CN1786998A - 制造管理系统及方法 - Google Patents

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黄承渠
丁友贞
李启豪
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Abstract

本发明涉及一种制造管理系统及方法，所述半导体制造管理系统，包括一个处理单元接收含有将于一个晶圆批次执行新工程作业的工程变更请求，产生含有工程变更请求的工程变更请求提醒，透过通讯装置传递工程变更请求提醒至一客户端处理人员，接收相应于工程变更请求提醒的回复，借由侦测回复决定工程变更请求是否被接受的回复结果，以及传递回复结果至一个制造执行系统。本发明所述制造管理系统及方法可以缩短工作时间，降低错误率，进而提高工作效率。

Description

制造管理系统及方法
技术领域
此发明是一种机台管理技术，特别是一种关于工程变更的机台管理方法及系统。
背景技术
传统上，半导体制造厂包含处理半导体晶圆时的必要制造机台，于半导体制造时，半导体晶圆会经过一连串使用各式各样机台的制造步骤，诸如曝光(photolithography)、化学机械研磨(chemical-mechanical polishing)或化学气相沉积(chemicalvapor deposition)。举例来说，一个集成半导体产品的制程可能会经历接近600道处理步骤。如何充分及有效率地监督或控制制造流程，使得良品占所有制造产品的比率(亦即是良率)必须尽可能达到一个高标的水准，将影响自动化制造的成本。
制造流程、制程配方等的改变，可增进半导体制造良率。这些工程变更通常在客户端的处理人员确认后，适用于特定晶圆批次上。传统上，处理人员花费庞大时间与相关客户进行工程变更的沟通，甚至会花费更多时间于处理相关的响应上。此种耗费劳力的管理方法严重地阻碍效率。
发明内容
有鉴于此，本发明提供半导体制造管理系统。所述系统包括一个通讯装置及一个处理单元。处理单元接收含有将于一个晶圆批次执行新工程作业的工程变更请求(engineering changerequest，ECR)，产生含有工程变更请求的工程变更请求提醒，透过通讯装置传递工程变更请求提醒至一客户端处理人员，接收相应于工程变更请求提醒的回复邮件，借由侦测回复邮件决定工程变更请求是否被接受的回复结果，以及传递回复结果至一个制造执行系统(manufacturing execution system，MES)。使得制造执行系统得以指示至少一部制造机台于晶圆批次上执行新工程作业。
本发明所述的制造管理系统，更包括一个储存装置。
本发明所述的制造管理系统，上述储存装置储存一个提醒模板，上述处理单元根据上述提醒模板产生上述工程变更请求提醒，以及根据上述提醒模板取得上述回复结果。
本发明所述的制造管理系统，上述处理单元更产生一笔工程变更请求记录，以及储存上述工程变更记录至上述储存装置，其中，上述工程变更请求记录包含一个回复状态、一个到期日以及一个生效条件，上述回复状态指出上述工程变更请求尚未回复，以及上述生效条件指出，若此时超过上述到期日且上述工程变更请求尚未回复时，则接受上述工程变更请求。
本发明所述的制造管理系统，上述处理单元更于侦测到上述工程变更请求记录后产生含有上述工程变更请求的一个工程变更通知，以及透过上述通讯装置传递上述工程变更通知至上述客户端操作人员。
本发明所述的制造管理系统，上述储存装置储存一个工程变更通知模板。
本发明所述的制造管理系统，上述处理单元更产生一个工程变更请求记录以及储存上述工程变更请求记录至上述储存装置，其中，上述工程变更请求记录包含一个回复状态，上述回复状态指出上述工程变更请求尚未回复。
本发明所述的制造管理系统，上述储存装置用以储存一个提醒模板，根据上述提醒模板产生上述工程变更请求提醒，以及根据上述提醒模板取得上述回复结果。
本发明更提供半导体制造管理方法。实施例的方法为接收含有将于一个晶圆批次执行新工程作业的工程变更请求(engineering change request，ECR)，产生含有工程变更请求的工程变更请求提醒，透过通讯装置传递工程变更请求提醒至一客户端处理人员，接收相应于工程变更请求提醒的回复，借由侦测回复决定工程变更请求是否被接受的回复结果，以及传递回复结果至一个制造执行系统(manufacturing execution system，MES)。而一个晶圆批次中至少一个半导体元件可使用上述所揭露的方法来制造。
本发明所述的制造管理方法，更包括：上述计算机产生一个工程变更请求记录，上述工程变更请求记录包含指出上述工程变更请求尚未被回复的回复状态；以及上述计算机储存上述工程变更请求记录至上述计算机中的一个储存装置。
本发明还提供一种半导体元件，存在于一个晶圆批次中，使用一种半导体制造管理方法进行制造，其方法包括：一部计算机接收一个含有将于上述晶圆批次执行一个新工程作业的工程变更请求；上述计算机产生含有上述工程变更请求的一个工程变更请求提醒；上述计算机透过一个通讯装置传递上述工程变更请求提醒至一客户端处理人员；上述计算机接收相应于上述工程变更请求提醒的一个回复；上述计算机借由侦测上述回复决定上述工程变更请求是否被接受的一个回复结果；以及上述计算机传递上述回复结果至一个制造执行系统，使得上述制造执行系统得以指示至少一部制造机台于上述晶圆批次上执行上述新工程作业。
本发明另外揭露一种机器可读取储存媒体，用以储存一计算机程序，该程序于执行时得以实现上述的半导体制造管理方法。
本发明所述制造管理系统及方法可以缩短工作时间，降低错误率，进而提高工作效率。
附图说明
图1是表示依据本发明实施例的机台管理系统中应用于计算机的硬件环境架构图；
图2是表示依据本发明实施例的机台管理系统的软件架构图；
图3A与图3B是表示本发明实施例的工程变更提醒方法的方法流程图；
图4A与图4B为依据本发明实施例的第一提醒模板；
图5A与图5B为依据本发明实施例的第二提醒模板；
图6A与图6B为依据本发明实施例的最后提醒模板；
图7为依据本发明实施例的工程变更通知模板；
图8是表示依据本发明实施例的工程变更提醒的计算机可读取储存媒体示意图；
图9是依据本发明实施例的回复检验方法的方法流程图；
图10是表示本发明实施例的回复检验的储存媒体示意图；
图11是依据本发明实施例的机台管理方法的方法流程图。
具体实施方式
图1是表示依据本发明实施例的机台管理系统中应用于计算机的硬件环境架构图。如图1所示，系统包含一个处理单元11、一个存储器12、一个储存装置13、一个输入装置14、一个输出装置15以及一个通讯装置16。根据范纽曼(Bon Neumann)架构，使用总线17将处理单元11、存储器12、储存装置13、输出装置15、输入装置14以及通讯装置16连接在一起。处理单元11可包含一个或多个处理器，使得计算机的处理单元可包含一个中央处理单元(CPU)、一个微处理单元(microprocessing unit，MPU)或关联于一个平行运算环境的多处理单元。存储器12于较佳的情况下为一动态存取存储器(RAM)，但亦可为一只读存储器(ROM)或一快闪只读存储器(flash ROM)。于较佳的情况下，存储器12储存由处理单元11所执行的程序模块，用以实现数据存盘管理功能。一般而言，程序模块包括常序(routines)、程序(programs)、对象(objects)、元件(components)等，用以执行特定功能或实作特定抽象数据型态(abstract data type)。除此之外，本领域技术人员也可将本发明实施于其它计算机系统配置(configuration)上，包括手持式设备(hand-held devices)、多处理器系统、以微处理器为基础或可程序化的消费性电子产品(microprocessor-based or programmable consumer electronics)、网络计算机、迷你计算机、大型主机以及类似的设备。本发明亦可以实施于分布式运算环境，其运算工作由一连结于通讯网路的远程处理设备执行。在分布式环境中，程序模块可同时存在于本地以及远程存储装置中，而远程访问架构包含分布式元件对象模型(DCOM)、通用对象请求中介架构(CORBA)、网页元件(Web objects)、网络服务(Web Services)或其它类似架构。储存装置13可为一硬盘装置、磁性装置、光盘装置、可携式储存装置或非挥发存储器装置(nonvolatile memory drive)。这些装置以及其相关的计算机可读取媒体(computer-readable medium)提供计算机可读取指令、数据结构、程序模块的非挥发储存空间(nonvolatilestorage)。处理单元11从存储器12或经由一操作者透过输入装置接收程序模块，用以执行数据存盘管理功能。储存装置13可包含储存各式各样数据的数据库管理系统(database managementsystem)、对象库管理系统(object base management system)、文件管理系统(file management system)等。
