CN1668896A - 流量计量传感器 - Google Patents

Abstract

一种用来测量流量的设备和方法。一种流量传感器，包括传感管道和至少含有一个毛细管的旁边通道。传感管道与毛细管至少在长度，内径和截面形状参数中有一个是本质上相同的。

Description

流量计量传感器

本发明的技术领域

被发明涉及到的领域是毛细管流量计量传感器和，尤其是，带有毛细管旁边通道的毛细管流量计量传感器。

本发明的技术背景

在许多工业中对流体流量的控制是很重要的，例如，制造半导体的许多步骤中，需要在可控状态下对两种和两种以上的气体间的精确反应。质量流量计被用来控制分子级的化学反应。

典型的，质量流量计通过将流体通过两个平行的通道或分支的方式工作。一个通道用来测量流体的物质流量。同时另一个通道作为主通道来聚集流体。一般情况下两通道在他们的两端相联接，这样流体的总量就等于测量通道与主通道流体流量之和。为了测量到精确的流体量，在流速压力温度等参数在一定范围内时，通过测量通道的液体流量和通过主通道液体流量之间的比率在理想状态下应该是一个常数。流量计也是根据这些工作的。实际上测量通道与旁边通道之间的比例是由与测量通道与旁边通道间匹配的“压力流”特征确定的。

通常，测量通过通道流体质量流量速度的方法是已知的。我们所熟知的热物流传感器包括一个或更多的温度传感原件，用来与一个传感管道相连，并且能够输出电信号。这些传感装置基于以下规则工作，该规则为，从传感管道壁，传感管道为层流管，向流过传感管道的流体的导热速度，对管壁到流体间温度梯度和流体的特殊热量以及在管内流体的流动速率都有一定的作用。因为流体的特殊热量不会因为压力和温度有很大变动，热物流传感器对于某种特定的流体在校准后，会在一个较宽的工作情况下测量出精确的物流速度。

典型的热物流传感器包括一个和多个加热原件，用于为在传感管道中的流体传送能量，通常具有毛细管大小的截面，一般情况下传感管道一般有一个入口和一个出口，都与物质流量测量仪的主流体管相连，典型的传感管道入口位于主流体管入口的下游，传感管道的出口位于主流体管出口的上游。当流体通过传感管道时，热量由上游的加热元件或电阻传向下游的加热原件和电阻，温度差与传感管道中的流体与主流管中的流体物质流量比例之间有一定的比例关系。

典型的，在主流管道中传感管道入口和出口之间都装有旁边通道和层流原件，来保证通过主流体通道的旁边通道的层流达到最大设计流速。超过这个最大流速就会形成紊流。图1描述的是传统的流量计100，而且包括物流传感器102。该传感器带有多个平行的毛细管106组成的通道104，用来提供在旁边通道中的层流。通常，当流体通过层流元件时，比如毛细管束106。如果流体为层流，那么物流传感器两端的压力差与流体的体积成比例关系。典型的，传感管道的入口在毛细管旁边通道入口的上游，而传感管道的出口在毛细管旁边通道通道入口的下游。众所周知，在Reynold(雷诺数)参数不大于2000时流体的流动为层流。

通过传感管道与通过主通道入口之间的物质的量之间的比率叫作“分离率”，这个分离率由传感管道以及主流体通道和旁边通道的几何形状来确定，理想状态下分离率是在流量计设计范围内是一个常数。当分离率为不变时旁边通道就是“层状的”。不过在实践中，分离率是变化的，在测量范围内，与流体的质量流量比，以及在相同流速情况下，与所使用的流体的粘度相关(例如：分离率会因为液体的不同而不同(例如一种比另一种粘度大或粘度小)。

