CN201418064Y - 电子束加工设备用滤波器 - Google Patents
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Abstract
本实用新型所涉及的电子束加工设备用滤波器，包括进线差模电抗器、进线共模电抗器、差模滤波电容器、差模瞬变干扰吸收器、共模滤波电容器、共模瞬变干扰吸收器、出线共模电抗器和出线差模电抗器。它能有效抑制高压放电时产生的高频域共模干扰噪声和低频域差模干扰噪声。
Description
技术领域
本实用新型涉及电子束加工设备，具体为一种电子束加工设备用滤波器。
背景技术
电子束加工设备是一种综合了真空物理、电子技术、电子光学、高电压技术、计算机和控制技术等多种技术的高科技产品。电子束加工设备电气系统结构复杂，工作电源种类繁多，形成了复杂的电磁环境。目前在电子束加工设备电气系统中为抑制电磁干扰所采用的技术与措施如设置供电电源进线滤波器、设备优化接地、加强电磁屏蔽等，使得电子束加工设备电气系统在正常工作状态时具有良好的电磁兼容性。但是电子束加工设备运行过程中会产生高压放电的现象，此时产生的电磁冲击干扰远远高于正常工作状态时电磁干扰。上述一般的抗电磁干扰技术与措施均难以有效抑制高压放电产生的电磁冲击干扰。
发明内容
本实用新型所要解决的技术问题是提供一种能够有效提高电子束加工设备电气系统的电磁兼容性的电子束加工设备用滤波器。
为解决上述问题，本实用新型所设计的电子束加工设备用滤波器，包括进线差模电抗器、进线共模电抗器、差模滤波电容器、差模瞬变干扰吸收器、共模滤波电容器、共模瞬变干扰吸收器、出线共模电抗器和出线差模电抗器；进线差模电抗器的一端口作为滤波器的进线端，进线差模电抗器的另一端口接入进线共模电抗器的一端口，进线共模电抗器的另一端口接入差模滤波电容器的一端口，差模滤波电容器的另一端口接入差模瞬变干扰吸收器的一端口，差模瞬变干扰吸收器的另一端口接入出线共模电抗器的一端口，出线共模电抗器的另一端口接入出线差模电抗器的一端口，出线差模电抗器的另一端口为滤波器的出线端；共模滤波电容器和共模瞬变干扰吸收器并接于差模瞬变干扰吸收器与出线共模电抗器之间，共模滤波电容器的公共端和共模瞬变干扰吸收器的公共端连接在一起后再与大地相接。
本实用新型与现有技术相比，能更有效地抑制电子束加工设备高压放电时产生的高频域共模干扰噪声和低频域差模干扰噪声，大大提高了电子束加工设备电气系统的电磁兼容性，确保了电子束加工设备的正常工作。
附图说明
图1为本实用新型提高电子束加工设备控制系统电磁兼容性的三相滤波器实施例电路图，图中标号为：1、进线差模电抗器；2、进线共模电抗器；3、差模滤波电容器；4、差模瞬变干扰吸收器；5、共模滤波电容器；6、共模瞬变干扰吸收器；7、出线共模电抗器；8、出线差模电抗器。
图2为本实用新型提高电子束加工设备控制系统电磁兼容性的单相滤波器实施例电路图，图中标号含义与图1相同。
图3本实用新型滤波器在电子束加工设备控制系统中联接与安装方式。
具体实施方式
参见图1和图2，本实用新型一种电子束加工设备用滤波器为无源电路网络结构，主要由进线差模电抗器1、进线共模电抗器2、差模滤波电容器3、差模瞬变干扰吸收器4、共模滤波电容器5、共模瞬变干扰吸收器6、出线共模电抗器7和出线差模电抗器8构成。进线差模电抗器1的一端口作为滤波器的进线端，进线差模电抗器1的另一端口接入进线共模电抗器2的一端口，进线共模电抗器2的另一端口接入差模滤波电容器3的一端口，差模滤波电容器3的另一端口接入差模瞬变干扰吸收器4的一端口，差模瞬变干扰吸收器4的另一端口接入出线共模电抗器7的一端口，出线共模电抗器7的另一端口接入出线差模电抗器8的一端口，出线差模电抗器8的另一端口为滤波器的出线端；共模滤波电容器5和共模瞬变干扰吸收器6并接于差模瞬变干扰吸收器4与出线共模电抗器7之间，共模滤波电容器5的公共端和共模瞬变干扰吸收器6的公共端连接在一起后再与大地相接。
上述进线差模电抗器1是由3个(见图1)或2个(见图2)独立的电抗器组成，每个独立电抗器是卷绕在一个开口的铁氧体磁路上的线圈，各独立电抗器绕制参数相同电感值为5～10μH；出线差模电抗器8的结构与进线差模电抗器1的结构一致。进线共模电抗器2是卷绕在一个闭合的铁氧体磁路上相同匝数的多相线圈，图1中进线共模电抗器2为三相线圈，图2中进线共模电抗器2为两相线圈，每相线圈电感值为10～50μH；出线共模电抗器7的结构与进线共模电抗器2的结构一致。差模滤波电容器3由并接于两两相线之间的电容组成，图1中差模滤波电容器3由3个瓷介电容组成，图2中差模滤波电容器3由1个瓷介电容组成，每个瓷介电容为0.01～0.033μF。差模瞬变干扰吸收器4由并接于两两相线之间的瞬变干扰吸收元件组成，图1中差模瞬变干扰吸收器4由3个氧化锌压敏电阻组成，图2中差模瞬变干扰吸收器4由1个氧化锌压敏电阻组成，每个氧化锌压敏电阻的压敏电压值选用相线间最高工作峰值电压的1.3～1.5倍。