CN1841108A - 驱动装置、摄影装置以及携带电话 - Google Patents

Abstract

本发明的驱动装置(100)具有：能够通过电气信号的输入来进行伸缩的电气机械变换元件(12)、安装在该电气机械变换元件(12)的伸缩方向的一方侧端部中的驱动部件(14)、与该驱动部件(14)摩擦卡合的被驱动部件(16)、以及安装在电气机械变换元件(12)的伸缩方向的另一侧端部上的由共振频率降低部件所构成的锤部件(18)，通过该锤部件(18)降低电气机械变换元件(12)、驱动部件(14)以及锤部件(18)所构成的系统的共振频率。从而提供一种通过安装在电气机械变换元件的另一端侧的降低调节器的共振频率的锤部件的效果，能够防止共振的影响使得驱动部件变位到电气机械变换元件的伸缩方向以外，从而能够准确且稳定地在电气机械变换元件的伸缩方向驱动被驱动部件的驱动装置、摄影装置以及携带电话。

Description

驱动装置、摄影装置以及携带电话

技术领域

本发明涉及一种驱动装置、该驱动装置中连接有光学部件的例如小型数码相机或网络摄像头(web camera)等摄影装置、以及安装有驱动装置或摄影装置的携带电话。

背景技术

作为数码相机等的镜头的驱动装置，公知的有使用压电元件等电气机械变换元件的调节器(actuator)。一般来说，例如专利文献2或专利文献3的实施例所示，调节器由电气机械变换元件与驱动部件构成，一般来说电气机械变换元件的伸缩的一方向的端面中固定有框体(或者支撑部件)。电气机械变换元件的伸缩的另一方向的端面中固定有驱动部件，该驱动部件与被驱动部件摩擦卡合。通过这样的构成，一旦给电气机械变换元件加载脉冲状的电压，则电气机械变换元件的延伸方向与收缩方向的运动就传递给驱动部件。在电气机械变换元件以较慢的速度进行变形的情况下，被驱动部件与驱动部件一起移动，在电气机械变换元件以较快的速度进行变形的情况下，被驱动部件因其质量的惯性而停留在相同位置上。因此，通过在往返中重复加载不同的脉冲状的电压，能够让被驱动部件以细微的间距进行间歇移动。

这种结构的调节器，由于在电气机械变换元件的伸缩一方向的端面中固定有框体(或支撑部件)，因此，因电气机械变换元件的振动所引起的包含有驱动部件的调节器中所产生的振动，直接传递给框体，产生了在调节器与框体之间进行共振的问题。

专利文献1中公开了一种装置，其在电气机械变换元件与框体之间设置底座，将电气机械变换元件的伸缩一方向的端面固定在底座上，并将上述底座相对框体弹性保持，通过这样来减轻或隔断底座与框体之间的振动传递，避免共振的影响。

另外，专利文献2中提出了一种装置，其将加载给电气机械变换元件的充电时间设为电气机械变换元件的共振频率的约1周期份量，将放电时间设为1/2周期份量。也即通过积极利用共振，来增大电气机械变换元件的伸缩量，提高调节器的驱动效率。

另外，专利文献3中提出了一种考虑了振动的影响的调节器的驱动方法，在设将驱动部件固定在电气机械变换元件的自由端，并将另一端作为固定端时的共振频率为f1的情况下，调节器的驱动频率f为：

f1/3≤f≤2f1/3。

【专利文献1】特开2002-142470号公报；

【专利文献2】特许第3171187号公报；

【专利文献3】特许第3171022号公报。

专利文献1中所示的装置，彻底避免了共振的影响，因此调节器的共振频率以及电气机械变换元件的驱动频率的条件被设定为，如果该装置中底座没有弹性地固定在框体中，则有可能产生共振的坏影响。另外，专利文献2中所示的装置由于积极利用共振，因此存在不管在哪种场合下，会受到调节器内所产生的共振的坏影响，驱动部件移位到压电元件的伸缩方向以外处这一问题。例如图27(A)、图27(B)所示，产生了驱动部件2受到上述共振的影响，移位到压电元件的伸缩方向以外处的问题。因此，基于压电元件1的伸缩的驱动力没有准确传递给被驱动部件3，很难使被驱动部件3在压电元件1的伸缩方向上准确移动。

另外，专利文献3中所示的装置，包括框体的构成系统的共振频率最好比驱动频率高，因此为了提高共振频率，提高压电元件或驱动部件等构成部件的刚性，加强各个部件之间的结合，必须让包括框体的构成系统全体高刚性。因此，存在装置的成本较高这一问题。另外，根据该文献中所示的条件式，由于作为驱动频率所能够设定的范围较窄(图6(B)的Q的范围)，因此存在在装置的品质有偏差或产生了故障时，共振频率降低，偏离了条件，受到共振的影响这一问题。

发明内容

本发明鉴于以上问题，目的在于提供一种能够准确且稳定地对被驱动部件进行驱动控制的驱动装置、摄影装置以及携带电话。

本发明之一，为了实现目的，其特征在于，由电气机械变换元件、与电气机械变换元件的一端相连接且对应于电气机械变换元件的伸缩进行变动的驱动部件、以及设置在电气机械变换元件的另一端侧的锤部件构成；在将与驱动部件摩擦卡合的被驱动部件沿着驱动部件移动的调节器中，锤部件由降低调节器的共振频率的部件(以下称作“共振频率降低部件”)构成。

根据本发明之一，通过设置在电气机械变换元件的一端上的驱动部件与设置在另一端上的锤部件，降低电气机械变换元件、驱动部件、以及锤部件所构成的调节器自身的共振频率，因此，能够减少作为调节器构成部件的电气机械变换元件、驱动部件、以及锤部件的部件的偏差所带来的影响，由于不管调节器怎样安装在框体中，也很难受到共振的影响，因此能够得到稳定的驱动力。通过这样，由于电气机械变换元件的伸缩的驱动力可靠地传递给被驱动部件，因此能够将被驱动部件准确稳定地在电气机械变换元件的伸缩方向上进行移动。

本发明之二，特征在于，在本发明之一中，锤部件的材料，与电气机械变换元件的材料相比，杨氏模量较小。

本发明之三，特征在于，在发明之一或之二中，锤部件的材料，其杨氏模量为1GPa以下。

通过如上设定锤部件的杨氏模量，能够大幅降低调节器的共振频率，从而能够防止驱动频率中的共振的产生。锤部件的杨氏模量最好为1GPa以下，更为理想的是300MPa以下。

本发明之四，特征在于，在本发明1～3中的任一个发明中，锤部件的比重除以锤部件的杨氏模量所得到的值为1.8×10^-9以上。

本发明之五，特征在于，在本发明1～4中的任一个发明中，锤部件由包含有软性材料、弹性体或粘弹性材料的材料构成。

本发明之六，特征在于，在本发明1～5中的任一个发明中，通过设置由包含有软性材料、弹性体或粘弹性材料的材料所构成的锤部件，与设置刚性材料所构成的锤部件的情况相比，降低了调节器的共振频率。

本发明之七，特征在于，在本发明1～6中的任一个发明中，锤部件是含有金属粉的弹性体。

本发明之八，特征在于，在本发明之七中，弹性体是树脂。

这里，如果锤部件如上所述是树脂中含有金属粉的构成，则有可能发生金属粉氧化，该氧化成分使树脂硬化，锤部件的硬度与比重改变，从而无法起到所期望的锤部件的功能。

因此，本发明之九，特征在于，在本发明之八中，锤部件，被抑制该锤部件中所含有的金属粉氧化的保护膜所覆盖。通过像这样让锤部件被抑制该锤部件中所含有的金属粉氧化的保护膜所覆盖。能够抑制金属粉的氧化，防止树脂的硬化，结果能够让锤部件起到所期望的功能。

另外，本发明之十，特征在于，在本发明9的发明中，保护膜兼作将锤部件固定到电气机械变换元件上的粘接剂。如果像这样通过粘接剂覆盖锤部件，能够抑制金属粉的氧化。进而，如果像这样通过粘接剂覆盖锤部件，该粘接剂还能够兼用作与电气机械变换元件之间的固定用粘合剂。这种情况下，粘接剂最好采用热硬化性粘接剂，将覆盖有该热硬化性粘接剂的锤部件与电气机械变换元件配合起来并加热，就能够将电气机械变换元件与锤部件通过热硬化性粘接剂良好地固定起来。

另外，本发明之十一，特征在于，在本发明之八中，金属粉预先施有氧化防止涂层。通过像这样让金属粉预先施加防氧化涂层，能够防止金属粉的氧化，防止树脂的硬化，结果能够让锤部件起到所期望的功能。

另外，本发明之十二，特征在于，在本发明之八中，金属粉，至少其外表面被预先氧化。像这样，如果金属粉是至少其外表面被预先氧化的粉，则不会产生氧化成分，防止树脂的硬化，结果能够让锤部件起到所期望的功能。

另外，本发明之十三，特征在于，在本发明之八中，树脂是防止金属粉氧化的物质。如果像这样树脂是防止金属粉氧化的物质，则能够防止金属粉的氧化，防止树脂的硬化，结果能够让锤部件起到所期望的功能。

另外，本发明之十四，特征在于，在本发明1、5、6中任一个的发明中，锤部件由金属与粘弹性材料构成。

本发明之十五，特征在于，在本发明1～8、14中任一个的发明中，电气机械变换元件与锤部件之间设有粘弹性材料、软性材料或弹性材料。

本发明之十六，特征在于，在本发明1～15中任一个的发明中，驱动部件，在前端侧及/或基端侧沿电气机械变换元件的伸缩方向被可移动地支撑。

本发明之十七，特征在于，在本发明1～16中任一个的发明中，调节器，相对电气机械变换元件的伸缩方向被框体从侧方所支撑。

本发明之十八，特征在于，在本发明1～17中任一个的发明中，具有为了驱动电气机械变换元件，在伸方向与缩方向中产生不对称信号的驱动机构。

本发明之十九，特征在于，在本发明1～18中任一个的发明中，被驱动部件，相对驱动部件面接触。

本发明之二十，特征在于，在本发明1～19中任一个的发明中，具有检测被驱动部件的移动位置的检测机构。

本发明之二十一，特征在于，在本发明1～20中任一个的发明中，电气机械变换元件被超过了可听频率的驱动频率所驱动。这种情况下，能够降低电气机械变换元件的可听区域中的工作音。

本发明之二十二，是将光学部件与在本发明1～21中任一个所述的驱动装置的被驱动部件连接而构成的摄像装置。这种情况下，光学部件并不仅限于透镜，被驱动部件还可以使用光圈、快门或ND滤光镜等。另外，该摄像装置可以是例如网络摄像头或小型数码相机等比较小型的摄影装置。

本发明之二十三，是一种安装有本发明1～21中任一个所述的驱动装置或本发明22中所述的摄像装置的携带电话。

根据本发明，通过安装在电气机械变换元件的另一端侧的降低调节器的共振频率的锤部件的效果，降低了电气机械变换元件、驱动部件、以及锤部件所构成的调节器自身的共振频率，能够在几乎没有共振的影响的范围内驱动电气机械变换元件，因此能够防止共振的影响使得驱动部件变位到电气机械变换元件的伸缩方向以外，从而能够准确且稳定地在电气机械变换元件的伸缩方向中驱动控制被驱动部件

附图说明

图1为说明本发明的第1实施方式的相关驱动装置的调节器的平面图。

图2为加载给压电元件的驱动脉冲的波形图。

图3为说明图1的调节器的支撑位置的模式图。

图4为说明本发明的第1实施方式的相关驱动装置的平面图。

图5为沿着图4的V-V线的剖面图。

图6为说明对应共振频率的驱动频率域的图。

图7为说明本发明的第2实施方式的相关驱动装置的立体图。

图8为说明图7的驱动装置的平面图。

图9为说明本发明的第3实施方式的相关驱动装置的平面图。

图10为说明本发明的第4实施方式的相关驱动装置的平面图。

图11为说明本发明的第5实施方式的相关驱动装置的平面图。

图12为沿着图11的XII-XII线的剖面图。

图13为说明对图11的调节器的驱动电路的电路图。

图14为输入给图13的驱动电路的输入信号的波形图。

图15为从图13的驱动电路所输出的输出信号的波形图。

图16为说明锤部件的另一例的主视图。

图17为说明锤部件的其他另一例的主视图。

图18为说明锤部件的其他另一例的主视图。

图19为说明锤部件的其他另一例的主视图。

图20为说明锤部件的其他另一例的主视图。

图21为说明本发明的第6实施方式的相关驱动装置的剖面图。

图22为图16的驱动装置的XXII-XXII中的被驱动部件的剖面图。

图23为输入给图16的驱动装置中的压电元件的电气信号的示意图。

图24为输入给图16的驱动装置中的压电元件的电气信号的示意图。

图25为说明本发明的第7实施方式的相关驱动装置的剖面图。

图26为说明共振频率的计算例的图。

图27为说明现有的调节器的缺点的示意图。

图中：12、602-压电元件(电气机械变换元件)，2、14、603-驱动部件，3、16、216、516、604-被驱动部件，10、210、310、410、510-调节器，18、218、332、418、518、607、707a、801、802、803、804、805-锤部件，26、215-驱动脉冲供给装置(驱动机构)，68、221、621-透镜框，20、24、610-主体(框体)，77-驱动电路，100、200、300、400、500、600、700-驱动装置，801a-防湿保护膜，805a-粘接剂，f-驱动频率，f₀-共振频率。

具体实施方式

下面对照附图对本发明的相关驱动装置、摄影装置以及携带电话的优选实施方式进行说明。另外，附图的说明中给同一要素标注同一符号，省略重复说明。

图1为说明本发明的第1实施方式的相关驱动装置100的调节器10的平面图。如图1所示，调节器10由压电元件(相当于电气机械变换元件)12、驱动部件14、以及锤部件18构成。压电元件12在箭头方向层叠而构成，通过施加电压而在层叠方向上变形(伸缩)。因此，压电元件12的长边方向的端面12A、12B移位。

压电元件12的端面12A、12B中，一方端面12A中固定有驱动部件14的基端。驱动部件14形成为例如圆柱状，其轴设置在箭头方向(也即压电元件的伸缩方向)上。驱动部件14的材质比较适于采用轻且高刚性的材料，铍作为满足该条件者是比较理想的，但该材料是稀有金属，因此具有高价且加工性较差的缺点。因此，本实施方式中使用将石墨晶体牢固合成而成的石墨合成物，例如石墨碳(这里，石墨合成物表示作为碳的六边形板状晶体的石墨和石墨以外的物质的合成物，石墨碳表示石墨与无定形碳所构成的物质。另外，石墨也叫做黑铅)。该作为石墨合成物的石墨碳具有类似铍的特性(铍的比重约为1.85，石墨碳的比重约为1.8)，但与铍不同，具有比较低价且容易加工的特性，因此能够削减调节器10的成本。另外，驱动部件14的形状并不仅限于圆柱状，还可以是棱柱状。

被驱动部件16通过给定的摩擦力卡合在驱动部件14上，沿着驱动部件14被可自由滑动地支撑。被驱动部件16与驱动部件14的摩擦力，被设为在给压电元件12加载缓缓变化的电压时，静摩擦力大于其驱动力，且在给压电元件12加载急剧变化的电压时，静摩擦力小于其驱动力。另外，在驱动部件14与被驱动部件16的滑动接触部分中，为了让动作稳定且提高反复驱动时的耐久性，而涂布有润滑剂。为了在低温下也不会使得驱动部件14与被驱动部件16的滑动驱动阻力增加，该润滑剂的性能最好很难因温度而变化。另外，可以是不会产生给光学部件或机构部件带来坏影响的尘埃的类型。

锤部件18固定在压电元件12的端面12B上。该锤部件18通过给压电元件12的端面12B加载负荷，来防止端面12B比端面12A移位大，该锤部件18最好比驱动部件14的重量大。另外，通过设置比驱动部件14质量大的锤部件18，能够高效地将压电元件12的伸缩传递到驱动部件14侧。例如，在驱动部件14为8mg，压电元件12为30mg的情况下，使用20mg的锤部件18。