在某些情况下，某个特定的流量计的分离率可以在传统的物质流量计中选择一个合适的旁边通道的方法，在一定范围内被优化。可以是在一定的物质流量比的范围内有条件的恒定。但是传统的测量低流速的流量计不能用于高流速的测量，反之亦然。一方面，只有在流体流动为层流的时候对于低流速速度测量才是准确的，并且典型的流速在设计的流经范围内的低流速区域比高流速区域更具层流性。另一方面，测量低于设计范围的过多的流速会导致通过传感管道的流体不足，这样就会导致量加热元件之间差异测量的不准确。相反测量一个超过旁边通道设计流量范围的数据可以补偿分离率，使其明显的不是线性，并且会对传感器的准确率有不良影响。

不准确的测量也会发生在专用于测量一种流体的传感器被用来测量非设计使用流体的情况中，因为不同的流体具有不同的粘度，这样会影响到管中流体的Reynold常数(参照下面的描述)。因为Reynold常数控制着“压力-流动”特性。不同的流体在传感管道和旁边通道中会产生不同的“压力-流动”特性。同样的，因为传感管道是被加热的，传感器的一个特征就是传感管道里面的流体温度是不同于主通道和旁边通道内流体温度的。因为流体的粘度是随温度变化的，压力下降是与粘度成比例的，不同的流体粘度随着温度变化程度不同，不同的流体在相同的传感器中也会有不同的分离率。

本发明的概述

在本发明的一个实施例中提供了一个流体传感器，包括带有入口和出口的壳体，包括至少一个毛细管，在出入口之间可变的连接的旁边通道，和通过传感管道可变的连接在出入口之间的传感器，至少有一个毛细管与传感管道的长度本质上相同。毛细管也可以具有与传感管道本质上相同的内径和/或截面结构。

本发明的另一个实施例，一个流体传感器包括壳体，旁边通道和传感单元。壳体包括一个入口和一个出口，放置在出入口之间德旁边通道包括至少一个毛细管，将出入口可变的连接。传感单元通过一个传感管道可变的连接入口和出口。至少有一个毛细管具有与传感管道本质上相同的入口功能。

本发明的另一个实施例，直接具有测量流体流动的功能，包裹通过一部分穿过至少一个具有入口效应的旁边管道的流体。通过另外一部分流体，流体通过具有至少与一个旁边通道管道的入口效应本质上相同的传感管道的传感元件，并测量在传感管道中的流体特征。

其他优点，新功能和新发明所能实现的目标。将在接下来对本发明没有限制的实施例，并结合其视图来进行详细描述；但示图就是概要的图解，并不是按照实际比例绘制的，相同或本质上相同的部分用相同的数字表示。为了使图示更加清晰，并没有将示图中的每个部分都用数字标注，也不是每个实施例中的各部分都在示图中表示，其中的示图并非必须使每个普通技术人员都可以通过示图而理解本发明，在本申请说明书中和提及的被合并的文件所揭示的内容相互之间有矛盾的情况下，以本申请的说明书为准。

