CN201219103Y - 酸槽温度控制系统 - Google Patents
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Abstract
本实用新型一种酸槽温度控制系统，包括耐腐蚀的反应槽，在反应槽上设有换热水管，该酸槽温度控制系统还包括由水侧换热器、冷凝器、节流器以及压缩机，水侧换热器的制冷剂侧、冷凝器、节流器以及压缩机通过连接管连接形成制冷剂循环通路；在水侧换热器的水侧连接有进水管、出水管；换热水管的两端为水管入口、水管出口，水管入口、水管出口分别与出水管、进水管连通。在反应过程中，酸液温度过高时，可开启压缩机，通过冷却水对酸液进行冷却，以减少酸液的挥发浪费，也避免高温的酸液对环境的污染。
Description
【技术领域】
本实用新型涉及一种酸槽温度控制系统。
【背景技术】
现有的酸槽没有设计冷却装置，当晶片放入酸槽中清洗时，酸液腐蚀会产生大量的热量并释放到酸液中，酸液温度过高，无法准确的反应进行控制，影响其反应效果，同时酸液温度升高，酸液挥发过快，造成浪费，严重的还会产生酸液飞溅，影响安全，也造成环境污染。
【发明内容】
本实用新型提供一种酸槽温度控制系统，该冷却装置可对酸槽进行冷却，以降低其中酸液的温度，避免造成浪费及环境污染。
本实用新型的方案是：
一种酸槽温度控制系统，包括耐腐蚀的反应槽，在反应槽上设有换热水管，该酸槽温度控制系统还包括由水侧换热器、冷凝器、节流器以及压缩机，水侧换热器的制冷剂侧、冷凝器、节流器以及压缩机通过连接管连接形成制冷剂循环通路；在水侧换热器的水侧连接有进水管、出水管；换热水管的两端为水管入口、水管出口，水管入口、水管出口分别与出水管、进水管连通。
当晶片在酸液中清洗时，产生大量的热量使酸液温度升高，当酸液升高达到设定温度，此时可以开启压缩机，制冷剂在压缩机作用下在冷凝器中冷凝而释放热量，制冷剂进入水侧换热器(相当于蒸发器)后，在水侧换热器的制冷剂侧蒸发而吸收热量，使水侧换热器水侧的水温度降低，冷却水输入换热水管中并使反应槽中酸液的温度降低，避免酸液温度过高而大量挥发，也避免高温的酸液向外溅出而对环境造成污染。
所述换热水管为耐腐蚀管，设于所述反应槽之内。换热水管设于反应槽内壁，冷却效果好，此时的换热水管可用耐腐蚀性的铁氟龙管等材料。
该酸槽温度控制系统还包括有加热水箱，所述换热水管的两端还与该加热水箱连通。在酸槽的水温过低时，该加热水箱中的热水通入换热水管中，用于对酸槽加热，采用该结构后，当酸槽的温度过冷或过热均可进行调节控制，恒温效果好，在具体设计时，加热水箱可为独立的加热水箱，也可将所述冷凝器置于加热水箱内，加热水箱中的水吸收冷凝器的冷凝热而使水温升高。
【附图说明】
图1是本实用新型实施例一的结构图；
1、反应槽，2、换热水管，3、水侧换热器，4、冷凝器，5、节流器，6、压缩机，7、进水管，8、出水管，9、水管入口，10、水管出口。
【具体实施方式】
实施例一
请参见图1，一种酸槽温度控制系统，包括耐腐蚀的反应槽1，在反应槽1之内设有耐腐蚀的换热水管2，该酸槽温度控制系统还包括由水侧换热器3、冷凝器4节流器5以及压缩机6，水侧换热器3的制冷剂侧、冷凝器4、节流器5以及压缩机6通过连接管连接形成制冷剂循环通路；在水侧换热器3的水侧连接有进水管7、出水管8；换热水管2的两端为水管入口9、水管出口10，水管入口9、水管出口10分别与出水管8、进水管7连通。
当晶片在酸液中清洗时，产生大量的热量使酸液温度升高，当酸液升高达到设定温度，此时可以开启压缩机6，制冷剂在压缩机6作用下在冷凝器4中冷凝而释放热量，制冷剂进入水侧换热器3(相当于蒸发器)后，在水侧换热器3的制冷剂侧蒸发而吸收热量，使水侧换热器3水侧的水温度降低，冷却水输入换热水管2中并使反应槽1中酸液的温度降低，避免酸液温度过高而大量挥发，也避免高温的酸液向外溅出而对环境造成污染；将换热水管2设于反应槽1内，其冷却效果好，此时换热水管2是铁氟龙管，铁氟龙管是一种的耐腐蚀性的材料。
实施例二
该实施例中，可直接用酸泵将冷却后的酸液抽至酸槽里，更方便准确控制酸，酸泵、酸槽、冷却酸箱以及各支管和气动阀门形成一个冷却循环装置。成本和材料要求高。
Claims (3)
1、一种酸槽温度控制系统，包括耐腐蚀的反应槽，其特征在于，在反应槽上设有换热水管，该酸槽温度控制系统还包括由水侧换热器、冷凝器、节流器以及压缩机，水侧换热器的制冷剂侧、冷凝器、节流器以及压缩机通过连接管连接形成制冷剂循环通路；在水侧换热器的水侧连接有进水管、出水管；换热水管的两端为水管入口、水管出口，水管入口、水管出口分别与出水管、进水管连通。
2、如权利要求1所述酸槽温度控制系统，其特征在于，所述换热水管为耐腐蚀管，设于所述反应槽之内。
3、如权利要求1所述酸槽温度控制系统，其特征在于，该酸槽温度控制系统还包括有加热水箱，所述换热水管的两端还与该加热水箱连通。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CNU2008200942510U CN201219103Y (zh) | 2008-05-30 | 2008-05-30 | 酸槽温度控制系统 |
Applications Claiming Priority (1)
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Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN201219103Y true CN201219103Y (zh) | 2009-04-08 |
Family
ID=40541938
Family Applications (1)
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| CNU2008200942510U Expired - Fee Related CN201219103Y (zh) | 2008-05-30 | 2008-05-30 | 酸槽温度控制系统 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN201219103Y (zh) |
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2008
- 2008-05-30 CN CNU2008200942510U patent/CN201219103Y/zh not_active Expired - Fee Related
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