CN201187459Y - 具有抽真空装置的真空设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种具有抽真空装置的真空设备，包括：一个真空腔座及一个抽真空装置，该真空腔座包括一个界定出一腔室的腔壁，以及一个安装在腔壁上的门板，该腔壁具有一个底壁部，以及一个具有一门孔并供门板安装的侧壁部。而该抽真空装置包括一个粗抽泵、一连接在底壁部的一第一抽气口及粗抽泵间的第一管路、一个安装在门板的一个第二抽气口处的高真空泵，以及一个连接高真空泵及第一管路的第二管路。借将高真空泵安装在门板上，不仅让高真空泵在维修及安装上更方便，也可以使第二抽气口远离第一抽气口，以达到提高抽气真空均匀度的目的。

Description

具有抽真空装置的真空设备

技术领域

本实用新型涉及一种真空设备，特别是涉及一种可以将腔座内的气体抽出的具有抽真空装置的真空设备。

背景技术

参阅图1，以往真空设备1包括一个真空腔座11，该真空腔座11包括一个界定出一腔室111的腔壁112，此腔壁112具有一个底壁部113，以及一个直立的侧壁部114，在侧壁部114上开设一个与腔室111相通的门孔115，而该底壁部113具有两个间隔的抽气口116、117。又该真空设备1还包括：一个安装在真空腔座11上并用来关闭门孔115的门板12，以及一个可将腔室111的空气抽出的抽真空装置13。

以往抽真空装置13包括一个粗抽泵131、一条连接该粗抽泵131及抽气口116的第一管路132、一个设在第一管路132上的第一控阀133、一个安装在抽气口117上的高真空泵134、一条连接该高真空泵134及第一管路132的第二管路135，以及一个设在第二管路135上的第二控阀136。

当真空设备1在进行抽真空作业时，首先打开第一控阀133并启动粗抽泵131，以便抽出腔室111内的大部份气体。而当粗抽操作进行一段时间后，关闭第一控阀133并打开第二控阀136，同时启动高真空泵134，以便借由高真空泵134及粗抽泵131的作用达到更佳的抽气功能，并且让腔室111内达到预定的真空度。

以往真空设备1主要是在底壁部113上设置两个相邻的抽气口116、117，并且将整个抽真空装置13一起安装在该底壁部113的下方，这种元件的配置及安排方式虽然可以达到抽气的目的，但是将结构精密的高真空泵134安装在底壁部113下方，对于该高真空泵134而言，在维修及安装上都不太方便。另一方面，以往真空设备1将高真空泵134设在底壁部113下方并邻近粗抽泵131，这种元件配置方式，会使得真空腔座11的两个抽气口116、117都靠近腔室111的底部，因此，当抽真空装置13在进行抽气作业时，靠近底壁部113区域的空气容易被抽出，但远离该底壁部113区域的空气由于离抽气口116、117较远，故不容易抽干净，造成抽气时的真空均匀度较差。

实用新型内容

本实用新型的目的是在提供一种维修、安装方便，并可提高真空均匀度的具有抽真空装置的真空设备。

本实用新型的真空设备包括：一真空腔座，以及一个安装在该真空腔座上的抽真空装置。该真空腔座包括一个界定出一腔室的腔壁，以及一个可打开地安装在腔壁上的门板，上述腔壁具有一个设有一第一抽气口的底壁部，以及一个具有一门孔并供门板安装的侧壁部，而该抽真空装置包括一个粗抽泵，以及一条连接该第一抽气口及粗抽泵的第一管路。

本实用新型的特征在于：该门板具有一个和门孔相通的第二抽气口，而该抽真空装置还包括一个安装在门板的第二抽气口处的高真空泵，以及一个连接该高真空泵及第一管路的第二管路。

本实用新型的有益功效在于：借由将高真空泵安装在门板上，不仅使得高真空泵在维修及安装上更方便，此项设计也可以使第二抽气口远离设在底壁部的第一抽气口，借此达到提高真空均匀度的目的。

附图说明

图1是一种以往真空设备的组合剖视示意图；及

图2是本实用新型真空设备的一较佳实施例的组合剖视示意图。

具体实施方式

下面结合附图及实施例对本实用新型进行详细说明：

参阅图2，本实用新型真空设备的一较佳实施例包括：一真空腔座2，以及一个安装在该真空腔座2上的抽真空装置3。本实施例的真空腔座2包括：一个界定出一腔室21的腔壁22、一个安装在该腔壁22上的门板23，以及一个位在腔室21内并界定出一区隔室24的区隔壁25。该腔壁22具有一个水平的底壁部221，以及一个垂直于底壁部221的侧壁部222，在底壁部221上具有一个直向的第一抽气口223，以及一个靠近该第一抽气口223的底壁架孔224。而该侧壁部222具有一个门孔225，以及一个靠近该底壁部221并对应区隔室24的侧壁架孔226，在该侧壁架孔226上具有一个朝向门板23的第一凹环部227。