共模滤波电容器5由并接于相线与大地之间的电容组成，图1中共模滤波电容器5由3个瓷介电容组成，图2中共模滤波电容器5由1个瓷介电容组成，每个瓷介电容为0.01～0.033μF。共模瞬变干扰吸收器6由并接于相线与大地之间的瞬变干扰吸收元件组成，图1中共模瞬变干扰吸收器6由3个氧化锌压敏电阻组成，图2中共模瞬变干扰吸收器6由2个氧化锌压敏电阻组成，每个氧化锌压敏电阻的压敏电压值选用相线与大地间最高工作峰值电压的1.3～1.5倍，如果相线工作电源与大地间“悬空”，每个氧化锌压敏电阻的压敏电压值则选用相线间最高工作峰值电压的0.75～0.87倍。
在电子束加工设备中，与高电位直接相连的有加速电源、偏压电源、灯丝电源和轰击电源，这些电源安装于高压油箱内，通过隔离变压器来实现电能的传递、电压值的变换和高压绝缘，以便在低压端进行控制。电子束加工设备运行中发生高压放电所产生的电磁冲击干扰就是通过加速电源、偏压电源、灯丝电源和轰击电源的隔离变压器的耦合串回低压控制系统。本发明的滤波器就是串接于加速电源、偏压电源、灯丝电源和轰击电源的隔离变压器一次侧绕组的输入端及低压控制单元输出端之间，即所述滤波器的进线端与低压控制单元的输出端相连，出线端与加速电源、偏压电源、灯丝电源和轰击电源的隔离变压器一次侧绕组连接。实现对高压放电所产生的电磁冲击干扰进行有效的抑制。为了提高抑制效果，本发明的滤波器安装在高压油箱内。参见图3。
本实用新型电子束加工设备用滤波器，能有效抑制高压放电时产生的高频域共模干扰噪声和低频域差模干扰噪声。
Claims (9)
1、电子束加工设备用滤波器，其特征在于：包括进线差模电抗器(1)、进线共模电抗器(2)、差模滤波电容器(3)、差模瞬变干扰吸收器(4)、共模滤波电容器(5)、共模瞬变干扰吸收器(6)、出线共模电抗器(7)和出线差模电抗器(8)；进线差模电抗器(1)的一端口为滤波器的进线端，进线差模电抗器(1)的另一端口接入进线共模电抗器(2)的一端口，进线共模电抗器(2)的另一端口接入差模滤波电容器(3)的一端口，差模滤波电容器(3)的另一端口接入差模瞬变干扰吸收器(4)的一端口，差模瞬变干扰吸收器(4)的另一端口接入出线共模电抗器(7)的一端口，出线共模电抗器(7)的另一端口接入出线差模电抗器(8)的一端口，出线差模电抗器(8)的另一端口为滤波器的出线端；共模滤波电容器(5)和共模瞬变干扰吸收器(6)并接于差模瞬变干扰吸收器(4)与出线共模电抗器(7)之间，共模滤波电容器(5)的公共端和共模瞬变干扰吸收器(6)的公共端连接在一起后再与大地相接。
2、根据权利要求1所述的电子束加工设备用滤波器，其特征在于：所述进线差模电抗器(1)和出线差模电抗器(8)各由3个或2个独立、且参数相同的电抗器组成，每个独立的电抗器是卷绕在一个开口的铁氧体磁路上的线圈。
3、根据权利要求1所述的电子束加工设备用滤波器，其特征在于：所述进线共模电抗器(2)和出线共模电抗器(7)分别为卷绕在1个闭合的铁氧体磁路上相同匝数的三相或两相线圈。
4、根据权利要求1所述的电子束加工设备用滤波器，其特征在于：所述差模滤波电容器(3)由并接于两两相线之间的3个或1个瓷介电容组成。
5、根据权利要求1所述的电子束加工设备用滤波器，其特征在于：所述共模滤波电容器(5)由并接于相线与大地之间的3个或2个瓷介电容组成。
6、根据权利要求1所述的电子束加工设备用滤波器，其特征在于：所述差模瞬变干扰吸收器(4)由并接于两两相线之间的3个或1个氧化锌压敏电阻组成。
7、根据权利要求1所述的电子束加工设备用滤波器，其特征在于：所述共模瞬变干扰吸收器(6)由并接于相线与大地之间的3个或2个氧化锌压敏电阻组成。
8、根据权利要求1～7中任意一项所述的电子束加工设备用滤波器，其特征在于：所述滤波器的进线端与低压控制单元的输出端相连，出线端与加速电源、偏压电源、灯丝电源和轰击电源的隔离变压器一次侧绕组连接。
9、根据权利要求1～7中任意一项所述的电子束加工设备用滤波器，其特征在于：所述滤波器安装在高压油箱内。
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105895478A (zh) * | 2016-06-24 | 2016-08-24 | 桂林狮达机电技术工程有限公司 | 具备抑制电子枪放电危害功能的电子束系统 |
| EP3800772A1 (en) * | 2019-10-04 | 2021-04-07 | Goodrich Control Systems | Damper for power train |
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