CN201364392Y - 一种实现电子散斑干涉的大错位方棱镜 - Google Patents
一种实现电子散斑干涉的大错位方棱镜 Download PDFInfo
- Publication number
- CN201364392Y CN201364392Y CNU200820227562XU CN200820227562U CN201364392Y CN 201364392 Y CN201364392 Y CN 201364392Y CN U200820227562X U CNU200820227562X U CN U200820227562XU CN 200820227562 U CN200820227562 U CN 200820227562U CN 201364392 Y CN201364392 Y CN 201364392Y
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- prism
- square prism
- square glass
- glass prism
- speckle pattern
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
本实用新型提供了一种实现电子散斑干涉的大错位方棱镜,该大错位方棱镜由普通光学玻璃磨制的二个直角三角棱镜组成,其中一个直角三角棱镜的斜面上镀有半透半反膜,这二个直角三角棱镜的斜面用光学胶粘合在一起形成方棱镜,该方棱镜的一个反射面是磨去一个楔角α的斜面,α在1°到5°之间,方棱镜的入射光所在的面和出射光所在的面镀有增透膜,两个反射面均镀有全反射膜。本实用新型采用普通光学玻璃取代了现有技术中昂贵的方解石晶体,通过对普通光学玻璃制备的方棱镜进行磨制实现了电子散斑干涉,结构简单,能够很好的控制分束角,获得的干涉条纹质量好,容易实现干涉。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种用于实现电子散斑干涉位移场检测的大错位方棱镜。
背景技术
电子散斑干涉测量技术可以精确测量物体的变形场,具有精度高、非接触、对隔震要求低等优点,在物体的静、动态测量中得到广泛应用。利用大错位晶体棱镜(Wollaston棱镜)的电子散斑干涉技术则可以实现散斑干涉的位移测量,具有系统简单、不需要专门引入参考光等优点。利用大错位晶体棱镜的电子散斑干涉技术又称大剪切电子散斑干涉技术,为三维位移测量提供了一种有效手段。但是利用大错位晶体棱镜的电子散斑干涉技术也有不足之处:若大错位晶体棱镜的分束角度较小(小于5°),虽然干涉效果较好,可需要较远的成像距离,对面内位移的测量灵敏度较低。若大错位晶体棱镜的分束角度比较大(大于5°),可以在比较近的距离成像,但是干涉条纹质量很差或者很难实现干涉。从制作大错位晶体棱镜所用材料来看,由于方解石no-ne的值比较大,用来制作大错位晶体棱镜的只有方解石晶体比较合适,但方解石晶体很昂贵。
目前常用的可分光方棱镜如图1所示,是由两个直角三角棱镜1组成,其中一个三角棱镜的斜面镀有半透半反膜,该斜面为成为半透半反面,用光学胶将这二个直角三角棱镜斜边对斜边粘合在一起,即得到常用的可分光的方棱镜。图1所示的方棱镜,入射光所进入的面为入射面4,入射光进入到方棱镜里面以后,经过中间的半透半反面,有一半的光强反射,到了方棱镜的下底面,经过下底面有部分光要反射,下底面为第一反射面2。经过第一反射面2反射的光再经过中间的半透半反面后出射,出射光所在面为出射面5。入射光进入到方棱镜里面经过中间的半透半反面的另外一半的光强透射,透射的光到了左侧的反射面,左侧的反射面为第二反射面3,由第二反射面3反射的光再经过中间半透半反面的反射后会在出射面出射。
但是上述常用方棱镜不能实现大错位晶体棱镜的电子散斑干涉技术。
发明内容
本发明针对现有利用大错位晶体棱镜的电子散斑干涉技术中存在的不足,提供一种成本低、效果好的实现电子散斑干涉的大错位方棱镜。
本实用新型的实现电子散斑干涉的大错位方棱镜采用以下技术方案:
该大错位方棱镜由普通光学玻璃磨制的二个直角三角棱镜组成,其中一个直角三角棱镜的斜面上镀有半透半反膜,这二个直角三角棱镜的斜面用光学胶粘合在一起形成方棱镜,该方棱镜的一个反射面是磨去一个楔角α的斜面,α在1°到5°之间,方棱镜的入射光所在的面和出射光所在的面镀有增透膜,两个反射面均镀有全反射膜。
上述方案将方棱镜的一个反射面由原来的直面磨去一个楔角α后变为斜面,这样入射的光线经过非直角反射,出射的二束光线就分开了。方棱镜的大小尺寸可根据成像透镜的口径来定。如果方棱镜反射面磨去的角度是α,则棱镜的光束分开的角度(分束角)是2α。根据成像的距离和试件的大小尺寸,α的大小可选择在1°到5°之间。
本实用新型采用普通光学玻璃取代了现有技术中昂贵的方解石晶体,通过对普通光学玻璃制备的方棱镜进行磨制实现了电子散斑干涉,结构简单,能够很好的控制分束角,获得的干涉条纹质量好,容易实现干涉。
附图说明
图1为常用的方棱镜结构及光路示意图。
图2为本实用新型的大错位方棱镜的结构及光路示意图。
图3为本实用新型的大错位方棱镜的平面光路示意图。
图4为使用本实用新型的大错位方棱镜实现电子散斑干涉的光路示意图。
图中:1、直角三角棱镜,2、第一反射面,3、第二反射面,4、入射面,5、出射面,6、圆盘,7、参考平面,8、大错位方棱镜,9、CCD摄像机。
具体实施方式
实施例
本实用新型的实现电子散斑干涉的大错位方棱镜如图2所示,是在图1所示的常用可分光方棱镜的基础上制成的。如图2所示,是将方棱镜的第二反射面3向内磨去一个小的楔角α,磨制时以该反射面与直角三角棱镜的斜面相交的棱边为基线向内磨削,在方棱镜的光线入射面和出射面上镀增透膜,在第一反射面和第二反射面上镀全反射膜,这样入射的光线经过非直角反射,出射的二束光线就分开了。该方棱镜的大小尺寸可根据成像透镜的口径来定。如图3所示,如果方棱镜反射面磨去的角度是α,则棱镜的光束分开的交度(分束角)是2α。根据成像的距离和试件的大小尺寸,α的大小可选择在1°到5°之间。