另外，锤部件18通过软性材料形成。锤部件18的材质使用比压电元件12以及驱动部件14杨氏模量小的材料。锤部件18的杨氏模量最好为1GPa以下，更为理想的是300MPa以下。这样的锤部件18，通过在橡胶等弹性体中混合比重较大的金属粉来形成，例如通过在聚氨酯橡胶或聚氨酯树脂中混合钨的粉末来制造。为了装置的小型化，锤部件18的比重最好尽可能高，例如设为8～12程度。另外，通过在聚氨酯橡胶或聚氨酯树脂中混合钨粉末所制造的锤部件18的杨氏模量为60MPa程度，比重为11.7程度。因此，在以尽可能小的体积设计锤部件18的情况下，比重尽可能大且杨氏模量尽可能小的组合是最佳的，但只要锤部件18比驱动部件14的比重大(比重1.8以上)，且杨氏模量为1GPa以下，就可以使用。也即，只要比重除以杨氏模量所得到的数值(比重/杨氏模量)为1.8×10^-9以上，就能够用作锤部件18。

压电元件12中电连接有驱动脉冲供给装置(驱动机构)26(参照图4)，通过该驱动脉冲供给装置加载如图2(A)、图2(B)所示波形的电压。该图2(A)、(B)的输出信号，也即让压电元件12进行工作的电气信号使用超过了可听频率的频率信号。通过使用这样的频率的信号，能够降低压电元件12的可听区域中的动作音。另外，该超过了可听频率的频率的信号，在后述的实施方式中同样使用。

图2(A)、图2(B)中示出了加载给压电元件12的脉冲波形之一例。图2(A)是将图1的被驱动部件16向箭头的左方向移动时的脉冲波形，图2(B)是将图1的被驱动部件16向箭头的右方向移动时的脉冲波形。

图2(A)的情况下，压电元件12中加载有从时刻α1到时刻α2缓缓上升，且在时刻α3急剧下降的略锯齿状的驱动脉冲。因此，从时刻α1到时刻α2，压电元件12缓缓伸长。此时，由于驱动部件14以缓慢的速度移动，因此被驱动部件16与驱动部件14一起移动。通过这样，能够使被驱动部件16向图1的左方向移动。在时刻α3压电元件12急剧收缩，因此驱动部件14向图1的右方向移动。此时，由于驱动部件14急剧移动，因此被驱动部件16因惯性而原样停止在该位置，只有驱动部件14移动。因此，通过反复加载图2(A)中所示的锯齿状驱动脉冲，图1的被驱动部件16反复进行向左向的移动与停止，从而能够向左向移动。

图2(B)的情况下，压电元件12中加载有在时刻β1急剧上升，且从时刻β2到时刻β3缓缓下降的略锯齿状的驱动脉冲。因此，在时刻β1压电元件12急剧伸长，因此驱动部件14向图1的左方向移动。此时，由于驱动部件14急剧移动，因此被驱动部件16因惯性而原样停止在该位置，只有驱动部件14移动。从时刻β2到时刻β3，压电元件12缓缓收缩。此时，由于驱动部件14缓慢移动，因此被驱动部件16与驱动部件14一起移动。通过这样，能够将被驱动部件16向图1的右方向移动。因此，通过反复加载图2(B)中所示的锯齿状驱动脉冲，图1的被驱动部件16反复进行向右方向的移动与停止，从而能够向右方向移动。另外，锯齿状的驱动脉冲是为了说明而模式使用的，实际上是通过如图13所示的电路输入输出图14、15中所示的信号。其输出信号与锯齿状的驱动脉冲等价。另外，所使用的驱动频率，如果考虑到要避开驱动频率被识别为异音的可听频率，且功率消耗量较少来进行选择，则最好是20～200kHz程度，更为理想的是使用50～100kHz。

接下来对如上所构成的调节器10的作用进行说明。

调节器10中，固定在压电元件12的端面12B上的锤部件18，通过杨氏模量较小的软性材料形成。通过使用这样的锤部件18，能够大幅降低将压电元件12与驱动部件14作为质量，且将锤部件18作为弹性体的等价1自由系的共振频率f₀，换而言之，锤部件18起到降低共振频率的共振频率降低部件的作用。另外，通过使用杨氏模量较小的软性材料等所形成的锤部件18，与设置由刚性材料所形成的锤部件的情况相比，调节器10的共振频率较低。这一点通过求解该共振频率f₀的下式可以得知。该式中，E表示锤部件18的杨氏模量，A表示锤部件18的压电元件12侧的面积，h表示锤部件18的厚度，Ma表示压电元件12的质量，Mb表示驱动部件14的质量，Mc表示锤部件18的质量。

【公式1】

$f_0=\frac{1}{2\mathrm{\π}}\sqrt{\frac{\mathrm{EA}}{(\mathrm{Ma}+\mathrm{Mb}+\frac{1}{3}\mathrm{Mc})h}}$

从该式可以得知，如果锤部件18的杨氏模量E变小，等价1自由系的共振频率f₀就变小。本实施方式中，如图26所示，通过让锤部件18的杨氏模量为1GPa以下，能够使得共振频率f₀为约70kHz以下。另外，本实施方式中，如果让锤部件18的杨氏模量为300MPa以下，就能够使得共振频率f₀为35kHz以下。另外，在本实施方式中，在锤部件18使用杨氏模量为60MPa程度的聚氨酯橡胶中混合钨粉末的材料的情况下，共振频率f₀变为15kHz左右(参照图26中的编号1。其中，E+07表示×10⁷)。

与此相对，如果相当于锤子的部件通过杨氏模量较大的硬质材料形成，共振频率f₀就会变大。例如，本实施方式中，在锤部件18的材质采用杨氏模量为200～400GPa的不锈钢的情况下，共振频率f₀变为1GHz以上。另外，即使在使用金属中杨氏模量比较小的铝(杨氏模量为120GPa左右)的情况下，共振频率f₀也变为约700kHz(参照图26中的编号5)。

如上所述，本实施方式的调节器10，由于锤部件18由共振频率降低部件构成，因此能够显著降低上述等价1自由系的共振频率f₀。另外，在锤部件18采用弹性体或粘弹性材料的情况下，也能够起到同样的作用(详细内容后述)。

这里，一般来说，为了不从进行振动的机械或构造物向支撑其的基座或底板传递振动，振动传递率(Vibration Transmissibility)最好较小，在等价1自由系中，振动传递率λ通过下式2来表示。

【公式2】

$\mathrm{\λ}=\sqrt{\frac{1+{\left(2\mathrm{\ζ}\frac{f}{f_0}\right)}^2}{{(1+{\left(\frac{f}{f_0}\right)}^2)}^2+{\left(2\mathrm{\ζ}\frac{f}{f_0}\right)}^2}}$

且

λ：等价1自由系的振动传递率

f：所使用的驱动频率

f₀：等价1自由系的共振频率

ζ：等价1自由系的衰减比

这样，等价1自由系中，在该振动传递率λ为1以下的情况下，与ζ值无关、机械振动很难传递到基座或底板。因此，如下式3以及对式3进行变形所得到的下述式4所示，在振动传递率λ为1以下的范围，也即满足f≥2^1/2·f₀的范围(图6(A)的范围P)，压电元件12的振动很难传递到调节器10的支撑部件(例如图4的主体20)，是共振的影响非常小的防振区域。因此，用来实施发明的最佳实施方式的频率组合，也即调节器的共振频率为70kHz以下，驱动频率为50～100kHz，满足该防振区域。另外，关于防振区域，例如在“模式分析入门，长松昭男著，corona公司出版”中有说明。另外，f≥2^1/2·f₀的关系当然也能够适用于其他实施方式。

【公式3】

$1\≥\mathrm{\λ}=\sqrt{\frac{1+{\left(2\mathrm{\ζ}\frac{f}{f_0}\right)}^2}{{(1+{\left(\frac{f}{f_0}\right)}^2)}^2+{\left(2\mathrm{\ζ}\frac{f}{f_0}\right)}^2}}$

【公式4】

f≥2^·f₀

因此，根据本实施方式，通过形成由共振频率降低部件所构成的锤部件18，能够降低由压电元件12、驱动部件14以及锤部件18所构成的调节器自身的共振频率，因此能够防止因共振使得驱动部件14在压电元件12的伸缩方向以外处振动。通过这样，由于驱动部件14向压电元件12的伸缩方向移位，因此基于压电元件12的伸缩的驱动力准确且稳定地传递给被驱动部件16，从而能够在压电元件12的伸缩方向准确且稳定地驱动控制被驱动部件16。另外，本实施方式中，能够在压电元件12的伸缩方向准确地驱动被驱动部件16，相反，与利用共振移动被驱动部件的情况相比，降低了每一次的被驱动部件16的移动量，但通过适当增加压电元件12的层叠数或适当设定驱动条件，在实用上能够确保充分的被驱动部件16的移动量。

