CN1249409C - 可压电激励的振动元件 - Google Patents
可压电激励的振动元件 Download PDFInfo
- Publication number
- CN1249409C CN1249409C CNB018117872A CN01811787A CN1249409C CN 1249409 C CN1249409 C CN 1249409C CN B018117872 A CNB018117872 A CN B018117872A CN 01811787 A CN01811787 A CN 01811787A CN 1249409 C CN1249409 C CN 1249409C
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- diaphragm
- vibrating elements
- piezoelectric element
- ring
- tightening screw
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 230000002459 sustained effect Effects 0.000 claims description 19
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 4
- 239000012528 membrane Substances 0.000 abstract description 6
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 6
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 5
- 238000013016 damping Methods 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 3
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 3
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 2
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 2
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 2
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000032683 aging Effects 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 230000033228 biological regulation Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 1
- 238000005243 fluidization Methods 0.000 description 1
- 230000006698 induction Effects 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F23/00—Indicating or measuring liquid level or level of fluent solid material, e.g. indicating in terms of volume or indicating by means of an alarm
- G01F23/22—Indicating or measuring liquid level or level of fluent solid material, e.g. indicating in terms of volume or indicating by means of an alarm by measuring physical variables, other than linear dimensions, pressure or weight, dependent on the level to be measured, e.g. by difference of heat transfer of steam or water
- G01F23/28—Indicating or measuring liquid level or level of fluent solid material, e.g. indicating in terms of volume or indicating by means of an alarm by measuring physical variables, other than linear dimensions, pressure or weight, dependent on the level to be measured, e.g. by difference of heat transfer of steam or water by measuring the variations of parameters of electromagnetic or acoustic waves applied directly to the liquid or fluent solid material
- G01F23/296—Acoustic waves
- G01F23/2968—Transducers specially adapted for acoustic level indicators
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F23/00—Indicating or measuring liquid level or level of fluent solid material, e.g. indicating in terms of volume or indicating by means of an alarm