本发明示图的简单描述

下面结合附图对本发明做进一步的说明：

图1是传统的物质流量控制器。

图2是本发明的一个物质流量控制器的实施例，包括流量传感器和旁边通道。

图3A是本发明流体旁边通道壳体中的旁边通道的一个实施例。

图3B是本发明流体旁边通道壳体中的旁边通道的另一个实施例。

图3C是本发明流体旁边通道壳体中的旁边通道的另一个实施例。

图4A是图3A和3B中的旁边通道的剖面图。

图4B是图3C中的旁边通道的剖面图。

图5A和5B是图3A中旁边通道的另一个视图

图6是图5沿着线C-C的横截面图。

图7A是图3A中旁边通道的一个实施例。

图7B是图7A沿线E-E的横截面图。

图8是图7A中旁边通道的侧面图。

图9是将毛细管安装在图7A所示的旁边通道中。

图10是本发明旁边通道的另一个实施例。

图11是图10的横截面图

图12是图10中旁边通道的端视图。

图13是图10中旁边通道的端视图。

图14A和14B是本发明旁边通道另一个实施例的端视图。

图15是本发明旁边通道另一个实施例的端视图。

图16是本发明旁边通道中的孔与毛细管和流量阻碍装置的端视图。

图17A是旁边通道壳体一个实施例的端视图。

图17B是旁边通道壳体另一个实施例的端视图。

图17C是旁边通道壳体另一个实施例的端视图。

图18A是图17B中壳体的侧面图，描述了毛细管和流量阻碍装置。

图18B是图17C中壳体的侧面图，描述了毛细管和流量阻碍装置。

图19是图18A中流量阻碍装置和毛细管的端面图。

本发明的详细描述

本发明提供了一个流体传感器，具有在很宽的流动范围内和流体特征情况下提高旁边通道层流的功能，传统的物质流量计或控制器中的传感管道和旁边通道是任意配置的，不能够很好的与“压力-流动”特征相适应。在一个传统物质流量控制器的例子中可能包括一个长2.0英寸，内径为0.013英寸的毛细传感管道，和1.0英寸长，内径0.030英寸的旁边通道。另一个传统的物质流量控制器的例子中，可以包括3.0英寸长，内径为0.010英寸的毛细传感管道和一个包括在锥形塞、锥形壳体间的环形孔。在以上任何一个例子中，传感器中“压力-流动”特征曲线与旁边通道中的“压力-流动”特征曲线有很明显的差异。这种情况下计算出的流量率就会出现一个非常数的分离率。这样我们就知道旁边通道是非线性的。旁边通道的非线性降低了测量的准确性，并增加了校准物质流量控制器的费用。

图2描述本发明的物质流量控制器200，包括物质流量传感器205。物质流量传感器205具有一个旁边通道壳体210。在入口214和出口222间有旁边通道215。如在这里使用的，流体被定义为液体和气体，传感管道218有入口220和出口224。旁边通道215包括一个和多个与毛细传感管道长度本质上相等的毛细管。毛细传感管道与毛细管也具有本质上相同的内径和截面结构。名词“本质上相等”或“本质上相同”被用在这里定义某些特征是一致的或近似一致的。并规定包括在生产过程中发生的变化。众所周知，短语“毛细管”在这里是指有小孔的管，并可以但并不是必须具有明显的毛细作用。毛细作用：流体的表面会根据流体分子间的相对引力和流体与固体间的引力不同而产生的流体表面上升或下降的现象。

在一个传感管道与毛细旁边通道连接的实施例中，传感管道的长度与一个或多个旁边通道毛细管的长度本质上相同。在优选的实施例中，传感管道的长度和内径与毛细旁边通道本质上相同。在更加优选的实施例中，传感管道的长度、内径和截面形状均与一个和多个毛细管旁边通道本质上相同，来实现在传感器与旁边通道一致的“压力-流动”特征。

应该完全了解的是任何与传感管道相关联的长度，直径，横截面形状可以提供与一个或多个旁边通道毛细管本质上同样地“压力-流动”特性，可以用来增加本发明中传感器的线性程度。在图2中，传感原件218的传感管道入口220与壳体入口214相连接。在优选的实施例中，传感管道是毛细管。通常情况下，流体从壳体入口214进入，通过旁边通道215到达壳体出口222，并且一部分流体通过传感管道218。因为传感管道的长度和一个和多个毛细管的长度本质上相同，并且传感管道的内径和横截面形状和一个和多个毛细管的内径和横截面形状本质上相同，旁边通道的分离率保持为常量，并且增加了旁边通道线性范围，因此会提高传感器在流速和气体性质的大范围内读数的准确性。同样因为提高了旁边通道的线性，扩大了流动传感器在高流速情况下的工作范围。此外，提高了在不同流体间转换时测量结果的准确性，也避免的对其他流体的附加测试。

毛细管可以选择与壳体210相兼容，并且是可以使流体通过毛细管的任何材料。例如，毛细管可以使用不腐蚀的材料，比如，金属和塑料。在一个实施例中，毛细管使用的材料是阀门合金。在优选实施例中，毛细管是使用304不锈钢或316L不锈钢，毛细管在壳体中的位置也是可以改变的，两个或两个以上的毛细管之间的相对位置也是可以变化的，不过毛细管之间应该是本质上平行的。毛细管需要有很小的机械加工误差。毛细管可以有多种形状比如；正方形，圆圈，长方形，三角形等，也可以为其他的横截面形状，比如五边形，六边形，梯形，或者其他在本发明规定范围内的形状。毛细管可以是一个轧制的金属板，在边上有一个开口，这样可以以压缩的形式将毛细管装入壳体，并可以通过扩张来抵抗壳体对其的压力。毛细管的横截面也可以是预先选定的非规则形状，任一一个可以形成层状流动的连接形式或横截面形状和长度都可以在这里被应用。

为了在通过管道时发生层状流动，必须要达到一定的基础情况。这些情况由通过系统的流体的物理特性，流体在系统中被允许的最大流速和最大压降来确定。体积流量Q可以通过以下公式Q＝π(δP)R⁴/8μL计算，这里δp是传感结构中的压力降，r是毛细管横截面形状的有效半径，μ是通过传感器流体的密度，L是毛细管的长度。μ可以通过给定的流体得知，体积流量Q和压降δp可以通过试验得出数据。如果要使通过测量结构的流体形成层流，那么保证层流的最大Reynold数一定不能够超过毛细管。所说的Reynold数Re＝2rVρ/μ，其中V是流体名义上速度，ρ是流体密度，μ是流体的密度。为了保证层流，Re必须小于能实现层流的最大Re数值(R_mlf)，这样r＝R_mlfμ/2ρ V，V对于基本的圆毛细管V＝Q/πr²，并且r可以表示为r＝2Qρ/R_mlf，当r≥2Qρ/R_mlfπμ，时可以保证层流。任何可提供层流的通道都可以被使用。但通道趋向于小的，比如：毛细管。在本发明的优选实施例中，毛细管具有大致为环形的截面区，其内径大约由0.005英寸到0.05英寸，并且其长度由1英寸到1.5英寸。

除在管道中保持层流状态外，优选的毛细管和传感管道在层流还未发生的入口处有本质上相同的“进入作用”。流体在环形管中开始于管道的入口处形成三维空间边界层。在流动进行时，二维层开始发展，交汇并在管道的中心线处汇合，最后在完成一定距离的流动后，出现稳定流速外形轮廓。当管中的流体速度分配展现出一个稳定的轮廓时，毛细管中的层流可以说是“发展完全了”“压力-流动”关系在完全发展的层流管道流动时，可以用等式来准确表示，但是这种关系不能应用在层流未完全发展的管道入口区域。

在管的入口区域流体在非层流作用状态下可以实现全部的压力降。如果流动在管的主要部分完全发展了，则压力-流动关系就完全被上面的公式所控制，并且压力-流动关系是线性的。如果入口区在整个管子长度中占有很大比例时，那么压力-流动关系就会偏离上述公式，并且变成非线性的。入口作用对于压力-流动非线性影响严重时，与参数L/(D×Re)成反比。例如：管子的长度与Reynold数值与毛细管直径比值的比率。当比率L/(D×Re)足够大(例如大于100)流动几乎完全发展了，入口效应就可以被忽略，并且，压力-流动关系也可以达到线性。当比例L/(D×Re)小于10时，那么，则有很大一部分流动受到了入口效应的影响。那么压力-流动关系就明显的为非线性。

因为，传感旁边通道在有限的空间内与流动控制器相连，不适合使用L/D比例较大的毛细管。这样流体在物质流动控制器管道中一般来说不会达到完全发展的程度，并且会出现一些压力-流动非线性的现象。旁边通道的非线性归咎于入口效应导致的旁边通道的分离率作为流体的一个功能发生变化。本发明实施例中最小化了分离率，使用相同的长度、内径、截面形状的毛细管。同时可以在设计上实现毛细管和旁边通道毛细管相同的比率L/(D×Re)。这样传感器非线性特征与旁边通道管道相应特征相配，相应的通道压力下降范围，相同量的气体将通过旁边通道毛细管和传感毛细管。

