CN201257682Y - 夹具及其切割装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型所提供的一种夹具及其切割装置，用于装夹或切割粘附在支撑膜上的支撑膜垫片。所述夹具主要包括第二夹板、置于第二夹板上的直径与所述支撑膜相同的第一夹板、以及穿通第一夹板和第二夹板的定位柱，第一夹板和第二夹板之间用于装夹支撑膜垫片。所述夹具可以实现对支撑膜垫片的装夹固定。根据所述夹具进行改进形成的一种切割装置，能把支撑膜垫片切割成与支撑膜相同形状，具有切割方便、效率高、能够避免切割时的对支撑膜造成划伤的特点。

Description

夹具及其切割装置

技术领域

本实用新型涉及一种夹具及其切割装置，具体涉及一种化学机械抛光中应用的支撑膜垫片的夹具及其切割装置。

背景技术

在化学机械抛光(CMP)设备中，其中研磨头上包括有支撑膜(MembraneSupport)、需要研磨的硅片以及压力调整装置等。硅片被气体压力吸附于支撑膜之上，通常为了实现硅片和支撑膜之间的压力缓冲，会在支撑膜和硅片之间放置一层用于压力缓冲的支撑膜垫片(Membrane Support Pad)。其中支撑膜垫片一般是塑料等材料制成，具有易切割的特点。

如图1所示，支撑膜1中间有若干圆孔，硅片可以通过圆孔吸附在支撑膜1上。图2所示为支撑膜垫片2，中间同样具有若干圆孔。结合图1和图2所示，其中支撑膜上面的定位孔12与支撑膜垫片上面的定位孔22形状和尺寸相同，其位置一一对应。在硅片吸附于支撑膜1之前，需要把支撑膜垫片2通过定位孔对准粘附到支撑膜1上。当前的支撑膜垫片产品中，支撑膜垫片2通过双层塑料膜粘贴包住，其中支撑膜垫片的圆周边缘部分由于在粘附安装之前会受空气的影响而性能变差，所以支撑膜垫片2的直径一般制造成比支撑膜1的直径大。因此，粘附后需要一个对支撑膜垫片2多余圆周部分切割去除的过程。

当前晶圆厂中，主要是在支撑膜垫片粘附于支撑膜以后通过刀片手工切割，效率相对较低，切割后的圆周不平滑，并且可能会对支撑膜造成划伤。

实用新型内容

本实用新型解决的技术问题是：提供一种快速高效的用于支撑膜垫片切割的夹具及其切割装置。

本实用新型所提供的一种夹具，用于装夹粘附在支撑膜上的支撑膜垫片，所述夹具包括第二夹板、置于第二夹板上的直径与所述支撑膜相同的第一夹板、以及穿通第一夹板和第二夹板的定位柱，第一夹板和第二夹板之间用于装夹支撑膜垫片。

其中，第一夹板作为压板，第二夹板作为底板；第二夹板为圆形，其直径大于所述第一夹板的直径；所述第一夹板和第二夹板中同时设置有两个或两个以上的定位孔，其孔的形状、大小与位置与支撑膜垫片中的定位孔的形状、大小与位置相同；定位柱为两个或者两个以上，通过定位柱两端的螺母，对第一夹板和第二夹板进行固定。

根据对本实用新型提供的夹具，本实用新型进一步提供一种用于切割粘附在支撑膜上的支撑膜垫片的切割装置，所述切割装置包括：

支撑板；

置于支撑板上第二夹板；

置于第二夹板上的直径与所述支撑膜相同的第一夹板；

固定于支撑板上，并穿通第一夹板和第二夹板的定位柱；

与支撑板相连接的机械手臂；

以及与机械手臂连接用于切割的刀具。

其中，所述第二夹板为圆形，其直径大于所述第一夹板的直径；所述第一夹板和第二夹板中设置有两个或两个以上定位孔，其孔的形状、大小与位置与支撑膜垫片中的定位孔的形状、大小与位置相同；所述定位柱为两个或者两个以上，定位柱一端通过螺纹连接方式固定于支撑板上，另一端通过螺母固定第一夹板和第二夹板于支撑板上；机械手臂的一端与支撑板连接，另一端与刀具连接。

本实用新型的技术效果是：由于第一夹板和第二夹板上的定位孔与支撑膜垫片中的定位孔的形状与位置相同，夹具中的定位柱可以依次穿通第一夹板、支撑研磨垫和第二夹板，通过支撑柱两端的螺纹固定，支撑研磨垫装夹固定于第一夹板和第二夹板之间。沿着第一夹板的圆周对支撑研磨垫进行切割，可以切割出与支撑膜形状相同的支撑研磨垫。

本实用新型提供的夹具，可以实现对支撑膜垫片的固定装夹。本实用新型所提供的切割装置，对固定装夹后的支撑膜垫片可以切割出与支撑膜形状相同的支撑研磨垫。切割装置结构简单，切割方便，效率高，并且能够避免切割时的对支撑膜造成划伤。

