CN1950725A - 电润湿单元及其制造方法 - Google Patents

Abstract

电湿润单元(15)包括外壁(90)和内壁(80)，所述外壁(90)具有在内壁(80)的相对侧处延伸的伸出部分(85，86)。该单元(15)还具有用于容积膨胀的构件(45)且通过电镀层(95)密封。

Description

电润湿单元及其制造方法

本发明涉及一种含有衬底和至少一个侧壁的外壳的电润湿单元，衬底和侧壁共同限定一个空腔，该空腔含有电润湿流体，且该单元还含有至少一个固定到外壳的端部。

本发明还涉及一种制造电润湿单元的方法，该单元包括具有衬底和侧壁的外壳，衬底和侧壁共同限定一个含有第一和第二电润湿流体的空腔。

电润湿单元是在两种不混溶流体之间通过弯月面折射光的单元。两种流体中的一种流体是电绝缘的，另一种是导电的。弯月面的形状在两电极之间电压的影响下是可变的，两电极中的一个电极连接到导电流体，且另一个连接到壳体的表面。该单元是已知的且例如可用作透镜或显示器。在应用一个单元的情况中，具有通过外壳的光路。

这样的电润湿单元是例如从WO-A 03/069380中所熟知的。该申请公开一种至少一个侧壁的内表面由疏水流体接触层覆盖的透镜。当不施加电压时，相对于电绝缘流体的流体接触层的润湿性不同于相对于导电流体的流体接触层的润湿性。在施加电压的影响下发生润湿性的变化。这导致在流体接触层和流体之间接触线处弯月面的接触角的变化，由此调节弯月面的形状。因此，弯月面的形状依赖于所施加的电压。

因为电润湿单元具有光学特性且包括流体，所以它对于获得完全的单元填充和在封闭单元之后不泄漏流体这样适当的操作是第一重要的。现有技术中公开的单元没有给出如何获得这样完全填充和防止流体泄漏的任何解决方案。

因此本发明的第一目的是提供一种在开头段落中提到的类别的电润湿单元，其可被完全填充且防止单元封闭后流体的泄漏。

第二目的是提供在开头段落中提到的类别的方法，利用其可获得以工业上可行的方式完全填充。

达到第一目的是因为外壳的至少一个侧壁包括内壁和外壁，端部的一部分是内壁部分，这样保护端部和外壳，且外壁具有在第一和第二侧处延伸至内壁的第一相对侧的伸出部分。

在具有内壁和外壁的单元中获得第二目的，所述外壁具有在内壁的相对侧处延伸的第一和第二伸出部分，所述方法包括以下步骤：

提供外壁和衬底，以形成空腔；

利用第一和第二电润湿流体填充空腔；

在空腔内提供端部使得端部以距离衬底一个理想距离浸入到至少一种流体中，部分衬底和端部以及任选的中间衬垫形成所述内壁；

将端部固定到外壳，因为外壁的第一伸出部分位于端部的顶部。

本发明的解决方案是具有双壁的单元。外壁提供稳定且充分地密封，而内壁由连续装配的组成元件构成。由于连续装配和双壁，所以在端部前面可提供电润湿流体。结果，该端部可浸入到流体中，实际上是具有最低密度的流体。一些流体将流到端部上，但仍保留在外壁内。浸入导致所需的完全填充。因为外壁存在于内壁的相对侧，然后达到充分地封闭。然后包装的外壁将仅包括两种主要材料，该两种主要材料可以以可靠的方式彼此连接。合适的组合是金属和玻璃。

该衬底可以是外壁的一部分，但是优选为一部分是内壁部分的单独部分。衬垫可以存在于衬底和端部之间。这是合适的但不是必要的。这样衬垫的优势为可具有任何所需的表面涂层，例如上述的流体接触层。有利地，该衬垫在其底部具有间隙。这使得单元的高度降低。

可设想几个用于在端部的顶部上提供第一伸出部分的实施方案。例如可以是外壁的韧性伸出部分。可替换的方案是，在工具施加压力的帮助下通过沉积技术定位金属层。

在优选实施方案中，第一伸出部分是在端部的顶部上作为独立部分装配的夹紧壳体，且(同时或连续地)连接到外壁上。这提供一有效的装配方法。以机械和化学方式，例如锁紧部件、附加的卡钉(clamp)、粘合剂层和封闭层实现可靠的连接。有利地，使用在所述的表面上生长的连接和保护层。生长层以化学方式结合到表面。生长层具有相同的热膨胀系数并且在温度的影响下对于非弹性和不可逆膨胀不敏感。生长层可生长到所需的厚度，于是平滑掉间隙和高度差别。然而，这样的生长层是完全惰性的，尤其如果具有氧化物(可以是天然氧化物的)时是完全惰性的。最后，生长层对于任何电润湿流体的腐蚀不敏感且不具有允许分子扩散的开口或多孔结构。利用这样的密封，尤其是与玻璃的衬底和端部一起的密封，得到的单元密闭地封闭。

在此特别合适的技术是电镀。该技术具有这样的优势：可通过将完整的单元浸入到电镀槽中，在大体积水平上应用该技术。然而这样整个单元的浸入具有生长层在完整的外壁和在内壁任一侧的两个伸出部分上延伸的优势。于是增强外壁夹紧特征。

在另一个实施方案中，在衬底和端部处，将与至少一种电润湿流体接触的第一和第二电极限定在空腔的相对侧处。在电润湿单元中需要至少两个电极，以便施加设定弯月面形状所需要的电压。在弯月面的相对侧处，可在内壁处施加该电极。然而在这个实施方案中，电极在端部处和衬底处存在。这实际对于一个电极来讲允许使用金属封装而不是隔离连接。

优选，该衬底具有一小孔，在其端部存在所述电极。该电极可在面对弯月面的衬底表面处和远离弯月面的相对表面处存在。后者的改进是最优选的，因为不需要利用其中的金属填充所述小孔：该流体填充小孔。然而，该电极的制造可通过提供用于外壁连接到衬底的金属条集成在一起，且因此提供充分的密封。

优选包装具有容积膨胀构件。例如这种容积膨胀构件在JP-A2002/162506中被熟知。这样熟知的包装包括靠近衬底存在的特殊的室，且与单元通过韧性盖分离。在单元中随着压力的增加，该韧性的盖可以变形或甚至向外伸长，以便形成延伸到所述室的曲面。本发明提供在内壁和外壁之间设置这样室的可能性。

容积膨胀构件的更优选实施方案为韧性隔膜(是端部的部分)。在这种方式中，端部的更大部分-即：在光路中存在的部分-被移动。因此，可补偿实际容积的增加。该韧性隔膜是特殊的环状。这样端部分划分为外缘，隔膜和内部部分。在此端部的标准位置不必是平面。如参见附图所解释的，优选外缘在夹紧壳体的压力下向下压。然而这导致密封包装。尽管不优选，但不排除端部的外缘部分包括除了内部部分之外的其它材料。

该隔膜更优选由金属形成。这样的材料有效地抵挡流体。这样的材料具有隔膜可用作单元的一个电极的附加优势。如果通过电镀等提供在夹紧壳体和外壁之间的连接，那么隔膜也将具有金属层。一方面具有足够稳定性和另一方面具有足够韧性的隔膜层的合适厚度在5-30微米量级，且更优选在15和25微米之间。这也依赖于隔膜材料。为了限制隔膜的厚度，该隔膜可具有绝缘涂层。

衬底和端部优选为玻璃板。玻璃对于电润湿流体是惰性的。该玻璃可采用如粉末喷砂法(powder blasting)的技术处理，且金属层可与它连接。视需要而定，一个或多个玻璃板可具有涂层和表面层，包括IR-涂层，UV-吸收涂层，抗反射涂层，但也可以是透镜。这样的透镜可利用复制(replica)技术由表面层构成。对准特征可包括在由表面层形成的这样复制品内。通过在底部处和顶部上另外的透镜，这保证了单元的适当对准。

如果本发明的单元用作透镜，则它适合与另外的透镜组合以获得所需的光路。不排除两个电润湿透镜是部分组件的情况；实际上这提供变焦特征。然而一可替换的实施方案是堆叠的电润湿透镜。该堆叠的电润湿透镜可适合由本发明的方法制造。

在堆叠单元制造的第一实施方案中，目前该衬底设置在堆叠的单元结构的中间。然后在衬底的一侧上进行第一装配和填充，在第一侧处结束装配和填充之后在相对的第二侧上进行第二装配和填充。优选两个相对端部具有补偿容积膨胀的韧性隔膜。在具有支持衬底的伸出部分的这种结构中提供外壁，外壁是堆叠单元的一半长度。

在堆叠单元制造的第二实施方案中，相继在外壁内提供两种单元。第一单元的端部可以是第二单元的衬底，但不是必要的。最简单的，提供衬垫代替夹紧壳体。在这种衬垫上(该衬垫通过电镀可较好地连接到外壁)，连续提供第二单元的另一衬底和另一个元件。然而这样的结构允许电极位于衬底内且端部不需要互耦合。

代替堆叠几个电润湿单元，对外壁可施加一个电润湿单元和另外的光学和/或非光学元件的堆叠。除了分开透镜和滤光片之外，设想以这样的方式装配一种图像传感器：利用任何衬垫等以所需距离与电润湿透镜分开。具有图像传感器这样的结合是最有效的，其中在相对于光学活性表面的表面处设置粘合衬垫。可替换的方案是，图像传感器可在插入机构衬底的顶部上装配，该插入机构衬底的顶部具有通孔以便接触光学活性表面的相反侧。插入机构衬底(interposer substrate)的使用在半导体封装的领域中本身是已知的。

本发明方法的优势是它可在圆片级或大体积级上实施。外壁可以是板，例如具有小孔的印刷电路板的一部分。仅在填充和封装步骤之后所述外壁可分为单独封装。然而，即使单独地实施单元的制造，也可在电镀槽中发生电镀步骤，允许多个设备同时电镀。

在另一个优选实施方案中，外壁和内壁的重叠表面或衬底或端部的至少一个包括用于在压力下密封重叠部分的密封层。其优势为在其装配期间密封该单元。换句话说，密封该单元的同时对于单元施加封闭伸出部分。一定要记住必须防止在重叠表面周围流体的泄漏。该实施方案的密封通过在邻近表面内由不规则性形成的通路防止流体泄漏。该实施方案的另一个优势是，因为在装配后防止泄漏，所以该单元的外表面在清洁单元之后将无从内部流出的液体。因此，优选上述金属层的应用不会受到被新泄露流体的妨碍。

包括如塑料或橡胶的有机组合物的密封层的优势是，该材料容易变形且或压入到邻近表面进一步彼此远离的区域内，该区域最易于泄漏。优选该密封层具有导电特性，通过如电镀锌法的安置技术电镀处理而直接施加到密封层上。直接施加在密封层上的电镀加速了邻近壁部分之间间隙上的电镀过程。

本发明还涉及一种制造方法和在开头段落内提到的类别的单元，其中提供封闭的密封。由于端部通过在端部和连接部分的表面上施加金属层而连接到外壳上，这才被实现。如上述所解释的，应用金属层将带来封闭的密封。如果金属层，或金属层的结构是在单元的两侧上部分延伸，那么实现了夹紧。优选的施加方法是电镀，但不排除如金属的溶胶凝胶沉积、溅射或化学气相沉积、或这些沉积方法的组合。金属层将合适地连接到在端部的表面处和在外壳表面处的金属部分。

在光学记录设备或任何其它的光学仪器中，该单元可用作照相机的透镜。该单元可利用另外的透镜装配以获得所需的光路，或甚至获得变焦透镜。可替换的方案是，该单元用作显示器，在这样的情况中仅衬底和端部中的一个需要是光学透明的。该单元还用作传感器。

参见附图将进一步阐明本发明的单元和方法的这些和其它方面，其附图为：

图1示出一个本发明的单元的概略横截面图，其中仅叙述左部分；

图2-7示出在制造单元中使用的端部期间连续阶段的概略横截面图；

图8-16示出制造单元的方法中连续阶段的概略横截面图，其中仅描述单元的左部分。

图17示出本发明单元的第二实施方案的一个概略横截面图。

图18-19示出本发明单元的第三实施方案的一个概略横截面图。

该图是概略的而不是按比例画出的。不同附图内相同附图标记表示相同部分。

图1示出根据本发明的电润湿单元15的实施方案。在该图1中仅示出部分横截面图，即仅是单元15的左部分。然而对称性地组合该单元15，使得未示出的右部分是左部分的镜像。该透镜包括流体室，具有不互溶且在弯月面14上彼此接触的第一流体51和第二流体52。在该实施例中第一流体51是硅油，烷烃或其它合适的电绝缘流体。在该实施例中第二流体52是含有盐溶液或其它合适的导电流体的水。室的侧面具有电绝缘层8和流体接触层10，例如聚对亚苯基二甲基。

根据该实施方案，外壳17包括内壁80和外壁90，以及在单元15的第二侧112上的第二盖板6。该内壁80包括利用流体接触层10涂布的电绝缘构件8。该内壁80还包括端部4的一部分。这个端部(或第一盖板)4包括通过可膨胀接头45连接到内部部分的环状玻璃构件81。在优选实施方案中，该环状玻璃构件81和端部4的内部部分由单个玻璃板制造，如参见图2到7所解释的。该内壁80还包括第二盖板6的端部61。该第二盖板6具有通孔62、电极2和喷镀金属63。在任选的实施方案中，该板6可由相似或等同于单元15的第一侧111的结构代替，即环状玻璃构件、可膨胀接头和盖板。

内壁80-环状的玻璃构件81，还有环状绝缘构件8和端部61这三部分在外壁90的突起85和环状封闭构件86之间夹紧。在此该封闭构件86是一片金属，但可以是具有导电表面的任何东西。该外壁90包括具有镀金属的表面91的塑料或其它材料92的内核。这种镀金属的表面91也环绕(circumfere)着第二盖板6的喷镀金属层63。以该方式，提供机械稳定连接。

内壁80和外壁90彼此连接，还连接到接头45和端部4上，因为密封层95在它周围存在。该密封层95可由合适的材料制成。可使用本来熟知的作为保护涂层的橡胶，环氧树脂等的聚合物涂布。然而优选密封层95包含金属。这就允许提供密封的且不易空气、水或流体扩散的封装。用于提供这种金属密封层95的特别优选的方法是电镀。该方法可在例如电镀槽中在三维表面上实施，。

图2到7示出在示意性横截面图中制造用作可膨胀接头46的，具有集成隔膜210的衬底200的方法的连续步骤。图20示出衬底200，其具有第一表面201和相对的第二表面202。在该实施例中衬底200是具有合适厚度的玻璃板，例如0.1mm量级。

图3示出在两表面201，202处施加光刻胶205之后的衬底200。光刻胶材料是所属领域中本来熟知的。

图4示出在构图和显影光刻胶205之后的衬底200。第一侧201处的构图带来小孔214。第二侧202处的构图导致光刻胶205的表面215有三维结构。在该实施例中该表面215是波状表面的形式。该表面结构可具有前述或其它机械变形的方式。另选的，使用高级的光刻技术。在另外实施方案中，使用模制技术以提供所需形状的光刻胶层205。应该理解，在这一情况中不需要特殊的光刻胶材料。

图5示出施加隔膜层225之后的衬底200。该隔膜层包括例如具有一些弹性的金属，尽管任何其它材料也是合适的，但是只要它与光刻胶层205兼容即可。如果作为薄层使用很多金属本来具有足够的韧性。实例包括金、铜、镍、铝以及它们的合金。金属层可采用合适的沉积技术，如溅射、化学气相沉积、还有湿化学技术。在该实施例中，示出要被构图的隔膜层225，但不是必要的。

图6示出在第一侧201处已经通过构图的光刻胶205构图之后的衬底200。在玻璃板200的情况中，可有利地采用粉末喷砂法(powerblasting)技术，然而并不排除任何其它诸如蚀刻的技术。

图7示出去除光刻胶205之后的衬底200，且产生具有集成隔膜220的衬底200。清楚可见，衬底200可在横向内延伸。该隔膜220可具有任何合适的形状。特别优选的是环状。该衬底可含有多个隔膜，且在另外的步骤中适于晶片级处理，或被分离。也可在去除光刻胶205之前采用这样的分离步骤。尽管在此未示出，但不排除衬底在第一或第二侧201，202处还包括另外的层。如果将半导体衬底用作衬底200时，在此可定义诸如二极管和晶体管或沟槽电容器的半导体元件。

图8到16示出制造电润湿单元15的方法的概略横截面图。在此示出的是图1的实施方案的制造，但在本发明的范围内进行修改和替代是可能的。

图8示出装配中的第一步骤。在此，玻璃衬底6设置在环状构件90内。该环状构件90作为外壁，且具有导电表面。尽管不需要整个表面都是导电的。该构件90具有伸出部分85，其在衬底6的第一侧112处存在，且与衬底6的粘着层63接触。该粘着层63在此为金属，如铜。电极2在与衬底6的相同第一侧112处存在。该电极2覆盖衬底6内的孔62。该孔62可由导电材料填充，但在该实施例中不是这样的情况。该孔62与例如外壁90相反为非环状的，并且仅在局部提供。可使用其它材料代替玻璃。倘若单元不是透镜的话，就不需要衬底光学透明。为保持衬底6和外壁连接，例如使用粘着层。

图9示出在装配的第二步骤之后的结果。在此，衬底6和外壁90与金属层91彼此连接。该金属层91适合在电镀槽中电镀。该金属层91围绕外壁90延伸，且与衬底的粘着层63相连接。该连接不仅在衬底的第一侧112处存在，也在侧面115处存在。在此示出但不在另外的附图中示出的原因在于，电极2还将具有电镀层。选择该电极2的位置使得在电极和外壁之间不形成电桥。为了防止绝缘涂层变厚可在电极2处设置绝缘涂层。

图10示出在将导电流体52供给到外壁90内和衬底6的第二侧113上之后的结果。在该实施例中该流体52是盐水溶液。乙醇等可用作附加溶剂。该流体扩展到孔62内，以接触电极2。该电极2同时用作单元的封闭物(closure)。

图11示出在供给电绝缘流体51之后的结果。电绝缘流体51为油，例如烷烃或硅油。考虑到它的低密度，在施加导电流体51之后提供电绝缘流体。所示弯月面的形状和对于衬底6的第二侧113的粘附完全是概略的且不必符合任何物理效应。

图12示出在插入衬垫8之后的结果。这是具有聚对亚苯基二甲基的流体接触层10的环状电绝缘构件8的情况。该衬垫8具有表面9，表面9可具有可调整的表面结构或用于适当地粘附到外壁90的电镀层91上的层。该表面结构或层可以是任何化学品种类，但也可是机械的，诸如锁紧部件。此外，该衬垫8具有间隙64。该间隙64具有电极2可低于该衬垫8设置的第一优势。因此，该电极2位于光路外部，这样减小了单元的直径。该间隙的第二优势是在导电流体52和电绝缘流体51之间可调节弯月面14的角度。结果，降低了单元的最小厚度。该衬垫8和内壁的衬底部分的外缘61一起形成。

图13示出在制造的第六步骤之后的单元15。该步骤涉及端部4的装配。端部4包括内部、隔膜45以及外部81。在端部4的第一侧111处设有施压工具70。优选，在实际装配之前，端部4在第二侧114处具有电绝缘流体层。这保证在装配期间没有气泡形成。在装配期间将端部4浸入到流体51中。作为其结果，流体的剩余层55在端部的第一侧处形成。因为在外部81和外壁90之间留有窄通道，该电绝缘流体51能从端部4的第二侧114流到第一侧111。

图14示出在端部4的外部81固定到外壳之后的单元15。该外壳实际上包括衬垫8和外壁90。这通过夹紧壳体86的插入实现。这样夹住和/或使外部81朝着衬垫8向下压。结果，隔膜45进入稍微弯曲位置。该夹紧壳体具有与外壁90的电镀表面层91接触的表面。优选具有一个或多个锁紧部件。如果需要，该锁紧部件可以被设计为延伸到外部81和外壁90之间的通道89内。在这一操作中，内壁80由粘着层63，衬底6的外部61，衬垫8，端部4的外部81和夹紧壳体86组合形成。

图15示出在去除工具70和电绝缘流体51的剩余55之后的单元15。在去除步骤之后实施清洁步骤，使得夹紧壳体86和隔膜45的表面对于随后的步骤是足够清洁的。

图16示出在制造中最重要的步骤之后的单元15。在该步骤中，在夹紧壳体86和外壁90之间的连接通过提供密封层95加强。该密封层95优选在合适电镀槽中电镀。可替换的方案是，它可以是所属领域中本来熟知的保护层，诸如基于环氧树脂的层。在该实施例中密封层95延伸到隔膜45中但这不是必要的。优选的，该密封层95提供合适的厚度以便于填充任何角落且提供平滑的外表面。在该实施例中该密封层95从端部的第一侧111延伸到衬底的第一侧112。因为密封层95还随之具有压紧特征，且使外壁90与它的伸出部分85，86成为一体，所以这是有利的。

图17示出本发明单元的第二实施方案的概略横截面图。在该实施方案中未示出的是覆盖外壁80的伸出部分85的任何电镀密封层。在该实施方案中，外壁的核92是金属槽，其固有地包括突起85。具有通孔62的第二盖板6，壳体构件8和第一盖板4在此以参见图8到16描述的方式装配。壳体构件8将通常如一个电极一样操作，且例如连接到槽92，这样作为一个接触。

在此第一盖板4是要选择足够的厚度以便在应力下可弯的连续板。在该实施例中，采用玻璃板。在壳体构件8和第一盖板4之间存在空腔41。在至少一种流体51，52的膨胀下，尤其在温度增加时，第一盖板4将弯曲以便扩大单元的容积。在至少一种流体51，52收缩的情况下，第一盖板将弯曲以便于减小单元的容积。由于电绝缘流体51优选为油且具有比含水的第二流体52更大的热膨胀系数，所以优选可弯的第一盖板4设置在电绝缘流体51的侧面。

图18示出根据本发明的电润湿单元的另外的实施方案。在图19中更详细地示出实施方案的左侧。在该实施方案中，外壁通过圆柱壁部分92和环状封闭构件86、12形成。在环状封闭构件86、12之间，对于玻璃板4、6和环形或环状绝缘构件8以与其它实施方案相似的方式封闭。

在该实施方案的装配之前，圆柱壁部分92具有包括niflon的层91。Niflon是特富龙(Teflon)和镍的组合物，其组合物是导电的。该组合物另外的实例包括特富龙和铜。因为这样的层是导电的，且当采用基于诸如电镀锌法的电学方式的电镀技术时，在其它实施方案内应用的最后金属层95也可直接在niflon层91上生长。此外环形构件12、86具有niflon层11、13。

如下述装配该实施方案。该装配恰好从圆柱壁部分92开始。将该环状封闭构件12插入到圆柱壁部分内。在环状封闭构件12顶部上，通过粘合剂连接玻璃板或衬底6。在玻璃板或衬底6的顶部上，放置环形或环状绝缘构件8。然后以与较早的实施方案描述的方式相似的方式将第一和第二液体供给到空腔内且将盖板放置到液体顶部上。

密封层或niflon层具有优势，因为将材料压入到重叠表面的不均匀部分内，在接合过程期间或之后通过相对移动两个邻近表面来促进材料扩展。这样的相对移动可通过旋转和/或相对于彼此反复滑动表面来完成。该密封层优选通过沉积或诸如镀锌工艺的生长工艺施加到任一邻近表面上。该工艺允许准确地沉积适合用于密封一很窄封闭物(closure)材料的薄层或曲径，在该实施方案中该很窄封闭物存在于邻近表面之间。

在该实施方案中也可应用与其它实施方案相关的几个附加的特征。

尽管在此未示出，但是利用电镀密封层已获得很好的结果。不排除该电镀密封层也可应用于含有流体单元的其它结构，且不是针对具有内壁80和外壁90以及伸出部分85、86的所有申请。还应该理解，在第一和第二侧111、112处延伸的外壁80的伸出部分85、86不是分开的元件，而是生长或沉积部分突起或连接。尤其是，作为伸出部分86的电镀连接是有效的连接。

Claims (21)

1.一种含有衬底和至少一侧壁的外壳的电润湿单元，其衬底和侧壁共同地限定含电润湿流体的空腔，且该单元还包括至少一个固定到外壳的端部，其中外壳的至少一侧壁包括内壁和外壁，其中端部的一部分是内壁的部分，外壁通过在相对于内壁侧上的外部单元的第一和第二侧处延伸的伸出部分固定所述端部和外壳。

2.如权利要求1的电润湿单元，其中内壁包括一部分衬底。

3.如权利要求2的电润湿单元，其中内壁还包括在所述衬底部分和所述端部部分之间的电绝缘材料的衬垫。

4.如权利要求1的电润湿单元，其中在内壁的第一侧处延伸的外壁伸出部分是连接到外壁的夹紧壳体。

5.如权利要求4的电润湿单元，其中夹紧壳体通过在伸出部分上和外壁上生长的金属层连接到外壁。

6.如权利要求1的电润湿单元，其中在衬底和端部处、在空腔相对侧限定与至少一种电润湿流体接触的第一和第二电极。

7.如权利要求6的电润湿单元，其中该衬底具有小孔，在其端部处存在所述电极。

8.如权利要求1的电润湿单元，其中端部包括允许密封的空腔容积膨胀的韧性隔膜。

9.如权利要求2的电润湿单元，其中在内壁第二侧处的伸出部分通过生长在两者上的金属层连接到衬底。

10.一种含有衬底和至少一个侧壁的壳体的电润湿单元，衬底和侧壁共同限定含电润湿流体的空腔，且该单元还包括至少一个固定到外壳的端部，其中端部利用施加在接头部分和端部表面上的金属层连接到外壳上。

11.权利要求1的电润湿单元，包括重叠外壁和内壁或衬底或端部部分，其中在重叠部分中，至少一个邻近表面包括在压力下用于密封重叠部分的密封层。

12.如权利要求11的电润湿单元，其中该密封层包括有机组合物，诸如包括塑料或橡胶的组合物。

13.如权利要求11的电润湿单元，其中该密封层具有导电特性。

14.如权利要求11的电润湿单元，其中该密封层包括诸如niflon的镍-PTFE组合物。

15.如权利要求11的电润湿单元，其中该密封层通过沉积或生长工艺实施。

16.一种制造电润湿单元的方法，该电润湿单元含有带有衬底和侧壁的外壳，侧壁具有内壁和外壁，所述外壁具有在内壁的相对侧处延伸的第一和第二伸出部分，衬底和侧壁共同限定含第一和第二电润湿流体的空腔，所述方法包括以下步骤：

提供外壁和衬底，以形成空腔；

利用第一和第二电润湿流体填充空腔；

在空腔内提供端部使得端部以距离衬底一个理想距离浸入到至少一种流体中，部分衬底和端部以及任选的中间衬垫形成所述内壁；

将端部固定到外壳，因为外壁的第一伸出部分位于端部的顶部。

17.如权利要求16的方法，其中伸出部分是仅在端部上已被定位之后连接外壁的分开的夹紧壳体。

18.如权利要求17的方法，其中夹紧壳体和外壁与在它们的表面上生长的金属层相连。

19.一种图像捕捉设备或图像传感器，包括权利要求1到10的任一权利要求的电润湿单元。

20.一种光学扫描设备，包括权利要求1到10的任一权利要求的电润湿单元。

21.一种显示设备，包含有权利要求1到10的任一权利要求的电润湿单元。

Images