CN120850552B - 光学镜头的仿真分析方法及系统 - Google Patents
光学镜头的仿真分析方法及系统Info
- Publication number
- CN120850552B CN120850552B CN202510922195.3A CN202510922195A CN120850552B CN 120850552 B CN120850552 B CN 120850552B CN 202510922195 A CN202510922195 A CN 202510922195A CN 120850552 B CN120850552 B CN 120850552B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- data
- lens
- analysis
- optical lens
- offset
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING OR CALCULATING; COUNTING
- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F30/00—Computer-aided design [CAD]
- G06F30/20—Design optimisation, verification or simulation
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Evolutionary Computation (AREA)
- Geometry (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
Abstract
本发明涉及光学工程技术领域,尤其涉及一种光学镜头的仿真分析方法及系统。该方法包括以下步骤:获取光学镜头结构图纸;根据光学镜头结构图纸确定装配关系,得到装配关系数据;根据装配关系数据构建光学镜头模型;根据光学镜头模型进行光线追迹模拟,得到光线追迹数据;基于光线追迹数据进行成像偏移分析,得到成像偏移数据;根据成像偏移数据进行感光芯片偏心分析,得到感光芯片偏心数据;根据感光芯片偏心数据进行镜头热稳定性检测,得到镜头热稳定性数据;基于光线追迹数据进行斯特列尔比分析,得到斯特列尔比数值。本发明基于光学工程技术提高了镜头设计的精度和制造工艺改进的针对性与可靠性。
Description
技术领域
本发明涉及光学工程技术领域,特别涉及一种光学镜头的仿真分析方法及系统。
背景技术
传统的光学镜头仿真分析通常依赖单一物理场的仿真,如仅进行光线追迹或波前分析,缺乏对热力学、材料力学等多物理场耦合效应的综合考虑,导致仿真结果与实际使用环境偏差较大。在感光芯片偏心及封装结构异常的检测方面手段有限,难以准确反映微观结构变形及焊接缺陷对成像质量的影响。许多仿真方法侧重于单次静态分析,缺少对动态环境变化如温度波动、机械振动等因素的实时模拟,无法有效评估镜头在复杂工况下的热稳定性和力学性能。在镜片翘曲、材料应力松弛及微裂纹等微观缺陷的检测灵敏度不足,无法及时预警潜在失效风险,限制了制造工艺改进的针对性和有效性。传统仿真分析流程分散,缺乏集成化的自动化处理与缺陷反馈机制,导致仿真效率低下,且难以实现设计与制造的闭环优化,制约了光学镜头性能的进一步提升与产品可靠性的保障。
发明内容
基于此,本发明有必要提供一种光学镜头的仿真分析方法及系统,以解决至少一个上述技术问题。
为实现上述目的,一种光学镜头的仿真分析方法,包括以下步骤:
步骤S1:获取光学镜头结构图纸;根据光学镜头结构图纸确定装配关系,得到装配关系数据;根据装配关系数据构建光学镜头模型;
步骤S2:根据光学镜头模型进行光线追迹模拟,得到光线追迹数据;基于光线追迹数据进行成像偏移分析,得到成像偏移数据;根据成像偏移数据进行感光芯片偏心分析,得到感光芯片偏心数据;
步骤S3:根据感光芯片偏心数据进行镜头热稳定性检测,得到镜头热稳定性数据;基于光线追迹数据进行斯特列尔比分析,得到斯特列尔比数值;根据斯特列尔比数值进行镜片翘曲检测,得到镜片翘曲数据;
步骤S4:根据镜头热稳定性数据对镜片翘曲数据进行材料应力松弛分析,得到材料应力松弛数据;根据材料应力松弛数据进行微裂纹检测,得到微裂纹数据;将微裂纹数据输入至光学镜头模型,并执行像差仿真计算,得到像差仿真数据;根据像差仿真数据生成光学镜头缺陷报告,以执行制造工艺改进任务。
本发明通过获取光学镜头结构图纸并根据装配关系构建光学镜头模型,实现了对镜头整体结构的准确建模,保证了仿真基础数据的精确性和完整性;通过基于光学镜头模型进行光线追迹模拟及成像偏移分析,能够深入揭示光路中的偏差及成像点的具体偏移特征,进而准确识别感光芯片偏心现象,提升了成像质量评估的精度;结合感光芯片偏心数据开展镜头热稳定性检测,有效模拟并评估镜头材料在动态温度环境下的热膨胀和变形行为,从而保障镜头在复杂工况下的热稳定性能;基于光线追迹数据进行斯特列尔比分析和镜片翘曲检测,细致反映镜头波前误差及翘曲程度,促进对光学性能退化的早期预警;通过对镜头热稳定性数据与翘曲数据进行材料应力松弛分析,进一步揭示材料疲劳与松弛演变过程,提高了对微裂纹生成与扩展风险的监控能力;将微裂纹数据反馈至光学镜头模型并执行像差仿真,增强了缺陷对整体光学性能影响的综合评估能力;最终通过生成光学镜头缺陷报告,为制造工艺改进提供精准依据,实现了从结构建模、光学仿真、力学分析到缺陷反馈的完整闭环,有效提升了仿真分析的系统性与自动化水平,显著增强了光学镜头设计与制造的可靠性和性能优化能力。
优选的,本说明书还提供一种光学镜头的仿真分析系统,用于执行如上所述的光学镜头的仿真分析方法,该光学镜头的仿真分析系统包括:
光学镜头模型构建模块,用于获取光学镜头结构图纸;根据光学镜头结构图纸确定装配关系,得到装配关系数据;根据装配关系数据构建光学镜头模型;
感光芯片偏心分析模块,用于根据光学镜头模型进行光线追迹模拟,得到光线追迹数据;基于光线追迹数据进行成像偏移分析,得到成像偏移数据;根据成像偏移数据进行感光芯片偏心分析,得到感光芯片偏心数据;
镜片翘曲检测模块,用于根据感光芯片偏心数据进行镜头热稳定性检测,得到镜头热稳定性数据;基于光线追迹数据进行斯特列尔比分析,得到斯特列尔比数值;根据斯特列尔比数值进行镜片翘曲检测,得到镜片翘曲数据;
光学镜头工艺改进模块,用于根据镜头热稳定性数据对镜片翘曲数据进行材料应力松弛分析,得到材料应力松弛数据;根据材料应力松弛数据进行微裂纹检测,得到微裂纹数据;将微裂纹数据输入至光学镜头模型,并执行像差仿真计算,得到像差仿真数据;根据像差仿真数据生成光学镜头缺陷报告,以执行制造工艺改进任务。
本发明的光学镜头的仿真分析系统,该系统能够实现本发明任意一种光学镜头的仿真分析方法,用于联合各个模块之间的操作与信号传输的媒介,以完成光学镜头的仿真分析方法,系统内部模块互相协作,提高了镜头设计的精度和制造工艺改进的针对性与可靠性。
附图说明
通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施所作的详细描述,本发明的其它特征、目的和优点将会变得更明显:
图1为本发明一种光学镜头的仿真分析方法的步骤流程示意图;
图2为本发明中步骤S1的详细步骤流程示意图;
图3为本发明中步骤S4的详细步骤流程示意图;
本发明目的的实现、功能特点及优点将结合实施例,参照附图做进一步说明。
具体实施方式
下面结合附图对本发明专利的技术方法进行清楚、完整的描述,显然,所描述的实施例是本发明的一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域所属的技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
此外,附图仅为本发明的示意性图解,并非一定是按比例绘制。图中相同的附图标记表示相同或类似的部分,因而将省略对它们的重复描述。附图中所示的一些方框图是功能实体,不一定必须与物理或逻辑上独立的实体相对应。可以采用软件形式来实现功能实体,或在一个或多个硬件模块或集成电路中实现这些功能实体,或在不同网络和/或处理器方法和/或微控制器方法中实现这些功能实体。
应当理解的是,虽然在这里可能使用了术语“第一”、“第二”等等来描述各个单元,但是这些单元不应当受这些术语限制。使用这些术语仅仅是为了将一个单元与另一个单元进行区分。举例来说,在不背离示例性实施例的范围的情况下,第一单元可以被称为第二单元,并且类似地第二单元可以被称为第一单元。这里所使用的术语“和/或”包括其中一个或更多所列出的相关联项目的任意和所有组合。
为实现上述目的,请参阅图1至图3,本发明提供了一种光学镜头的仿真分析方法,所述方法包括以下步骤:
步骤S1:获取光学镜头结构图纸;根据光学镜头结构图纸确定装配关系,得到装配关系数据;根据装配关系数据构建光学镜头模型;