如图4所示,实验试件为周边固定、中心加载的铝制圆盘6。圆盘6的厚2mm,直径为60mm,中心用千分尺加载。旁边放置一参考平面7。本实用新型的大错位方棱镜8的入射光面对着圆盘6和参考平面7的中间放置。大错位方棱镜8的分束角为6°,圆盘6与大错位方棱镜8的距离为1米。用CCD摄像机9成像。CCD摄像机9的成像镜头口径约50毫米,大错位方棱镜8也取50毫米×50毫米。CCD摄像机9的成像通过图像卡传送给计算机,并在计算机中进行图像的处理。圆盘6经过大错位方棱镜8形成二个像,参考平面7也成二个像。出射光面对着CCD摄像机9。调制光路使得圆盘6的一个像和参考平面7的一个像叠加重合。圆盘6和参考平面7被同一束激光扩束照明后,圆盘6的物光和参考平面7的参考光由于叠加在CCD摄像机9的靶面产生干涉。圆盘6变形前和变形后分别采集图像并实时相减,相减后呈现的散斑相关条纹显示在监视器上。可见,利用大错位方棱镜可以实现电子散斑干涉。
本实用新型的大错位方棱镜成本低廉,制作简单,也便于应用。
Claims (1)
1.一种实现电子散斑干涉的大错位方棱镜,由普通光学玻璃磨制的二个直角三角棱镜组成,其中一个直角三角棱镜的斜面上镀有半透半反膜,这二个直角三角棱镜的斜面用光学胶粘合在一起形成方棱镜,其特征是:该方棱镜的一个反射面是磨去一个楔角α的斜面,α在1°到5°之间,方棱镜的入射光所在的面和出射光所在的面镀有增透膜,两个反射面均镀有全反射膜。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CNU200820227562XU CN201364392Y (zh) | 2008-12-18 | 2008-12-18 | 一种实现电子散斑干涉的大错位方棱镜 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CNU200820227562XU CN201364392Y (zh) | 2008-12-18 | 2008-12-18 | 一种实现电子散斑干涉的大错位方棱镜 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN201364392Y true CN201364392Y (zh) | 2009-12-16 |
Family
ID=41475060
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CNU200820227562XU Expired - Fee Related CN201364392Y (zh) | 2008-12-18 | 2008-12-18 | 一种实现电子散斑干涉的大错位方棱镜 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN201364392Y (zh) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101871769A (zh) * | 2010-06-02 | 2010-10-27 | 山东师范大学 | 三维变形场同时载频调制的电子散斑检测方法 |
-
2008
- 2008-12-18 CN CNU200820227562XU patent/CN201364392Y/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101871769A (zh) * | 2010-06-02 | 2010-10-27 | 山东师范大学 | 三维变形场同时载频调制的电子散斑检测方法 |
CN101871769B (zh) * | 2010-06-02 | 2012-08-01 | 山东师范大学 | 三维变形场同时载频调制的电子散斑检测方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN103363901B (zh) | 一种面向同轴对位微装配系统的标定方法 | |
CN109099859B (zh) | 大口径光学元件表面缺陷三维形貌测量装置和方法 | |
CN108761424A (zh) | 激光雷达及激光雷达控制方法 | |
CN110987964B (zh) | 获得半导体晶粒相对两面光学检测完全等照度照明的方法 | |
US10388320B2 (en) | Apparatus and methods using interference in light reflected from articles | |
WO2009013866A1 (ja) | 測距機能を有する複眼方式の撮像装置 | |
US11573428B2 (en) | Imaging method and apparatus using circularly polarized light | |
CN106855655B (zh) | 非对称曲面棱镜影像显示光学系统 | |
CN110044929B (zh) | 一种基于暗场照明的曲面玻璃次表面缺陷检测装置 | |
CN102679912A (zh) | 基于差动比较原理的自准直仪 | |
CN104390603B (zh) | 微球面型短相干点衍射干涉测量系统及测量方法 | |
CN102004313A (zh) | 共孔径激光主动照明成像系统 | |
CN109443113B (zh) | 彩色单相机偏振成像法弹着点坐标测试方法及系统 | |
CN107607050A (zh) | 激光测厚装置 | |
CN110806181A (zh) | 基于彩色相机的高精度光学引伸计及测量方法 | |
CN201364392Y (zh) | 一种实现电子散斑干涉的大错位方棱镜 | |
CN101430392A (zh) | 实现剪切电子散斑干涉的剪切方棱镜 | |
CN101430391B (zh) | 一种实现电子散斑干涉的大错位方棱镜 | |
CN112969899B (zh) | 全息干涉法的系统和方法 | |
CN203069885U (zh) | 一种数字病理切片扫描仪的分光结构 | |
CN110441311B (zh) | 用于多物面成像的多轴多焦镜头 | |
CN102411160A (zh) | 一种柱面偏振分光棱镜 | |
CN109708759A (zh) | 一种基于叠层玻璃映射的成像光谱仪 | |
CN213337388U (zh) | 半导体晶粒相邻双面同时完全等光程共焦成像检测新装置 | |
CN201364393Y (zh) | 实现剪切电子散斑干涉的剪切方棱镜 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
C17 | Cessation of patent right | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20091216 Termination date: 20101218 |