CN1865853A - 微机械－电子系统技术惯性测量单元 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种用于导弹控制、工业测控、捷联惯导等领域中测量空间坐标系中三个轴的角速率和线加速度的三轴六自由度固态惯性传感器的组合，由三个空间轴角速率陀螺和三个空间轴线加速度传感器构成，各角速率陀螺和线加速度传感器均由采用微机械－电子系统技术的芯片构成的敏感电路、信号处理器、主放大器及零偏置控制器、非线性纠正器、量程扩展器、温漂补偿器、带宽扩展器组成，敏感电路输出端经信号处理器接至主放大器的输入端，零偏置控制器、非线性纠正器、量程扩展器、温漂补偿器和带宽扩展器相并联，其输出端接主放大器输入端。产品具有高可靠性和高封装坚固性，并具备自检测功能，可准确测量空间坐标系中三个轴的角速率和线加速度。

Description

微机械-电子系统技术惯性测量单元
所属技术领域
本发明内容属于惯性测量器件技术领域，涉及一种用于测量空间坐标系中三个轴的角速率和线加速度的惯性测量单元，其产品可广泛用于导弹控制、地质勘探、工业测控、航空飞行器稳定控制、捷联惯导、汽车自动驾驶及机器人控制等行业领域。
背景技术
目前在上述各行业领域中普遍使用的惯性测量单元(IMU)，包括角速率陀螺(角速率传感器)和线加速度传感器，其产品绝大部分都是机械式的，如液浮或半液浮、挠性有旋转马达的角速率陀螺、有质块的线加速度传感器等，这些老式惯性测量单元在实际应用中存在的突出缺点是体积大、价格昂贵、易损坏、耐冲击加速度低、寿命短、测量范围小(老式角速率陀螺最大测量值仅500°/s，线加速度传感器最大测量值仅10g)、频响低(最多为100HZ)以及多不具备自检测(Self-Test)功能等，即使是当今较先进的光纤或激光惯性测量单元，也由于其价格昂贵及体积大等原因而很难得到广泛的应用。
发明内容
本发明的目的在于对现有技术存在的问题加以解决，进而提供一种结构性能实用合理、操作方便、体积小、重量轻、造价低、应用范围广的微机械-电子系统技术惯性测量单元。
用于实现上述发明目的的技术解决方案是这样的：所提供的微机械-电子系统技术惯性测量单元具有三个分别用于测量空间X、Y、Z轴角速率的角速率陀螺和三个分别用于测量空间X、Y、Z轴线加速度的线加速度传感器，通过一块适配转接线路板使各角速率陀螺和各线加速度传感器并行设置，其中每一个空间轴角速率陀螺和每一个空间轴线加速度传感器均由采用微机械-电子系统(MEMS)技术的芯片构成的敏感电路、信号处理器(解调滤波器)、主放大器以及零偏置控制器、非线性纠正器、量程扩展器、温漂补偿器、带宽扩展器组成，敏感电路的输出端经信号处理器接至主放大器的输入端，零偏置控制器、非线性纠正器、量程扩展器、温漂补偿器和带宽扩展器相并联，其共同输出端接至主放大器的输入端。
本发明所述的微机械-电子系统技术惯性测量单元是三轴六自由度固态惯性传感器的组合，内中的角速率陀螺属于无旋转马达的固态角速率传感器，线加速度传感器属于无质块的传感器，它们的内部电路工作构件均采用微机械-电子系统(MEMS)技术的芯片，其制造采用双极型金属氧化物半导体(BIMOS)技术的生产工艺和球形网格排列的载流焊工艺技术，产品具有高可靠性和高封装坚固性，可准确测量空间坐标系中X、Y、Z三个轴的角速率和线加速度；测量单元内置有高精度温度传感器，可给出IMU内随温度变化的电压值；六个自由度传感器中的每一个都具备自检测功能，能够实现机内检测(BIT)，并且六个自由度均为模拟信号输出。此外，本发明内还设置了零偏置控制器、非线性纠正器、量程扩展器、温漂补偿器、带宽扩展器，使产品具有零偏置校准、温漂补偿、宽的测量范围和带宽以及非线性纠正功能，同时也使之具有宽范围的工作温度和体积小、重量轻、启动快、寿命长及耐冲击加速度高等特点。
附图说明
图1为本发明的总电气设计原理框图。
图2为角速率陀螺的设计原理框图。
图3为线加速度传感器的设计原理框图。
图4为角速率陀螺的一个具体实施例的电路原理图。
图5为线加速度传感器的一个具体实施例的电路原理图。