另外，根据本实施方式，通过使上述共振频率f₀下降，能够在f≥2^1/2·f₀的大范围中设定调节器10的驱动频率f。从而，即使在根据温度变化等的环境负载或制品的偏差等，所述共振频率f₀变化的情况下，也不需要变更驱动频率f的设定，不需要对每个调节器10的设定进行变更。

另外，根据本实施方式，通过使用软性的锤部件18，大大降低了共振频率f₀，因此即使在驱动频率f处于较低的范围中，也能够满足f≥2^1/2·f₀的关系。因此，驱动频率f能够使用比较低的频率，与使用高频率的情况相比，能够削减消耗功率。也即，在使用硬质的锤部件的情况下为了满足f≥2^1/2·f₀的关系，驱动频率f必须采用高频，从而产生了消耗功率增大这一问题，但通过本实施方式，由于能够大幅降低共振频率f₀，因此能够使用低频的驱动频率f，从而能够抑制消耗功率。

进而，根据本实施方式，由于能够降低由压电元件12、驱动部件14以及锤部件18所构成的调节器自身的共振频率f₀，因此能够消除共振所带来的坏影响，从而能够减少作为调节器构成部件的部件的偏差所带来的影响，此外，不管调节器怎样安装在框体中，也很难受到共振的影响，因此增加了安装调节器时的设计以及制造的自由度。也即，可以如图3(A)所示，通过支撑部件23对压电元件12的端面12A进行支撑，还可以如图3(B)所示，通过支撑部件23对压电元件12的侧面进行支撑。进而，还可以对驱动部件14的前端面或侧面、前端侧及/或基端侧、或锤部件18的侧面以及后端面进行支撑。

接下来，根据图4对本发明的第1实施方式的相关驱动装置100进行说明。该驱动装置100，是将本发明的相关调节器10安装在带照相机的携带电话机等中，调节器10使变焦透镜或聚焦透镜等的移动透镜(未图示)进行移动。

图4中所示的调节器10，与图3(A)中所示的情况相同，由压电元件12的端面12A进行支撑。也即，压电元件12的端面12A，粘接固定在主体(框体)20中所形成的支撑部20A上。

主体20中，形成有孔20B。孔20B通过比驱动部件14的外径大若干程度的直径形成，该孔20B中穿插支撑有驱动部件14的前端。

被驱动部件16如图5所示，具有V形的槽16A，该槽16A中卡合有驱动部件14。另外，被驱动部件16具有片簧(blade spring)22，通过该片簧22将驱动部件14加力到被驱动部件16侧。这样，被驱动部件16在三处与驱动部件14线接触，形成实质的面接触。通过这样，被驱动部件16与驱动部件14摩擦卡合。被驱动部件16的下方，连接有保持移动透镜的保持框(未图示)。

如上所构成的驱动装置100，通过形成锤部件18能够防止共振，因此能够在伸缩方向上传递压电元件12的驱动力。

接下来，对照图7以及图8对本发明的第2实施方式的相关驱动装置200进行说明。这里，省略了与第1实施方式相同的说明，仅对不同点进行说明。

如图7以及图8所示，该驱动装置200中，被驱动部件216与移动透镜211的透镜框221一体形成。透镜框221由与驱动部件14平行配置的引导棒(未图示)进行引导，防止围绕驱动部件14进行旋转。另外，被驱动部件216中形成有U形的槽216B，该槽216B与驱动部件14相卡合。被驱动部件216的4个角部各自设有向上方突出的突出部224、224…，在被该突出部224、224…所包围的区域内设有摩擦板226。摩擦板226对应于驱动部件14的侧面形状，弯曲形成为圆弧形。因此，被驱动部件216与驱动部件14面接触。另外，摩擦板226的各个角部对应于被驱动部件216的突出部224、224…而切开。所以，在将摩擦板226配置在被突出部224、224…所包围的区域内时，能够防止摩擦板226脱落。

被驱动部件216中安装有下压弹簧228。下压弹簧228构成为将摩擦板226向被驱动部件216侧加力。因此，如果在被驱动部件216的U形槽216B中配置驱动部件14，在其上配置摩擦板226，则摩擦板226就被下压弹簧228压向驱动部件14，通过摩擦板226与被驱动部件216夹持驱动部件14，从而能够使被驱动部件216与驱动部件14摩擦卡合。

压电元件12的后端的端面12B中粘接固定有软性的锤部件218。锤部件218的比重，为了小型化而最好尽可能高，例如设为与不锈钢相同程度(7.7～8.0)。锤部件218在安装有压电元件12的面的相反侧，粘接有安装零件230，经该安装零件230将锤部件218支撑在主体20中。安装零件230通过使金属板弯曲而形成为コ形，其两端的弯曲部分嵌合固定在主体20中。压电元件12与驱动脉冲供给装置215(参照图8)电连接，通过该驱动脉冲供给装置215给压电元件12加载电压。

这样，本实施方式中，压电元件12的后端的端面12B由软性的锤部件218在接近自由端的状态下进行支撑，通过这样让共振频率f₀降低到20～30kHz。因此，使得通常所使用的50～100kHz的驱动频率f满足f≥2^1/2·f₀。满足f≥2^1/2·f₀的范围，是力的传递率为1以下的防振区域，不会发生大的共振。因此，根据本实施方式，将压电元件12的后端的端面12B由软性的锤部件218在接近自由端的状态下进行支撑，能够防止驱动频率中的共振，确保常时稳定的驱动量。另外，本实施方式中，锤部件218通过安装零件230固定在主体20中，但将锤部件218直接安装在主体20中也能够起到同样的效果。

另外，根据本实施方式，通过降低共振频率f₀，能够在f≥2^1/2·f₀的大范围内设定驱动频率f。因此不会受到环境负荷或制品偏差等的影响，能够进行稳定的驱动。

接下来，根据图9对本发明的第3实施方式的相关驱动装置300进行说明。

如图9所示，该驱动装置300与驱动装置200的不同点在于，压电元件12的后端侧的端面12B粘接固定有橡胶等弹性体所形成的锤部件332，该锤部件332的与压电元件12相反侧的面粘接固定于主体20。通过这样也能够起到与上述实施方式相同的作用效果。

接下来，根据图10对本发明的第4实施方式的相关驱动装置400进行说明。

如图10所示，该驱动装置400与驱动装置200不同的点在于，软性材料所形成的锤部件418，形成为具有比压电元件12的端面12B大的面的薄板状，该锤部件418的中央位置上粘接固定有压电元件12，锤部件418的两端部粘接固定在主体20中。通过这样所构成的本实施方式的驱动装置400，由于压电元件12的后端的端面12B被薄板状的锤部件418支撑在主体20上，因此锤部件418挠性变形使得压电元件12的后端的端面12B移位。另外，由于锤部件418的杨氏模量较小，因此压电元件12的后端的端面12B，被锤部件418自身的弹性变形在接近自由端的状态下进行支撑。从而能够降低共振频率f₀，驱动频率f能够在成为防振区域的f≥2^1/2·f₀的大范围内使用。所以，能够防止装置构成系统的共振，常时确保稳定的驱动量。

接下来，对本发明的第5实施方式的相关驱动装置500进行说明。

图11为本发明的第5实施方式的相关驱动装置500的剖面图。如图11所示，本实施方式的相关驱动装置500，以移动透镜70作为移动对象物进行移动透镜70的驱动，由具有压电元件12以及驱动部件14的调节器510、支撑该调节器510的支撑部件60、以及被驱动部件516构成。压电元件12是能够通过电气信号的输入进行伸缩的电气机械变换元件，能够向给定的方向伸长以及收缩。该压电元件12与控制部71相连接，通过由该控制部71输入电气信号来伸缩。例如，压电元件12中设有两个输入端子72A、72B。通过反复增减加载给该输入端子72A、72B的电压，让压电元件12反复进行伸长与收缩。