- G01F23/22—Indicating or measuring liquid level or level of fluent solid material, e.g. indicating in terms of volume or indicating by means of an alarm by measuring physical variables, other than linear dimensions, pressure or weight, dependent on the level to be measured, e.g. by difference of heat transfer of steam or water
- G01F23/28—Indicating or measuring liquid level or level of fluent solid material, e.g. indicating in terms of volume or indicating by means of an alarm by measuring physical variables, other than linear dimensions, pressure or weight, dependent on the level to be measured, e.g. by difference of heat transfer of steam or water by measuring the variations of parameters of electromagnetic or acoustic waves applied directly to the liquid or fluent solid material
- G01F23/296—Acoustic waves
- G01F23/2966—Acoustic waves making use of acoustical resonance or standing waves
- G01F23/2967—Acoustic waves making use of acoustical resonance or standing waves for discrete levels
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Thermal Sciences (AREA)
- Fluid Mechanics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Reciprocating Pumps (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
- Measurement Of Levels Of Liquids Or Fluent Solid Materials (AREA)
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
特别是用于料位传感器的振动元件包括一能振动的膜片(3)、一组压电元件(6、7)和一与膜片(3)连接的用于将压电元件(6、7)压紧在膜片(3)上的拉紧螺栓(4)。拉紧螺栓(4)与膜片(3)设计成一体，并且该一体的包括拉紧螺栓(4)和膜片(3)的部件是机械加工部件。
Description
技术领域
本发明涉及一种可压电激励的振动元件。这种类型的振动元件特别是用在料位传感器中，它们例如装在用于能流动的或可流化的介质，特别是液体的容器中。振动元件根据液体液面高度的不同与液体接触或不接触。振动元件的振动频率由于与液体的接触受到影响。
背景技术
已知不同结构的用于料位传感器的振动元件。它们通常包括一支承用来与待测量液体接触的振动体的能振动的膜片和一组压电元件，其电激发的膨胀和收缩通过一拉紧螺栓传递到膜片上，并使膜片和振动体受激振动。
在EP0810423A2中描述了这种振动元件的第一个例子。在这种已知的振动元件中拉紧螺栓焊接在振动膜片上，并突出于一与膜片隔开一定距离刚性地安装的底板。在底板上围绕拉紧螺栓同心地安装一组通过绝缘盘隔开的环形压电元件。压电元件组的上端形成一刚性的压盘，一拧在拉紧螺栓上端的螺旋件压在此压盘上。用同样的压电元件进行振动驱动和振动测量；信号通过两条电缆传递给压电元件组。
在WO92/21945中描述了第二种已知的振动元件。在这种振动元件中由EP0810423A2已知的底板用一压盘代替，它形成压电元件组的下端并压紧在一在膜片上其边缘区形成的环形凸肩上，在这里振动驱动和振动测量分别通过分开的压电元件进行；采用至少三条输入导线。
由EP0875742A1已知另一种振动元件。在这里压紧环也构成压电元件组朝向膜片的下端。这个压紧环不压在凸肩上，而是压在在膜片上生成的止推轴颈上。
在用于料位测量的振动元件的结构方面的问题是，一方面在压电元件和膜片或者另一方面在膜片上成形的振动体之间需要特别刚性的连接，从而使振动体通过待测量介质的运动的阻尼可靠地回馈到压电元件上，并可以在那里电测量。在当今已知的振动元件中这个要求可以很好地满足，如果通常做成叉尖的振动体具有约100mm的长度的话。但是在叉尖长度缩短到例如40mm时这个要求不再能充分地满足。
这个问题的原因被看作是，叉尖的缩短导致振动元件共振频率的提高。在这里举例提到的从约100缩短到约40mm的情况下振动频率增加到约3倍。这导致在产生振动的压电元件和叉尖之间明显的去耦，其结果是，即使在叉尖完全锁定的情况下驱动装置的机械振动能力还是减小。但是驱动装置和叉尖之间充分的刚性连接是叉共振频率电测量的必要前提，叉共振频率的电测量借助于可分接到驱动单元内的通过叉的振动在压电元件内感应的电信号进行，这个电信号在这里称作检测信号。只要振动体被空气包围并从而也许受到弱的阻尼，那么其振动运动仍足够可靠地跟随由压电元件产生的激励。但是它一旦与待测量的容器装载物接触，并由此使其振动的阻尼加大，那么在检测信号和振动体及膜片系统的实际共振之间便出现过大的偏差和不希望的谐波振动。如果装载物超过一定的粘度值，最终造成振动体通过由压电元件产生的激励产生过大的特性去耦，从而使料位传感器完全丧失功能。因此压电驱动的振动元件的已知方案不适用于较强的小型化。