本实施例中,获取的光学镜头结构图纸为标准化二维CAD格式文件,文件类型为*.dwg或*.dxf,图纸包含光学镜头的全部组件编号、尺寸参数、连接方式、镜片位置、材料类型标注。采用AutoCAD Mechanical 2024对该图纸进行结构边界识别操作,调用其几何识别模块将所有光学组件轮廓线段转化为可识别结构区域,并利用拓扑分析算法识别装配接触边界。接触边界数据转化为结构装配约束关系,以表格形式记录各镜片、垫片、镜筒间的连接顺序、配合间隙(单位为μm,精度控制在±1μm以内)、结构固定点位置(以X、Y、Z三轴坐标形式记录)及装配公差(依据ISO 286-2H7/f7标准设定)。在装配关系数据提取后,采用Siemens NX 2306建模工具进行三维装配建模,利用装配建模模块输入各镜片材质参数(例如折射率n=1.5168±0.0002,阿贝数V=64.1,材料为N-BK7),镜筒材质(如硬铝合金AL6061-T6,热膨胀系数23.6×10-6/K),统一以毫米为单位输入尺寸数据,构建完整光学镜头三维结构模型。
步骤S2:根据光学镜头模型进行光线追迹模拟,得到光线追迹数据;基于光线追迹数据进行成像偏移分析,得到成像偏移数据;根据成像偏移数据进行感光芯片偏心分析,得到感光芯片偏心数据;
本实施例中,基于完成的三维镜头结构模型,调用ZemaxOpticStudio 23.2版本进行光线追迹模拟。在系统中导入镜头三维数据文件(格式为.STEP),设置主光线入射角为0°、入射波长范围为486.1nm(蓝)、587.6nm(黄)、656.3nm(红)三种设计波长,光源类型为点光源,设置模拟光线总数为1,000,000条,每条光线分配能量权重为1×10-6W。启用完全非序列追迹模式,分析所有界面反射、折射、散射情况,输出光线追迹数据表,字段包含每条光线的起始点、折射界面、最终成像点三维坐标(单位为μm)、路径长度、能量衰减率等。将光线追迹数据导入Matlab R2023a环境中,编写程序计算各光线终点的像面坐标与理论焦点之间的欧氏距离,得到偏移向量(Δx,Δy,Δz),偏移向量由公式Δ=√[(x-x0)2+(y-y0)2+(z-z0)2]计算。再根据该向量,利用arctangent函数计算出偏移角度θ=arctan(Δr/f),其中Δr为像面平面距离偏移,f为镜头设计焦距(如f=50mm)。将偏移角度数据在像面上按1mm×1mm网格划分统计,形成偏移方向直方图。
步骤S3:根据感光芯片偏心数据进行镜头热稳定性检测,得到镜头热稳定性数据;基于光线追迹数据进行斯特列尔比分析,得到斯特列尔比数值;根据斯特列尔比数值进行镜片翘曲检测,得到镜片翘曲数据;
本实施例中,感光芯片偏心数据被以(x,y,z)偏离矢量和偏离时间为基础数据输入至热稳定性检测系统,采用ANSYS Mechanical 2023R1进行镜头材料的热载荷分析。设置热膨胀系数范围为1.2×10-6/K至4.8×10-6/K,热传导率为0.3W/(m·K)至1.8W/(m·K),根据不同镜片材料如N-SF6、CaF2输入具体参数值。环境温度设定范围为-20℃至85℃,温度变化梯度为2℃/min,仿真步长为10s,镜筒固定端面施加热边界条件,镜片界面施加接触热阻r=0.002K·m2/W。仿真结束后提取各结构点的热膨胀位移向量并对比芯片中心漂移量,输出热稳定性数据图表。同时在Zemax中载入光线追迹数据,通过内置StrehlRatio分析器进行波前差数据提取,计算点扩散函数(PSF),并根据实际光斑能量归一化与理想衍射极限的比值,得出斯特列尔比数值(一般范围为0.6~0.95)。对比斯特列尔比阈值0.8,若数值低于该阈值则启动翘曲检测。镜片翘曲检测基于三维变形网格分析,使用GOM InspectProfessional提取面内位移与法向位移,分析最大翘曲点位置及其对应翘曲量(单位为μm)。
步骤S4:根据镜头热稳定性数据对镜片翘曲数据进行材料应力松弛分析,得到材料应力松弛数据;根据材料应力松弛数据进行微裂纹检测,得到微裂纹数据;将微裂纹数据输入至光学镜头模型,并执行像差仿真计算,得到像差仿真数据;根据像差仿真数据生成光学镜头缺陷报告,以执行制造工艺改进任务。
本实施例中,首先利用镜头热稳定性分析中的温度分布图数据,在ANSYSWorkbench中生成热膨胀响应应力图,将热源输入作为体积热流q=5.5×103W/m3,导入镜片结构网格模型,网格尺寸设定为0.1mm,材料属性包含杨氏模量E=72GPa,泊松比ν=0.23。将获得的热应变ε_th=αΔT与机械应变相叠加,得到总变形矢量。通过最大变形点与前期镜片翘曲点重叠区域,计算翘曲变形增长率,并在该区域设定初始残余应力σ0=15MPa,分析30min持续热载下的应力衰减趋势。材料应力松弛分析采用标准Prony模型,设置松弛时间常数τ=300s、模量比g1=0.2,计算应力衰减曲线,提取t=900s时的残余应力σ_r作为松弛参考值。使用超声相控阵探头(中心频率为10MHz,探测灵敏度0.01mm)对对应镜片区域进行微裂纹检测,获取裂纹回波时间和反射幅值。依据裂纹回波反射能量低于基线10dB处判定裂纹存在,若裂纹长度超过30μm即作为数据标记输入至像差仿真模块中,调用Zemax内置Aberration分析器,按五项Zernike多项式项系数拟合生成像差仿真报告,输出球差、慧差、彗差数据,最终汇总形成结构缺陷报告。
优选的,步骤S1包括以下步骤:
步骤S11:获取光学镜头结构图纸;
本实施例中,所获取的光学镜头结构图纸为三视图CAD图纸,文件格式为DWG,包含前视图、剖视图和轴测图。图纸由结构设计部门在SolidWorks中导出,标注内容包括每一光学组件的几何尺寸(单位mm,精度±0.01mm)、相对坐标系、材料属性标识码(例如镜片编号L1-L6,材料代码N-BK7、N-SF10等)。图纸导入Autodesk AutoCAD Mechanical 2023环境,使用“边界识别”插件启用图元分组,将连续边框标识为组件候选区域,并进行图层区分,图纸中以不同图层分别表示透镜、光圈、支架等部件,统一坐标基准以光轴为Z轴正方向。导入完成后进行校验,确保图纸中所有组件边界闭合,避免在后续识别中造成误差。
步骤S12:基于光学镜头结构图纸识别组件结构边界,得到组件结构边界数据;
本实施例中,使用基于图像边缘追踪与几何拓扑分析结合的算法对CAD图纸进行组件边界提取操作。调用OpenCV 4.8的轮廓检测函数cv2.findContours对图纸中各个组件的边界进行像素级识别,并结合几何特征比对规则(如椭圆形用于透镜识别、矩形用于支架识别)进行组件分类。轮廓数据通过最小外接矩形拟合方式转换为结构边界框坐标形式(x_min,y_min,x_max,y_max),单位为mm,转换精度为0.01mm。结构边界数据在提取后按组件编号与材料类型形成字典结构,导出为结构边界表,供后续结构约束分析使用。
步骤S13:根据组件结构边界数据进行组件约束分析,得到组件约束关系数据;
本实施例中,通过分析各组件边界之间的接触面位置、重叠区域及夹角关系,识别组件间的连接方式。采用有限面接触判定算法计算边界共享长度,设定接触阈值为5%以上重叠长度即认定为结构连接。若接触位置在X-Y平面,且接触宽度小于镜片直径10%,则标记为垫圈接触;若边界完全嵌套则判定为螺纹配合或滑动连接。约束类型分为“固定”“过盈”“间隙”“滑动”“弹性”,将结果整理为组件连接矩阵并赋值编号,如L1-支架为固定连接(编号01),L2-垫圈为弹性连接(编号04)。形成包含组件编号、接触面方向、连接类型、连接力路径的组件约束关系数据表。
步骤S14:基于组件约束关系数据推导结构连接路径,得到结构连接路径数据;根据结构连接路径数据确定结构装配顺序,得到结构装配顺序数据;
本实施例中,采用基于图遍历的结构连接路径推导方法,以组件约束关系数据为输入,构建无向图模型,节点为组件,边为连接关系。使用深度优先搜索(DFS)算法提取各组件的最短连接路径,识别存在并联或串联结构的子路径组。为构建装配顺序,依据拓扑排序算法将无环结构图转化为线性序列,同时按照实际装配规则设置顺序优先级(如支架安装优于镜片插入,镜片插入优于螺环旋入),最终形成结构装配顺序数据列表,格式为[L1,垫圈1,支架,L2,垫圈2,固定圈],并存入装配顺序控制文件中。
步骤S15:根据结构装配顺序数据进行装配关系建模,得到装配关系数据;
本实施例中,装配关系建模在PTC Creo Parametric 10.0中完成。导入前述装配顺序数据,并加载各组件的标准三维几何模型(STEP格式,分辨率为0.01mm)。采用基于装配基准面自动约束方式,将镜片的外圆与镜筒内壁对齐,将定位台阶面设为接触界面,施加距离约束为0mm,旋转自由度锁定。对所有镜片组件施加沿Z轴的压紧力方向(模拟弹性装配),装配仿真中设置过盈值为±3μm,依据ISO 286IT6级公差要求建立所有装配对的关系映射表,包括装配件ID、连接方式、轴向位置、径向位置、偏心限值(控制在±5μm以内)等。输出装配关系数据结构体至本地数据库供后续调用。
步骤S16:根据装配关系数据构建光学镜头模型。
本实施例中,调用Siemens NX 2306高级建模模块,根据装配关系数据依序导入各组件模型,并利用NX装配约束模块精确定位。镜头坐标原点设置为第一镜片L1的中心点,Z轴方向为光轴方向,组件装配顺序严格按照结构装配顺序列表。镜片间隙采用公差约束形式建模(如L2与垫圈之间为0.02mm±0.005mm间隙),并设定每一镜片的材料属性,通过内置材料库赋予相应折射率(如n=1.647)、密度、热膨胀系数(如3.4×10-6/K)。建模完成后生成整体镜头3D结构文件(格式为.x_t),并在质量属性中嵌入各组件装配状态与编号信息,用于后续的仿真数据调度与光线追迹系统加载。
优选的,步骤S2中根据光学镜头模型进行光线追迹模拟包括:
根据光学镜头模型提取光学镜头表面属性信息;
本实施例中,三维光学镜头模型的结构数据以.STEP格式通过三维CAD软件导入至Siemens NX 2206平台。在Siemens NX环境中启用“分析”模块下的“曲面评估”功能,对每个镜片组件执行逐片识别操作。每个镜片的外表面与内表面均需进行独立识别和属性提取,提取内容包括:曲率半径、主截面位置、曲面中心点三维坐标、法线方向向量及表面法线连续性。曲率半径以毫米为单位,测量范围限制为1mm至150mm,提取精度固定为0.001mm,所提取的三维坐标值需满足结构数据中XYZ坐标轴的一致性约束,允许误差不超过±0.002mm。为提取镜片表面的镀膜参数,需根据结构图纸中标注的材料编码查询ERP材料编码系统,定位至光学镀膜参数库。从该数据库中读取每一片镜片表面对应的镀膜类型(如MgF2单层增透膜、Ta2O5/SiO2多层介质膜),并同步提取对应波段范围(如450nm至650nm)、膜层厚度(如90nm至130nm)、光谱透射率(如≥98%)以及膜层基底材料(如K9、N-BK7)。针对无明确标注材料编号的镜片,使用图纸上的光路方向和镀膜箭头图示,结合透镜位置逻辑反推其作用表面后,再进行数据库匹配。光学镜片表面的微观粗糙度通过激光共聚焦显微镜(型号:Keyence VK-X200)进行扫描测量,扫描面积设定为100μm×100μm,扫描间距为0.2μm,纵向分辨率设定为10nm,结果中提取平均表面粗糙度Ra参数,并记录其标准偏差。Ra值范围控制在2nm至10nm之间,任何超过该范围的表面需记录为异常。所有上述结构参数与材料参数在提取完成后,录入统一的结构-光学接口文档模板(Excel格式,字段包括:组件编号、表面序号、曲率、厚度、材料名称、镀膜名称、波段范围、粗糙度、提取时间、提取人等),并按镜片序号进行自动编号归档,导出为.csv格式文件,为后续光线传播仿真与性能分析提供输入数据。整个操作过程禁止遗漏组件标识,并对每一片镜片的内外表面独立编号,确保模型结构与材料物理属性的一一对应关系。
基于光学镜头表面属性信息计算镜片折射率;
本实施例中,镜片材料根据结构图纸中的材料标识号从材料数据库中检索,确定具体材质,如N-BK7、FusedSilica等。然后调取该材料在目标工作波段下的实测折射率值。以550nm波长为基准,对应波段范围设定为400~700nm。材料数据库中记录了各光学玻璃的折射率值,以标准实验数据为来源,精度为0.0001。所有镜片材料的折射率数据在当前波长范围内按10nm间隔存储,并可直接用于后续光线传播路径的计算。
根据镜片折射率进行光线传播模拟,得到光线传播轨迹数据;
本实施例中,在ZemaxOpticStudio平台中选择“顺序光线追迹模式”,将所有镜片的几何结构和材料参数手动录入软件。设定入射光源为平行光源,光斑直径为10mm,波长为550nm,发射方向平行于镜头光轴。系统按照镜片表面形状和折射率,自动进行光线的折射路径计算。每条光线从物侧进入镜头系统,依次穿过多个镜面和透镜,并在像面处终止。软件输出包含每条光线的入射点位置、出射点位置、光线传输方向、镜片交互记录等数据,这些数据被保存为带有光线编号和追迹序列号的文本文件,用于后续分析。
根据光线传播轨迹数据识别成像点位,得到像面成像分布数据;
本实施例中,取Zemax输出中所有光线终点坐标,将其统一投影到设定的图像传感器平面上。设定图像传感器的尺寸为6.4mm×4.8mm,分辨率为2048×1536像素,单个像素尺寸为3.1μm。将所有光线交点按照其位置分配到对应的像素格中,统计每个像素点的命中光线数量,并记录为像面光斑强度值。采用Python中的图像处理库(如OpenCV)读取这些强度分布数据并生成二维灰度图,图像中的高亮区域对应光线集中点,暗区为光斑边缘区域。最终得到的像面成像分布数据为每个像素点的空间坐标和光强数值。
基于像面成像分布数据进行光束能量集中度分析,得到能量聚焦数据;
本实施例中,读取上述灰度图像数据,识别能量最集中的光斑中心区域。寻找光斑中灰度值最大的位置点,作为能量中心点。然后,从该中心向外测量其覆盖80%总能量的最小圆形区域,并记录该区域的半径作为聚焦半径。进一步提取光斑边缘清晰度,通过比较不同能量环层之间的灰度梯度,判断光束是否存在明显扩散。若聚焦半径小于30μm,且灰度梯度变化率超过设定阈值(如10灰度值/μm),则认为为高质量聚焦。最终输出该聚焦点的坐标、聚焦半径、最大光强、能量集中面积等参数。
基于能量聚焦数据计算焦点偏移量;
本实施例中,将能量中心点的坐标与图像中心位置(即光轴理论成像点)进行对比。图像中心坐标为(1024,768)像素位置,对应实际物理位置为(3.17mm,2.38mm)。测量能量中心坐标与此理想位置的实际距离,定义为焦点偏移量,测量单位为微米。偏移量通过计算两个坐标点之间的直线距离得出,并同时记录方向角度,即偏移的方向是朝左、右、上或下。该偏移距离与方向数据用于后续校正光线追迹时的系统像差基准。
基于焦点偏移量进行光线追迹分析,得到光线追迹数据。
本实施例中,根据焦点偏移结果,重新设定追迹参数,重新启动Zemax进行高密度光线追迹。此次追迹设定每条光线的出射角度范围为±5°,光线发射数量为3万条。追迹记录每条光线在各镜片交互点上的位置、方向向量、能量损耗、反射或透射属性。追迹完成后导出详细光线数据表,包含每条光线的完整路径、镜片交互点的坐标、入射/出射角度以及是否命中像面中心区域。通过对这些光线数据分析,可进一步明确哪一类光线因哪一镜片表面产生偏移,进而对成像系统进行定位优化。
优选的,步骤S2中基于光线追迹数据进行成像偏移分析包括:
基于光线追迹数据提取光线像面三维坐标,得到光线像面三维坐标数据;
本实施例中,采用ZemaxOpticStudio 22.3版本对光学镜头进行光线追迹模拟,输出格式设置为.RAY,输出字段包括每条光线的出射位置坐标(X,Y,Z)、入射角度(θx,θy)以及功率归一化值。仿真波长设置为550nm,光线总数设置为100000条,分布为高斯光束中心对称分布,光线在主光轴±5°锥角范围内发散。像面坐标参考以系统光轴作为Z轴,设定像面在Z=0mm平面,单位统一为mm。将模拟结束后输出的.RAY数据导入Python 3.10环境中,调用NumPy和Pandas模块进行结构化处理。提取光线终点坐标点(X,Y,Z)组成三维矩阵,输出为“像面坐标数据矩阵”,保存为.csv文件,字段为RayID,X,Y,Z,每个字段数据保留至小数点后六位。
根据光线像面三维坐标数据计算偏移向量,得到成像点偏移向量数据;
本实施例中,依据理想聚焦点坐标定义,即系统设计主光轴在像面上的焦点位置为(X=0,Y=0,Z=0),对所有实际光线终点位置执行向量差计算。具体公式为每条光线偏移向量V_i=(X_i,Y_i,Z_i)-(0,0,0),得到三维偏移向量阵列。向量计算在MatlabR2022b平台中完成,使用矩阵操作批量处理。结果以Vx、Vy、Vz三列组成偏移向量数据集,单位为mm,输出格式为.csv,文件中每行对应一条光线的偏移向量。
根据成像点偏移向量数据计算偏移角度,得到偏移角度数据;
本实施例中,每条偏移向量的偏移角度计算为该向量与Z轴正向(理想聚焦方向)之间的夹角。使用余弦反函数计算公式θ=arccos(Vz/|V|),其中|V|为偏移向量模长,由三维欧几里得范数计算得出。结果统一转换为角度单位(°),保留至小数点后两位。所有偏移角度记录于表格中,字段为RayID、偏移角度,输出为偏移角度数据文件。为了排除异常偏移光线,设置剔除阈值为偏移角度大于15°的光线不参与后续统计,作为系统偏差筛查机制。
基于偏移角度数据进行偏移方向分布统计,得到成像偏移方向数据;
本实施例中,在Python环境下利用Matplotlib与Seaborn模块对偏移角度对应的方向进行可视化分布分析。将偏移向量在XY平面投影后计算方向角单位为度,分布范围设定为0°至360°。所有方向角分布以10°为分箱粒度统计频次,形成36个方向段的直方分布图,输出为偏移方向频次表(字段为角度区间、频次)。方向频次超过总光线数5%的方向段被标记为偏移集中方向,用于后续聚焦误差来源判断。
根据成像偏移方向数据计算偏移幅度,得到偏移幅度数据;
本实施例中,通过计算每条偏移向量在XY平面的投影模长,得到偏移幅度值,公式为R=sqrt(X2+Y2)。所有计算基于NumPy进行矢量运算,结果保留三位小数,单位为mm。将幅度值加入RayID标识,组成偏移幅度表。设置幅度异常筛选阈值为0.5mm,超过该值的光线需标记其偏移位置坐标,用于后续微裂纹误差分析对比。偏移幅度以五个等级进行区分(<0.1mm、0.1-0.2mm、0.2-0.3mm、0.3-0.5mm、>0.5mm)并统计每个等级光线数量,用于后续图像质量等级分级参考。
基于偏移幅度数据评估成像焦点偏移程度,得到成像偏移数据。
本实施例中,根据前述偏移幅度等级结果进行成像偏移程度评估,设定如下评估标准:Ⅰ级(平均偏移幅度<0.1mm)、Ⅱ级(0.1-0.2mm)、Ⅲ级(0.2-0.3mm)、Ⅳ级(0.3-0.5mm)、Ⅴ级(>0.5mm)。对全体光线偏移幅度计算平均值和标准差,生成偏移统计摘要表,字段包括平均值、最大值、最小值、标准差、偏移等级。将成像偏移数据以JSON格式结构化输出,并关联镜头ID与仿真任务编号进行归档,作为成像误差评价核心数据供后续感光芯片偏心分析调用。
优选的,步骤S2中根据成像偏移数据进行感光芯片偏心分析包括:
根据成像偏移数据统计成像偏移时段,得到成像偏移时段数据;
本实施例中,将上一阶段获得的成像偏移数据按时间戳顺序排列,数据记录频率为每秒10帧。设置偏移幅度分析阈值为0.3mm,低于该阈值视为无偏移状态,高于阈值的连续帧记录为偏移状态。通过Python脚本设定逻辑判断条件,对连续偏移状态的帧段进行标记,统计开始时间与结束时间,计算每个偏移时段的持续时长。生成数据字段包括:偏移时段编号、起始帧号、终止帧号、持续时间(单位ms)、最大偏移幅度。结果导出为.csv格式作为后续封装层变形检测的时间依据。
基于成像偏移时段数据进行封装层变形检测,得到封装层变形数据;
本实施例中,使用FLIR A615红外热像仪对镜头封装区进行热响应成像,热像图分辨率为640×480,帧率设置为每秒60帧。以偏移时段为索引提取相应时间段的热像序列。使用OpenCV进行图像配准与差分分析,差分阈值设置为2℃,对比封装层边缘像素点热响应变化趋势。在Matlab中编写脚本,通过提取热图灰度变化梯度计算封装层热胀率,设定材料参考热膨胀系数为1.2×10-6/K。当图像灰度变化幅度大于15个灰度级,且区域面积连续超过150像素点,则判定该区域存在热变形,输出封装层变形掩膜图像,并统计变形区域的最大位移值,单位为μm。
基于封装层变形数据确定光电二极管阵列错位程度,得到光电二极管阵列错位数据;
本实施例中,将红外热成像检测出的封装变形区域与感光芯片上的光电二极管排布图(由芯片设计CAD文件导入)进行坐标匹配分析。分析方法采用坐标映射算法,将封装层变形边界转换至光电阵列位置图中,检测是否有变形区域覆盖任意光电二极管通道。当任意变形位移超过10μm且重叠光电通道数大于5个,即视为存在阵列错位现象。错位程度以受影响通道数量与总通道数比值表示,同时记录错位方向(X或Y轴)及最大偏移像素坐标。输出字段包括错位区域编号、通道起止编号、最大错位值(μm)、错位方向、错位覆盖率(%)。
基于光电二极管阵列错位数据进行焊接空洞检测,得到焊接空洞数据;
本实施例中,以错位区域对应的物理位置为中心,在工业CT设备(如YXLON FF20CT)中进行微焦点三维断层扫描。扫描参数设置为80kV、90μA,体素分辨率为2μm,采集2000幅层面图像。利用VGStudio MAX对扫描图进行三维重构,并设定材料密度对比阈值为0.1g/cm3,识别内部气泡或低密度焊接缺陷。所有空洞的体积进行统计分析,若任一空洞体积超过50μm3或总空洞数超过3个,则输出为空洞异常状态。结果数据格式为JSON,字段包括空洞编号、体积、中心坐标、所属引脚编号、缺陷类别。
根据焊接空洞数据识别芯片基板应力集中区域;
本实施例中,采用有限元分析工具ANSYS Mechanical对芯片焊接层及基板进行热-结构耦合仿真。输入焊接空洞的三维坐标与尺寸信息,设定基板材料参数(弹性模量120GPa,泊松比0.3)与焊点材料参数(SnAgCu合金,弹性模量55GPa,屈服应力60MPa)。设定工作环境温度周期为-20℃至85℃,加载周期为500次。模拟焊接引脚与基板间的热循环变形,引入空洞影响区域局部削弱力学约束,观察等效应力分布变化。若某区域Von Mises应力超过50MPa且面积连续大于0.02mm2,则定义为应力集中区域,输出区域坐标与对应应力峰值。
基于芯片基板应力集中区域进行感光芯片偏心分析,得到感光芯片偏心数据。
本实施例中,将应力集中区域与芯片坐标原点进行空间几何投影分析,计算其分布重心偏移量。以设计芯片中心为原点,设定容许偏心容差为±5μm。统计所有应力集中点的平均偏移方向与位移向量,结果保留三位小数,单位为μm。若偏移量超过设计容差,则根据方向分量判定芯片整体偏心趋势(如向左上角偏心5.32μm)。偏心数据记录格式为.csv,字段包括:芯片编号、偏移X值、偏移Y值、偏移总量、方向象限、判断结论(是否偏心)。最终结果供镜头热稳定性检测模块调用。
优选的,步骤S3包括以下步骤:
步骤S31:将感光芯片偏心数据输入镜头热稳定性检测系统;
本实施例中,感光芯片偏心数据以表格文件形式(.csv格式)导入至热稳定性检测系统的数据接收模块。偏心数据表格应包含字段:芯片编号、X向偏移值(单位μm)、Y向偏移值(单位μm)、总偏移量(单位μm)、偏移方向角度(单位°)。系统基于读取脚本对字段顺序与数值类型进行校验,偏移值数据保留三位小数,超出±20μm的值设定为错误输入并返回警告。合格数据经解析后作为初始结构偏移边界条件写入热应力计算的初始几何配置中,供后续热环境仿真加载。
步骤S32:设定镜头材料的热膨胀系数为1×10-6/K至5×10-6/K以及热传导率为0.1W/(m·K)至2.0W/(m·K);
本实施例中,调用镜头各组件的材料数据库,按镜头结构图中镜片序号提取镜片基材参数。所有玻璃基材统一设定热膨胀系数范围为1.2×10-6/K至4.6×10-6/K,金属筒体设定为2.3×10-6/K,镜片的热传导率设定为0.85W/(m·K),筒体材料设定为1.6W/(m·K)。参数设定通过ANSYS Material Editor进行手动输入,并锁定属性避免仿真过程中自动更新。所有参数数值精度设置为小数点后6位,且单位换算统一为国际单位制。镜片与芯片间的粘结材料热膨胀系数为3.0×10-6/K,传导率为0.25W/(m·K),由供应商材质检验报告导入并验证数据一致性。
步骤S33:设定环境温度变化为-20℃至80℃、温度变化速率为1℃/min至10℃/min以及热应力阈值为5MPa至50MPa;
本实施例中,在热边界设定过程中,利用热稳定性检测系统的温控模拟模块设置环境温度曲线。该曲线分为线性升温阶段与降温阶段,温度初始值设为-20℃,终止值为80℃,曲线斜率对应温度变化速率,分别测试1℃/min、5℃/min与10℃/min三种情形,实验周期最长不超过200分钟。温度控制载荷以边界加载方式作用于镜头外壁面。热应力阈值设定范围为5MPa至50MPa,作为应力判定条件输入至仿真控制参数中。热应力分布通过最大主应力准则进行计算,所有超过阈值的区域将被系统标注为风险区域。仿真精度要求网格划分尺寸不超过0.2mm,采用四面体网格元素进行体积离散。
步骤S34:运行镜头热稳定性检测模块,并输出镜头热稳定性数据;
本实施例中,仿真开始前先通过结构检查模块确保所有材料属性、初始偏心状态与边界条件完整且正确,随后调用热-结构耦合求解器执行模拟任务。每次仿真设定时间步长为10秒,总仿真时间与温度变化同步(如80分钟升温则仿真时长设为4800s),采用瞬态热传导-热应力耦合分析法。仿真完成后系统自动提取镜头中各光学元件在每个时间点的最大热应力、最大变形量以及变形方向。输出结果存储为.xlsx和.vtk格式,字段包含:组件编号、应力最大值(单位MPa)、热变形位移(单位μm)、发生时间点(单位s)、对应环境温度。变形方向以极角形式记录,角度范围为0°~360°。
步骤S35:基于光线追迹数据进行斯特列尔比分析,得到斯特列尔比数值;
本实施例中,使用ZemaxOpticStudio对光线追迹数据进行点扩散函数(PSF)提取操作。通过仿真模块输入光学系统中的主光轴参数、波长范围(400nm~700nm)以及入射角度(0°、5°、10°)。设定分辨率为每像素0.01mm,对各焦平面上获得的PSF图像进行离轴计算,提取斯特列尔比(Strehl Ratio)。Strehl比的计算参考理想系统中中央亮斑强度的最大值,实际光学系统中值低于0.8则标记为光学性能下降。所有斯特列尔比结果按镜片编号及光轴位置进行组织,输出字段包括:测点编号、入射波长、入射角、实际PSF强度、理论强度、斯特列尔比值,单位为无量纲比值(最大为1.0)。
步骤S36:根据斯特列尔比数值进行镜片翘曲检测,得到镜片翘曲数据。
本实施例中,分析过程通过比较同一镜头组件在不同温度下的斯特列尔比变化趋势,并结合Zemax中获取的表面变形图(Sag Map)评估镜片曲率变化。在温度80℃时选取光轴中心及边缘共9个点位,通过Sag Map读取镜片表面Z向位移值,记录单位为μm,记录范围为0μm~300μm。将温升前(25℃)与温升后(80℃)两组数据进行差值运算,得到曲率变化量。若相邻区域的翘曲变形大于10μm且呈现连续变形趋势(翘曲面积超过50mm2),则标记为镜片翘曲区域。镜片翘曲数据按组件输出,包括镜片编号、变形最大值、变形方向(X或Y)、曲率变化量、检测温度。输出结果同步至镜头缺陷数据库供后续分析使用。
优选的,步骤S35包括以下步骤:
步骤S351:基于光线追迹数据提取波前误差信息;根据波前误差信息进行波前畸变分析,得到波前畸变数据;
本实施例中,将已完成光线追迹的数据导入至ZemaxOpticStudio中的“WavefrontMap”模块,设置观测面为像面位置,输入波长为550nm,视场角设置为0°、5°、10°三种角度,系统自动输出各视场下的波前偏差数据。系统采用RMS波前误差标准,提取参考球面与实际波前之间的路径差值,以纳米(nm)为单位,每个采样点间距为0.1mm,波前采样点数量设置为64×64。所有路径差值根据Zernike多项式展开提取Z4至Z37项,依次映射球差、彗差、像散、像差等高阶畸变信息,最终形成波前畸变数据矩阵。该矩阵导出为.csv格式,包含各项畸变编号、对应Zernike项系数、单位为纳米。
步骤S352:根据波前畸变数据进行点扩散函数计算,得到点扩散函数数据;