一或多个晶圆通常被合并成一个“批次”，用以通过一连串制造机台的制程，最后制作成为集成电路。每一制造机台(未显示)通常会在一个指定批次的晶圆上，执行单一一道晶圆制造作业。例如，一个特定的制造机台可于晶圆上执行薄膜(layering)作业、图案化(patterning)作业、掺杂(doping)作业或热处理(thermaltreatment)作业。每一制造机台根据已定义的程序(例如，已先行决定的一系列步骤或制程配方)执行晶圆制造作业。
本发明实施例的储存装置13储存批次基本数据记录、批次工程记录、工程变更请求(engineering change request，ECR)记录、提醒模板(reminder templates)以及工程变更通知模板(engineering change notice templates)。每一批次基本数据记录储存特定晶圆批次的基本信息，于较佳的情况下包括拥有人识别码、批次识别码、产品编号以及联络信息。拥有人识别码相应于客户识别码或名字，用以指出特定晶圆批次的拥有者。产品编号可包括半导体产品类型，诸如动态存取存储器(RAM)、中央处理单元(CPU)、只读存储器(ROM)等、产品号码或其它，用以指出产品规格。联络信息相应于处理特定晶圆批次的客户端处理人员。每一批次工程记录储存特定晶圆批次的工程信息，于较佳的情况下包括制造流程、制造流程中的作业机台以及使用于作业机台的特定制程配方。
每一工程变更请求储存一或多个晶圆批次的工程变更请求信息，于较佳的情况下包括至少一个批次识别码(lot identity)、工程变更请求识别码(ECR identity)、重要程度(significancelevel)、通知类型(notification type)、回复状态(responsestatus)、生效条件(valid condition)、到期日(due date)以及工程变更的详细描述。每一工程变更请求记录透过批次识别码或多种识别码关联于一或多个批次基本数据记录。重要程度用以指出工程变更的影响程度，并且可由字母/数字字符(alphanumericcharacters)表示。例如，“1”或“A”代表最重要，“3”或“C”代表最不重要。通知类型用以指示工程变更是否经客户端处理人员确认请求，并且可由字母/数字字符表示。例如，“Y”可代表工程变更须经确认，“N”代表工程变更不须确认。回复状态用以指出一工程变更请求是否已经回复、工程变更请求是否已经被同意以及相应于工程变更请求的提醒是否已发出。例如，“Y”代表客户已回复工程变更请求并且同意此工程变更，“N”代表客户已回复工程变更请求并且拒绝此工程变更，“-”代表客户尚未回复工程变更请求并且还未发出第一次提醒，“1”代表客户尚未回复工程变更请求并且已发出第一次提醒，“2”代表客户尚未回复工程变更请求并且已发出第二次提醒，“F”代表客户尚未回复工程变更请求并且已发出最后的通知。生效条件用以指示于到期日后，若不存在任何回复时，工程变更请求自动同意或拒绝。例如，“Acc”代表若于到期日后不存在任何回复，则同意工程变更请求，另外，“Rej”代表若于到期日后不存在任何回复，则拒绝工程变更请求。详细描述应用于特定晶圆批次的新工程信息，诸如新制造作业流程、制程配方或其它。批次基本数据记录、批次工程记录及工程变更请求记录的实作不仅限于单一数据表、文件或数据对象中，亦可实作于多个相关连的数据表、文件或数据对象中。在不违背本发明的范围及精神下，本领域技术人员可在批次基本数据记录、批次工程记录以及工程变更请求记录，加上更多字段或使用不尽相同的字段名称。
图2是表示依据本发明实施例的机台管理系统的软件架构图。程序模块包括储存于存储器12中的一个工程变更请求产生模块21、一个通知控制模块22、以及一个回复确认模块23。
工程变更请求产生模块21可由一个工作流程管理系统(workflow management system)或一个图形化使用者界面(graphic user interface，GUI)接收工程变更请求，请求中包括新工程的规格、新工程的重要程度、影响的半导体产品、制造流程、机台作业或其它信息。工程变更请求产生模块21可由储存装置13取得新工程所影响的晶圆批次。借由发出一或多个数据库检索ANSI SQL指令至数据库管理系统，执行数据对象方法(dataobject methods)或文件操作指令(file manipulationinstructions)，可由批次基本数据记录及批次工程记录取得影响的晶圆批次。产生相应于取得的一或多个晶圆批次的工程变更请求记录，并且借由发出一或多个数据库检索指令至数据库管理系统，执行数据对象方法或文件操作指令，储存工程变更请求记录至储存装置13。
通知控制模块22可周期性地扫描工程变更请求记录以产生工程变更请求提醒与工程变更通知，以及借由通讯装置16传送至相关的客户端处理人员。于另一种情况下，通知控制模块22于侦测到至少一个新工程变更请求记录时，执行上述所示作业。通知控制模块22用以执行以下的工程变更提醒。参考图3A，如步骤S311，借由发出一或多个数据库检索指令至数据库管理系统，执行数据对象方法或文件操作指令，从储存装置13取得一个工程变更请求记录。如步骤S321，根据取得的工程变更请求记录，决定此工程变更请求是否需要确认，若是，则程序进行至步骤S331，若否，则至步骤S381。此判断可借由侦测所取得的工程变更请求的通知类型及回复状态而得，例如，判断通知类型是否为“Y”以及判断回复状态是否非“Y”或“N”。
如步骤S331，决定是否需要发出第一次提醒，若是，程序进行至步骤S332，若否，至步骤S341。此判断可借由侦测所取得的工程变更请求的回复状态决定是否需要第一次提醒，例如，判断工程变更请求记录的回复状态是否为“-”。如步骤S332，根据第一提醒模板以及所取得的工程变更请求记录，产生第一次提醒，并且传递第一次提醒给相应的批次基本数据记录中储存的一接收端。图4A与图4B为依据本发明实施例的第一提醒模板，此第一提醒模板包括通知区41描述工程变更细节，以及反馈区(feedback area)42描述反馈提示(feedback prompts)细节。第一提醒模板中的插入点的43a至43q的适当数据(如方框中所示的数据)可由批次基本数据记录、批次工程记录、工程变更请求记录、系统变量或其它类似数据取得。如步骤S341，决定是否需要发出第二次提醒，若是，则程序进行至步骤S342，若否，则至步骤S351。是否需要第二次提醒的决定可借由侦测是否已到第二提醒期限而得，例如在取得的工程变更请求记录中所储存的到期日二十天前。如步骤S342，根据第二提醒模板及取得的工程变更请求记录，产生第二次提醒，并且传递第二次提醒给批次基本数据记录中储存的一接收端。图5A与图5B为依据本发明实施例的第二提醒模板，此第二提醒模板包括通知区51描述工程变更细节，以及反馈区52描述反馈提示细节。第二提醒模板中的插入点53a至53q的适当数据(如方框中所示的数据)可由批次基本数据记录、批次工程记录、工程变更请求记录、系统变量或其它类似数据取得。如步骤S351，决定是否需要发出最后提醒，若是，则程序进行至步骤S352，若否，则至步骤S361。是否需要最后提醒的决定可借由侦测是否已到最后提醒期限而得，例如在取得的工程变更请求记录中所储存的到期日五天前。如步骤S352，根据最后提醒模板及取得的工程变更请求记录，产生最后提醒，并且传递最后提醒给批次基本数据记录中所储存的接收端，例如电子邮件地址(e-mail address)。图6A与图6B为依据本发明实施例的最后提醒模板，此最后提醒模板包括通知区61描述工程变更细节，以及反馈区62描述反馈提示细节。最后提醒模板中的插入点63a至63q的适当数据(如方框中所示的数据)可由批次基本数据记录、批次工程记录、工程变更请求记录、系统变量或其它类似数据取得。
如步骤S361，决定是否需要发出工程变更通知，若是，则程序进行至步骤S362，若否，至步骤S371。是否需要工程变更通知的决定可借由侦测取得的工程变更请求记录中的回复状态、到期日及生效条件而得，例如，当回复状态为“F”，而现在已超过到期日，并且有效条件为“Acc”。如步骤S362及S381，根据工程变更模板及取得的工程变更请求记录，产生工程变更通知，并且传递工程变更通知给批次基本数据记录中储存的一接收端。图7为依据本发明实施例的工程变更通知模板。工程变更通知模板描述工程变更细节。工程变更通知模板的插入点71a至71q的适当数据(如方框中所示的数据)可由批次基本数据记录、批次工程记录、工程变更请求记录、系统变量或其它类似数据取得。
本发明实施例另揭露一用以储存工程变更提醒方法的计算机程序820的储存媒体。图8是表示依据本发明实施例的工程变更提醒的计算机可读取储存媒体示意图。此计算机程序产品包括一个可使用于计算机系统并含有计算机可读取程序的储存媒体80。计算机可读取程序包含接收工程变更请求记录逻辑821，决定是否需要发出提醒逻辑822，产生及传递提醒逻辑823，决定是否需要发出工程变更通知逻辑824，产生及传递工程变更通知逻辑825，决定是否存在未处理的工程变更请求记录逻辑826。
回复确认模块23可接收一相应于工程变更通知提醒的回复，取得此工程变更被接收或被拒绝的回复结果，并且传递回复结果至制造执行系统(manufacturing execution system，MES)。回复确认模块23用以执行回复检验。图9是依据本发明实施例的回复检验方法的方法流程图。如步骤S911，接收相应于工程变更请求提醒的回复。如步骤S921，依据提醒模板，由回复中取得工程变更请求识别码。例如，由句子“ECR NO.：”后的字母/数字字符串(alphanumeric string)可摘录出工程变更请求识别码。如步骤S931，依据提醒模板，由回复中取得指出工程变更被接受或被拒绝的回复结果。例如，由询问句子“Do you agree to thechange？(Y/N)：”后的字母数字/字符串，可摘录出回复结果。例如，若摘录出的字母/数字字符串为“Y”、“Yes”或其它类似的字符串，则回复结果指出工程变更被接受，相反地，若摘录出的字母/数字字符串为“N”、“No”或其它类似的字符串，则回复结果指出此工程变更被拒绝。如步骤S941，依据回复结果，决定相应于工程变更请求识别码的工程变更纪录中的回复状态。工程变更请求纪录中的回复状态的更新可借由发出一或多个数据库检索指令至数据库管理系统、执行数据对象方法或文件操作指令。如步骤S951，将回复结果传递至制造执行系统(manufacturingexecution system，MES，未显示)。
制造执行系统(未显示)可为一整合的计算机系统，提供方法及工具用以完成整个生产作业。制造执行系统(未显示)的范例包括Promis(Brooks Automation公司)、Workstream(Applied Materials公司)、Poseidon(IBM公司)以及Mirl-Mes(台湾机械工业研究所)。每一制造执行系统可能拥有不同的应用。例如，Mirl-MES可应用于封装(packaging)、液晶显示器(Liquid crystal displays，LCDs)以及印刷电路板(printed circuit boards，PCBs)等产品制造，而Promis、Workstream以及Poseidon可应于集成电路制造(IC fabrication)以及薄膜晶体管液晶显示器(thin film transistor LCD，TFT-LCD)等产品制造。若接收到的回复结果指出工程变更被客户端操作者接受，则制造执行系统将指示一或多个制造机台于相应的晶圆批次上执行新工程作业。
本发明实施例另揭露一用以储存回复检验方法的计算机程序920的储存媒体。图10是表示依据本发明实施例的回复检验的计算机可读取储存媒体示意图。此计算机程序产品包括一个可使用于计算机系统并含有计算机可读取程序的储存媒体90。计算机可读取程序包含接收相应于工程变更请求提醒的回复逻辑921，依据提醒模板从回复中取得工程变更请求识别码逻辑922，取得指出工程变更被接受或被拒绝的回复结果逻辑923，依据回复结果决定相应于工程变更请求识别码的工程变更请求记录中的回复状态逻辑924，传递回复结果至制造执行系统逻辑925。
通知控制模块22以及回复确认模块23用以执行机台管理功能。图11是依据本发明实施例的机台管理方法流程图。如步骤S1010，接收工程变更请求，此工程变更请求含有于一个晶圆批次上所施行的新工程作业的信息。如步骤S1020，产生包含工程变更请求信息的工程变更请求提醒。如步骤S1030，透过通讯装置传递工程变更请求提醒至客户端处理人员。如步骤S1040，接收相应于工程变更请求提醒的回复。如步骤S1050，借由侦测此回复来决定此工程变更请求为接受或拒绝的回复结果。如步骤S1060，传递回复结果至制造执行系统，让制造执行系统得以指示至少一个制造机台于晶圆批次上进行新工程作业。一个晶圆批次中至少一个半导体元件使用上述所揭露的方法来制造。
以上所述仅为本发明较佳实施例，然其并非用以限定本发明的范围，任何熟悉本项技术的人员，在不脱离本发明的精神和范围内，可在此基础上做进一步的改进和变化，因此本发明的保护范围当以本申请的权利要求书所界定的范围为准。
附图中符号的简单说明如下：
11：处理单元
12：存储器
13：储存装置
14：输入装置
15：输出装置
16：通讯装置
17：总线
21：工程变更请求产生模块
22：通知控制模块
23：回复确认模块
S311、S321、…、S362、S371：流程步骤
41：通知区
42：反馈区
43a、…、43q：插入点
51：通知区
52：反馈区
53a、…、53q：插入点
61：通知区
62：反馈区
63a、…、63q：插入点
71a、…、71g：插入点
80：储存媒体
820：工程变更提醒计算机程序
821：接收工程变更请求记录逻辑
822：决定是否需要发出提醒逻辑
823：产生及传递提醒逻辑
824：决定是否需要发出工程变更通知逻辑
825：产生及传递工程变更通知逻辑
826：决定是否存在未处理的工程变更请求记录逻辑
S911、S921、S931、S941、S951：流程步骤
90：储存媒体
920：回复检验计算机程序
921：接收相应于工程变更请求提醒的回复逻辑
922：依据提醒模板从回复中取得工程变更请求识别码逻辑
923：取得指出工程变更被接受或被拒绝的回复结果逻辑
924：依据回复结果决定相应于工程变更请求识别码的工程变更请求记录中的回复状态逻辑
925：传递回复结果至制造执行系统逻辑
S1010、S1020、S1030、S1040、S1050、S1060：流程步骤

Claims (10)

1、一种制造管理系统，所述制造管理系统包括：
一个通讯装置；以及
一个处理单元用以接收一个含有将于一个晶圆批次执行一个新工程作业的工程变更请求，产生含有上述工程变更请求的一个工程变更请求提醒，透过上述通讯装置传递上述工程变更请求提醒至一客户端处理人员，接收相应于上述工程变更请求提醒的一个回复，借由侦测上述回复决定上述工程变更请求是否被接受的一个回复结果，以及传递上述回复结果至一个制造执行系统，
使得上述制造执行系统得以指示至少一部制造机台于上述晶圆批次上执行上述新工程作业。
2、根据权利要求1所述的制造管理系统，其特征在于：更包括一个储存装置。
3、根据权利要求2所述的制造管理系统，其特征在于：上述储存装置储存一个提醒模板，上述处理单元根据上述提醒模板产生上述工程变更请求提醒，以及根据上述提醒模板取得上述回复结果。
4、根据权利要求2所述的制造管理系统，其特征在于：上述处理单元更产生一笔工程变更请求记录，以及储存上述工程变更记录至上述储存装置，其中，上述工程变更请求记录包含一个回复状态、一个到期日以及一个生效条件，上述回复状态指出上述工程变更请求尚未回复，以及上述生效条件指出，若此时超过上述到期日且上述工程变更请求尚未回复时，则接受上述工程变更请求。
5、根据权利要求4所述的制造管理系统，其特征在于：上述处理单元更于侦测到上述工程变更请求记录后产生含有上述工程变更请求的一个工程变更通知，以及透过上述通讯装置传递上述工程变更通知至上述客户端操作人员。
6、根据权利要求5所述的制造管理系统，其特征在于：上述储存装置储存一个工程变更通知模板。
7、根据权利要求2所述的制造管理系统，其特征在于：上述处理单元更产生一个工程变更请求记录以及储存上述工程变更请求记录至上述储存装置，其中，上述工程变更请求记录包含一个回复状态，上述回复状态指出上述工程变更请求尚未回复。
8、根据权利要求2所述的制造管理系统，其特征在于：上述储存装置用以储存一个提醒模板，根据上述提醒模板产生上述工程变更请求提醒，以及根据上述提醒模板取得上述回复结果。
9、一种制造管理方法，由一部计算机执行，所述制造管理方法包括：
上述计算机接收一个含有将于一个晶圆批次执行一个新工程作业的工程变更请求；
上述计算机产生含有上述工程变更请求的一个工程变更请求提醒；
上述计算机透过一个通讯装置传递上述工程变更请求提醒至一客户端处理人员；
上述计算机接收相应于上述工程变更请求提醒的一个回复；
上述计算机借由侦测上述回复决定上述工程变更请求是否被接受的一个回复结果；以及
上述计算机传递上述回复结果至一个制造执行系统，
使得上述制造执行系统得以指示至少一部制造机台于上述晶圆批次上执行上述新工程作业。
10、根据权利要求9所述的制造管理方法，其特征在于更包括：
上述计算机产生一个工程变更请求记录，上述工程变更请求记录包含指出上述工程变更请求尚未被回复的回复状态；以及
上述计算机储存上述工程变更请求记录至上述计算机中的一个储存装置。
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