附图说明

图1为现有技术中的一种支撑膜；

图2为现有技术中的一种支撑膜垫片；

图3为本实用新型所提供的一种夹具的具体实施例的示意图；

图4为本实用新型所提供具体实施例的夹具的应用示意图；

图5为一种切割装置的具体实施例的示意图；

图6为本实用新型所提供具体实施例的切割装置应用示意图。

具体实施方式

为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面结合附图对本实用新型作进一步的详细描述。

具体实施例一

图3所示为本实用新型所提供的一种夹具的具体实施例的示意图。夹具应用于如图2所示的支撑研磨垫的装夹。如图3所示，夹具主要包括压板4、底板5以及穿通于压板与底板之间的定位柱6，压板4位于底板5之上。进一步结合图1所示支撑膜1，压板4呈圆形状，其直径与支撑膜1直径相同；底板5呈圆形状，其直径大于压板4的直径，本实施例中，底板5的直径比压板4的直径大1cm。结合图2所示支撑研磨垫2，压板和底板中同时开两个定位孔，其孔的形状与位置与支撑膜垫片2中的定位孔22的形状与位置相同。两个定位柱6穿过压板4和底板5中的孔，两端通过螺母(图中未标出)固定，从而能够实现压板和底板之间固定。

图4为本实用新型所提供具体实施例的夹具应用示意图。如图4所示，支撑膜垫片置于压板4和底板5之间。结合图2所示支撑膜垫片2，其与图1所示的支撑膜1的形状区别在于支撑膜垫片2的直径比支撑膜1的直径大。两个定位柱6分别穿过支撑膜垫片2的定位孔22，两端通过螺母(图中未标出)固定，实现压板5和底板4对支撑膜垫片2的装夹定位。由于支撑膜垫片2的直径大于压板4和底板5的直径，露于夹具之外的支撑膜垫片2部分可以方便地通过刀具切割。

具体实施例二

图5所示为本实用新型所提供的一种切割装置的具体实施例的示意。切割装置应用于如图2所示的支撑研磨垫的切割。如图5所示，该专用切割装置包括支撑板3、压板4、底板5、定位柱6、机械手臂7以及刀具8。支撑板3水平放置，底板5置于支撑版3之上，压板4置于底板5之上，机械手臂7与支撑板3连接，机械手臂7的另一端与刀具8连接，两个定位柱6通过螺纹与支撑板3固定连接。进一步结合图1和图2所示支撑膜1，其中压板4为圆形的，其直径与支撑膜1直径相等，底板5的直径大于压板4的直径；压板4和底板5中同时开两个定位孔，用于定位柱6的穿通定位，其孔的形状与位置与支撑膜垫片2中的定位孔22的形状与位置相同。两个定位柱6穿过压板4和底板5中的孔，上端通过螺母(图中未标出)固定，从而能够实现压板4和底板5之间固定。机械手臂7带动刀具8运动，从而实现对支撑膜垫片的切割。

图6为本实用新型所提供具体实施例的切割装置应用示意图。如图6所示，支撑膜垫片置于压板4和底板5之间。先将支撑板3水平放置，然后将定位柱6通过螺纹固定于支撑版3上，底板5穿过定位柱6放置在支撑板3之上，支撑膜垫片2穿过定位柱6放置在底板4之上，压板4穿过定位柱6放置在底板5之上，然后通过螺母(图中未标出)固定，从而支撑膜垫片2装夹于压板4和底板5之间。露于夹具之外的支撑膜垫片2部分通过机械手臂上的刀具8切割。切割完成以后，松开螺母(图中未标出)，拿出支撑膜垫片2，其具有和支撑膜1相同的形状，进一步把支撑膜垫片2定位粘附于支撑膜1上。

在不偏离本实用新型的精神和范围的情况下还可以构成许多有很大差别的实施例。应当理解，除了如所附的权利要求所限定的，本实用新型不限于在说明书中所述的具体实施例。

Claims (11)

1.一种夹具，用于装夹粘附在支撑膜上的支撑膜垫片，其特征在于包括第二夹板、置于第二夹板上的直径与所述支撑膜相同的第一夹板、以及穿通第一夹板和第二夹板的定位柱，第一夹板和第二夹板之间用于装夹支撑膜垫片。

2.根据权利要求1所述的夹具，其特征在于所述于第二夹板为圆形，其直径大于或等于所述第一夹板的直径。

3.根据权利要求1所述的夹具，其特征在于所述第一夹板和第二夹板中设有定位孔，其孔的形状、大小与位置与支撑膜垫片中的定位孔的形状、大小与位置相同。

4.根据权利要求1所述的夹具，其特征在于所述定位柱可以通过螺母对第一夹板和第二夹板进行固定。

5.根据权利要求1所述的夹具，其特征在于所述定位柱为两个或者两个以上。

6.一种切割装置，用于切割粘附在支撑膜上的支撑膜垫片，其特征在于包括：

支撑板；

置于支撑板上第二夹板；

置于第二夹板上的直径与所述支撑膜相同的第一夹板；

固定于支撑板上，并穿通第一夹板和第二夹板的定位柱；

与支撑板相连接的机械手臂；

以及与机械手臂连接用于切割的刀具。

7.根据权利要求6所述的切割装置，其特征在于第二夹板为圆形，其直径大于所述第一夹板的直径。

8.根据权利要求6所述的切割装置，其特征在于所述第一夹板和第二夹板中具有定位孔，其孔的形状、大小与位置与支撑膜垫片中的定位孔的形状、大小与位置相同。

9.根据权利要求6所述的切割装置，其特征在于所定位柱通过螺纹连接方式固定于支撑板上。

10.根据权利要求6所述的切割装置，其特征在于所述定位柱通过螺母固定第一夹板和第二夹板于支撑板上。

11.根据权利要求6所述的切割装置，其特征在于所述定位柱为两个或者两个以上。

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