传统的振动元件的另一个问题是需要的单个零件的数量大。这不仅影响这种振动元件的制造成本，也损害其可靠性。特别是在振动元件高的使用温度时各个零件经受加大的机械载荷，这可能导致部件提前老化。
传统的振动元件的又一个问题是，由制造引起的机械误差造成的与压电元件组相对于拉紧螺栓的旋转位置有关的振动元件的电/机械效率。因此为了在规定的电激励振幅时达到由结构类型确定的最大机械振幅，在装配时压电元件组必需这么长时间绕拉紧螺栓逐步转动，然后慢慢拧紧，直至找到最合适的位置，再将压电元件组锁紧在这个位置上。
发明内容
本发明的目的特别是，提供一种可压电激励的振动元件，它比传统的振动元件更适合于小型化。按本发明的振动元件的另一个优点是其少的零件数和随之而来的较低的制造成本。
在具有能振动的膜片，压电元件组和与膜片连接的用来使压电元件压紧在膜片上的拉紧螺栓的振动元件中这个目的这样达到，即将拉紧螺栓和膜片做成一体。通过这种方式建立压电元件和振动体之间可靠得多的与材料疲劳不太相关的机械连接。
这种一体的连接特别是可以这样得到，即膜片和拉紧螺栓通过去除材料的，特别是切削加工由一个坯件制成。
在本发明的目的的另一种解决方案中，但是它优先与上述方案可以组合使用，在压紧环和与膜片接触的支承环之间的压电元件组包括两个电压元件，压紧环和支承环可与第一驱动电位连接，并且一设置在压电元件之间的电极可与第二驱动电位连接。限于两个压电元件一方面导致振动元件结构高度的减小，从而使它在振动体上的连接刚性更好，另一方面因为第一驱动电位只需加在压电元件组的一个部位上，在振动元件上可以不用温度敏感的印刷电路板，从而使它适用于高达200℃的工作温度。
压紧环和支承环之间的导电连接可以方便地通过拉紧螺栓建立。通过以下方法达到振动元件方便地更换的可能性，即压电元件、压紧环和支承环最好通过一包围它们的壳体合并成一个结构单元，该单元可从膜片和拉紧螺栓上拆下。
支承环与膜片在其朝向膜片的端面的径向外部区域上接触。膜片具有长度为20至70，尤其是约40mm的叉尖。
附图说明
本发明其他的特征和优点由以下参照附图对一个实施例的说明得出。唯一的附图以轴向剖面示出按本发明的振动元件。
具体实施方式
图1以轴向剖面表示按本发明的振动元件。此振动元件包括一金属膜片3，它构成一基本上杯形的嵌入式金属壳体14的底面。为了安装在容器壁上嵌入式壳体设有一外螺纹16。两个在膜片3底面上成形的叉尖2形状的振动体伸入容器内部。一拉紧螺栓4从膜片3上面伸入嵌入式壳体14的内部。一驱动结构单元套在拉紧螺栓4上，并通过一拧在拉紧螺栓4上的螺母13压紧在膜片3上。
驱动结构单元是一组多个环形元件，即一支承环5，它与膜片3直接接触、一下压电元件7、一电极8、一上压电元件6和一压紧环12，该压紧环承受螺母13的压紧力并均匀分布到上压电元件6的整个表面上。压紧环12和支承环5由金属制成，并同时作为两个压电元件6、7的与电极8互补的电极。
压电元件6、7的内侧面通过一绝缘套10相对于拉紧螺栓4电绝缘。沿径向向外它们被一驱动壳体11包围，该驱动壳体围住支承环5和压紧环12的径向凸起，并这样便将所述元件5、6、7、8、12组合成一结构单元。这个结构单元与带有数量更多的压电元件的传统驱动单元相比做得很扁，并且只由少数单个零件组成。因此使刚性降低的表面过渡的数量很少。因为驱动力通过支承环5直接传入膜片3，得到在支承环5在膜片3上在其端面17的径向外部区域内的作用部位和拉紧螺栓4之间的很小的路程。由于支承环5与膜片相对于拉紧螺栓4的同心接触得到刚性很好的连接。
拉紧螺栓4不是焊接在膜片4上，而是例如通过切削加工，例如也许是车削，与膜片3形成一体。因此在强度保持不变的情况下从拉紧螺栓4到膜片3的过渡截面可以做得小于两者之间是焊接连接时的过渡截面，此外还避免了在膜片3上拉紧螺栓4附近由焊接引起的使材料变硬的组织变化。这很重要，因为不希望膜片3本身变硬。它应该是整个振动元件中唯一的能弯曲的构件，所有其他构件必须具有比它高得多的抗弯刚度。膜片3是叉尖2和驱动单元之间传递力的交接区。其他构件的任何弯曲促使叉尖2和驱动单元的去耦，因此是所不希望的。
压电元件6、7同时用于振动的驱动和测量，如例如在EP0810423A2中所述。通过这种方式不仅减少压电元件数量，而且也减少所需的触点接通电极。
第一驱动电位通过第一驱动导线9输送给压电元件6、7，该驱动导线与包含在压电元件之间的电极6连接。因为只需要唯一的一个连接电极8，驱动导线9可以直接固定在它上面。不需要专门的触点接通印刷电路板，因此这种振动元件适用于高达200℃的工作温度。
第二驱动电位通过支承环5或压紧环12施加在压电元件6、7的外侧上。压紧环12通过螺母13和拉紧螺栓4与膜片3导电连接，该膜片也与支承环5接触。膜片又通过焊接连接18与嵌入式壳体14导电连接，在该壳体上连接第二驱动导线15。在某此情况下也许需要的对于嵌入式壳体14拧在其中的容器的电位隔离在一(未示出的)电子处理单元中可借助于一直流转换器(DC-Wandler)进行，并且对振动特性没有影响。
第一驱动导线9至少在其延伸穿入嵌入式壳体14的长度上可以是不屏蔽的，因为与第二驱动电位接通的嵌入式壳体14已经是一个对于第一驱动导线9的同轴屏蔽。这特别是在传感器元件的结构形式中是有利的，其中嵌入式壳体在容器壁上的固定点，在这里是外螺纹16，和膜片3通过一插入容器内的相当长的金属加长管隔开。因为这个管子已经起电磁屏蔽作用，可以不用在管子内设置也许几半长的适宜高温的、昂贵的同轴连接导线。
驱动元件少的零件数使它特别适合于在高温，例如在200℃时工作。因为第二驱动导线15可以在容器壁区域内或容器之外导电接通，在这里不需要采取特别的防护装置来保证连接的耐高温性。仅仅第一驱动导线9与电极8在膜片3周围的高温区内导电接通。这种接通最好通过点焊或夹紧连接(Crimpverbindung)建立，因为钎焊不适合于这种工作温度。
由于膜片3和拉紧螺栓4由一个坯料通过车削加工制成，拉紧螺栓4的倾斜和其位置在膜片3中心之外都是不可能的。同样也排除了带有不确定的扩展的膜片钢材内的组织变化，因为取消了在能振动的膜片表面上的焊接过程。这一点和驱动单元非常扁平的结构以及取消许多有误差的构件有助于，使在按本发明的振动元件中效率与驱动单元相对于拉紧螺栓的旋转取向无关。因此在加工振动元件时可以完全取消迄今为止需要的对驱动单元的车削矫正的工序。驱动单元的更换可以迅速和毫无困难地进行。
Claims (9)
1.一种振动元件，包括一能振动的膜片(3)、一组压电元件(6、7)和一个与膜片(3)连接的用来将压电元件(6、7)压紧在膜片(3)上的拉紧螺栓(4)，其特征为：所述拉紧螺栓(4)与膜片(3)设计成一体，并且该一体的包括拉紧螺栓(4)和膜片(3)的部件是机械加工部件。
2.按权利要求1所述的振动元件，其特征为：压电元件组设置在一压紧环(12)和一与膜片接触的支承环(5)之间，并包含所述压电元件(6、7)，其中压紧环(12)和支承环(5)能够与第一驱动电位连接，设置在压电元件(6、7)之间的电极(8)能够与第二驱动电位连接。
3.按权利要求2所述的振动元件，其特征为：支承环(5)和压紧环(12)通过拉紧螺栓(4)导电连接。
4.按权利要求2所述的振动元件，其特征为：压电元件(6、7)、压紧环(12)和支承环(5)通过一包围它们的壳体(11)组合成一结构单元，它可以从膜片(3)和拉紧螺栓(4)上拆下。
5.按权利要求1所述的振动元件，其特征为：支承环(5)与膜片(3)在其朝向膜片(3)的端面(17)的径向外部区域上接触。
6.按权利要求2所述的振动元件，其特征为：压紧环(12)和支承环(5)与振动元件的嵌入式壳体(14)导电连接。
7.按权利要求1所述的振动元件，其特征为：膜片具有长度为20至70mm的叉尖。
8.按权利要求7所述的振动元件，其特征为：叉尖的长度为约40mm。
9.按权利要求1所述的振动元件，其特征为：所述设计成一体的机械加工部件通过金属切削加工制成。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE10023302A DE10023302C2 (de) | 2000-05-15 | 2000-05-15 | Piezoelektrisch erregbares Schwingelement |
| DE10023302.3 | 2000-05-15 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN1439093A CN1439093A (zh) | 2003-08-27 |
| CN1249409C true CN1249409C (zh) | 2006-04-05 |
Family
ID=7641797
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CNB018117872A Expired - Fee Related CN1249409C (zh) | 2000-05-15 | 2001-05-12 | 可压电激励的振动元件 |
Country Status (7)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6545556B2 (zh) |
| EP (1) | EP1285241B1 (zh) |
| CN (1) | CN1249409C (zh) |
| DE (2) | DE10023302C2 (zh) |
| HK (1) | HK1056773A1 (zh) |
| HU (1) | HU228414B1 (zh) |
| WO (1) | WO2001088490A1 (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101377426B (zh) * | 2007-08-30 | 2012-11-28 | Vega格里沙贝两合公司 | 用于确定和/或监控液位的液位测量装置 |
| CN107990973A (zh) * | 2016-10-20 | 2018-05-04 | Vega格里沙贝两合公司 | 具有集成的温度测量的振动传感器 |
Families Citing this family (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7262778B1 (en) | 2000-02-11 | 2007-08-28 | Sony Corporation | Automatic color adjustment of a template design |
| DE10341422A1 (de) * | 2003-09-09 | 2005-03-31 | Sick Engineering Gmbh | Ultraschallwandleranordnung |
| US7146845B2 (en) * | 2004-03-24 | 2006-12-12 | Vega Grieshaber Kg | Method for operating tests of vibration level switch sensors and corresponding vibration level switch |
| DE102004019228A1 (de) * | 2004-04-16 | 2005-11-17 | Vega Grieshaber Kg | Füllstands-Messvorrichtung |
| WO2006005273A1 (de) * | 2004-07-07 | 2006-01-19 | Robert Bosch Gmbh | Kraftmesselement |
| CN101611294B (zh) * | 2007-01-16 | 2012-10-03 | 恩德莱斯和豪瑟尔两合公司 | 用于确定和/或者监测介质过程变量的装置 |
| GB0803899D0 (en) * | 2008-03-01 | 2008-04-09 | Mobrey Ltd | Vibrating element apparatus |
| GB0803901D0 (en) * | 2008-03-01 | 2008-04-09 | Mobrey Ltd | Vibrating element apparatus |
| US9667365B2 (en) * | 2008-10-24 | 2017-05-30 | The Nielsen Company (Us), Llc | Methods and apparatus to perform audio watermarking and watermark detection and extraction |
| DE102008043764A1 (de) | 2008-11-14 | 2010-05-20 | Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg | Vorrichtung zur Bestimmung und/oder Überwachung einer Prozessgröße |
| CN102032939B (zh) | 2009-09-29 | 2015-12-16 | 西门子公司 | 振级传感器 |
| EP2803954B1 (de) * | 2013-05-15 | 2019-01-02 | VEGA Grieshaber KG | Füllstandmessvorrichtung |
| DE102014101372B4 (de) | 2014-02-04 | 2015-10-08 | Vega Grieshaber Kg | Vibrationssensor mit geklebtem Antrieb |
| CN104006863A (zh) * | 2014-05-07 | 2014-08-27 | 含山县大力精密机械有限公司 | 一种一体式铸造液位音叉 |
| CN109489771B (zh) * | 2018-11-22 | 2020-06-09 | 北京航天计量测试技术研究所 | 一种适用于高温高压、易燃易爆环境的振动式料位开关 |
| CN114018358A (zh) * | 2020-07-16 | 2022-02-08 | 无锡定华传感网科技有限公司 | 音叉液位开关及其振动装置 |
| DE102021108462A1 (de) * | 2021-04-01 | 2022-10-06 | Herrmann Ultraschalltechnik Gmbh & Co. Kg | Konverter mit integriertem Bolzen |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4118793C2 (de) * | 1991-06-07 | 1995-02-09 | Endress Hauser Gmbh Co | Vorrichtung zur Feststellung und/oder Überwachung eines vorbestimmten Füllstandes in einem Behälter |
| DE19621449C2 (de) * | 1996-05-29 | 2000-11-30 | Grieshaber Vega Kg | Vibrationsresonator, Verfahren zum Betreiben eines solchen Vibrationsresonators und Vibrations-Füllstand-Grenzschalter mit einem solchen Vibrationsresonator |
| DE59712962D1 (de) * | 1997-04-30 | 2008-10-02 | Endress & Hauser Gmbh & Co Kg | Anordnung zur Feststellung und/oder Überwachung eines vorbestimmten Füllstands in einem Behälter |
| EP0875742B1 (de) * | 1997-04-30 | 2007-12-19 | Endress + Hauser GmbH + Co. KG | Vorrichtung zur Feststellung und/oder Überwachung eines vorbestimmten Füllstands in einem Behälter |
| DE59814061D1 (de) * | 1998-09-09 | 2007-08-30 | Endress & Hauser Gmbh & Co Kg | Vorrichtung zur Feststellung und/oder Überwachung eines vorbestimmten Füllstandes in einem Behälter |
-
2000
- 2000-05-15 DE DE10023302A patent/DE10023302C2/de not_active Expired - Lifetime
-
2001
- 2001-02-23 US US09/792,007 patent/US6545556B2/en not_active Expired - Lifetime
- 2001-05-12 CN CNB018117872A patent/CN1249409C/zh not_active Expired - Fee Related
- 2001-05-12 DE DE50115474T patent/DE50115474D1/de not_active Expired - Lifetime
- 2001-05-12 HU HU0302057A patent/HU228414B1/hu not_active IP Right Cessation
- 2001-05-12 EP EP01943352A patent/EP1285241B1/de not_active Expired - Lifetime
- 2001-05-12 WO PCT/EP2001/005437 patent/WO2001088490A1/de active Application Filing
-
2003
- 2003-12-11 HK HK03109005A patent/HK1056773A1/xx not_active IP Right Cessation
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101377426B (zh) * | 2007-08-30 | 2012-11-28 | Vega格里沙贝两合公司 | 用于确定和/或监控液位的液位测量装置 |
| CN107990973A (zh) * | 2016-10-20 | 2018-05-04 | Vega格里沙贝两合公司 | 具有集成的温度测量的振动传感器 |
| CN107990973B (zh) * | 2016-10-20 | 2022-01-21 | Vega格里沙贝两合公司 | 具有集成的温度测量的振动传感器 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| HUP0302057A2 (hu) | 2003-09-29 |
| HU228414B1 (en) | 2013-03-28 |
| CN1439093A (zh) | 2003-08-27 |
| HUP0302057A3 (en) | 2006-01-30 |
| DE50115474D1 (de) | 2010-06-17 |
| DE10023302A1 (de) | 2001-11-29 |
| EP1285241A1 (de) | 2003-02-26 |
| US6545556B2 (en) | 2003-04-08 |
| DE10023302C2 (de) | 2003-11-13 |
| US20020014117A1 (en) | 2002-02-07 |
| WO2001088490A1 (de) | 2001-11-22 |
| EP1285241B1 (de) | 2010-05-05 |
| HK1056773A1 (en) | 2004-02-27 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN1249409C (zh) | 可压电激励的振动元件 | |
| US6933656B2 (en) | Ultrasonic motor having integrated electrodes and manufacturing method of the same | |
| CN1081791C (zh) | 振动检测传感器 | |
| JPH0765919B2 (ja) | 容器の所定充填レベルを確認／監視する装置 | |
| RU2247606C2 (ru) | Устройство для определения и/или контроля заданного уровня заполнения емкости | |
| RU2005122640A (ru) | Устройство для определения и/или контроля, по меньшей мере, одного физического параметра среды (варианты) | |
| US6469419B2 (en) | Ultrasonic motor capable of sensing both longitudinal and torsional vibrations thereof and method for operating the same | |
| JP2726255B2 (ja) | 容器内の予め規定された充填面高さを検出しかつ／または監視するための装置 | |
| CN101777506A (zh) | 复频夹心结构超声换能器 | |
| GB2463348A (en) | Connection arrangements for a piezoelectric energy harvesting device | |
| CN1141566C (zh) | 带压力套管的振动接收器 | |
| CN112304348A (zh) | 振动限位开关用的带有前置式紧固机构的堆叠式压电驱动装置 | |
| US4944179A (en) | Vibration detector | |
| RU2547661C2 (ru) | Вибрационный гироскоп и способ его изготовления | |
| US9070879B2 (en) | Method for monitoring flexural vibrations of a piezoactuator | |
| US20020017829A1 (en) | Method to control piezoelectric drives | |
| US5376858A (en) | Ultrasonic motor | |
| JP2012246887A (ja) | オイル貯留装置 | |
| EP0047660A1 (en) | Accelerometers | |
| US20040232806A1 (en) | Piezoelectric transformer, power supply circuit and lighting unit using the same | |
| US5962953A (en) | Piezoelectric transformer with monitor electrodes for sensing unbalanced vibration of the transformer | |
| US20240328849A1 (en) | Vibration sensor | |
| CN1168025A (zh) | 压电谐振器 | |
| CN215338491U (zh) | 一种音叉式物位开关 | |
| KR20020065561A (ko) | 압력 하우징을 갖는 진동 센서 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20060405 Termination date: 20200512 |
|
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |