transfer of patent right |
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| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20100421 Termination date: 20170630 |