本实施例中,基于上述Zernike系数矩阵,在Matlab仿真环境中调用PSF(点扩散函数)计算模块,将光波波前通过快速傅里叶变换(FFT)处理得到复振幅分布,再对其振幅求模平方后输出强度图,即为点扩散函数图像。图像分辨率为512×512像素,像素间隔设定为1μm,傅里叶变换窗口函数采用Hanning窗以抑制边缘伪影。输出的点扩散函数图像采用16位灰度图保存为.GIFf格式,并同步输出PSF主峰位置、主峰强度、能量扩散范围等数值信息,以表格方式记录,包括“像点编号、主峰强度值(归一化后)、扩展半径(μm)、能量半径(μm)”等字段。
步骤S353:根据点扩散函数数据绘制光斑分布图,得到实际光斑分布数据;
本实施例中,调用Python的Matplotlib库对.GIFf格式的点扩散函数图像进行可视化处理。图像绘制采用热力图方式,X轴和Y轴单位为微米(μm),色阶表示光强分布,强度范围设定为0至1。主光轴中心位置设为(0,0),根据PSF主峰强度位置进行中心对齐处理。实际光斑分布图图像尺寸统一设置为100μm×100μm,并以0.5μm为采样间距绘制二维光强热图。图像中光斑主峰边缘使用10%能量轮廓线标示,便于后续归一化处理,并保存为.png格式图像,图像分辨率300dpi。所有图像编号与前一步对应编号一致,并与Zernike系数表建立一一映射关系。
步骤S354:根据预设的理想衍射光斑分布数据与实际光斑分布数据进行峰值归一化处理,得到归一化强度比值数据;
本实施例中,调用OpenCV图像处理工具对实际光斑图像与理想衍射光斑图像(Airy盘标准图)进行逐像素比对处理。首先将两张图像按中心位置与图像尺寸进行像素对齐,统一图像大小为512×512像素。然后提取每张图像中主峰最大灰度值,将每个像素灰度值除以主峰值进行归一化处理,输出结果为单位灰度分布矩阵(0~1)。再对同位置像素的归一化灰度值进行比值运算,生成归一化强度比值矩阵。该矩阵输出为.csv文件格式,字段为“像素坐标X、像素坐标Y、归一化强度比值”。比值异常点(高于1.2或低于0.2)自动标记为畸变偏移区,并在后续斯特列尔比分析中排除该点。
步骤S355:基于归一化强度比值数据计算斯特列尔比数值。
本实施例中,根据归一化强度比值矩阵,提取中心半径为50μm的区域内所有归一化比值,并求其平均值作为斯特列尔比初值。系统将理想光斑中峰值能量占比设定为标准1.0,将实际光斑中对应区域的平均强度与该标准进行比对,得出实际斯特列尔比数值。若采样区域内存在多个局部极大值点,则仅以最高主峰所在区域参与计算。所有结果统一输出为“镜片编号、测量位置编号、斯特列尔比数值、光斑偏差中心位置、半径内平均归一化比值”等字段,并导出为.xlsx表格文件,精度为小数点后四位。斯特列尔比数值范围控制在0至1之间,不进行负值保留处理,低于0.2的结果标记为失真严重区域。
优选的,步骤S36包括以下步骤:
步骤S361:根据斯特列尔比数值识别成像劣化区域;
本实施例中,导入斯特列尔比数值分布数据至光学分析软件中,该软件具备二维空间数据处理能力。对斯特列尔比数值矩阵进行阈值判定,阈值设定为0.8,低于此阈值的像素点被定义为成像劣化点。基于连通区域算法,对这些劣化点执行8邻域连通性分析,将连通的劣化点归类为同一劣化区域。对每个连通区域提取面积、边界轮廓、重心坐标及最大扩展长度等参数,面积阈值设为50μm2以过滤微小噪声区域。最终输出包含劣化区域数量、每一区域的空间坐标范围及面积的数据库文件。
步骤S362:基于成像劣化区域进行镜片横向压缩检测,得到镜片横向压缩数据;
本实施例中,根据劣化区域,将对应区域的镜片横截面图像导入高分辨率显微镜断层扫描系统,分辨率设定为0.5μm/像素。使用数字图像相关技术(Digital ImageCorrelation,DIC)对连续的镜片表面图像进行像素级别变形追踪,计算横向方向上的位移场。横向压缩值定义为初始截面长度与当前截面长度之差,单位为微米(μm),在10μm以内的微小变形均被精确捕获。对每个劣化区域采集至少3组时间序列图像,时间间隔设定为5分钟,获得横向压缩变化曲线。输出数据包含横向压缩最大值、均值及时间变化率。
步骤S363:基于镜片横向压缩数据计算面内应力梯度,得到面内应力梯度数据;
本实施例中,利用横向压缩量,结合镜片材料的弹性模量和泊松比进行应力计算,弹性模量取70GPa,泊松比为0.23。应用胡克定律将横向应变转换为应力,单位为兆帕(MPa)。通过有限差分法计算相邻像素点之间的应力差,得出面内应力梯度,单位为MPa/μm。面内应力梯度矩阵以二维数组形式存储,矩阵维度对应镜片横截面扫描分辨率。对梯度超过0.5MPa/μm的区域进行高亮标注,并导出梯度图和数值表,包含梯度分布、最大梯度值及梯度集中区域位置。
步骤S364:根据面内应力梯度数据进行镀膜层材料剥落检测,得到镀膜层材料剥落数据;
本实施例中,基于应力梯度图,设定应力梯度剥落阈值为0.6MPa/μm。采用光学显微镜结合扫描电子显微镜(SEM)对高应力梯度区进行表面观察,利用图像分割算法提取剥落区域,剥落边界通过灰度阈值分割,灰度阈值设为120(8位灰度图,范围0-255)。对镀膜层剥落面积进行统计,单位为μm2,剥落厚度通过横截面SEM图测量,范围从50nm至200nm。将剥落区域的空间坐标、面积及厚度信息以数据库形式记录,剥落比例计算为剥落面积占总镀膜面积的百分比。
步骤S365:基于镀膜层材料剥落数据进行镜片相邻层面错动检测,得到镜片相邻层面错动数据;
本实施例中,利用剥落边界数据,导入高分辨率层析扫描系统获得三维层间位移场数据。扫描分辨率为0.1μm,采集相邻两层表面轮廓的空间坐标,通过点云配准算法计算相邻层间的相对位移向量。错动量定义为层间相对位移模长,单位为微米,错动阈值设定为0.5μm,超过阈值的区域标记为错动区域。输出错动向量场图及错动统计表,包含错动最大值、平均值及错动区域空间分布信息。
步骤S366:根据镜片相邻层面错动数据评估镜片翘曲程度,得到镜片翘曲数据。
本实施例中,以错动数据为基础,结合镜片材料的厚度和弹性参数,应用弯曲理论计算镜片局部翘曲曲率,单位为m-1。通过曲率与错动量的映射关系,计算出各局部区域的翘曲半径,数据以二维矩阵形式存储,矩阵元素对应镜片扫描分辨率。翘曲度阈值设为0.001m-1,超过此值区域定义为翘曲高风险区。翘曲分布图以伪彩色图形式展示,数值输出包括最大翘曲度、翘曲面积及风险区坐标。最终数据导出为标准.xlsx文件,便于后续缺陷分析与工艺调整。
优选的,步骤S4包括以下步骤:
步骤S41:根据镜头热稳定性数据绘制温度分布图;基于温度分布图进行材料热膨胀响应计算,从而获得热膨胀变形数据;
本实施例中,将镜头热稳定性检测系统输出的温度场数据导入有限元分析软件(如ANSYS或COMSOL Multiphysics),温度数据格式采用二维矩阵形式,数据单位为摄氏度(℃),空间分辨率不低于0.01mm。利用软件的热传导模块,以热传导方程为基础,结合镜头材料的热导率(取值范围0.1W/(m·K)至2.0W/(m·K))、比热容(900J/(kg·K)至1200J/(kg·K))及密度(2200kg/m3至2500kg/m3),进行三维温度场重建,生成温度分布图。温度场模拟中环境边界条件设定为对流换热,换热系数取5W/(m2·K),边界温度根据实际测试数据设定,变化范围为-20℃至80℃。随后,结合热膨胀系数(1×10-6/K至5×10-6/K),利用热膨胀理论计算各温度点对应的线性膨胀变形量,单位为微米(μm)。通过整合各点热膨胀变形,形成整体热膨胀变形场,输出三维热膨胀变形数据,空间精度为0.01mm。
步骤S42:根据热膨胀变形数据对镜片翘曲数据进行翘曲变形加剧分析,得到翘曲变形加剧数据;
本实施例中,将热膨胀变形数据与先前步骤获得的镜片翘曲数据叠加处理。采用数值叠加法,将两组变形场在同一空间坐标系中逐点累加,单位均为微米(μm),空间分辨率保持一致为0.01mm。利用高精度表面拟合算法对叠加后的变形数据进行曲率计算,输出翘曲半径变化量,翘曲加剧定义为加热前后翘曲半径减少的绝对值,单位为m-1。设定翘曲加剧阈值为0.0005m-1,超过该阈值的区域标记为翘曲变形加剧区。通过三维可视化软件,将翘曲加剧区域以色彩图形式展示,并输出加剧幅度分布矩阵,分辨率为0.01mm。
步骤S43:基于翘曲变形加剧数据进行材料应力松弛演变,得到材料应力松弛数据;
本实施例中,将翘曲变形加剧数据作为载荷输入,结合镜片材料的弹性模量(70GPa至75GPa)、泊松比(0.22至0.25)及蠕变松弛模量参数,使用有限元力学分析工具进行应力松弛模拟。应力松弛过程模拟采用时间步长为1小时的多步时间积分法,模拟总时长设定为168小时(7天),温度环境保持恒定在室温25℃。通过材料本构模型(采用Maxwell模型或标准线性固体模型)计算应力随时间的松弛变化,单位为MPa。输出应力松弛分布数据,数据结构为二维矩阵,空间分辨率为0.01mm,时间分辨率为1小时。
尤其重要的是,步骤S43包括以下步骤:
步骤S431:基于翘曲变形加剧数据进行分子链重排检测,得到分子链重排数据;
