CN201163612Y - 晶圆传输盒上电子标签的辅助固定元件 - Google Patents

晶圆传输盒上电子标签的辅助固定元件 Download PDF

Info

Publication number
CN201163612Y
CN201163612Y CNU2008200550317U CN200820055031U CN201163612Y CN 201163612 Y CN201163612 Y CN 201163612Y CN U2008200550317 U CNU2008200550317 U CN U2008200550317U CN 200820055031 U CN200820055031 U CN 200820055031U CN 201163612 Y CN201163612 Y CN 201163612Y
Authority
CN
China
Prior art keywords
electronic tag
clamping part
wafer transfer
fixed element
transfer box
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
CNU2008200550317U
Other languages
English (en)
Inventor
任鹏
程杰
马海
李洪燕
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Semiconductor Manufacturing International Beijing Corp
Original Assignee
Semiconductor Manufacturing International Shanghai Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Semiconductor Manufacturing International Shanghai Corp filed Critical Semiconductor Manufacturing International Shanghai Corp
Priority to CNU2008200550317U priority Critical patent/CN201163612Y/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN201163612Y publication Critical patent/CN201163612Y/zh
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Packaging Frangible Articles (AREA)

Abstract

本实用新型公开了一种晶圆传输盒上用于固定电子标签的辅助固定元件。所述辅助固定元件包括沿晶圆传输盒顶面延伸的上固定板、沿前端面延伸的支架以及位于所述支架底部且与夹持部位置对应的下固定板；其中所述下固定板与所述夹持部共同或者代替夹持部固定电子标签。本实用新型提供的辅助固定元件可以与传输盒本身的夹持部一起固定电子标签，在夹持部部分损坏的情况下，也可以起到固定电子标签的作用；另外，即使夹持部完全损坏了，只要辅助元件具有足够的强度和硬度，也可以代替夹持部固定电子标签，一定程度上提高了晶圆传输盒的利用率。

Description

晶圆传输盒上电子标签的辅助固定元件
技术领域
本实用新型涉及半导体制造工厂内的晶圆传输盒(Pod)，具体地说，涉及一种晶圆传输盒上用于固定电子标签的辅助固定元件。
背景技术
目前，半导体制造工厂内，晶圆传输盒是主要的晶圆存放传输装置，一般可垂直存放25片晶圆。晶圆传输盒面向工作人员的一侧安装有电子标签(tag)和以及存放纸标签的塑料的标签袋。电子标签用于记录晶圆传输盒内各种信息，包括晶圆尺寸、用途、批号以及需要执行的工序等等。一些无法输入电子标签中的信息，则采用手写的方式记录在标签袋中的纸标签上，以方便工作人员在制造过程中查询信息。
晶圆传输盒在靠近底端的位置设有夹持部，其中间设有一个自上向下延伸的狭槽。电子标签安装有一个固定件，固定件的底端是一个可插入狭槽的插入板，插入板两侧设有螺纹孔。安装时，电子标签的插入板插入固定件的狭槽内，然后采用螺丝旋入所述螺纹孔内进一步固定。使用过程中，因为如更换电池、修理维护等各种原因常常需要拆卸电子标签。夹持部具有一定的使用寿命，多次拆卸很容易损坏夹持部。一旦夹持部不能使用，整个传输盒就报废不能使用了。晶圆传输盒的成本很高，在晶圆传输盒报废原因分析时发现，将近25％的晶圆传输盒报废是因为电子标签的固定件损坏造成的。
实用新型内容
有鉴于此，本实用新型解决的技术问题是提供一种晶圆传输盒上电子标签的辅助固定元件，其可与传输盒的夹持部共同或者代替夹持部固定电子标签。
为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种晶圆传输盒上电子标签的辅助固定元件。所述晶圆传输盒具有顶面、安装电子标签的前端面以及设有前端面底部的固定电子标签的夹持部。所述辅助固定元件包括沿晶圆传输盒顶面延伸的上固定板、沿前端面延伸的支架以及位于所述支架底部且与夹持部位置对应的下固定板；其中所述下固定板与所述夹持部共同或者代替夹持部固定电子标签。
本实用新型提供的晶圆传输盒上电子标签的辅助固定元件，其与传输盒本身的夹持部一起固定电子标签，在夹持部部分损坏的情况下，也可以起到固定电子标签的作用；另外，即使夹持部完全损坏了，只要辅助元件具有足够的强度和硬度，也可以代替夹持部固定电子标签，一定程度上提高了晶圆传输盒的利用率。
附图说明
图1为本实用新型实施例中的辅助固定元件的立体示意图；
图2为图1所示辅助固定元件安装在晶圆传输盒上的立体示意图。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型的晶圆传输盒上电子标签的辅助固定元件其中一实施例进行描述，以进一步理解本实用新型的目的、具体结构特征和优点。
请参阅图2，首先定义晶圆传输盒1用于安装电子标签2和标签袋3的端面为前端面11。标签袋3用于存放纸标签31，标签袋3顶端设有两个固定孔30，分别与设于传输盒1的顶端面12的两上螺纹孔(未标示)相对应。
电子标签2的背面安装有狭长的固定板20，且固定板20上设有两个下螺纹孔201。传输盒1底部两侧各设置一个夹持部13，每一个夹持部13具有一个自上向下延伸的狭长凹槽，用于收容固定所述电子标签2的固定板20。
本实用新型提供了一种辅助夹持部13固定电子标签2的辅助固定元件4，如图1所示。请参阅图1结合图2，该辅助固定元件4包括沿传输盒1顶端面12延伸的上固定板41以及沿传输盒1前端面11延伸的支架，所述支架为彼此分离向下延伸的两子支架42。所述上固定板41设有与传输盒1顶端面12的两上螺纹孔位置对应的通孔410。每一子支架42的末端弯折形成下固定板43，位置与电子标签2的夹持部13相对应。两下固定板43末端设有朝向彼此延伸的延伸部，延伸部上设有与下螺纹孔201对应的辅助螺纹孔430。
安装时，首先将辅助固定元件4安装在传输盒1上，然后安装标签袋3，采用螺丝依次穿过固定孔30和通孔410旋入上螺纹孔内，以将辅助固定元件4和标签袋3的顶端固定。辅助固定元件4的下固定板43位于传输盒1的夹持部13附近，如果夹持部13部分损坏，下固定板43可以起到进一步固定的作用。如果夹持部13完全损坏，只要辅助固定元件4具有足够的强度和硬度，通过下螺纹孔201和辅助螺纹孔430可以将电子标签稳定安全的固定在该位置上。
进一步地，所述辅助固定元件的两子支架42对应标签袋3底部位置处向外、向上延伸的弹片420。晶圆运输过程中，所述弹片420将标签袋3底部夹住固定，这样，就有效避免了在运输过程中因标签袋3摇摆产生不必要当机的状况。
需要说明的是，所述辅助固定元件4可以采用塑料材料、不锈钢，也可以采用其他可以适合的任何材料。另外，只要辅助固定元件4具有足够的刚度和强度，即使传输盒夹持部13完全损坏了，也可以达到稳定固定电子标签的作用，提高了传输盒的利用率，有效降低了工厂的生产成本。
上述描述，仅是对本实用新型较佳实施例的描述，并非对本实用新型的任何限定，对于本领域的普通技术人员来说，可以根据上述揭示内容进行简单修改、添加、变换，且均属于权利要求书中保护的内容。

Claims (6)

1.一种晶圆传输盒上电子标签的辅助固定元件，所述晶圆传输盒具有顶面、安装电子标签的前端面以及设于前端面底部的固定电子标签的夹持部，其特征在于，所述辅助固定元件包括沿晶圆传输盒顶面延伸的上固定板、沿前端面延伸的支架以及位于所述支架底部且与夹持部位置对应的下固定板；其中所述下固定板与所述夹持部共同或者代替夹持部固定电子标签。
2.如权利要求1所述的圆传输盒上电子标签的辅助固定元件，其特征在于，所述晶圆传输盒设有存放纸标签的标签袋，所述辅助固定元件的支架上设有固定标签袋底部的弹片。
3.如权利要求1所述的晶圆传输盒上电子标签的辅助固定元件，其特征在于，所述支架包括自上固定板延伸的彼此分离的两子支架。
4.如权利要求3所述的晶圆传输盒上电子标签的辅助固定元件，其特征在于，所述下固定板为每一子支架末端弯折形成，且设有用于固定电子标签的辅助螺纹孔。
5.如权利要求4所述的晶圆传输盒上电子标签的辅助固定元件，其特征在于，所述固定板设有朝向彼此延伸的延伸部，所述辅助螺纹孔设置在延伸部上。
6.如权利要求1所述的晶圆传输盒上电子标签的辅助固定元件，其特征在于，所述晶圆传输盒设有自其顶面延伸的上螺纹孔，所述辅助固定元件的上固定板设有与上螺纹孔对应的通孔；安装时，利用螺丝穿过通孔旋入对应的上螺纹孔内以将辅助固定元件的上固定板固定。
CNU2008200550317U 2008-01-24 2008-01-24 晶圆传输盒上电子标签的辅助固定元件 Expired - Lifetime CN201163612Y (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CNU2008200550317U CN201163612Y (zh) 2008-01-24 2008-01-24 晶圆传输盒上电子标签的辅助固定元件

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CNU2008200550317U CN201163612Y (zh) 2008-01-24 2008-01-24 晶圆传输盒上电子标签的辅助固定元件

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN201163612Y true CN201163612Y (zh) 2008-12-10

Family

ID=40184541

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CNU2008200550317U Expired - Lifetime CN201163612Y (zh) 2008-01-24 2008-01-24 晶圆传输盒上电子标签的辅助固定元件

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN201163612Y (zh)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107533816A (zh) * 2016-02-19 2018-01-02 斯特凡诺.尼克里斯 用于支撑电子标签的设备
WO2022193336A1 (zh) * 2021-03-19 2022-09-22 台湾积体电路制造股份有限公司 晶圆载具标识牌更换装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107533816A (zh) * 2016-02-19 2018-01-02 斯特凡诺.尼克里斯 用于支撑电子标签的设备
WO2022193336A1 (zh) * 2021-03-19 2022-09-22 台湾积体电路制造股份有限公司 晶圆载具标识牌更换装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN207841271U (zh) 一种用于自动化设备的工具箱
CN104309896B (zh) 一种包装箱
CN201163612Y (zh) 晶圆传输盒上电子标签的辅助固定元件
CN201226116Y (zh) 模块化计算机
US8544653B2 (en) Storage frame for tool rack assemblies
CN202193428U (zh) 轨道式选盖器
CN206618628U (zh) 一种侧板拉伸试验用固定装置
CN203544588U (zh) 新型的圆柱锂电子电池托盘
CN202384375U (zh) 带有金属框架的组装式大容量硅片花篮
CN202310407U (zh) 可组合式供通讯机箱板卡插置的导轨
CN206251516U (zh) 一种便于安装的散热电源盒
US11753221B2 (en) Connected tie strap and locking device
CN213365953U (zh) 一种耐用性苗木挂签
CN204756677U (zh) 一种基于物联网技术的城市照明系统
CN207208787U (zh) 一种储能用电池模组托盘
CN206097825U (zh) 一种广告箱盖板
CN202093442U (zh) 内存卡座
CN206740394U (zh) 一种侧板拉伸试验用固定设备
CN105083669A (zh) 一种标签打印机
CN201853278U (zh) 自动售货机用标签架
CN209463595U (zh) 一种便于分类整理的货架
CN202523320U (zh) 一种模具铭牌安装结构
CN202412948U (zh) 一种用于条码标签打印机上的胶辊支架结构
CN201116030Y (zh) 一种档案盒
CN202809226U (zh) 缝纫机内部连接本体

Legal Events

Date Code Title Description
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
ASS Succession or assignment of patent right

Owner name: SEMICONDUCTOR MANUFACTURING INTERNATIONAL (BEIJING

Free format text: FORMER OWNER: SEMICONDUCTOR MANUFACTURING INTERNATIONAL (SHANGHAI) CORPORATION

Effective date: 20130220

C41 Transfer of patent application or patent right or utility model
COR Change of bibliographic data

Free format text: CORRECT: ADDRESS; FROM: 201203 PUDONG NEW AREA, SHANGHAI TO: 100176 DAXING, BEIJING

TR01 Transfer of patent right

Effective date of registration: 20130220

Address after: 100176 No. 18 Wenchang Avenue, Beijing economic and Technological Development Zone

Patentee after: Semiconductor Manufacturing International (Beijing) Corporation

Address before: 201203 Shanghai City, Pudong New Area Zhangjiang Road No. 18

Patentee before: Semiconductor Manufacturing International (Shanghai) Corporation

CX01 Expiry of patent term
CX01 Expiry of patent term

Granted publication date: 20081210