CN118210142A - 一种色散模块的设计方法及多狭缝光谱共焦测量系统 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种色散模块的设计方法及多狭缝光谱共焦测量系统，涉及光学传感器技术领域，该方法包括设计一种光阑外置的宽波段大视场像方远心的色散镜头，将其作为第一色散单元，第一色散单元设计完成后在光阑位置将其左右翻转得到第二色散单元，再将其90度旋转，得到第三色散单元；将第一色散单元、第二色散单元、第三色散单元按照T型排布，偏振分束器放在光阑位置处，并在偏振分束器和第二色散单元之间放置四分之一波片，完成色散模块的设计。本发明设计的色散模块提高了能量利用率。通过重新设计多种不同的第二色散单元，并将其与保留的第一色散单元的光阑重叠拼接在一起，得到多种性能的色散模块。
Description
技术领域
本发明涉及光学传感器技术领域，尤其涉及一种色散模块的设计方法及多狭缝光谱共焦测量系统。
背景技术
目前光谱共焦位移传感器在精密检测领域越来越受到重视，相比于其它检测方法，光谱共焦位移传感器具有以下优势：1.它属于非接触式测量，检测时不会对被测物造成损伤；2.它将波长与高度进行编码，通过检测波长可以得到高度信息，因此可以用来检测物体的三维形貌信息；3.不需要轴向扫描即可得到轴向高度信息，检测速度快，稳定性好。
光谱共焦位移传感器主要包括三个模块：光源模块、色散模块和探测模块。光源发出的光进入色散模块后产生线性的轴向色散，将波长与轴向位置编码，当某一波长的光经被测物表面反射后，会以最大光强通过共焦小孔，其它波长的光大部分都会被衰减，在探测模块中通过分析波长完成解码，得到被测物的高度信息。
光谱共焦位移传感器包括点光谱共焦位移传感器、线光谱共焦位移传感器、面光谱共焦位移传感器。其中点光谱共焦位移传感器每次只能检测一个点，如果需要检测一定的区域，需要搭配二维移动平台进行扫描，会导致检测时间长，系统比较庞大等问题。线光谱共焦位移传感器与点光谱共焦位移传感器相比扫描速度只有较少提高，且横向分辨率较低。面光谱共焦位移传感器，在一个区域内，对多点进行检测并同时对信号进行处理，虽然在短时间内获取表面三维形貌信息，但是空间分辨率较低。
发明内容
为此，本发明实施例提供了一种色散模块的设计方法及多狭缝光谱共焦测量系统，用于解决现有技术中传统线光谱共焦位移传感器横向分辨率较低、扫描速度相对较慢的问题。
为了解决上述问题，本发明实施例提供一种色散模块的设计方法，该方法包括：
步骤一：设计一种光阑外置的宽波段大视场像方远心的色散镜头，将其作为第一色散单元，第一色散单元设计完成后在光阑位置将其左右翻转得到第二色散单元，再将其90度旋转，得到第三色散单元；
步骤二：将第一色散单元、第二色散单元、第三色散单元按照T型排布，偏振分束器放在光阑位置处，并在偏振分束器和第二色散单元之间放置四分之一波片，完成色散模块的设计。
优选地，还包括：步骤三：当需要重新设计色散模块时，保留第一色散单元和第三色散单元不变，重新设计第二色散单元，重新设计的第二色散单元完成后，将保留的第一色散单元和重新设计的第二色散单元的光阑重叠拼接在一起，得到不同分辨能力的色散模块；以此类推，重新设计多种不同的第二色散单元，将其与保留的第一色散单元的光阑重叠拼接在一起，得到多种性能的色散模块。
本发明实施例还提供了一种多狭缝的光谱共焦测量系统，该系统包括：
所述系统由照明模块、色散模块和光谱探测模块组成，所述照明模块包括白光光源、照明透镜组，所述色散模块包括第一狭缝阵列、第一色散单元、偏振分束器、四分之一波片、第二色散单元、第三色散单元、第二狭缝阵列，所述光谱探测模块包括第一透镜组、色散棱镜、第二透镜组、面阵探测器；
所述照明透镜组呈竖直放置，所述白光光源位于照明透镜组的前焦面中心处；