本实施例中,在分析镜头材料翘曲变形时,提取热应力场与位移场耦合区域作为分析区域,采用分子动力学仿真软件LAMMPS构建该区域的分子尺度仿真结构,结构中应包含不少于10万个聚合物链段,并在模拟初始条件中输入来自翘曲变形加剧数据的应力张量变化信息。随后,设置边界条件为受限层状结构并加载0~30MPa的等效剪切应力,加载持续时间为10纳秒,使用NVT系综控制温度为298K。通过仿真输出粒子位移轨迹数据,提取单位时间内链段重新排列事件(定义为末端位移超过1nm并发生链向量方向突变的行为)次数,并记录其空间分布位置,从而得到分子链重排数据。输出格式为三维点云形式的重排事件分布图,每个点包含链编号、起始坐标、终止坐标、滑动方向向量等信息。
步骤S432:根据分子链重排数据计算重排密度,得到分子链重排密度数据;
本实施例中,在已获得的三维点云数据基础上,将整个仿真区域按5nm3为单位进行体素划分。每个体素内统计链段发生重排的次数,除以体素体积后得到单位体积内的链段重排频率,定义为重排密度,单位为events/nm3。使用Python编写的密度场映射程序将密度值进行三维可视化处理,输出为重排密度三维场分布数据文件(.vti格式)。同时设置密度阈值为1×10-3events/nm3,作为判定链段运动是否活跃的判断标准,阈值参考高分子材料热激活滑移事件的平均统计值制定。
步骤S433:根据分子链重排密度数据分子链高频重排区域;
本实施例中,对重排密度三维场数据进行等值面提取分析,采用等值面提取算法(如Marching Cubes算法),提取高于阈值的重排密度区域,形成功能区的三维边界。将连续存在高于阈值的聚集区域定义为分子链高频重排区域,并记录其体积、中心坐标及密度均值。识别出的区域需满足最小连续体积大于100nm3的条件,以排除噪声扰动误判。结果以体积区域编号的形式输出,同时与原始分子轨迹数据联动,实现动态观察。
步骤S434:基于分子链高频重排区域进行材料应力松弛演变,得到材料应力松弛数据。
本实施例中,选定上述高频重排区域中的代表性体素单元,在分子动力学软件中继续加载等效热力耦合场,并监测链段在持续加载与卸载过程中的应力响应变化。将每个体素在不同加载时间点(如0ns、2ns、4ns、6ns、8ns、10ns)下的平均链段应力数据进行曲线拟合,得到典型的应力-时间松弛曲线。采用Fung粘弹性模型对应力松弛过程进行拟合,并提取粘弹常数(如弹性模量E0、松弛时间τ、粘滞参数η等)。最终输出每个高频重排区域对应的应力松弛参数集合,即为材料应力松弛数据,输出格式为结构化表格(.csv),字段包括体素编号、松弛时间常数、最大应力衰减幅度、拟合残差等。所有数据归档至材料数据库中,用于后续微观失效分析与镜片稳定性评估。
步骤S44:根据材料应力松弛数据进行微裂纹检测,得到微裂纹数据;
本实施例中,利用应力松弛数据,设定微裂纹诱发应力阈值为30MPa。通过阈值过滤算法,识别应力超过该阈值的区域作为潜在微裂纹发生区。结合高分辨率X射线断层扫描(分辨率1μm)和超声检测技术,获取镜片内部微裂纹空间分布图。利用图像处理软件进行三维裂纹体积重构,测量微裂纹长度(范围从5μm至200μm)、宽度(1μm至20μm)及裂纹密度。微裂纹数据以三维坐标点云及裂纹参数表的形式输出,便于后续缺陷定位与跟踪。
尤其重要的是,步骤S44包括以下步骤:
步骤S441:根据材料应力松弛数据进行分子链滑动检测,得到分子链滑动数据;
本实施例中,将材料应力松弛数据输入到高精度材料力学响应仿真系统,该系统依据输入的应力-时间松弛曲线,结合材料的本构关系模型,计算材料在不同应力水平下的微观分子链运动响应。随后,利用高分辨率扫描探针显微镜(SPM)对材料表面选定的微观区域施加定量纳米级剪切力,该剪切力范围控制在0.1至10纳牛顿,以确保能够触发分子链的滑动行为而不破坏材料结构。通过SPM的位移传感器实时记录分子链在受力后的位移变化,测量分辨率达到0.1纳米,数据采集频率不低于10kHz,以捕捉快速滑动过程。所采集的位移数据覆盖面积不低于100×100微米2,确保对分子链滑动的空间分布进行全面反映。随后,结合材料力学仿真结果,对扫描区域内的每一点位移向量进行矢量场分析,提取滑动方向与滑动量的精确数值。所有滑动矢量数据通过统一坐标系进行空间配准,形成完整的二维分子链滑动矢量场,数据格式采用矩阵存储,每个矩阵元素包括二维坐标和对应滑动矢量信息。最终,将该数据集作为后续摩擦系数计算和界面剪切强度评估的基础输入,保证整个分析过程的高精度和连续性。
步骤S442:基于分子链滑动数据计算界面摩擦系数;
本实施例中,使用滑动位移矢量与对应剪切力数据结合,依据摩擦学理论通过计算剪切力与法向力之比,获得局部界面摩擦系数。计算过程中,剪切力数值通过微机械加载传感器采集,法向力取决于材料结构所受压力,数值范围设置为0.01至1.0牛顿。滑动速率作为辅助参数,范围限定在0.1至10微米/秒,考虑滑动速率对摩擦系数的影响。采用数据滤波和去噪技术,确保摩擦系数数据的准确性和稳定性,最终生成二维界面摩擦系数分布图,分辨率为1微米。
步骤S443:根据界面摩擦系数评估材料界面剪切强度,得到材料界面剪切强度数据;
本实施例中,依据摩擦系数与剪切强度的物理关系,结合界面材料的弹性模量和塑性变形参数,利用有限元分析方法对界面受力状态进行仿真计算。输入参数包括摩擦系数分布、界面厚度(一般取10至50微米)、材料弹性模量(10至100GPa)和界面屈服应力阈值(20至100MPa)。通过模拟界面在受剪切载荷作用下的应力分布和失效模式,定量获得局部剪切强度值。计算结果以二维剪切强度场表示,数据格式为每微米网格点对应剪切强度值(单位MPa)。
步骤S444:根据材料界面剪切强度数据识别镜片界面薄弱区域;
本实施例中,依据界面剪切强度阈值设定为5MPa,扫描剪切强度分布图中低于该阈值的连续区域。利用图像处理算法进行阈值分割和连通域分析,确定薄弱区域的具体边界和空间范围。边界识别误差控制在±0.5微米。薄弱区域大小需大于100平方微米才被认定为有效薄弱区域,避免因局部噪声干扰。区域信息以坐标数据和面积数据形式输出,用于后续缺陷分析。
步骤S445:根据镜片界面薄弱区域进行微裂纹检测,得到微裂纹数据。
本实施例中,使用高分辨率扫描电子显微镜(SEM)结合数字图像相关技术(DIC)对薄弱区域表面进行精细扫描,分辨率达到10纳米。通过对比应力加载前后的图像变化,识别微裂纹的起始点和扩展路径。结合超声波缺陷检测技术,以40MHz频率扫描薄弱区域内部结构,定位内部微裂纹位置和长度,检测灵敏度达到1微米。微裂纹数据包含裂纹长度、宽度、空间坐标和裂纹开口方向,所有数据按三维坐标系归档,供后续仿真分析使用。
步骤S45:根据像差仿真数据生成光学镜头缺陷报告,以执行制造工艺改进任务。
本实施例中,将前述步骤获得的像差仿真数据、翘曲加剧数据、应力松弛数据以及微裂纹检测数据进行统一格式转换,确保所有数据均采用统一的空间坐标系和时间坐标系,数据单位保持一致,空间分辨率控制在0.01mm以内。采用多参数数据融合算法,对各项数据进行空间和时间维度的综合分析,融合算法包括加权平均、主成分分析(PCA)及多维尺度分析(MDS),以消除数据间的冗余和噪声,提升融合数据的准确性和代表性。随后根据融合后的数据生成各类缺陷的空间分布图,利用三维可视化软件将缺陷区域以颜色梯度和等高线形式呈现,色彩深浅代表缺陷严重程度,空间范围精确到微米级。对缺陷进行统计分析,计算包括裂纹密度、翘曲半径变化、应力峰值及松弛速率等参数,统计结果以表格形式列出,参数单位包括MPa、μm及无量纲比值。缺陷严重度评分采用分层打分系统,评分标准依据国际光学标准ISO10110以及企业内部制定的质量管理规范,评分等级划分为优良、合格、警示及不合格四档,每档对应明确的数值区间和判定条件。报告进一步包含缺陷对光学性能的影响评估,通过比较仿真时焦距变化量(单位:μm)、成像点扩散函数(PSF)半径变化及成像清晰度下降百分比,形成性能指标对比表格,反映不同缺陷对成像质量的具体影响。最终生成的缺陷报告以PDF格式保存,报告内容结构清晰,包含目录、摘要、数据分析过程、图表展示、结论与建议。附加三维缺陷可视化模型文件(格式为.STL或.OBJ),便于交互式查看缺陷空间分布及形态,同时提供Excel格式的详细参数数据表,便于制造工艺部门基于数据开展针对性改进和优化,保证信息的完整传递和使用的便利性。
优选的,本说明书还提供一种光学镜头的仿真分析系统,用于执行如上所述的光学镜头的仿真分析方法,该光学镜头的仿真分析系统包括:
光学镜头模型构建模块,用于获取光学镜头结构图纸;根据光学镜头结构图纸确定装配关系,得到装配关系数据;根据装配关系数据构建光学镜头模型;
感光芯片偏心分析模块,用于根据光学镜头模型进行光线追迹模拟,得到光线追迹数据;基于光线追迹数据进行成像偏移分析,得到成像偏移数据;根据成像偏移数据进行感光芯片偏心分析,得到感光芯片偏心数据;
镜片翘曲检测模块,用于根据感光芯片偏心数据进行镜头热稳定性检测,得到镜头热稳定性数据;基于光线追迹数据进行斯特列尔比分析,得到斯特列尔比数值;根据斯特列尔比数值进行镜片翘曲检测,得到镜片翘曲数据;
光学镜头工艺改进模块,用于根据镜头热稳定性数据对镜片翘曲数据进行材料应力松弛分析,得到材料应力松弛数据;根据材料应力松弛数据进行微裂纹检测,得到微裂纹数据;将微裂纹数据输入至光学镜头模型,并执行像差仿真计算,得到像差仿真数据;根据像差仿真数据生成光学镜头缺陷报告,以执行制造工艺改进任务。
因此,无论从哪一点来看,均应将实施例看作是示范性的,而且是非限制性的,本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定,因此旨在将落在申请文件的等同要件的含义和范围内的所有变化涵括在本发明内。