如上所述，毛细管可以被任何形式配置并安放在旁边通道中。例如毛细管可以捆在一起，并且紧密地放置在旁边通道中。旁边通道也可以具有任意的内部形状。例如：环形、三角形、方形、六边形等。在一个实施例中，旁边通道的内表面是六边形的，并且与毛细管紧密地结合在一起。在另一实施例中，旁边通道管道的内表面为环形。在另一实施例中旁边通道的内部可能包括一个或多个孔用来支撑毛细管。这些孔也可以被制造，并且为任意结构的，用来支撑毛细管。例如，孔可以为环形，五边形等也可以是一些无规则通过旁边通道内壁的空间。相反的，如图13中描述的这些孔可以被以同样状态的放置在整个旁边通道中。在一个实施例中，环形孔以环形模式被放置在旁边通道中，并可以任意选择一个或多个增加的环形孔被安放在旁边管道中心。这些孔可以为，例如，可以被机械加工成传统直径范围的通孔，用来安装毛细管或销，将在下面进一步说明。这样一个实施例，可以减小因在旁边通道中加工每个具有毛细管直径大小的孔的花费和对加工精度的要求。

任何数量的毛细管均可以被应用在旁边通道中，根据需要的流速和流体的物理性质来确定。流速可以用改变毛细管的尺寸、形状和数量的方法控制，如同流速控制器。流速控制器减小可通过的流体的体积。因为旁边通道给定的孔可以用一个销来代替，以减少旁边通道的数量来达到减小旁边通道中可通过流体的空间大小。流体阻碍装置，可以是，但不局限于以下几种。活塞，密封签，帽等，其形式也可以是安装在毛细管上方内部或靠近毛细管。也可以选择用流量阻碍装置来代替毛细管。一种流量阻碍装置的结构，销被插入毛细管中或选择在旁边通道中靠近毛细管的流体流动的孔中。销可以是实心的，完全阻止流体通过，也可以是空心的，只是减少其流量，但并不完全阻止流体的流动。应该将装置设计为同一旁边通道，只要改变毛细管的数量或直径和/或是否使用流动阻碍装置就可以实现多种流速。

传感单元包括传感器和传感管道，传感单元通过传感管道与壳体的出入口处连接。传感单元可以是任意一种流体传感器。比如，物质流量传感器或体积流量传感器。可以测量流体的任何物理特征。比如，但不仅仅是，温度和压力。在优选的实施例中，传感器是热量物质流传感器。

在热量物质流传感器中，上游加热元件和下游加热元件被加热到相同的并高于预计流体温度的一个初始温度。在这个初始温度，加热元件为传感管道218以及流过传感管道218中的流体提供热量。当流体通过传感管道218后，降低了加热元件的温度，降低加热元件的温度是物质流的一个功能。流动的流体对上游加热元件的冷却程度要大于对下游元件的冷却程度。这样，当流体通过上游的加热元件时吸收的热量大于其通过下游加热元件时吸收的热量。这是因为，流体因为吸收了上游加热元件的热量，则其通过下游加热元件时的温度要高于通过上游加热元件时的温度。利用测量上游和下游加热元件的温度差来测量通过传感管道218的流体的质量流动率。其他种类的热量质量流动传感器可能以其他的模式工作。比如，测量将两加热元件保持在同一温度情况下所需的热量差。本发明并不局限于使用特定种类的质量流量传感器。各种不同种类的质量流量传感器(热能，压力基础等)都可以使用。应该进一步的知道，传感器可以用来测量各种流体的物理性质。例如，但不局限于，也可以测量流体的体积和压力。

如上所述，根据本发明一个方面，传感管道可以具有与单独毛细管旁边通道本质上相同的长度、内径以及截面形状。如毛细管，传感管道可以使用任何一种与旁边通道材料相符，并且流体可以通过旁边通道。例如，传感管道可以用非腐蚀性材料，例如，金属或塑料制成。在一个实施例中，传感管道是使用阀门金属制成的，在优选的实施例中，用304不锈钢或316L不锈钢制成。传感管道也可以有许多横截面区域和形状来形成层流。

传感管道与旁边通道入口相连，在这里一部分流到旁边通道的流体重新回到传感元件中。流体入口被制成或安排成可以使流体由入口回流到中间位置的模式，在那里流体被聚集在一起，被优先的输送到传感管道入口处。旁边通道入口的末端可以包括多个孔，可以是狭长的孔，凹口，或与位于旁边通道外边周围的孔相同。因为从不同孔流过的流体都会被聚集在中间位置，从不同入口的不同部分进入会混合在一起，这样就可以传递更具有代表性的流体样本进入传感管道入口。在图6中所示的实施例中，孔均匀的分布在旁边通道入口周围。这种统一的排列，可以使物质流量计在不同的方位上都可以使用。

中间区域可以是旁边同路的一部分或是附加到旁边通道上的。用于吸收液流的中间位置可以在旁边通道内部也可以是临近旁边通道。并可以单独的孔或是一个延伸到旁边通道外部的凹槽。如图7A所示，凹槽300当旁边通道安装在壳体中时，在外部表面间形成了一个环形槽。在一个优选的实施例中，流体由入口通过多重孔，由入口流向旁边通道外部表面的凹槽，这样当旁边通道安装在壳体中时，可以形成一个环形的槽。

图3A和4A描述的实施例，旁边通道被定位在一个用于中等流速的传输区或壳体中。旁边通道410在图5A，5B，7A和7B中详细表现。旁边通道在入口的末端具有排列整齐的孔400，用来输送相同的流体样品到传感器中。在旁边通道安装进壳体中后，流体进入形成的环形槽300中。流体由环形槽进入传感管道。图8表现的是一个旁边通道内壁的实施例。内壁可以按照要求制成多种形式。在图8表示一个内表面形状的实施例中，是一个六边形内表面，依据特定要求设计的毛细管数量形成的具有特殊截面形状的通道。例如在图8和图9中，所示的横截面区域可以由使用不同数量的毛细管来调整外部或内部的直径。例如，图8显示六边形通道设计成最多容纳91个、127个或217个外径大概为0.037英寸的毛细管。同样的，可以容纳169个或217个外径大约为0.0285英寸的毛细管的六边形通道。图15显示的是可容纳271个外径为0.185英寸的毛细管的六边形。应该了解任何数量的毛细管在放置在通道时，都要有一些变形，来产生相互间的作用力以保证位置的稳定。只要很少一点变形就可以达到这个目的。

图3B描述的是另一个安装在传递区的旁边通道的一个实施例，可以被用于中等流速情况下。旁边通道420，同样也在图4A中描述，并且在图10和11中作了详细描述，包括孔400和环形凹槽300。可以在图12和13中看出，用来支撑毛细管的独立流通孔430可以在旁边通道中。图13描述一定数量的在旁边通道的外围统一排列的流通孔。如在图14A和14B中看到的，每个流通孔直径和位置可以根据需要的毛细管数量设定。每一个孔中都会装满毛细管。另外，毛细管也可以在销440或流动阻碍装置周围排列，图16中有更加详细的描述。应该知道，任何连接方式和结构的孔都可以应用于容纳需要的一定数量的直的或变形的毛细管。

图3C描述的是另一个实施例，用于低流速情况下的安装在传递区域内的旁边通道。旁边通道450，同样也表示在图4B中，包括统一的排列在旁边通道出口周围的孔400，在图17A中有详细描述。图17B表示一个在旁边通道中间位置的流动孔，这个孔包含了11个排列在中间销周围的毛细管，如图18A和19中描述的。另外，在图17C中也可以看到，旁边通道中心处也可以有多个流动孔，图18B中描述的就是包含33个毛细管的中间流动孔。再一次说明，应该知道任何流通孔的连接方式和结构形式都可以用来容纳设想数量的直的或变形的毛细管。

这里介绍了几个本发明的实施例，那些普通的技术手段可以容易的实现许多其它方法和结构，可以达到这里介绍的结果和优点，任何变化都会被认为是在本发明范围内的。更加普通的是，那些本行业内的技术人员已经了解这里所提到相关的参数，尺寸、材料和结构都是试验数据，并且真正的参数，尺寸、材料和结构将根据特定的需求和本发明的技术来确定。本领域内的技术人员可以仅使用常规的实验就可以确定这里描述的实施例所需用的那些公式。因此，前述的实施例仅在对其描述和附加权利要求里面提到的例子和公式的范围内。本发明主要讨论的单独的特征、系统、材料和/或在这里描述的方法。另外，任何两种或更多的特征、系统、材料和/或方法，如果这些特征、系统、材料和/或方法相互之间不矛盾的话，其组合都在本发明的范围之内。

在权利要求中(说明书中描述的也一样)，所有的过渡性词语，比如，“包括”“包含”“承载”“具有”“含有”以及与之相近意思的词语，其含义是没有限制的。比如包含并不意味则仅仅是这些。只有“由...组成”和“基本上由...组成”等过渡性词语，才是仅仅指的是其所包含的内容，个别的，见美国专利局手册专利考察程序第2111.03节。

Claims (14)

1.一种流量计量传感器，包括：

带有流体入口和流体出口的壳体；

旁边通道，所述旁边通道置于所述壳体的入口与出口之间并与所述壳体的入口和出口流体连通，所述旁边通道至少由一个毛细管组成；和

传感器单元，通过传感管道流体连接所述壳体的入口和出口，其中至少有一个毛细管的长度与传感管道长度本质上相等。

2.根据权利要求1中所述流量计量传感器，其中至少一个毛细管的直径与传感管道的直径本质上相同。

3.根据权利要求2中所述的流量计量传感器，其中至少一个毛细管横截面形状与传感管道的横截面形状本质上相同。

4.根据权利要求1中所述的流量计量传感器，其中传感管道是毛细管。

5.根据权利要求5中所述的流量计量传感器，其中至少一个毛细管的入口效应与传感管道的入口效应本质上相同。

6.根据权利要求1中所述的流量计量传感器，其中壳体进一步包含了聚集流体的装置。

7.根据权利要求6中所述的流量计量传感器，其中传感管道包括与聚集流体的装置流体连接的入口。

8.根据权利要求6中所述的流量计量传感器，其中旁边通道包括多个毛细管。

9.根据权利要求8中描述的流量计量传感器，进一步包括控制流体流过旁边通道的装置。

10.根据权利要求6中描述的流量计量传感器，其中旁边通道包括均匀的布置在旁边通道外围的多个孔。

11.根据权利要求1中描述的流量计量传感器，其中至少一个毛细管的截面形状与传感管道的截面形状本质上相同。

12.一种流量计量传感器，包括：

一个带有流体入口和出口的壳体；

旁边通道，流体连接入口和出口，所述的旁边通道包括至少一个毛细管；和

传感器单元，所述旁边通道置于所述的入口与出口之间并与所述的入口和出口流体连通，其中至少一个毛细管的入口效应与传感管道的入口效应本质上相同。

13.根据权利要求12中描述的流量计量传感器，其中旁边通道包括多个均匀的布置在旁边通道外围，并与传感器的流体相连的孔，其中传感单元不受流量传感器的方向的影响。

14.一种测量流体流动的方法，包括：

使流体通过至少一个具有入口效应的旁边通道；

使流体通过传感器单元，所述传感器单元具有至少一个与旁边通道具有相同入口效应的传感管道；和

测量传感管道中的流体的特征。

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