所述第一狭缝阵列竖直放置于照明透镜组后焦面中心处，所述第一色散单元竖直放置于第一狭缝阵列的后方，所述偏振分束器的分界面倾斜放置并处于第一色散单元后方，所述偏振分束器远离第一色散单元的一侧设置有竖直放置的四分之一波片，所述四分之一波片远离偏振分束器的一侧设置有竖直放置的第二色散单元，所述第三色散单元水平放置于偏振分束器的正下方，所述第三色散单元的后焦面中心处设置有呈水平放置的第二狭缝阵列，所述第二狭缝阵列远离第三色散单元的一侧设置有呈水平放置的第一透镜组；
所述第一透镜组远离第二狭缝阵列的一侧设置有呈水平放置的色散棱镜，所述色散棱镜远离第一透镜组的一侧设置有呈水平放置的第二透镜组，第二透镜组远离色散棱镜的一侧设置有呈水平放置的面阵探测器。
优选地，所述白光光源、照明透镜组、第一狭缝阵列、第一透镜组、偏振分束器、四分之一波片、第二透镜组位于同一条直线上。
优选地，所述偏振分束器、第三色散单元、第二狭缝阵列、第一透镜组、色散棱镜、第二透镜组、面阵探测器位于同一条直线上。
优选地，所述第一色散单元的前焦面与照明透镜组后焦面重合。
优选地，所述偏振分束器的分界面呈45°倾斜放置并处于第一色散单元后方。
优选地，所述照明透镜组包括会聚透镜组、一维柱镜阵列，所述会聚柱透镜组呈竖直放置，所述白光光源放置于会聚柱透镜组前焦面中心处，所述一维柱镜阵列竖直放置在会聚柱透镜组远离白光光源的一侧，所述第一狭缝阵列竖直放置在一维柱镜阵列的后焦面处。
优选地，所述一维柱镜阵列的每一条柱镜都与一条狭缝一一对应。
优选地，在光谱探测模块中，所述第一透镜组为准直透镜组，所述色散棱镜为双Amici棱镜，所述第二透镜组为聚焦透镜组，所述面阵探测器为大面阵探测器。
从以上技术方案可以看出，本发明申请具有以下有益效果：
本发明实施例提供了一种色散模块的设计方法及多狭缝光谱共焦测量系统，本发明方法设计的色散模块提高了能量利用率。通过重新设计多种不同的第二色散单元，并将其与保留的第一色散单元的光阑重叠拼接在一起，得到多种性能的色散模块。本发明系统利用三个相同的具有远心大视场的轴向色散模块进行T型排布组合，可以实现两倍轴向色散范围且轴向分辨率不变，并进一步可通过替换靠近待测物体处的色散模块实现不同的成像区域、测量横向、纵向(深度)分辨率，增加了检测的便捷性和测量场景的广泛性。本发明系统利用多狭缝代替单狭缝，移动两狭缝间距的尺度，就可以得到多狭缝对应的成像区域，大幅度降低了扫描的移动距离，减少了扫描的时间，提高了扫描的效率。本发明系统对多狭缝的间距进行设计后通过将多幅亚采样图像进行融合，可以提高系统整体的一维横向分辨率和纵向分辨率。本发明系统的照明模块中利用了一维柱镜阵列，可以在极大地提高光能利用率的同时很好的适配多狭缝阵列。本发明系统在光谱探测模块使用双Amici棱镜来实现面色散，易于装调对准，在避免产生二级光谱的同时，保证了色散的线性度。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施案例或现有技术中的技术方案，下边将对实施例中所需要使用的附图做简单说明，通过参考附图会更清楚的理解本发明的特征和优点，附图是示意性的而不应该理解为对本发明进行任何限制，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，可以根据这些附图获得其他的附图。其中：
图1为实施例中提供的一种色散模块的设计方法的流程图；
图2为实施例中色散模块结构图；
图3为实施例中提供的一种基于多狭缝的光谱共焦测量系统的框图；
图4为实施例中照明模块结构示意图；
图5为实施例中多狭缝模型示意图；
图6为实施例中照明模块光线追迹图；
图7为实施例中双Amici棱镜加入系统的示意图。
说明书附图标记：1、照明模块；10、白光光源；11、照明透镜组；111、会聚透镜组；112、一维柱镜阵列；2、色散模块；20、第一狭缝阵列；21、第一色散单元；22、偏振分束器；23、四分之一波片；24、第二色散单元；25、第三色散单元；26、第二狭缝阵列；3、光谱探测模块；30、第一透镜组；31、色散棱镜；32、第二透镜组；33、面阵探测器。