以上所述仅是本发明的具体实施方式,使本领域技术人员能够理解或实现本发明。对这些实施例的多种修改对本领域的技术人员来说将是显而易见的,本文中所定义的一般原理可以在不脱离本发明的精神或范围的情况下,在其它实施例中实现。因此,本发明将不会被限制于本文所示的这些实施例,而是要符合与本文所发明的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。
Claims (8)
1.一种光学镜头的仿真分析方法,其特征在于,包括以下步骤:
步骤S1:获取光学镜头结构图纸;根据光学镜头结构图纸确定装配关系,得到装配关系数据;根据装配关系数据构建光学镜头模型;
步骤S2:根据光学镜头模型进行光线追迹模拟,得到光线追迹数据;基于光线追迹数据进行成像偏移分析,得到成像偏移数据;根据成像偏移数据进行感光芯片偏心分析,得到感光芯片偏心数据;
步骤S3:根据感光芯片偏心数据进行镜头热稳定性检测,得到镜头热稳定性数据;基于光线追迹数据进行斯特列尔比分析,得到斯特列尔比数值;根据斯特列尔比数值进行镜片翘曲检测,得到镜片翘曲数据;其中,步骤S3包括以下步骤:
步骤S31:将感光芯片偏心数据输入镜头热稳定性检测系统;
步骤S32:设定镜头材料的热膨胀系数为1×10⁻6/K至5×10⁻6/K以及热传导率为0.1W/(m·K)至2.0W/(m·K);
步骤S33:设定环境温度变化为-20°C至80°C、温度变化速率为1°C/min至10°C/min以及热应力阈值为5MPa至50MPa;
步骤S34:运行镜头热稳定性检测模块,并输出镜头热稳定性数据;
步骤S35:基于光线追迹数据进行斯特列尔比分析,得到斯特列尔比数值;其中,步骤S35包括以下步骤:
步骤S351:基于光线追迹数据提取波前误差信息;根据波前误差信息进行波前畸变分析,得到波前畸变数据;
步骤S352:根据波前畸变数据进行点扩散函数计算,得到点扩散函数数据;
步骤S353:根据点扩散函数数据绘制光斑分布图,得到实际光斑分布数据;
步骤S354:根据预设的理想衍射光斑分布数据与实际光斑分布数据进行峰值归一化处理,得到归一化强度比值数据;
步骤S355:基于归一化强度比值数据计算斯特列尔比数值;
步骤S36:根据斯特列尔比数值进行镜片翘曲检测,得到镜片翘曲数据;
步骤S4:根据镜头热稳定性数据对镜片翘曲数据进行材料应力松弛分析,得到材料应力松弛数据;根据材料应力松弛数据进行微裂纹检测,得到微裂纹数据;将微裂纹数据输入至光学镜头模型,并执行像差仿真计算,得到像差仿真数据;根据像差仿真数据生成光学镜头缺陷报告,以执行制造工艺改进任务;其中,步骤S4包括以下步骤:
步骤S41:根据镜头热稳定性数据绘制温度分布图;基于温度分布图进行材料热膨胀响应计算,从而获得热膨胀变形数据;
步骤S42:根据热膨胀变形数据对镜片翘曲数据进行翘曲变形加剧分析,得到翘曲变形加剧数据;
步骤S43:基于翘曲变形加剧数据进行材料应力松弛演变,得到材料应力松弛数据;
步骤S44:根据材料应力松弛数据进行微裂纹检测,得到微裂纹数据;其中,步骤S44包括以下步骤:
步骤S441:根据材料应力松弛数据进行分子链滑动检测,得到分子链滑动数据;
步骤S442:基于分子链滑动数据计算界面摩擦系数;
步骤S443:根据界面摩擦系数评估材料界面剪切强度,得到材料界面剪切强度数据;
步骤S444:根据材料界面剪切强度数据识别镜片界面薄弱区域;
步骤S445:根据镜片界面薄弱区域进行微裂纹检测,得到微裂纹数据;
步骤S45:根据像差仿真数据生成光学镜头缺陷报告,以执行制造工艺改进任务。
2.根据权利要求1所述的光学镜头的仿真分析方法,其特征在于,步骤S1包括以下步骤:
步骤S11:获取光学镜头结构图纸;
步骤S12:基于光学镜头结构图纸识别组件结构边界,得到组件结构边界数据;
步骤S13:根据组件结构边界数据进行组件约束分析,得到组件约束关系数据;
步骤S14:基于组件约束关系数据推导结构连接路径,得到结构连接路径数据;根据结构连接路径数据确定结构装配顺序,得到结构装配顺序数据;
步骤S15:根据结构装配顺序数据进行装配关系建模,得到装配关系数据;
步骤S16:根据装配关系数据构建光学镜头模型。
3.根据权利要求1所述的光学镜头的仿真分析方法,其特征在于,步骤S2中根据光学镜头模型进行光线追迹模拟包括:
根据光学镜头模型提取光学镜头表面属性信息;
基于光学镜头表面属性信息计算镜片折射率;
根据镜片折射率进行光线传播模拟,得到光线传播轨迹数据;
根据光线传播轨迹数据识别成像点位,得到像面成像分布数据;
基于像面成像分布数据进行光束能量集中度分析,得到能量聚焦数据;
基于能量聚焦数据计算焦点偏移量;
基于焦点偏移量进行光线追迹分析,得到光线追迹数据。
4.根据权利要求1所述的光学镜头的仿真分析方法,其特征在于,步骤S2中基于光线追迹数据进行成像偏移分析包括:
基于光线追迹数据提取光线像面三维坐标,得到光线像面三维坐标数据;
根据光线像面三维坐标数据计算偏移向量,得到成像点偏移向量数据;
根据成像点偏移向量数据计算偏移角度,得到偏移角度数据;
基于偏移角度数据进行偏移方向分布统计,得到成像偏移方向数据;
根据成像偏移方向数据计算偏移幅度,得到偏移幅度数据;
基于偏移幅度数据评估成像焦点偏移程度,得到成像偏移数据。
5.根据权利要求1所述的光学镜头的仿真分析方法,其特征在于,步骤S2中根据成像偏移数据进行感光芯片偏心分析包括:
根据成像偏移数据统计成像偏移时段,得到成像偏移时段数据;
基于成像偏移时段数据进行封装层变形检测,得到封装层变形数据;
基于封装层变形数据确定光电二极管阵列错位程度,得到光电二极管阵列错位数据;
基于光电二极管阵列错位数据进行焊接空洞检测,得到焊接空洞数据;
根据焊接空洞数据识别芯片基板应力集中区域;
基于芯片基板应力集中区域进行感光芯片偏心分析,得到感光芯片偏心数据。
6.根据权利要求1所述的光学镜头的仿真分析方法,其特征在于,步骤S36包括以下步骤:
步骤S361:根据斯特列尔比数值识别成像劣化区域;
步骤S362:基于成像劣化区域进行镜片横向压缩检测,得到镜片横向压缩数据;
步骤S363:基于镜片横向压缩数据计算面内应力梯度,得到面内应力梯度数据;
步骤S364:根据面内应力梯度数据进行镀膜层材料剥落检测,得到镀膜层材料剥落数据;
步骤S365:基于镀膜层材料剥落数据进行镜片相邻层面错动检测,得到镜片相邻层面错动数据;
步骤S366:根据镜片相邻层面错动数据评估镜片翘曲程度,得到镜片翘曲数据。
7.根据权利要求1所述的光学镜头的仿真分析方法,其特征在于,步骤S4包括以下步骤:
步骤S41:根据镜头热稳定性数据绘制温度分布图;基于温度分布图进行材料热膨胀响应计算,从而获得热膨胀变形数据;
步骤S42:根据热膨胀变形数据对镜片翘曲数据进行翘曲变形加剧分析,得到翘曲变形加剧数据;
步骤S43:基于翘曲变形加剧数据进行材料应力松弛演变,得到材料应力松弛数据;
步骤S44:根据材料应力松弛数据进行微裂纹检测,得到微裂纹数据;
步骤S45:根据像差仿真数据生成光学镜头缺陷报告,以执行制造工艺改进任务。
8.一种光学镜头的仿真分析系统,其特征在于,用于执行如权利要求1所述的光学镜头的仿真分析方法,该光学镜头的仿真分析系统包括:
光学镜头模型构建模块,用于获取光学镜头结构图纸;根据光学镜头结构图纸确定装配关系,得到装配关系数据;根据装配关系数据构建光学镜头模型;
感光芯片偏心分析模块,用于根据光学镜头模型进行光线追迹模拟,得到光线追迹数据;基于光线追迹数据进行成像偏移分析,得到成像偏移数据;根据成像偏移数据进行感光芯片偏心分析,得到感光芯片偏心数据;
镜片翘曲检测模块,用于根据感光芯片偏心数据进行镜头热稳定性检测,得到镜头热稳定性数据;基于光线追迹数据进行斯特列尔比分析,得到斯特列尔比数值;根据斯特列尔比数值进行镜片翘曲检测,得到镜片翘曲数据;
光学镜头工艺改进模块,用于根据镜头热稳定性数据对镜片翘曲数据进行材料应力松弛分析,得到材料应力松弛数据;根据材料应力松弛数据进行微裂纹检测,得到微裂纹数据;将微裂纹数据输入至光学镜头模型,并执行像差仿真计算,得到像差仿真数据;根据像差仿真数据生成光学镜头缺陷报告,以执行制造工艺改进任务。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202510922195.3A CN120850552B (zh) | 2025-07-03 | 2025-07-03 | 光学镜头的仿真分析方法及系统 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202510922195.3A CN120850552B (zh) | 2025-07-03 | 2025-07-03 | 光学镜头的仿真分析方法及系统 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN120850552A CN120850552A (zh) | 2025-10-28 |
| CN120850552B true CN120850552B (zh) | 2026-02-06 |
Family
ID=97418739