图6为角速率陀螺或线加速度传感器所用零偏置控制器的设计原理框图。
图7为零偏置控制器的电气线路图。
图8为角速率陀螺或线加速度传感器所用非线性纠正器的设计原理框图。
图9为非线性纠正器的电气线路图。
图10为角速率陀螺或线加速度传感器所用量程扩展器的设计原理框图。
图11为量程扩展器的电气线路图。
图12为角速率陀螺或线加速度传感器所用温漂补偿器的设计原理框图。
图13为温漂补偿器的电气线路图。
图14为角速率陀螺或线加速度传感器所用带宽扩展器的设计原理框图。
图15为带宽扩展器的电气线路图。
具体实施方式
参见附图，本发明所述的微机械-电子系统技术惯性测量单元的总电气结构如图1所示，它包括三个分别用于测量空间X、Y、Z轴角速率的角速率陀螺I、II、III和三个分别用于测量空间X、Y、Z轴线加速度的线加速度传感器IV、V、VI，通过一块CS-01型适配转接线路板VII使各角速率陀螺I、II、III和各线加速度传感器IV、V、VI并行设置，使用时将各角速率陀螺I、II、III和各线加速度传感器IV、V、VI的输入及输出端通过缆线连接在CS-01型适配转接线路板VII相应的转接孔内。本发明设计方案中的每一个空间轴角速率陀螺的工作原理结构如图2所示，每一个空间轴线加速度传感器的工作原理结构如图3所示，它们均由采用微机械-电子系统(MEMS)技术的芯片构成的敏感电路M、信号处理器6、主放大器10以及零偏置控制器7、非线性纠正器8、量程扩展器9、温漂补偿器11、带宽扩展器12组成，敏感电路M的输出端经信号处理器6接至主放大器10的输入端，零偏置控制器7、非线性纠正器8、量程扩展器9、温漂补偿器11和带宽扩展器12相并联，其共同输出端接至主放大器10的输入端。该惯性测量单元中每一个空间轴角速率陀螺的敏感电路M由离散控制器1、ST接口电路2、敏感器3、谐振器4和激励器5组成，离散控制器1和激励器5的输出端分别通过ST接口电路2和谐振器4接至敏感器3的输入端，敏感器3的输出端与信号处理器6的输入端联接；每一个空间轴线加速度传感器中的敏感电路M均由离散控制器1、ST接口电路2和敏感器3组成，离散控制器1的输出端通过ST接口电路2接至敏感器3的输入端，敏感器3的输出端与信号处理器6的输入端联接。在图4所示的角速率陀螺的实际电路中，敏感电路M中的敏感器3由型号为PO-XRS的敏感器件芯片构成，PO-XRS的输入端接角速率输入信号ωin，谐振器4由两只型号为LTC2053的芯片相互串联形成，激励器5由型号为REG711-5的充电泵调节器构成，信号处理器6由型号为LTC2053和LB8207的芯片构成，主放大器10由型号为LTC2053的集成芯片构成。在图5所示的线加速度传感器的实际电路中，敏感电路M中的敏感器3由型号为PO-XL的敏感器件芯片构成，PO-XL的输入端接线加速度输入信号ain，信号处理器6由型号为LB8207的芯片构成，主放大器10由型号为LTC2053的集成芯片构成。
图6～图15所示的各功能电路的结构组成及工作形式分别如下所述。
为使零偏在性能有差异的不同芯片下一致，在惯性测量单元内设计了零偏置控制器7。零偏置控制器7由主放大器7c、输入回路7a、校准回路7b、反馈回路7d和运算器7e组成(图6)，其中主放大器7c的输入端与输入回路7a的输出端联接，主放大器7c的输出信号可分流至反馈回路7d和运算器7e的输入端，运算器7e输出端经校准回路7b后与反馈回路7d输出端一道回接至主放大器7c的输入端。在图7所示的实际工作电路中，输入回路7a由电阻R1、R2和电容C1组成，主放大器7c由型号为LTC2053的芯片构成，运算器7e由型号为LM339的芯片构成，标准回路7b由电阻R 3和电子开关K组成，反馈回路7d由电阻R4构成。零偏置控制器7的设置可以使IMU内的每个自由度的零偏一致，达到2.5±0.1V，便于用户的使用。
在要求准确控制的场合，客户往往要求非线性越小越好，为此在惯性测量单元内设置了非线性纠正器8。非线性纠正器8由主放大器8d、输入回路8a、纠正器8b、反馈回路8e和运算器8c组成(图8)，其中主放大器8d的输入端与输入回路8a的输出端联接，主放大器8d的输出信号可分流至反馈回路8e和运算器8c的输入端，运算器8c输出端与反馈回路8e输出端再回接至主放大器8d的输入端，纠正器8b输出端接运算器8c的输入端。在图9所示的实际工作电路中，输入回路8a由电阻R5、R6和电容C2组成，主放大器8d由型号为LTC2053的集成芯片构成，运算器8c由型号为LM339的芯片构成，反馈回路8e由电阻R7构成，纠正器8b由型号为ADUC816的微转换器芯片构成。本发明非线性纠正器8对三个轴的角速率陀螺和三个轴的线加速度传感器来说完全一样，它可以使产品在要求非线性指标很小(非线性指标达到±0.1％)的场合下使用，以充分满足用户的要求。
依据市场客户对量程的要求，本发明设计了量程扩展器9，该量程扩展器9由主放大器9c、输入回路9a、扩展回路9b和反馈回路9d组成(图10)，其中主放大器9c的输入端与输入回路9a的输出端联接，主放大器9c的输出信号可分流至反馈回路9d和扩展回路9b的输入端，扩展回路9b输出端再与反馈回路9d输出端一道回接至主放大器9c的输入端。在图11所示的实际工作电路中，输入回路9a由电阻R8、R9和电容C3组成，主放大器9c由型号为LTC2053的芯片构成，扩展回路9b由电阻Rx1构成，反馈回路9d由电阻R10构成。通过量程扩展器9的设置可以使该惯性测量单元中角速率陀螺产品的测量范围在5°/s～50000°/s可选，使X轴线加速度传感器产品和Y轴线加速度传感器产品的量程在±2g、±10g、±50g三档可选，使Z轴线加速度传感器产品的量程在±5g、±50g、±100g三档可选，以满足用户不同测量范围的要求。
固态角速率陀螺或线加速度传感器的弱点是对温度比较敏感，容易产生随温度漂移，为消除这种漂移，本发明特设置有温漂补偿器11对输出随温度的漂移进行补偿，以使正常输出值不受因温度变化而产生的不良影响。这种温漂补偿器11由输入回路11a、主放大器11b、运算器11c、温度传感器11d、恒流源11e、差动放大器11f和反馈回路11g构成(图12)，其中主放大器11b的输入端与输入回路11a的输出端联接，主放大器11b的输出信号端与恒流源11e的输出端均接至差动放大器11f的输入端，差动放大器11f的反馈输出端依次经反馈回路11g和运算器11c后回接至主放大器11b的输入端，温度传感器11d的输出端经运算器11c后接至主放大器11b的输入端。在图13所示的实际工作电路中，输入回路11a由电阻R11、R12和电容C4组成，主放大器11b由型号为LTC2053的集成芯片构成，运算器11c由型号为LM339的集成芯片构成，温度传感器11d由PTAT型集成芯片构成，恒流源11e由电阻R13、稳压二极管D和三极管T组成，差动放大器11f由型号为AD623的集成芯片构成，反馈回路11g由电阻R14构成。实际使用中，该温漂补偿器11可在-45℃～+85℃的温度范围内进行补偿，其中温度范围中的-45℃是本产品的独特温度。
在该惯性测量单元内设置的带宽扩展器12由主放大器12c、输入回路12a、扩展器12b和反馈回路12d组成(图14)，其中主放大器12c的输入端与输入回路12a的输出端联接，主放大器12c的输出信号可分流至反馈回路12d和扩展器12b的输入端，扩展器12b输出端再与反馈回路12d输出端一道回接至主放大器12c的输入端。在图15所示的实际工作电路中，输入回路12a由电阻R15、R16和电容C5组成，主放大器12c由型号为LTC2053的芯片构成，扩展器12b由电容Cx/C6构成，反馈回路12d由电阻R17/Rx构成。通过带宽扩展器12的设置可使三个轴的角速率陀螺的带宽从40HZ扩展为9HZ～500HZ，使三个轴的线加速度传感器的带宽从40HZ扩展为5HZ～5KHZ，这样就使产品的使用范围更加宽阔。
本发明产品的外形尺寸为38×38×36mm3，而且三轴六自由度的惯性传感器包括三个轴的角速率陀螺和三个轴的线加速度传感器、以及适配转接线路板、外接插头座都合理有序地安装在壳体之内。本产品带机械外壳的重量仅为90克，是目前国内外体积最小、重量最轻的三轴六自由度IMU产品。此外，该产品在不供电、任何轴、0.5ms条件下，可承受1000g的冲击加速度；在供电、任何轴、0.5ms条件下，可承受500g的冲击加速度，耐冲击加速度指标大大优于本领域已有的同类技术产品。

Claims (8)

1、一种微机械-电子系统技术惯性测量单元，其特征在于具有三个分别用于测量空间X、Y、Z轴角速率的角速率陀螺(I、II、III)和三个分别用于测量空间X、Y、Z轴线加速度的线加速度传感器(IV、V、VI)，通过一块适配转接线路板(VII)使各角速率陀螺(I、II、III)和各线加速度传感器(IV、V、VI)并行设置，其中每一个空间轴角速率陀螺和每一个空间轴线加速度传感器均由采用微机械-电子系统(MEMS)技术的芯片构成的敏感电路(M)、信号处理器(6)、主放大器(10)以及零偏置控制器(7)、非线性纠正器(8)、量程扩展器(9)、温漂补偿器(11)、带宽扩展器(12)组成，敏感电路(M)的输出端经信号处理器(6)接至主放大器(10)的输入端，零偏置控制器(7)、非线性纠正器(8)、量程扩展器(9)、温漂补偿器(11)和带宽扩展器(12)相并联，其共同输出端接至主放大器(10)的输入端。
2、如权利要求1所述的微机械-电子系统技术惯性测量单元，其特征在于每一个空间轴角速率陀螺中的敏感电路(M)均由离散控制器(1)、ST接口电路(2)、敏感器(3)、谐振器(4)和激励器(5)组成，离散控制器(1)和激励器(5)的输出端分别通过ST接口电路(2)和谐振器(4)接至敏感器(3)的输入端，敏感器(3)的输出端与信号处理器(6)的输入端联接。
3、如权利要求1所述的微机械-电子系统技术惯性测量单元，其特征在于每一个空间轴线加速度传感器中的敏感电路(M)均由离散控制器(1)、ST接口电路(2)和敏感器(3)组成，离散控制器(1)的输出端通过ST接口电路(2)接至敏感器(3)的输入端，敏感器(3)的输出端与信号处理器(6)的输入端联接。
4、如权利要求1所述的微机械-电子系统技术惯性测量单元，其特征在于每一个空间轴角速率陀螺和空间轴线加速度传感器中的零偏置控制器(7)均由主放大器(7c)、输入回路(7a)、校准回路(7b)、反馈回路(7d)和运算器(7e)组成，其中主放大器(7c)的输入端与输入回路(7a)的输出端联接，主放大器(7c)的输出信号可分流至反馈回路(7d)和运算器(7e)的输入端，运算器(7e)输出端经校准回路(7b)后与反馈回路(7d)输出端一道回接至主放大器(7c)的输入端。
5、如权利要求1所述的微机械-电子系统技术惯性测量单元，其特征在于每一个空间轴角速率陀螺和空间轴线加速度传感器中的非线性纠正器(8)均由主放大器(8d)、输入回路(8a)、纠正器(8b)、反馈回路(8e)和运算器(8c)组成，其中主放大器(8d)的输入端与输入回路(8a)的输出端联接，主放大器(8d)的输出信号可分流至反馈回路(8e)和运算器(8c)的输入端，运算器(8c)输出端与反馈回路(8e)输出端再回接至主放大器(8d)的输入端，纠正器(8b)输出端接运算器(8c)的输入端。
6、如权利要求1所述的微机械-电子系统技术惯性测量单元，其特征在于每一个空间轴角速率陀螺和空间轴线加速度传感器中的量程扩展器(9)均由主放大器(9c)、输入回路(9a)、扩展回路(9b)和反馈回路(9d)组成，其中主放大器(9c)的输入端与输入回路(9a)的输出端联接，主放大器(9c)的输出信号可分流至反馈回路(9d)和扩展回路(9b)的输入端，扩展回路(9b)输出端再与反馈回路(9d)输出端一道回接至主放大器(9c)的输入端。
7、如权利要求1所述的微机械-电子系统技术惯性测量单元，其特征在于每一个空间轴角速率陀螺和空间轴线加速度传感器中的温漂补偿器(11)均由输入回路(11a)、主放大器(11b)、运算器(11c)、温度传感器(11d)、恒流源(11e)、差动放大器(11f)和反馈回路(11g)构成，其中主放大器(11b)的输入端与输入回路(11a)的输出端联接，主放大器(11b)的输出信号端与恒流源(11e)的输出端均接至差动放大器(11f)的输入端，差动放大器(11f)的反馈输出端依次经反馈回路(11g)和运算器(11c)后回接至主放大器(11b)的输入端，温度传感器(11d)的输出端经运算器(11c)后接至主放大器(11b)的输入端。
8、如权利要求1所述的微机械-电子系统技术惯性测量单元，其特征在于每一个空间轴角速率陀螺和空间轴线加速度传感器中的带宽扩展器(12)均由主放大器(12c)、输入回路(12a)、扩展器(12b)和反馈回路(12d)组成，其中主放大器(12c)的输入端与输入回路(12a)的输出端联接，主放大器(12c)的输出信号可分流至反馈回路(12d)和扩展器(12b)的输入端，扩展器(12b)输出端再与反馈回路(12d)输出端一道回接至主放大器(12c)的输入端。
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102270054A (zh) * 2011-08-16 2011-12-07 江苏惠通集团有限责任公司 姿态感知设备的定位方法、鼠标指针的控制方法
CN101619971B (zh) * 2009-07-31 2012-02-01 北京航空航天大学 一种三自由度大负载航空摄影陀螺稳定平台
CN103292827A (zh) * 2012-03-05 2013-09-11 联想(北京)有限公司 数据校正方法和电子设备
CN104931047A (zh) * 2015-05-29 2015-09-23 苏州合欣美电子科技有限公司 一种基于稳压电路的微型惯性测量系统

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6421622B1 (en) * 1998-06-05 2002-07-16 Crossbow Technology, Inc. Dynamic attitude measurement sensor and method
US6311555B1 (en) * 1999-11-17 2001-11-06 American Gnc Corporation Angular rate producer with microelectromechanical system technology
US20020008661A1 (en) * 2000-07-20 2002-01-24 Mccall Hiram Micro integrated global positioning system/inertial measurement unit system
CN2804803Y (zh) * 2005-05-19 2006-08-09 西安中星测控有限公司 微机械－电子系统技术惯性测量装置

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101619971B (zh) * 2009-07-31 2012-02-01 北京航空航天大学 一种三自由度大负载航空摄影陀螺稳定平台
CN102270054A (zh) * 2011-08-16 2011-12-07 江苏惠通集团有限责任公司 姿态感知设备的定位方法、鼠标指针的控制方法
CN102270054B (zh) * 2011-08-16 2013-06-19 江苏惠通集团有限责任公司 姿态感知设备的定位方法、鼠标指针的控制方法
CN103292827A (zh) * 2012-03-05 2013-09-11 联想(北京)有限公司 数据校正方法和电子设备
CN103292827B (zh) * 2012-03-05 2016-10-05 联想(北京)有限公司 数据校正方法和电子设备
CN104931047A (zh) * 2015-05-29 2015-09-23 苏州合欣美电子科技有限公司 一种基于稳压电路的微型惯性测量系统

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