具体实施方式
为使本发明实施例的目的、技术方案与优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
实施例一
如图1所示，本发明实施例提出一种色散模块的设计，该方法包括：
步骤一：设计一种光阑外置的宽波段大视场像方远心的色散镜头，将其作为第一色散单元，第一色散单元设计完成后在光阑位置将其左右翻转得到第二色散单元，再将其90度旋转，得到第三色散单元；
步骤二：将第一色散单元、第二色散单元、第三色散单元按照T型排布，偏振分束器放在光阑位置处，并在偏振分束器和第二色散单元之间放置四分之一波片，完成色散模块的设计。
步骤三：当需要重新设计色散模块时，保留第一色散单元和第三色散单元不变，重新设计第二色散单元，重新设计的第二色散单元完成后，将保留的第一色散单元和重新设计的第二色散单元的光阑重叠拼接在一起，得到不同分辨能力的色散模块；以此类推，重新设计多种不同的第二色散单元，将其与保留的第一色散单元的光阑重叠拼接在一起，得到多种性能的色散模块。
从上述技术方案可知，本发明提出一种色散模块的设计方法，将第一色散单元、第二色散单元、第三色散单元按照T型排布，为提高能量利用率，三个色散单元中间的分束器采用偏振分束器，并在偏振分束器和第二色散单元之间放置四分之一波片；通过重新设计多种不同的第二色散单元，并将其与保留的第一色散单元的光阑重叠拼接在一起，可以得到多种性能的色散模块。
在本实施例中，在本实施例中，在步骤一中，通过光学设计软件设计出一种光阑外置的宽波段大视场像方远心的色散镜头，将其作为第一色散单元21，详细数据如表1。第一色散单元21设计完成后在光阑位置将其左右翻转得到第二色散单元24，再将其90度旋转，得到第三色散单元25。
表1
在本实施例中，在步骤二中，将第一色散单元21、第二色散单元24、第三色散单元25按照T型排布，偏振分束器22放在光阑位置处，并在偏振分束器22和第二色散单元24之间放置四分之一波片23，完成色散模块的设计，如图2所示。
为提高能量利用率，在系统中采用偏振光进行传输，在偏振分束器22和第二色散单元24之间放置四分之一波片23(λ/4消色差波片)。偏振分光经与四分之一波片23组合分光装置，若入射光偏振方向平行于入射面，则可全部透过偏振分束器22(反射分量为0)，经过四分之一波片23入射到被测面，返回时再次经过四分之一波片23，两次经过四分之一波片23可使光的偏振方向转过π/2，即光束垂直于入射面，经过偏振分束器22后被全部反射回探测器(透射分量为0)，并无能量损失。
在本实施例中，在步骤三中，根据色散镜头设计原理，如果改变色散镜头的放大率，传感器的采样间隔和横向检测面积也会改变。当需要重新设计色散模块时，保留第一色散单元21和第三色散单元25不变，重新设计第二色散单元24，重新设计的第二色散单元24完成后，将保留的第一色散单元21和重新设计的第二色散单元24的光阑重叠拼接在一起，得到不同分辨能力的色散模块。以此类推，重新设计多种不同的第二色散单元24，将其与保留的第一色散单元21的光阑重叠拼接在一起，得到多种性能的色散模块。这些色散模块的第二色散单元24不同，第一色散单元21都相同，而且组合的多种色散模块的像质都较优，在实际应用中可以通过替换不同的第二色散单元24实现不同的性能参数，如表2所示。
表2
实施例二
如图3所示，本发明提供一种基于多狭缝的光谱共焦测量系统，采用上述实施例一的色散模块的设计方法，获得色散模块，该系统具体包括：
照明模块1、色散模块2和光谱探测模块3，所述照明模块1包括白光光源10、照明透镜组11，所述色散模块2包括第一狭缝阵列20、第一色散单元21、偏振分束器22、四分之一波片23、第二色散单元24、第三色散单元25、第二狭缝阵列26，所述光谱探测模块3包括第一透镜组30、色散棱镜31、第二透镜组32、面阵探测器33。
从上述技术方案可知，本发明提供的一种基于多狭缝光谱共焦测量系统，利用三个相同的具有远心大视场的轴向色散模块进行T型排布组合，可以实现两倍轴向色散范围且轴向分辨率不变，并进一步可通过替换靠近待测物体处的色散模块实现不同的成像区域、测量横向、纵向(深度)分辨率，增加了检测的便捷性和测量场景的广泛性。利用多狭缝代替单狭缝，移动两狭缝间距的尺度，就可以得到多狭缝对应的成像区域，大幅度降低了扫描的移动距离，减少了扫描的时间，提高了扫描的效率。
在本实施例中，照明透镜组11呈竖直放置，白光光源10位于照明透镜组11的前焦面中心处。
第一狭缝阵列20竖直放置于照明透镜组11后焦面中心处，第一色散单元21竖直放置于第一狭缝阵列20的后方，并且第一色散单元21的前焦面与照明透镜组11后焦面重合。偏振分束器22的分界面呈45°倾斜放置并处于第一色散单元21后方，偏振分束器22远离第一色散单元21的一侧设置有竖直放置的四分之一波片23。四分之一波片23远离偏振分束器22的一侧设置有竖直放置的第二色散单元24。第三色散单元25水平放置于偏振分束器22的正下方，第三色散单元25的后焦面中心处设置有呈水平放置的第二狭缝阵列26。第二狭缝阵列26远离第三色散单元25的一侧设置有呈水平放置的第一透镜组30。
第一透镜组30远离第二狭缝阵列26的一侧设置有呈水平放置的色散棱镜31。色散棱镜31远离第一透镜组30的一侧设置有呈水平放置的第二透镜组32。第二透镜组32远离色散棱镜31的一侧设置有呈水平放置的面阵探测器33。
在本实施例中，白光光源10、照明透镜组11、第一狭缝阵列20、第一透镜组21、偏振分束器22、四分之一波片23、第二透镜组24位于同一条直线上。
在本实施例中，偏振分束器22、第三色散单元25、第二狭缝阵列26、第一透镜组30、色散棱镜31、第二透镜组32、面阵探测器33位于同一条直线上。
在本实施例中，如图4所示，照明透镜组11包括会聚透镜组111、一维柱镜阵列112。会聚柱透镜组111呈竖直放置，白光光源10放置于会聚柱透镜组111前焦面中心处，一维柱镜阵列112竖直放置在会聚柱透镜组111远离白光光源10的一侧。第一狭缝阵列20竖直放置在一维柱镜阵列112的后焦面处。一维柱镜阵列112的每一条柱镜都与一条狭缝一一对应。其中照明透镜组参数如表3所示。
表3
| 焦距 | 长度 | 高度 | |
| 柱透镜 | 10mm | 14.5 | 34mm |
| 一维柱镜阵列 | 5mm | 14.5 | 2×17mm |
如图5所示为多狭缝阵列的模型图，假设狭缝与狭缝之间的距离为 第一条狭缝与第二条狭缝之间的距离记为d1，第二条狭缝和第三条狭缝之间的距离记为d2，以此类推第n-1条狭缝与第n条狭缝之间的距离记为dn-1。上式中，a为狭缝宽度，k为狭缝总数。
具体地，多狭缝阵列模型是由19条相同的狭缝非等间隔排列组成。每条狭缝宽为18μm，长为14.5mm。探测器像元大小为4.5μm，第1条狭缝与第2条狭缝之间的间隔d1为590μm，第2条狭缝与第3条狭缝之间的距离d2为591μm，以此类推，两条相邻的狭缝间隔相差1μm，因此第18条狭缝与第19条狭缝之间的距离为608μm。
如图6所示为照明模块的光线追迹图，一维柱镜阵列112将准直后的平行光均匀地照射在像面上，形成等间隔分布的条形阵列，很好地适配了狭缝阵列板。
在本实施例中，光谱探测模块3由第一透镜组30、色散棱镜31、第二透镜组32、面阵探测器33组成。其中第一透镜组30为准直透镜组，色散棱镜31为双Amici棱镜，第二透镜组32为聚焦透镜组，面阵探测器33为大面阵探测器。
在本实施例中，大面阵探测器选择的是海康机器人MV-CH210-90YM-M58S-NN型号的面阵探测器，具体的指标的如表4所示。
表4
| 传感器类型 | CMOS，全局快门 |
| 传感器型号 | Gsprint4521 |
| 像元尺寸 | 4.5μm×4.5μm |
| 靶面尺寸 | 23.04mm×18.43mm |
| 分辨率 | 5120×4096 |
| 最大帧率 | 222fps@5120×4096Mono 8 |
| 动态范围 | 65dB |
| 信噪比 | 43dB |
在本实施例中，为避免产生二级光谱并且保证色散一定的线性，采用双Amici棱镜作为成像光谱仪分光系统分光元件。双Amici棱镜由三块棱镜组成并且基于中心线左右对称，第一块棱镜和第三块棱镜一般为中等冕牌玻璃，第二块棱镜一般为高色散火石玻璃。为了更加容易实现共轴直视型设计，在对双Amici棱镜设计时采用折射率低，色散能力低的CAF2作为第一和第三块棱镜的材料。对于第二块棱镜而言，材料的折射率越低，阿贝数越大，色散越线性，但是色散能力会降低，根据具体情况选择了FK5。如图7所示为双Amici棱镜加入系统的示意图，具体的双Amici棱镜指标参数在表5中给出。
表5
本发明系统采用两种成像模式：
(1)区域内快速成像
参考狭缝阵列的设计方法，狭缝阵列中狭缝的总数为k，最后两条狭缝之间的距离为dk＝d1+a，操控平台沿着与狭缝垂直的方向移动dk的距离后，每个狭缝对应推扫成像了dk距离的区域，其中前k-1个区域具有不同的重叠面积，根据重叠特征，把k个区域的图像拼接合成为完整面域的成像。本成像模式仅需要及移动dk距离，完成了(d1+dk)·k/2距离区域的快速三维成像。
具体地，狭缝阵列中狭缝的总数为19，最后两条狭缝之间的距离为608μm，操控平台沿着与狭缝垂直的方向移动608μm的距离后，即可完成区域内的快速成像。
(2)区域内高分辨成像
设计的多狭缝之间的间距是逐渐增加的，相邻狭缝增加的间距为a/(k-1)，k条狭缝最终在面阵探测形成k个色散区域，推扫成像时每条狭缝对应一个色散区域，每个区域通过反演得到物面上与狭缝共轭位置的形貌信息。当横向推扫L距离时，可以得到k幅L长度的三维形貌信息，由于每幅之间有规律的空间错位，通过插值运算等亚像元图像融合算法可提高推扫空间维和深度维的空间分辨率信息。更改推扫方向，可以提高待测物体另外一维空间维的空间横向分辨率。
为实现高分辨率三维图像重建，需要每个狭缝推扫的三维图像覆盖相同的空间域，由此扫描L距离时，实际有效的三维图像重建距离为
具体地，控制位移平台，使得每一条狭缝都可以完整地扫描整个待测区域。可以认为待测区域内任意位置都采集到了19张错开1/18狭缝宽度或2/9像元的图片，利用亚像元采样算法重建出该位置的超分辨率三维形貌图像。
综上，本发明系统利用三个相同的具有远心大视场的轴向色散模块进行T型排布组合，可以实现两倍轴向色散范围且轴向分辨率不变，并进一步可通过替换靠近待测物体处的色散模块实现不同的成像区域、测量横向、纵向(深度)分辨率，增加了检测的便捷性和测量场景的广泛性。本发明系统利用多狭缝代替单狭缝，移动两狭缝间距的尺度，就可以得到多狭缝对应的成像区域，大幅度降低了扫描的移动距离，减少了扫描的时间，提高了扫描的效率。本发明系统对多狭缝的间距进行设计后通过将多幅亚采样图像进行融合，可以提高系统整体的一维横向分辨率和纵向分辨率。本发明系统的照明模块中利用了一维柱镜阵列，可以在极大地提高光能利用率的同时很好的适配多狭缝阵列。本发明系统在光谱探测模块使用双Amici棱镜来实现面色散，易于装调对准，在避免产生二级光谱的同时，保证了色散的线性度。
注意，上述仅为本发明的较佳实施例及所运用技术原理。本领域技术人员会理解，本发明不限于这里所述的特定实施例，对本领域技术人员来说能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本发明的保护范围。因此，虽然通过以上实施例对本发明进行了较为详细的说明，但是本发明不仅仅限于以上实施例，在不脱离本发明构思的情况下，还可以包括更多其他等效实施例，而本发明的范围由所附的权利要求范围决定。
Claims (10)
1.一种色散模块的设计方法，其特征在于，包括：
步骤一：设计一种光阑外置的宽波段大视场像方远心的色散镜头，将其作为第一色散单元，第一色散单元设计完成后在光阑位置将其左右翻转得到第二色散单元，再将其90度旋转，得到第三色散单元；
步骤二：将第一色散单元、第二色散单元、第三色散单元按照T型排布，偏振分束器放在光阑位置处，并在偏振分束器和第二色散单元之间放置四分之一波片，完成色散模块的设计。
2.根据权利要求1所述的色散模块的设计方法，其特征在于，还包括：步骤三：当需要重新设计色散模块时，保留第一色散单元和第三色散单元不变，重新设计第二色散单元，重新设计的第二色散单元完成后，将保留的第一色散单元和重新设计的第二色散单元的光阑重叠拼接在一起，得到不同分辨能力的色散模块；以此类推，重新设计多种不同的第二色散单元，将其与保留的第一色散单元的光阑重叠拼接在一起，得到多种性能的色散模块。
3.一种多狭缝的光谱共焦测量系统，其特征在于，包括：
所述系统由照明模块、色散模块和光谱探测模块组成，所述照明模块包括白光光源、照明透镜组，所述色散模块包括第一狭缝阵列、第一色散单元、偏振分束器、四分之一波片、第二色散单元、第三色散单元、第二狭缝阵列，所述光谱探测模块包括第一透镜组、色散棱镜、第二透镜组、面阵探测器；
所述照明透镜组呈竖直放置，所述白光光源位于照明透镜组的前焦面中心处；
所述第一狭缝阵列竖直放置于照明透镜组后焦面中心处，所述第一色散单元竖直放置于第一狭缝阵列的后方，所述偏振分束器的分界面倾斜放置并处于第一色散单元后方，所述偏振分束器远离第一色散单元的一侧设置有竖直放置的四分之一波片，所述四分之一波片远离偏振分束器的一侧设置有竖直放置的第二色散单元，所述第三色散单元水平放置于偏振分束器的正下方，所述第三色散单元的后焦面中心处设置有呈水平放置的第二狭缝阵列，所述第二狭缝阵列远离第三色散单元的一侧设置有呈水平放置的第一透镜组；
所述第一透镜组远离第二狭缝阵列的一侧设置有呈水平放置的色散棱镜，所述色散棱镜远离第一透镜组的一侧设置有呈水平放置的第二透镜组，第二透镜组远离色散棱镜的一侧设置有呈水平放置的面阵探测器。
4.根据权利要求3所述的多狭缝的光谱共焦测量系统，其特征在于，所述白光光源、照明透镜组、第一狭缝阵列、第一透镜组、偏振分束器、四分之一波片、第二透镜组位于同一条直线上。
5.根据权利要求3所述的多狭缝的光谱共焦测量系统，其特征在于，所述偏振分束器、第三色散单元、第二狭缝阵列、第一透镜组、色散棱镜、第二透镜组、面阵探测器位于同一条直线上。
6.根据权利要求1所述的多狭缝的光谱共焦测量系统，其特征在于，所述第一色散单元的前焦面与照明透镜组后焦面重合。
7.根据权利要求1所述的多狭缝的光谱共焦测量系统，其特征在于，所述偏振分束器的分界面呈45°倾斜放置并处于第一色散单元后方。
8.根据权利要求1所述的多狭缝的光谱共焦测量系统，其特征在于，所述照明透镜组包括会聚透镜组、一维柱镜阵列，所述会聚柱透镜组呈竖直放置，所述白光光源放置于会聚柱透镜组前焦面中心处，所述一维柱镜阵列竖直放置在会聚柱透镜组远离白光光源的一侧，所述第一狭缝阵列竖直放置在一维柱镜阵列的后焦面处。
9.根据权利要求8所述的多狭缝的光谱共焦测量系统，其特征在于，所述一维柱镜阵列的每一条柱镜都与一条狭缝一一对应。
10.根据权利要求1所述的多狭缝的光谱共焦测量系统，其特征在于，在光谱探测模块中，所述第一透镜组为准直透镜组，所述色散棱镜为双Amici棱镜，所述第二透镜组为聚焦透镜组，所述面阵探测器为大面阵探测器。
Priority Applications (1)
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| CN202410261041.XA CN118210142A (zh) | 2024-03-07 | 2024-03-07 | 一种色散模块的设计方法及多狭缝光谱共焦测量系统 |
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