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202510922195.3A Active CN120850552B (zh) | 2025-07-03 | 2025-07-03 | 光学镜头的仿真分析方法及系统 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN120850552B (zh) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN119783487A (zh) * | 2025-03-12 | 2025-04-08 | 北矿检测技术股份有限公司 | 内部杂散光多物理场仿真方法、装置、设备及介质 |
| CN119805747A (zh) * | 2025-03-12 | 2025-04-11 | 深圳市永泰光电有限公司 | 光学镜头的仿真分析方法及仿真分析系统 |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108664720B (zh) * | 2018-05-02 | 2020-04-28 | 西安交通大学 | 一种非均匀辐照度下的聚光光伏光热系统性能计算方法 |
| EP3982328A1 (en) * | 2020-10-08 | 2022-04-13 | Saint-Gobain Glass France | Method for simulating the effects of the optical distortions of a windshield on the image recording quality of a digital image recording device |
| CN114818321B (zh) * | 2022-04-25 | 2026-01-06 | 江西联益光学有限公司 | 光学镜头的仿真分析方法以及仿真分析装置 |
| CN118395788A (zh) * | 2024-04-26 | 2024-07-26 | 北京空间机电研究所 | 一种星载望远镜探测系统的稳定性仿真方法 |
| CN119940127A (zh) * | 2025-01-13 | 2025-05-06 | 福建仙游抽水蓄能有限公司 | 一种针对抽水蓄能电站机组转轮裂纹诊断与寿命评估方法 |
-
2025
- 2025-07-03 CN CN202510922195.3A patent/CN120850552B/zh active Active
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN119783487A (zh) * | 2025-03-12 | 2025-04-08 | 北矿检测技术股份有限公司 | 内部杂散光多物理场仿真方法、装置、设备及介质 |
| CN119805747A (zh) * | 2025-03-12 | 2025-04-11 | 深圳市永泰光电有限公司 | 光学镜头的仿真分析方法及仿真分析系统 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN120850552A (zh) | 2025-10-28 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Wang et al. | Intelligent prediction of wear location and mechanism using image identification based on improved Faster R-CNN model | |
| Zhao et al. | A novel parallel classification network for classifying three-dimensional surface with point cloud data | |
| Zhao et al. | Defect detection of 3D printing surface based on geometric local domain features | |
| CN120374870B (zh) | 基于视觉的中药材缺陷检测方法 | |
| Zhang et al. | Intelligent defect detection method for additive manufactured lattice structures based on a modified YOLOv3 model | |
| Pathak et al. | Form error evaluation of noncontact scan data using constriction factor particle swarm optimization | |
| Tao et al. | Anomaly detection for fabricated artifact by using unstructured 3D point cloud data | |
| Mohammadi et al. | A coordinate measuring machine with error compensation in feature measurement: model development and experimental verification | |
| Fox et al. | Prediction of extreme value areal parameters in laser powder bed fusion of nickel superalloy 625 | |
| CN120850552B (zh) | 光学镜头的仿真分析方法及系统 | |
| Zhang et al. | Automatic identification and classification of surface defects in small-sized optics | |
| CN120852272A (zh) | 基于三维建模与ai融合的pcba异常检测方法、系统及介质 | |
| Karganroudi et al. | Assessment of the robustness of a fixtureless inspection method for nonrigid parts based on a verification and validation approach | |
| Xu et al. | Back to Michelson interferometer: A precise inspection system for industrial intricate structures defect detection | |
| Pandey et al. | Non-contact automated defect detection using a deep learning approach in diffraction phase microscopy | |
| CN119495587A (zh) | 一种晶圆贴膜瑕疵检测系统及方法 | |
| Eifler et al. | Comprehensive analysis of surfaces featuring functional characteristics by angular-resolved scattering light measurement | |
| Liso et al. | AWANDT: assessing welding anomalies via non-destructive tests | |
| Cao et al. | 3d-adcs: Untrained 3d anomaly detection for complex manufacturing surfaces | |
| Burla et al. | Fourier descriptors for defect indication in a multiscale and multisensor measurement system | |
| CN120470868B (zh) | 一种连杆胀断面生成方法及系统 | |
| Plassmann et al. | Automated Annotation of Shearographic Measurements Enabling Weakly Supervised Defect Detection | |
| Suresh et al. | Similarity evaluation of 3D topological measurement results using statistical methods (Rising Researcher) | |
| Kiran | A Novel Spur Gear Inspection Method | |
| Middendorf et al. | Fast measurement of complex geometries using inverse fringe projection |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |