CN1237779A - 电子束产生装置及其系统 - Google Patents

Abstract

电子束发生装置，具有：输入交流电压，产生直流电压的高压直流电源；设置在该电源输入侧的交流断路器；分别并朕在该电源输出端的多个电子枪；设在各电子枪输入侧的断路器；对应各电子枪以检测经切断开关而流入枪内电流的检测器；控制装置，从各检测器输入检测信号，当该信号超过流入枪内的电流设定值时，判断为发生故障，向交流断路器发断路指令，向故障电子枪对应的切断开关发断开指令，之后再向交流断路器发闭合指令。

Description

电子束产生装置及其系统

本发明涉及从并联连接在一台高压直流电源上的多个电子枪中发生电子束的电子束产生装置及其系统。

一般，在电子束产生装置中从高压直流电源往电子枪部分加负极性的直流高压，从而对电子枪中所产生的电子进行加速，使其被作为电子束而输出。

在此情况下，由于电子枪的最大容量是有限的，所以采取在一台高压直流电源上连接2个电子枪等方式。在需要获得更大的电子束的情况下，设置多台上述电子束产生装置。

若这样设置多台电子束产生装置，则导致设置空间增大，因此，采用在一台大容量高压直流电源上连接多个电子枪的这种构成，设法使装置实现小型化。

图7是表示这种原有的电子束产生装置的一例的电路构成图。

在图7中，1是通过断路器3而被连接在图中未表示出的交流电源上并把交流变换成直流的高压直流电源，在该高压直流电源1的高压输出端子4上并联地连接有2个电子枪21、22。

然而，在这种构成的电子束产生装置中，由于在高压输出端子4上并联地连接有2个电子枪21、22，所以，若在任一个电子枪上发生短路等故障，则电流全部流入发生故障的部分，因此，不得不使高压直流电源停止工作。

另一方面，为使整个装置实现小型化，最好在一台高压直流电源上增加并联连接的电子枪数(N)。但是，问题是：N数字越大，电子枪部分的故障发生率越高，结果造成发生故障时的电子枪空缺数增大。

本发明正是为了解决上述问题而提出的，其目的在于提供一种能使整个装置小型化，能稳定地获得输出大的电子束的电子束产生装置。

本发明为了达到上述目的，采取以下技术方案：

一种电子束产生装置，把电子枪连接到使交流电压变换成直流电压的高压直流电源的输出端子上，对该电子枪所产生的电子进行加速，输出电子束，其特征在于：连接在上述高压直流电源的输出端子上的电子枪设成多个并联，能分别断开的，当流入到这些电子枪内的电流超过预定值时判断为有故障，并将相应的电子枪从上述高压直流电源上断开。

一种电子束产生装置，其特征在于具有：

高压直流电源，用于输入交流电压，而产生直流电压；

交流断路器，它被设置在该高压直流电源的输入侧；

多个电子枪，它们被分别并联地连接在上述高压直流电源的输出端子上，通过加高压而对发生的电子进行加速，输出电子束；

开关装置，它与各个电子枪相对应，分别设置在电子枪的输入侧；

检测器，它们分别与上述各个电子枪相对应进行设置，用于通过上述开关装置来检测电子枪中流过的电流；以及

控制装置，用于从上述各个检测器输入检测信号，当该检测信号超过电子枪内流过的电流设定值时，判断为故障，而向上述交流断路器发出断路指令，再向与发生故障的电子枪相对应的开关装置发出断开指令，然后，向上述交流断路器发出闭合指令。

所述的电子束产生装置，其特征在于：

在上述高压直流电源的输出端子侧，设置在维护、检修电子枪时被断开的开关。

所述的电子束产生装置，其特征在于：

在上述高压直流电源的输出端子侧，设置在维护、检修电子枪时被断开的开关，同时，设置对输出端子侧进行接地的开关。

一种电子束产生装置，它把具有控制驱动电路的电子枪连接到把交流电压变换成直流电压的高压直流电源的输出端子上，同时经过绝缘变压器把交流电压加到上述控制驱动电路上，以此来对由上述电子枪所发生的电子进行加速，输出电子束，其特征在于：

与上述高压直流电源的输出端子相连接的多个电子枪，并联地设置成能分别断开的状态，同时，各个电子枪的控制驱动电路能从上述绝缘变压器上断开，当这些电子枪上所流过的电流超过预定值时，被判断为故障，把相应的电子枪从上述高压直流电源上断开，同时把控制驱动电路从绝缘变压器上断开。

一种电子束产生装置，其特征在于设有：

高压直流电源，它输入交流电压而产生直流电压；第1交流断路器，它被设置在该高压直流电源的输入侧；电子枪，它们并列地分别被连接在上述高压直流电源的输出端子上，并具有多个控制驱动电路，它们通过加高压来对产生的电子进行加速以输出电子束；

绝缘变压器，它输入交流电压，具有能耐上述直流电压的直流绝缘能力，而且次级侧端子的一端连接在上述高压直流电源的输出端子上，另一端连接在各个电子枪的控制驱动电路上；

第2交流断路器，它设置在该绝缘变压器的初级侧；

第1和第2开关装置，它们与上述各个电子枪和控制驱动电路相对应，分别被设置在其输入侧；

检测器，它们分别与上述各个电子枪相对应进行设置，用于检测通过上述第1开关装置而流入电子枪的电流；以及

控制装置，它从上述各个检测器输入检测信号，当该检测信号超过流入电子枪内的电流设定值时，判断为故障，而向上述第1交流断路器发出断路指令，然后，向上述第2断路器发出断路指令，接着向与发生故障的电子枪相对应的第1和第2开关装置发出断开指令，然后向上述第1和第2交流断路器发出闭合指令。

所述的电子束产生装置，其特征在于：在上述高压直流电源的输出端子侧和上述绝缘变压器的次级侧分别设置在维护、检修上述电子枪时被断开的开关。

所述的电子束产生装置，其特征在于：

在上述高压直流电源的输出端子侧和上述绝缘变压器的次级侧分别设置在维护、检修上述电子枪时被断开的开关，同时分别设置对上述高压直流电源的输出端子侧和上述绝缘变压器的次级侧进行接地的开关。

一种电子束产生系统，其特征在于：在把交流电压变换成直流电压的高压直流电源的输出端子上，连接具有控制驱动电路的电子枪，该控制驱动电路被布置在电子枪的高电位侧，至少对该电子枪的输出电流进行控制；

同时，通过绝缘变压器把交流电压加到上述控制驱动电路上，以此来对上述电子枪所产生的电子进行加速，从而输出电子束。

所述的电子束产生系统，其特征在于：使上述控制驱动电路具有光通信功能，以便和处于接地电位的主控制盘之间进行控制信号和运转信息信号的发送和接收。

采用下列方法来构成电子束产生装置。

与本发明1相对应的发明是：在把交流电压变换成直流电压的高压直流电源的输出端子上连接电子枪，对由该电子枪所产生的电子进行加速而取出电子束的这种电子束产生装置中，与上述高压直流电源的输出端子相连接的多个电子枪，以并联方式设置许多个并且能分别单独断开，这些电子枪内所流过的电流若超过预定值，则被判断为故障，并将该电子枪从上述高压直流电源上断开。

与本发明2相对应的发明具有：

高压直流电源，用于输入交流电压，输出直流电压；

交流断路器，它被设置在该高压直流电源的输入侧；

多个电子枪，它们被分别并联地连接在上述高压直流电源的输出端子上，通过加高压而对发生的电子进行加速，输出电子束；

开关装置，它与各个电子枪相对应，分别设置在电子枪的输入侧；

检测器，它们分别与上述各个电子枪相对应地进行设置，用于通过上述开关装置来检测电子枪中流过的电流；以及

控制装置，用于从上述各个检测器中输入检测信号，当该检测信号超过电子枪内流过的电流设定值时，判断为故障，向上述交流断路器发出断路(トリップ)指令，向与发生故障的电子枪相对应的开关装置发出断开指令，然后，向上述交流断路器发出闭合指令。

与本发明3相对应的发明是：在本发明1或2相对应的发明的电子束产生装置中，在上高压直流电源的输出端子一侧设置了一种在维护、检修上述电子枪时进行断开的开关。

与本发明4相对应的发明是：在与本发明1或权利要求2相对应的发明的电子束产生装置中，在上述高压直流电源的输出端子一侧设置一种当维护、检修上述电子枪时被断开的开关，同时设置对输出端子一侧进行接地的开关。