而该门板23是可打开地安装在侧壁部222上，并用来封闭门孔225，上述门板23具有一个朝向侧壁部222的内侧面231、一个和内侧面231间隔的外侧面232、一个贯穿内、外侧面231、232的第二抽气口233，以及一个靠近下方并和侧壁架孔226对应的门板架孔234。该第二抽气口233具有一个靠近内侧面231的孔缩部235、一个靠近外侧面232且直径扩大的泵架部236，以及一个位在孔缩部235及泵架部236间的封环安装部237，而该门板架孔234具有一个朝向侧壁部222的第一凹环部227的第二凹环部238。

本实施例的抽真空装置3包括一个粗抽泵31、一条连接在第一抽气口223及粗抽泵31间的第一管路32、一个安装在第一管路32上的第一控阀33、一个架设在第二抽气口233的泵架部236上的高真空泵34、一个安装在第二抽气口233的封环安装部237内的第一封环35、一个连接该高真空泵34及第一管路32的第二管路36，以及一个设在该第二管路36上的第二控阀37。

本实施例的高真空泵34是一种结构精密并具有较佳抽气效果的涡轮分子泵(TURBO PUMP)。而该第二管路36实际上是由数个元件衔接而成，并具有一个安装在门板架孔234上的第一真空转接盒361、一条连接高真空泵34及第一真空转接盒361的第一管段362、一个位在区隔室24内并架设在侧壁架孔226上的第二真空转接盒363、一个夹设在第一及第二凹环部227、238间的第二封环364，以及一条架设在底壁架孔224及第一管路32之间的第二管段365，第二真空转接盒363并衔接在第一真空转接盒361及第二管段365间，而该第二控阀37是安装在该第二管段365上。

本实施例的抽真空装置3在使用时，首先打开第一控阀33并启动粗抽泵31以进行粗抽作业，当粗抽作业进行一段时间后关闭第一控阀33，再打开第二控阀37同时启动高真空泵34。此时腔室21内的气体就可以由靠近上方的第二抽气口233被抽出，由于本实用新型将结构精密的高真空泵34设在容易维修及安装的门板23上，因此，本实用新型在高真空泵34的维修及安装上较以往真空设备方便。此外，由于本实用新型将执行抽气的粗抽泵31及高真空泵34分别安装在靠近腔室21的底端及上方位置，也就是说，使第一抽气口223及第二抽气口233相远离，如此也可在进行精抽作业时，更均匀地将腔室21内部的气体抽出，故本实用新型也具有提高真空均匀度的功效。

Claims (8)

1.一种具有抽真空装置的真空设备，包括：一真空腔座以及一抽真空装置，该真空腔座包括：一个界定出一腔室的腔壁，以及一个安装在腔壁上的门板，该腔壁具有一个设有一第一抽气口的底壁部，以及一个具有一门孔并供门板安装的侧壁部，而该抽真空装置包括一个粗抽泵，以及一个连接该第一抽气口及粗抽泵的第一管路；

其特征在于：该门板具有一个和门孔相通的第二抽气口，而该抽真空装置还包括一个安装在门板的第二抽气口处的高真空泵，以及一个连接该高真空泵及第一管路的第二管路。

2.如权利要求1所述具有抽真空装置的真空设备，其特征在于：该真空腔座的底壁部具有一个靠近第一抽气口的底壁架孔，而该侧壁部具有一个靠近底壁部的侧壁架孔，该门板还具有一个靠近底壁部并和侧壁架孔对接的门板架孔，而该第二管路是通过该门板架孔、侧壁架孔及底壁架孔。

3.如权利要求2所述具有抽真空装置的真空设备，其特征在于：该第二管路具有一个安装在门板架孔上的第一真空转接盒、一个连接高真空泵及第一真空转接盒的第一管段、一个安装在侧壁架孔上并和第一真空转接盒对接的第二真空转接盒，以及一个安装在底壁架孔上并连接该第二真空转接盒及第一管路的第二管段。

4.如权利要求3所述具有抽真空装置的真空设备，其特征在于：该抽真空装置还包括一个安装在第一管路上的第一控阀，以及一个安装在第二管路的第二管段上的第二控阀。

5.如权利要求3所述具有抽真空装置的真空设备，其特征在于：该真空腔座还包括一个界定出一区隔室的区隔壁，而该第二真空转接盒是安装在所述区隔室内。

6.如权利要求4所述具有抽真空装置的真空设备，其特征在于：该第二管路还具有一个夹设在侧壁部及门板间并对应侧壁架孔及门板架孔的第二封环。

7.如权利要求1所述具有抽真空装置的真空设备，其特征在于：该抽真空装置还包括一个安装在第一管路上的第一控阀，以及一个安装在第二管路上的第二控阀。

8.如权利要求1所述具有抽真空装置的真空设备，其特征在于：该第二抽气口具有一个靠近门孔的孔缩部、一个间隔并供高真空泵架设的泵架部，以及一个位在孔缩部及泵架部间的封环安装部，而该抽真空装置还包括一个安装在封环安装部内的第一封环。

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