驱动部件14在压电元件12的伸缩方向上向着长边方向安装在压电元件12中。例如，驱动部件14的一端与压电元件12相接触并使用粘接剂27粘接。该驱动部件14是长条形的部件，例如使用圆柱状。驱动部件14的材质使用将石墨晶体牢固合成而成的石墨晶体合成物，例如石墨碳。该作为石墨晶体合成物的石墨碳具有类似铍的特性，但与铍不同，具有容易加工的特性，因此能够削减调节器510的成本。驱动部件14被从主体24向内侧延伸的分隔部24B、分隔部24C所支撑，能够沿着长边方向移动。分隔部24B与分隔部24C是用来分隔被驱动部件516的移动区域的部件，还用作驱动部件14的支撑部件。

分隔部24B、分隔部24C中分别形成有贯通驱动部件14的贯通孔24A。分隔部24B对驱动部件14的压电元件12安装部分的附近处，也即驱动部件14的基端处进行支撑。分隔部24C对驱动部件14的前端处进行支撑。主体24起到用来组装调节器510的框体或框架部件的作用。驱动部件14通过安装在压电元件12中，对应于压电元件12的伸长以及收缩的重复动作，沿着该长边方向往返移动。

另外，图11中例示了驱动部件14被分隔部24B、24C在其前端侧与基端侧的两处进行支撑的情况，但有时驱动部件14被其前端侧或基端侧的一方所支撑。例如，通过将分隔部24B的贯通孔24A形成得比驱动部件14的外径大，使得驱动部件14只被分隔部24C在前端处进行支撑。另外，通过将分隔部24C的贯通孔24A形成得比驱动部件14的外径大，使得驱动部件14只被分隔部24B在基端处进行支撑。另外，图11中示出了支撑驱动轴14的分隔部24B、24C与主体24形成为一体的情况，但该分隔部24B、24C也可以与主体24分开形成并安装在主体24中。在分开形成的情况下，也能够得到与一体形成的情况下相同的功能、效果。

被驱动部件516可移动地安装在驱动部件14上。该被驱动部件516摩擦卡合安装在驱动部件14上，能够沿着其长边方向移动。例如，被驱动部件516以给定的摩擦系数卡合在驱动部件14上，通过给驱动部件14施加一定的推压力，使其在移动时产生一定的摩擦力。通过给被驱动部件516作用超出该摩擦力的移动力，来抵抗摩擦力让被驱动部件516沿着驱动部件14移动。

调节器510由支撑部件60支撑其主体24。支撑部件60，从垂直于压电元件12的伸缩方向的方向对调节器510进行支撑，设置在存放调节器510的主体24与压电元件12之间。

支撑部件60，由具有给定以上的弹性特性的弹性体形成，例如由硅树脂形成。支撑部件60形成有穿插压电元件12的穿插孔60A，在该穿插孔60A中穿插有压电元件12的状态下，组装在主体24中。支撑部件60在主体24中的固定，通过粘接剂61的粘接来进行。另外，支撑部件60与压电元件12之间的固定，也通过粘接剂的粘接来进行。通过由弹性体构成该支撑部件60，能够支撑调节器510且使其能够在压电元件12的伸缩方向上移动。图11中，示出了支撑部件60在压电元件12的两侧具有两个，但该支撑部件60、60通过取1个连续支撑部件60的剖面而显示为两个。

另外，支撑部件60在主体24中的固定以及在压电元件12中的固定，可以在主体24与压电元件12之间压入支撑部件60，通过支撑部件60的推压来进行。例如，支撑部件60由弹性体构成，且将主体24与压电元件12之间形成得较大，从而压入其间。通过这样，能够将支撑部件60密合设置在主体24以及压电元件12中。这种情况下，压电元件12被支撑部件60从垂直于伸缩方向的两侧进行推压。通过这样来支撑调节器510。

另外，这里对支撑部件60由硅树脂形成的情况进行了说明，但支撑部件60也可以由弹簧部件构成。例如，在主体24与压电元件12之间设置弹簧部件，通过该弹簧部件将调节器510对主体24支撑。

被驱动部件516中经透镜框68安装有移动透镜70。移动透镜70构成照相机的摄影光学系统，成为驱动装置的移动对象物。该移动透镜70与被驱动部件516一体结合，与被驱动部件516一起移动。移动透镜70的光轴O上，设有未图示的固定透镜等，构成照相机的摄影光学系统。另外，光轴O上设有摄像元件65。摄像元件65是用来将通过摄影光学系统所成像的图像变换成电气信号的摄像机构，例如由CCD构成。摄像元件65与控制部71相连接，将图像信号输出给控制部71。

压电元件12的端部，安装有锤部件518。锤部件518是用来将压电元件12的伸缩力传递到驱动部件14侧的部件，安装在与压电元件12的安装有驱动部件14的端部相反侧的端部。锤部件518使用比驱动部件14重的材料。另外，锤部件518最好使用在可弹性变形的部件中混入金属粉所得到的材料。通过混入金属粉能够增加重量，通过使用可弹性变形的部件能够衰减压电元件12的工作时的不需要的共振。另外，锤部件518通过由软性部件构成，能够将调节器510中的共振频率相对压电元件12的驱动频率降低得足够小，从而能够降低共振的影响。

另外，锤部件518在不相对主体24支撑固定的状态下设置。也即，锤部件518被设为没有直接相对主体24支撑固定，也没有经粘接剂或树脂材料使其相对主体24的运动受到限制而支撑固定的状态。

驱动装置500中，设有检测被驱动部件516的移动位置的检测器75。检测器75例如使用光学式检测器，采用光反射器、光电断路器等。具体地说，在使用具有反射器75A、检测部75B的器件作为检测器75的情况下，在与被驱动部件516一体形成的透镜框68中安装反射器75A，从检测部75B向反射器75A侧发射检测光，由检测部75B检测被反射器75A侧所反射的反射光，通过这样来检测被驱动部件516以及移动透镜70的移动位置。

检测器75与控制部71相连接。检测器75的输出信号输入给控制部71。控制部71进行驱动装置全体的控制，例如由CPU、ROM、RAM、输入信号电路、输出信号电路等构成。另外，控制部71具有用来使压电元件12动作的驱动电路，给压电元件12输出用于驱动的电气信号。

图12为图11的XII-XII线中的被驱动部件516的剖面图。如图12所示，被驱动部件516，例如具有主体部516A、推压部516B以及滑动部516C。主体部516A，通过推压部516B以一定的力推压驱动部件14。主体部516A中，形成有V形的槽516D。驱动部件14在被两个滑动部516C、516C所夹持的状态下，存放在该槽516D内。滑动部516C、516C是剖面V形的板体，其凹部侧相对设置，将驱动部件14夹在中间。通过像这样将驱动部件14容纳在V形槽516D内，能够将被驱动部件516稳定地安装在驱动部件14中。

推压部516B例如使用剖面L字状的片簧材料。通过将推压部516B的一边挂在主体部516A中，另一边设置在槽516D的对面位置中，能够通过另一边与主体部516A以及滑动部516C一起夹持容纳在槽516D中的驱动部件14。通过这样，能够将主体部516A推压向驱动部件14侧。

这样，被驱动部件516，通过由推压部516B以一定的力将主体部516A向驱动部件14侧推压并安装，能够对驱动部件14摩擦卡合。也即，被驱动部件516，通过由主体部516A以及推压部516B以一定的推压力向驱动部件14推压而进行安装，在其移动时能够产生一定的摩擦力。

另外，通过由剖面V形的滑动部516C、516C来夹持驱动部件14，被驱动部件516在4处与驱动部件14线接触，也即变为实质上面接触，从而能够稳定地对驱动部件14摩擦卡合。

图13为使压电元件12运转的驱动电路的电路图。如图13所示，驱动电路77设置在控制部71内。该驱动电路77用作压电元件12的驱动电路，向压电元件12输出驱动用电气信号。驱动电路77由控制部71的控制信号生成部(未图示)输入控制信号，对该控制信号进行电压放大或电流放大，输出压电元件12的驱动用电气信号。驱动电路77，例如使用输入段由逻辑电路U1～U3构成，且输出段具有场效应晶体管(FET)Q1、Q2者。晶体管Q1、Q2能够输出H输出(高电位输出)、L输出(低电位输出)以及OFF输出(开路输出)作为输出信号。

图14中示出了输入给驱动电路77的输入信号，图15中示出了从驱动电路77所输出的输出信号。图14(A)为将被驱动部件516向接近压电元件12的方向(图11中的右向)移动时所输入的输入信号，图14(B)为将被驱动部件516向远离压电元件12的方向(图11中的左向)移动时所输入的输入信号。另外，图15(A)为将被驱动部件516向接近压电元件12的方向(图11中的右向)移动时所输出的输出信号，图15(B)为将被驱动部件516向远离压电元件12的方向(图11中的左向)移动时所输出的输出信号。

图15(A)、(B)的输出信号，是与图14(A)、(B)的输入信号同一时刻进行开关的脉冲(pulse)信号。图15(A)、(B)中的两个信号，输入给压电元件12的输入端子72A、72B。该输入端子72A、72B中，可以输入由如图2所示的梯形波形所构成的信号，但也可以输入图15所示的矩形脉冲信号，使压电元件12运转。这种情况下，由于压电元件12的驱动信号最好是矩形的脉冲信号，因此信号生成变得容易。

图15(A)、(B)的输出信号，由同一频率的两个矩形脉冲信号构成。这两个脉冲信号通过使得彼此的相位不同，而成为彼此的信号的电位差阶段性增大且急剧减小的信号，或电位差急剧增大且阶段性减小的信号。通过输入这样的两个信号，能够让压电元件12的伸长速度与收缩速度不同，从而能够移动被驱动部件516。

例如，图15(A)、(B)中，设为一方信号变为H(高)且下降到L(低)之后，另一方信号变为H。这些信号中，设为在～方信号变为L时，经过了一定的时滞t_OFF之后，另一方信号变为H。另外，在这两个信号双方均为L的情况下，变为输出截止状态(开路状态)。

该图15(A)、(B)的输出信号，也即驱动压电元件12的电气信号，使用超过了可听频率的信号。图15(A)、(B)中，两个信号的频率采用超过了可听频率的频率信号，例如30～80kHz的频率信号，更为理想的是40～60kHz。通过使用这样的频率的信号，能够降低压电元件12的可听区域中的工作音。

接下来，对本实施方式的相关驱动装置的动作进行说明。

图11中，给压电元件12输入电气信号，通过该电气信号的输入，压电元件12反复进行伸长与收缩。对应于该伸长以及收缩，驱动部件14进行往返运动。此时，通过让压电元件12的伸长速度与收缩速度不同，使得驱动部件14向一定方向移动的速度与向其反方向移动的速度不同。这样，能够使被驱动部件516以及移动透镜70向所期望的方向移动。

在压电元件12伸缩时，其伸缩引起振动，但由于包括压电元件12的调节器510被支撑部件60从垂直于其伸缩方向的方向所支撑，因此压电元件12的伸缩所产生的振动很难传递到调节器510的外部。因此，能够抑制调节器510与主体24等外部部件共振，降低该共振的影响。因此，能够准确地移动被驱动部件516以及移动透镜70。

这样，根据本实施方式的相关驱动装置，调节器510被从垂直于压电元件12的伸缩方向的方向所支撑，因此振动很难在调节器510与外部部件之间传递，能够降低共振的影响。因此，能够准确地移动被驱动部件516以及移动透镜70。

另外，通过锤部件518能够得到与上述实施方式相同的效果，也即能够降低共振频率并防止共振的效果。

另外，检测被驱动部件的移动位置的检测器75，当然也可以用于其他

实施方式。

这里，对上述实施方式的驱动装置中的锤部件的另一例进行说明。图16为说明锤部件的另一例的相关锤部件801的主视图。

锤部件801由树脂与金属粉混合而成，金属粉，当然要采用具有作为锤子的功能(其质量较重的功能)的物质，但金属粉本身最好是很难氧化(很难生锈)的物质。很难氧化的物质，例如有金、白金、银、铜、SUS、银、铝等，可以将这些金属用于金属粉。但是，这些金属价格较高，金、白金、银等贵重金属特别高价。另外，铜以及SUS由于比重较大，适于用作锤子，但并不是绝对不会氧化的。因此，这里金属粉使用钨，树脂使用烯类弹性体树脂。具体地是，钨为90重量％以上，剩下的为烯类弹性体树脂混合起来。

该锤部件801的外表面，形成有作为氟类的氧化防止涂层的防湿保护膜801a。另外，这里的氧化防止是指，为了防止主成分的氧化，不但通过将自身作为主成分的替身进行氧化，来防止或抑制主成分的氧化，还将成为氧化的原因的例如空气中的氧以及水分所构成的主成分隔绝。

防湿保护膜801a，通过将锤部件801浸渍在作为固体成分2.0％，比重约1.5，溶媒采用氟化液的透明液体的氧化防止涂层剂的防湿涂层剂中，或将防湿涂层剂刷涂在锤部件801上，而形成在锤部件801的外表面中。该防湿保护膜801a的膜厚，在浸渍的情况下最好为1～3μm，在刷涂的情况下最好为3～5μm。通过这样，能够保护锤部件801不粘水分或被腐蚀。

这样的锤部件801中，由于其外表面被防湿保护膜801a所覆盖，因此能够抑制钨的氧化，从而能够防止该氧化成分导致烯类弹性体树脂硬化，致使锤部件的硬度或比重改变。因此，能够让锤部件801具有所期望的功能。

图17为说明锤部件的另一例的相关锤部件802的主视图。该锤部件802与上述锤部件801不同的点在于，锤部件的外表面中没有形成防湿保护膜801a，而是将钨(粉末)浸渍在例如硅烷类树脂的防湿涂层剂中，在钨的外表面形成成为防氧化涂层的防湿涂层，将该钨与烯类弹性体树脂混合起来形成锤部件802。

像这样，由于给钨预先实施防氧化涂层处理，防止了钨的氧化，从而防止烯类弹性体树脂的硬化，结果是能够让锤部件802具有所期望的功能。

图18为说明锤部件的另一例的相关锤部件803的主视图。该锤部件803与上述锤部件801不同的点在于，锤部件的外表面中没有形成防湿保护膜801a，而是钨(粉末)中，使用例如三氧化钨等预先氧化了的稳定的钨，将该钨与烯类弹性体树脂混合起来形成锤部件803。另外，预先氧化了的钨，至少其外表面被预先氧化就可以了。

像这样，由于钨的至少外表面被预先氧化，因此不会产生氧化成分，从而防止了烯类弹性体树脂的硬化，结果是能够让锤部件803具有所期望的功能。

图19为说明锤部件的另一例的相关锤部件804的主视图。该锤部件804与上述锤部件801不同的点在于，锤部件的外表面中没有形成防湿保护膜801a，而是将钨(粉末)，与作为防止钨的氧化的树脂的例如具有防湿性的树脂混合起来，形成锤部件804。该具有防湿性的树脂，例如可以列举出将给定的物质添加到树脂中从而改善了钨与树脂的结合性以及粘合性的树脂，具体地可以列举出在烯类弹性体树脂中添加了填充物所得到的树脂。

像这样，由于树脂能够防止钨的氧化，因此防止了钨的氧化，从而防止了树脂的硬化，结果是能够让锤部件804具有所期望的功能。

图20为说明锤部件的另一例的相关锤部件805的主视图。该锤部件805与上述锤部件801不同的点在于，锤部件的外表面中没有形成防湿保护膜801a，而是通过粘接剂805a覆盖该锤部件805。

像这样由于锤部件805被粘接剂805a所覆盖，因此能够抑制钨(粉末)的氧化。进而，由于锤部件805被粘接剂805a所覆盖，因此该粘接剂805a还能够兼用作与压电元件12之间的固定用粘合剂。这里，粘接剂805a采用热硬化性粘接剂，将覆盖有热硬化性粘接剂的锤部件805与压电元件12配合起来并加热，就能够将压电元件12与锤部件805良好地固定起来。

另外，构成锤部件801～805的金属粉，并不仅限于钨，还可以是上述的例如金、白金、银、铜、SUS、银、铝等材料，能够起到与使用钨的情况下相同的作用效果。另外，树脂也并不仅限于烯类弹性体树脂。

接下来，对本发明的第6实施方式的相关驱动装置600进行说明。图21为本发明的第6实施方式的相关驱动装置的剖面图。

如图21所示，本实施方式的相关驱动装置600，以移动透镜620作为移动对象物进行移动透镜620的驱动，具有压电元件602、驱动部件603、被驱动部件604、支撑部件605、以及锤部件607构成。压电元件602是能够通过电气信号的输入进行伸缩的电气机械变换元件，能够向给定的方向伸长以及收缩。该压电元件602与未图示的控制部相连接，通过由该控制部输入电气信号来伸缩。例如，使用具有两个输入端子的压电元件602。通过反复增减加载给该输入端子的电压，让压电元件602反复进行伸长与收缩。

驱动部件603在压电元件602的伸缩方向上向着长边方向安装在压电元件602中。例如，驱动部件603的一端与压电元件602相接触并使用粘接剂粘接。该驱动部件603是长条形的部件，例如使用圆柱状者。另外，驱动部件603的材质使用将石墨晶体牢固合成而成的石墨晶体合成物，例如石墨碳。驱动部件603通过安装在压电元件602中，对应于压电元件602的伸长以及收缩的重复动作，沿着其长边方向往返移动。

被驱动部件604可移动地安装在驱动部件603上。该被驱动部件604摩擦卡合安装在驱动部件603上，能够沿着其长边方向自由移动。例如，被驱动部件604以给定的摩擦系数卡合在驱动部件603上，通过给驱动部件603施加一定的推压力，使其在移动时产生一定的摩擦力来进行安装。通过给被驱动部件604作用超出该摩擦力的移动力，来抵抗摩擦力、让被驱动部件604沿着驱动部件603移动。

压电元件602与主体610之间，设有支撑部件605。支撑部件605用来支撑驱动部件603并使其能够相对主体610沿着其长边方向移动，经压电元件602支撑驱动部件603并使其能够相对主体610移动。该支撑部件605，使用能够对应于压电元件602的伸缩进行弹性变形的弹性变形部件，例如硬化了的硅树脂材料。

该支撑部件605，可以不像如图21所示的那样间接支撑驱动部件603，而是直接支撑驱动部件603。例如，通过设置在驱动部件603与主体610之间，直接支撑驱动部件603。

主体610用来起到用于装配压电元件602以及驱动部件603的框体或框架材料的功能。主体610中，形成有用来区分压电元件602的设置区域、被驱动部件604的设置区域等的分隔部611、612。该分隔部611、612中形成有用来贯通驱动部件603的贯通孔611a、612a。图21中，该贯通孔611a、612a采用与驱动部件603的直径相比足够大的口径，使其内周面不与驱动部件603的外周抵接，但也可以让该贯通孔611a、612a的口径为正好穿插驱动部件603的程度，通过分隔部611、612可移动地支撑驱动部件603，让分隔部611、612用作支撑部件。

被驱动部件604中经透镜框621安装有移动透镜620。移动透镜620构成照相机的摄影光学系统，成为驱动装置600的移动对象物。该移动透镜620与被驱动部件604一体结合，与被驱动部件604一起移动。移动透镜620的光轴O上，设有未图示的固定透镜等，构成照相机的摄影光学系统。

压电元件602的端部，安装有锤部件607。锤部件607是用来将压电元件602的伸缩力传递到驱动部件603侧的部件，安装在与压电元件602的安装有驱动部件603的端部相反侧的端部。

该锤部件607由金属体与粘弹性体构成，例如通过在金属板671、672之间夹持粘弹性部件673而形成。该金属板671、672以及粘弹性部件673依次向驱动部件603的长边方向层叠。粘弹性部件673是具有给定以上的粘性与给定以上的弹性的部件，用来衰减压电元件602的伸缩所产生的不需要的共振。该粘弹性部件673，例如使用树脂材料、粘接剂、减震脂(damper grease)、双面带材料、压电涂料等。

该粘弹性部件673，最好通过使得压电元件602与锤部件607之间进行共振的振动与压电元件602的伸缩振动相比大幅衰减的厚度来形成。这种情况下，能够在几乎没有阻碍压电元件602的伸缩力向驱动部件603的传递的状态下，实现不需要的共振振动的降低。

另外，图21中，在两个金属板671、672之间夹持粘弹性部件673构成锤部件607，但也可以使用3个以上的金属板，在其之间夹持粘弹性部件673而构成。另外，也可以代替金属板671、672，使用呈块状而非板状的金属体构成锤部件607。

另外，锤部件607在没有相对主体610支撑固定的状态下设置。也即，锤部件607在没有相对主体610直接支撑固定，也没有经粘接剂或树脂材料使其相对主体610的运动受到限制而支撑固定的状态下设置。

图22为图21的XXII-XXII中的被驱动部件604的剖面图。

如图21所示，被驱动部件604，例如具有主体部641以及推压部642。主体部641，通过推压部642以一定的力推压驱动部件603。主体部641中，形成有V形的槽641a。设置主体部641，使得驱动部件603与该槽641a的内面抵接。通过像这样使用V形槽641a而设置被驱动部件604，能够将被驱动部件604稳定地安装在驱动部件603中。

推压部642例如使用剖面L字状的片簧材料。通过将推压部642的一边642a挂在主体部641中，另一边642b设置在槽641a的对面位置中，能够通过另一边642b与主体部641一起夹持容纳在槽641a中的驱动部件603。通过这样，能够将主体部641压向驱动部件603侧。

这样，被驱动部件604在推压部642的V形槽641a以及推压部642的3处与驱动部件603线接触，变为实质上面接触。另外，被驱动部件604，通过由推压部642以一定的力将主体部641向驱动部件603侧推压并安装，能够摩擦卡合在驱动部件603上。也即，被驱动部件604，通过由主体部641以及推压部642以一定的推压力向驱动部件603推压并进行安装，在其移动时能够产生一定的摩擦力。

接下来，对本实施方式的相关驱动装置600的动作进行说明。

图21中，通过给压电元件602输入电气信号，让压电元件602反复进行伸长以及收缩。作为电气信号使用让压电元件602进行伸缩且使其伸长速度与收缩速度不同的信号。例如，如图23、24所示，使用脉冲信号且其电压的升压速度(增加速度)与降压速度(减少速度)不同的信号。

在将图23的电气信号输入给压电元件602的情况下，由于电压的升压速度较慢而降压速度较快，因此压电元件602缓慢伸长并快速收缩。因此，驱动部件603缓慢向远离压电元件602的方向移动，并快速向接近压电元件602的方向移动。此时，虽然压电元件602以及驱动部件603被支撑部件605可移动地支撑，但通过设置重量较大的锤部件607，锤部件607方几乎不对应于压电元件602的伸缩进行移动，而驱动部件603移动。

被驱动部件604，通过驱动部件603的向着离开方向的缓慢移动，而与驱动部件603一起移动。另外，即使驱动部件603向着接近方向迅速移动，但由于惯性，被驱动部件604也不和驱动部件603一起移动。因此，如果反复进行驱动部件603的往返移动，被驱动部件604就向着远离压电元件602的方向移动。这样，与被驱动部件604一体设置的移动透镜620也向着远离压电元件602的方向移动。

与此相对，在图24的电气信号输入给压电元件602的情况下，由于电压的升压速度较快而降压速度较慢，因此压电元件602快速伸长并缓慢收缩。因此，驱动部件603快速向远离压电元件602的方向移动，并缓慢向接近压电元件602的方向移动。

此时，即使因驱动部件603的向着离开方向的迅速移动使得驱动部件603进行移动，被驱动部件604由于其惯性，也不和驱动部件603一起移动。另外，被驱动部件604，通过驱动部件603的向着接近方向的缓慢移动，而与驱动部件603一起移动。因此，如果反复进行驱动部件603的往返移动，被驱动部件604就向着接近压电元件602的方向移动。这样，与被驱动部件604一体设置的移动透镜620也向着接近压电元件602的方向移动。

通过像这样给压电元件602输入给定的电气信号，能够对被驱动部件604以及移动透镜620进行移动控制。

如上所述，通过本实施方式的相关驱动装置600，不将压电元件602固定在主体610中，在压电元件602中安装锤部件607，向驱动部件603侧传递伸缩力。因此，压电元件602的伸缩所产生的振动很难传递到主体610侧，抑制了该振动与主体610共振。因此，实现了驱动中不需要的共振振动的降低。

另外，本实施方式的相关驱动装置600，在锤部件607中设置粘弹性部件673。因此，即使在驱动中产生了不需要的振动的情况下，也能够迅速将该共振振动衰减。因此，实现了驱动中不需要的共振振动的降低，能够准确且稳定地进行驱动。

接下来，对本发明的第7实施方式的相关驱动装置700进行说明。图25中示出了本实施方式的相关驱动装置的剖面图。如图25所示，本实施方式的相关驱动装置700，与上述第6实施方式的相关驱动装置600几乎一样构成，但锤部件707a由金属体771a与粘弹性部件773a构成这一点不同。

本实施方式的相关驱动装置700，在压电元件602的端部经粘弹性部件773a安装有金属体771a，设有锤部件707a。锤部件707a是用来将压电元件602的伸缩力传递到驱动部件603侧的部件。

粘弹性部件773a是具有给定以上的粘性与给定以上的弹性的部件，用来衰减压电元件602的伸缩所产生的不需要的共振振动。该粘弹性部件773a，例如使用树脂材料、粘接剂、减震脂、双面带材料、压电涂料等。该粘弹性部件773a，最好通过让压电元件602与锤部件707a之间进行共振的振动衰减的厚度来形成。

另外，锤部件707a在没有相对主体610支撑固定的状态下设置。也即，锤部件707a在没有直接相对主体610支撑固定，也没有经粘接剂或树脂材料使其相对主体610的运动受到限制而支撑固定的状态下设置。

这样的本实施方式的相关驱动装置700，也能够得到与第6实施方式的相关驱动装置600几乎相同的作用效果。也即，不将压电元件602固定在主体610中，在压电元件602中安装锤部件707a，向驱动部件603侧传递伸缩力。因此，压电元件602的伸缩所产生的振动很难传递到主体610侧，抑制了该振动与主体610共振。因此，实现了驱动中不需要的共振振动的降低。

另外，本实施方式的相关驱动装置700，在压电元件602与金属体771a之间设置粘弹性部件773a。因此，即使在驱动中产生了不需要的共振的情况下，通过粘弹性部件773a也能够迅速将该共振振动衰减。因此，实现了驱动中不需要的共振振动的降低，能够准确且稳定地进行驱动。

另外，这里由金属体771a与粘弹性部件773a构成锤部件707a，但也可以在压电元件与锤部件(符号771a的部分)之间设置粘弹性部件，另外，还可以使用软性材料或弹性材料所构成的部件来代替粘弹性件。

接下来，对本发明的第8实施方式的相关驱动装置进行说明。

本实施方式的相关驱动装置，具备与上述第6实施方式以及第7实施方式的相关驱动装置几乎一样的结构，但锤部件由粘弹性体构成这一点，与第6实施方式以及第7实施方式的相关驱动装置不同。例如，锤部件由树脂材料等粘弹性部件构成。此时，为了增加锤部件的重量，可以在粘弹性部件中混入金属粉。

这样的本实施方式的相关驱动装置，也能够得到与上述第6实施方式以及第7实施方式的相关驱动装置几乎相同的作用效果。也即，不将压电元件固定在静止部件中，在压电元件中安装锤部件，向驱动部件侧传递伸缩力。因此，压电元件的伸缩所产生的振动很难传递到静止部件侧，抑制了该振动与静止部件共振。因此，实现了驱动中不需要的共振振动的降低。

另外，本实施方式的相关驱动装置，锤部件由粘弹性部件构成。因此，即使在驱动中产生了不需要的共振的情况下，通过粘弹性部件的锤部件也能够迅速将该共振振动衰减。因此，实现了驱动中不需要的共振振动的降低，能够准确且稳定地进行驱动。

另外，上述各实施方式示出了本发明的相关驱动装置之一例。本发明的相关驱动装置，并不仅限于这些实施方式的相关驱动装置，能够在不变更各个权利要求所述的要点的范围内，对实施方式的相关驱动装置进行变形，或用于其他方面。

本发明的相关调节器的用途，例如能够适用于数码相机或携带电话机等小型精密仪器中。特别是携带电话机，通过使用本发明的调节器，能够以2mm/s以上的高速度移动被驱动部件。因此，即使是需要10mm程度的移动的变焦透镜，也能够迅速移动。另外，本发明的相关调节器的用途并不仅限于对聚焦透镜或变焦透镜等移动透镜进行移动，还能够用于移动CCD的用途等中。

另外，例如第5实施方式中，对用于驱动移动透镜70的驱动装置的装置进行了说明，但也可以用于驱动移动透镜70以外的器件的驱动装置。

Claims (23)

1.一种驱动装置，

由电气机械变换元件、与所述电气机械变换元件的一端相连接且对应于所述电气机械变换元件的伸缩进行变动的驱动部件、以及设置在所述电气机械变换元件的另一端侧的锤部件构成，在将与所述驱动部件摩擦卡合的被驱动部件沿着所述驱动部件移动的调节器中，所述锤部件由降低所述调节器的共振频率的部件构成。

2.如权利要求1所述的驱动装置，其特征在于，

所述锤部件的材料，与所述电气机械变换元件的材料相比，杨氏模量较小。

3.如权利要求1或2所述的驱动装置，其特征在于，

所述锤部件的材料，其杨氏模量为1GPa以下。

4.如权利要求1～3中任一项所述的驱动装置，其特征在于，

所述锤部件的比重除以所述锤部件的杨氏模量所得到的值为1.8×10^-9以上。

5.如权利要求1～4中任一项所述的驱动装置，其特征在于，

所述锤部件由包含有软性材料、弹性体或粘弹性材料的材料构成。

6.如权利要求1～5中任一项所述的驱动装置，其特征在于，

通过设置所述由包含有软性材料、弹性体或粘弹性材料的材料所构成的锤部件，与设置刚性材料所构成的锤部件的情况相比，降低了所述调节器的共振频率。

7.如权利要求1～6中任一项所述的驱动装置，其特征在于，

所述锤部件是含有金属粉的弹性体。

8.如权利要求7所述的驱动装置，其特征在于，

所述弹性体是树脂。

9.如权利要求8所述的驱动装置，其特征在于，

所述锤部件，被抑制该锤部件中所含有的所述金属粉氧化的保护膜所覆盖。

10.如权利要求9所述的驱动装置，其特征在于，

所述保护膜兼作将所述锤部件固定到所述电气机械变换元件上的粘接剂。

11.如权利要求8所述的驱动装置，其特征在于，

所述金属粉预先施有氧化防止涂层。

12.如权利要求8所述的驱动装置，其特征在于，

所述金属粉，至少其外表面被预先氧化。

13.如权利要求8所述的驱动装置，其特征在于，

所述树脂是防止所述金属粉氧化的物质。

14.如权利要求1、5、6中任一项所述的驱动装置，其特征在于，

所述锤部件由金属与粘弹性材料构成。

15.如权利要求1～8、14中任一项所述的驱动装置，其特征在于，

所述电气机械变换元件与所述锤部件之间设有粘弹性材料、软性材料或弹性材料。

16.如权利要求1～15中任一项所述的驱动装置，其特征在于，

所述驱动部件，在前端侧及/或基端侧沿所述电气机械变换元件的伸缩方向被可移动地支撑。

17.如权利要求1～16中任一项所述的驱动装置，其特征在于，

所述调节器，相对所述电气机械变换元件的伸缩方向被框体从侧方支撑。

18.如权利要求1～17中任一项所述的驱动装置，其特征在于，

具有为了驱动所述电气机械变换元件，在伸方向与缩方向中产生不对称信号的驱动机构。

19.如权利要求1～18中任一项所述的驱动装置，其特征在于，

所述被驱动部件，相对所述驱动部件面接触。

20.如权利要求1～19中任一项所述的驱动装置，其特征在于，

具有检测所述被驱动部件的移动位置的检测机构。

21.如权利要求1～20中任一项所述的驱动装置，其特征在于，

所述电气机械变换元件被超过了可听频率的驱动频率所驱动。

22.一种摄像装置，

通过将光学部件与在权利要求1～21中任一项所述的驱动装置的所述被驱动部件连接而构成。

23.一种携带电话，

安装有如权利要求1～21中任一项所述的驱动装置或权利要求22中所述的摄像装置。

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