所以，与本发明1至4相对应的发明的电子束产生装置，当电子枪发生故障时暂且使交流侧的断路器断开，在一瞬间仅使发生故障的电子枪断开，然后再接通断路器，仅使其余的电子枪能工作，所以能稳定地获得输出大的电子束，而且由交流一侧切断电流，因此，不需要在直流一侧设置大型直流断路器，根据电子枪的数量来设置相应数量的开关装置即可。所以能降低整个装置的价格并实现小型化。

再者，与上述发明3和发明4相对应的发明，在维修电子枪时通过把开关断开，即使在高压直流电源内部的电容器已被充电的状态下也能安全地进行电子枪检修。

与本发明5相对应的发明是：一种电子束产生装置，它把具有控制驱动电路的电子枪连接到把交流电压变换成直流电压的高压直流电源的输出端子上，同时经过绝缘变压器把交流电压加到上述控制驱动电路上，以此来对由上述电子枪所发生的电子进行加速，输出电子束。

其特征在于：与上述高压直流电源的输出端子相连接的多个电子枪，并联地设置成能分别断开的状态，同时，各个电子枪的控制驱动电路能从上述绝缘变压器上断开，当这些电子枪上所流过的电流超过预定值时，被判断为故障，把该电子枪从上述高压直流电源上断开，同时把控制驱动电路从绝缘变压器上断开。

与本发明6相对应的发明具有：

高压直流电源，它输入交流电压，发生直流电压；

第1交流断路器，它被设置在该高压直流电源的输入侧；

电子枪，它们并列地分别被连接在上述高压直流电源的输出端子上，具有多个控制驱动电路，以便通过加高压来对发生的电子进行加速，输出电子束；

绝缘变压器，它输入交流电压，具有能耐上述直流电压的直流绝缘能力，而且次级侧端子的一端连接在上述高压直流电源的输出端子上，另一端连接在各个电子枪的控制驱动电路上；

第2交流断路器，它设置在该绝缘变压器的初级侧；

第1和第2开关装置，它们与上述各个电子枪和控制驱动电路相对应，分别被设置在其输入侧；

检测器，它们分别与上述各个电子枪相对应进行设置，用于检测通过上述第1开关装置而流入电子枪内的电流；以及

控制装置，它从上述各个检测器中输入检测信号，当该检测信号超过流入电子枪内的电流设定值时，判断为故障，向上述第1交流断路器发出断路指令，然后，向上述第2断路器发出断路指令，接着向与发生故障的电子枪相对应的第1和第2开关装置发出断开指令，然后向上述第1和第2交流断路器发出闭合指令。

与本发明7相对应的发明是：在与本发明5或本发明6相对应的发明的电子束产生装置中，在上述高压直流电源的输出端子侧和上述绝缘变压器的次级侧分别设置在检修上述电子枪时被断开的开关。

与本发明8相对应的发明是：在与本发明5或6相对应的发明的电子束产生装置中，在上述高压直流电源的输出端子侧和上述绝缘变压器的次级侧分别设置在检修上述电子枪时被断开的开关，同时分别设置对上述高压直流电源的输出端子侧和上述绝缘变压器的次级侧进行接地的开关。

所以，与上述本发明5至8相对应的发明的电子束产生装置，在电子枪发生故障时，能仅把发生故障的电子枪从上述高压直流电源上断开，同时把控制驱动电路从绝缘变压器上断开，然后仅仅使剩余的电子枪工作，所以，能稳定地获得输出较大的电子束，而且，由于在交流侧切断电流，所以不需要在直流侧设置大型直流断路器，只要根据电子枪的数量设置相应数量的开关装置即可。因此，能降低整个装置的价格并使其小型化。

再者，与上述本发明7或8相对应的发明，通过在检修电子枪时把开关切断，即使高压直流电源内部的电容器处于充电状态，也能安全地检修电子枪。

本发明的效果：

如上所述，若采用本发明，则在1台大容量高压直流电源上能连接多个电子枪，而且，在电子枪发生故障时也能使停止工作的电子枪数量减少到最低限度。所以，能够提供一种电子束输出稳定，体积小的电子束产生装置。

以下参照附图，详细说明本发明的实施例：

图1是表示本发明的电子束产生装置第1实施例的电路结构图。

图2是表示本发明的电子束产生装置第2实施例的电路结构图。

图3是表示本发明的电子束产生装置第3实施例的电路结构图。

图4是表示本发明的电子束产生装置第4实施例的电路结构图。

图5是表示本发明的电子束产生装置第5实施例的电路结构图。

图6是表示本发明的电子束产生装置第6实施例的电路结构图。

图7是表示过去的电子束产生装置例子的电路结构图。

以下根据附图，详细说明本发明的实施例。

图1是表示本发明的电子束产生装置的第1实施例的电路构成图。对其中和图7相同的部分标注同一符号。

在图1中，1是把通过断路器3从交流电源中输入的交流电压变换成直流电压的高压直流电源，在该高压直流电源1的高压输出端子4上连接具有N个(表示N=5的例子)分支的母线2。

在该母线2的各个分支点上，分别通过串联用于检测电流的检测器41~45和断路器31~35而连接电子枪21~25。

另一方面，5是输入下述电流检测信号的控制装置，该信号是由各个检测器41~45检测出来的，从分支点流入到电子枪21~25内。该控制装置5在根据从各个检测器中输入的检测信号判断出某一电子枪发生故障时，向断路器3发出断路指令，同时在经过极短暂的时间后向与故障电子枪相对应的切断开关发出断开指令，然后再向断路器发出闭合指令。

在此情况下，控制装置5对由检测器41~45所检测出的流入电子枪21~25内的电流的变化进行监视，根据流入到电子枪内的电流值是否超过了预先设定值来判断有无故障。在此，作为判断标准的电流设定值，其设定方法是预先设定为以下两种一定值：一种是电子枪的额定电流值乘上裕度(容限)sf(sf≥1)；另一种是通常设定的工作电流值乘上裕度(容限)sf(sf≥1)。

在这样构成的电子束产生装置中，通常切断开关31~35处于闭合状态，N个电子枪21~25全都被连接到母线2上，通过加直流电压而发生电子束。

当处于这种状态时，例如电子枪21发生故障，根据从检测器41向控制装置5内输入的检测信号，从流入到电子枪21内的电流的变化中检测出电子枪21的故障，于是向断路器3发出断路指令，经过极短暂的时间后向切断开关31发出切断指令，使电子枪21从母线2上断开。然后向断路器3发出闭合指令。

这样，在电子枪发生故障的情况下，暂且使交流侧的断路器3断开，在一瞬间仅把发生故障的电子枪断开，然后再使断路器闭合，能仅仅使剩余的电子枪工作，所以，能稳定地获得输出功率大的电子束，而且在交流侧切断电流，因此，在直流侧不需要大型直流断路器，只要按分支的数量来设置相应数量的切断开关即可，所以，能降低整个装置的价格并实现小型化。

图2是表示本发明的电子束产生装置第2实施例的电路构成图，对与图1相同的部分标注同一符号，其说明从略，这里仅对不同的部分加以说明。

图2所示的电子束产生装置，在各个电子枪21~25上分别带有用于控制电流等的单独控制驱动电路51~55，该单独控制驱动电路51~55布置在电子枪21~25的高压部分上，所以，必须通过具有直流绝缘能力的变压器6来供给功率。

因此，在第2实施例中，通过断路器8把绝缘变压器6的初级侧连接到交流电源上，使其次级侧的一端A与高压直流电源1的输出端子4相连接，使另一端B与具有N个分支点的母线7相连接。并且，使单独控制驱动电路51~55的一端C与电子枪21~25相连接，使另一端D通过切断开关61~65与母线7相连接。

在这样构成的电子束产生装置中，通常切断开关31~35、61~65全部闭合，N个电子枪21~25、单独控制驱动电路51~55全都被连接在母线2和7上，通过加直流高压而发生电子束。

当处于这种状态时，例如当电子枪21发生故障，从检测器41向控制装置5内输入该检测信号时，由控制装置5根据流入到电子枪21内的电流的变化来判断出电子枪21发生故障，向断路器3发出断路指令，使高压直流电源1的输出为零，然后也向变压器6的输入侧的断路器8发出断路指令，使单独驱动电路的电流为零。

接着，控制装置5向故障电子枪21所对应的切断开关31、61发出切断指令，使电子枪21及其单独控制驱动电路51从母线2、7上断开。

然后，控制装置5向变压器6的输入侧的断路器8发出闭合指令，使单独控制驱动电路51动作，接着发出断路器3闭合指令，使高压直流电源1重新开始工作。

在此情况下，控制装置5和第1实施例一样，对由检测器41~45所检测出的流入到电子枪21~25内的电流的变化进行监视，根据流入到电子枪内的电流值是否超过了设定值来判断有无故障。其方法有两种：一种是：预先把作为判断标准的电流设定值设定为由以下两种算法所求得的一定值，即电子枪的额定电流值乘上裕度sf(sf≥1)，或者通常设定的运行电流值乘上裕度sf(sf≥1)。另一种是在单独控制驱动电路中所指定的当时的实际电流指令值乘上某一裕度，使该值和时间一起进行变化。

在这种构成的电子束产生装置中，也是在电子枪发生故障的情况下，暂且使交流侧的断路器3断开，然后使变压器6的输入侧的断路器8断开，使单独控制驱动电路的电流为零后，在瞬间仅使故障电子枪断开，然后向变压器6的输入侧断路器8发出闭合指令，使单独控制驱动电路51运转，接着向断路器3发出闭合指令，使高压直流电源1重新开始运转，这样能仅仅使正常的电子枪工作。所以，和第1实施例一样，能稳定地获得输出大的电子束，而且因为在交流侧切断电流，所以，在直流侧不用设置大型直流断路器，只要按分支数量来设置相应数量的切断开关即可。因此能降低整个装置的价格，能实现装置的小型化。

进一步也可以作为这样一种系统，即把K51~55布置在电子枪的高电位侧，同时对电子枪的动作状态进行控制。电子枪的动作状态，例如以灯丝(ヒ-タ)电流为首，还有真空度等。在构成该系统的情况下，由于能对每个电子枪单独发出控制信号，所以能任意设定各个电子枪的输出电流值等等，能大大提高运转的自由度和可靠性。

并且，在K51~55中，分别引出了无图示的光纤，分别连接在无图示的主控制盘上。在这种系统结构中，因为能用光收发信号，所以在信号传输方面不必考虑高电位部分和地电位部分接地、短路造成危害。例如，可适用于发出电子枪灯丝电流值的指令信号以及电子枪加速管内的真空度监视信号等。

图3是表示本发明的电子束产生装置第3实施例的电路结构图，对于和图1相同的部分标注同一符号，其说明从略，在此对不同之处加以说明。

第3实施例是在高压直流电源1的输出端子4和母线2之间设置开关9，其他结构与图1相同。

若采用这种结构，则除具有与第1实施例相同的作用效果外，在检修电子枪的情况下通过使开关9断开，即使高压直流电源1内部的电容器处于被充电状态下，也能安全地进行电子枪检修。

图4是表示本发明的电子束产生装置第4实施例的电路结构图。其中与图2相同的部分标注相同的符号，其说明从略，在此对不同之处加以说明。

第4实施例在高压直流电源1的输出端子4和母线2之间设置开关9，同时在变压器6的次级端子B和母线7之间设置开关10，其他结构与图2相同。

若采用这种结构，则除具有和实施例2相同的作用效果外，在检修电子枪的情况下，通过使开关9、10断开，与第3实施例一样，即使高压直流电源1内的电容器处于被充电的状态下，也能确保安全地检修电子枪。

图5是表示本发明的电子束产生装置第5实施例的电路结构图，对其与图1相同的部分标注同一符号，其说明从略中，在此对不同之处加以说明。

第5实施例是在高压直流电源1的输出端子4和母线2之间设置开关9，并且在母线2和地之间也设置开关11，其他结构与图1相同。

这种结构，通常若接通开关9，断开开关11，则具有与第1实施例相同的作用效果，此外检修或更换电子枪的情况下，通过使开关9断开，使开关11闭合，即可使高电位部分接地，所以，能安全地进行作业。

图6是表示本发明的电子束产生装置第6实施例的电路结构图，对其与图2相同的部分标注同一符号，其说明从略，在此对其不同之处加以说明。

第6实施例是在高压直流电源1的输出端子4和母线2之间设置开关9，同时在变压器6的次级端子B和母线7之间设置开关10，并且在母线2和地之间设置开关11，同时母线7和地之间也设置开关12，其他结构与图2相同。

这种结构，通常使开关9、10闭合，使开关11、12断开，即可获得与第1实施例相同的作用效果，此外，在检修或更换电子枪的情况下，使开关9、10断开，使开关11、12闭合，即可使高电位部分接地，所以，能安全地进行作业。

Claims (10)

1．一种电子束产生装置，把电子枪连接到使交流电压变换成直流电压的高压直流电源的输出端子上，对该电子枪所产生的电子进行加速，输出电子束，其特征在于：连接在上述高压直流电源的输出端子上的电子枪设成多个并联，能分别断开的，当流入到这些电子枪内的电流超过预定值时判断为有故障，并将相应的电子枪从上述高压直流电源上断开。

2．一种电子束产生装置，其特征在于具有：

高压直流电源，用于输入交流电压，而产生直流电压；

交流断路器，它被设置在该高压直流电源的输入侧；

多个电子枪，它们被分别并联地连接在上述高压直流电源的输出端子上，通过加高压而对产生的电子进行加速，输出电子束；

开关装置，它与各个电子枪相对应，分别设置在电子枪的输入侧；

检测器，它们分别与上述各个电子枪相对应进行设置，用于通过上述开关装置来检测电子枪中流过的电流；以及

控制装置，用于从上述各个检测器输入检测信号，当该检测信号超过电子枪内流过的电流设定值时，判断为发生故障，而向上述交流断路器发出断路指令，再向与发生故障的电子枪相对应的开关装置发出断开指令，然后，向上述交流断路器发出闭合指令。

3．如权利要求1或2所述的电子束产生装置，其特征在于：

在上述高压直流电源的输出端子侧，设置在维护、检修电子枪时被断开的开关。

4．如权利要求1或2所述的电子束产生装置，其特征在于：

在上述高压直流电源的输出端子侧，设置在维护、检修电子枪时被断开的开关，同时，设置对输出端子侧进行接地的开关。

5．一种电子束产生装置，它把具有控制驱动电路的电子枪连接到把交流电压变换成直流电压的高压直流电源的输出端子上，同时经过绝缘变压器把交流电压加到上述控制驱动电路上，以此来对由上述电子枪所发生的电子进行加速，输出电子束，其特征在于：

与上述高压直流电源的输出端子相连接的多个电子枪，并联地设置成能分别断开的状态，同时，各个电子枪的控制驱动电路能从上述绝缘变压器上断开，当这些电子枪上所流过的电流超过预定值时，被判断为故障，把相应的电子枪从上述高压直流电源上断开，同时把控制驱动电路从绝缘变压器上断开。

6．一种电子束产生装置，其特征在于设有：高压直流电源，它输入交流电压而产生直流电压；第1交流断路器，它被设置在该高压直流电源的输入侧；电子枪，它们并列地分别被连接在上述高压直流电源的输出端子上，并具有多个控制驱动电路，它们通过加高压来对产生的电子进行加速以输出电子束；

绝缘变压器，它输入交流电压，具有能耐上述直流电压的直流绝缘能力，而且次级侧端子的一端连接在上述高压直流电源的输出端子上，另一端连接在各个电子枪的控制驱动电路上；

第2交流断路器，它设置在该绝缘变压器的初级侧；

第1和第2开关装置，它们与上述各个电子枪和控制驱动电路相对应，分别被设置在其输入侧；

检测器，它们分别与上述各个电子枪相对应进行设置，用于检测通过上述第1开关装置而流入电子枪的电流；以及

控制装置，它从上述各个检测器输入检测信号，当该检测信号超过流入电子枪内的电流设定值时，判断为故障，而向上述第1交流断路器发出断路指令，然后，向上述第2断路器发出断路指令，接着向与发生故障的电子枪相对应的第1和第2开关装置发出断开指令，然后向上述第1和第2交流断路器发出闭合指令。

7．如权利要求5或6所述的电子束产生装置，其特征在于：在上述高压直流电源的输出端子侧和上述绝缘变压器的次级侧分别设置，在维护、检修上述电子枪时被断开的开关。

8．权利要求5或6所述的电子束产生装置，其特征在于：

在上述高压直流电源的输出端子侧和上述绝缘变压器的次级侧分别设置，在维护、检修上述电子枪时被断开的开关，同时分别设置对上述高压直流电源的输出端子侧和上述绝缘变压器的次级侧进行接地的开关。

9．一种电子束产生系统，其特征在于：在把交流电压变换成直流电压的高压直流电源的输出端子上，连接具有控制驱动电路的电子枪，该控制驱动电路被布置在电子枪的高电位侧，至少对该电子枪的输出电流进行控制；

同时，通过绝缘变压器把交流电压加到上述控制驱动电路上，以此来对上述电子枪所产生的电子进行加速，从而输出电子束。

10．如权利要求9所述的电子束产生系统，其特征在于：使上述控制驱动电路具有光通信功能，以便和处于接地电位的主控制盘之间进行控制信号和运转信息信号的发送和接收。

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