CN117910425A - 一种掩模图形全局属性获取方法、系统及存储介质 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及半导体掩模制造技术领域，特别涉及一种一种掩模图形全局属性获取方法、系统及存储介质；一种掩模图形全局属性获取方法，包括以下步骤：获取版图，将所述版图切分获得至少两个局部区域；分别获取各局部区域中的图形并判断是否为被切分的图形，若是，计算获得图形数据，数据包括切割点/线、以及局部属性；将具有相同切割点/线的被切分图形的局部属性进行合并，获得完整图形的全局属性。本发明对于被切分的图形，获取其切割线/点以及局部属性，之后根据切割线/点，将具有相同的切割线/点的图形进行合并，得到完整图形的全局属性，在不改变分布式计算逻辑的基础上，判断出被切分的图形并加以合并，使得图形数据完整，便于后续操作。
Description
【技术领域】
本发明涉及半导体掩模制造技术领域，其特别涉及一种掩模图形全局属性获取方法、系统及存储介质。
【背景技术】
光刻工艺过程中，芯片图形技术发展到180nm节点后，光刻机的曝光波长已经不能满足器件中的最小线宽图形的制造要求。相邻图形会在光的干涉和衍射效应作用下发生畸变，即所谓的光学邻近效应(optical proximity effect，OPE)，为了补偿这种效应，使得晶圆上得到和设计相同的图形，必须对掩模上的图形做适当的修正(OPC,光学邻近效应修正)。在修正过程中，会遵循一定的原则，将原来的图形打断偏移，以使得其曝光出来的图形与设计图形一致。这就需要根据这些图形的属性与相互关系做到精细化地对图形元素进行选取与操作。
利用模型仿真技术，可以较大程度的模拟出真实生产过程中芯片在修正后的掩模下的曝光结果，提前获知修正结果，节省制造成本。然而由于计算仿真过程复杂，数据庞大，无法一次性针对全局版图进行计算，故需要将全局版图进行切分，依次处理每一块局部区域(patch)，为了提高计算效率，往往会采用分布式计算，最后将结果合理的拼接起来。版图在切分时，破坏了某些图形的整体性，比如一个图形被切分成了两部分，进入不同的patch，在不同的子节点计算机上计算，这样就会造成图形数据不完整，从而影响正确操作。
【发明内容】
为了解决分布式计算方法会造成图形数据不完整的问题，本发明提供一种掩模图形全局属性获取方法、系统及存储介质。
本发明为解决上述技术问题，提供如下的技术方案：一种掩模图形全局属性获取方法，包括以下步骤：
获取版图，将所述版图切分获得至少两个局部区域；
分别获取各局部区域中的图形并判断是否为被切分的图形，若是，计算获得图形数据，数据包括切割点/线、以及局部属性；
将具有相同切割点/线的被切分图形的局部属性进行合并，获得完整图形的全局属性。
优选地，将所述版图切分获得至少两个局部区域包括以下步骤：
基于主计算机，将版图进行切分为多个局部区域；
按照预设规则将局部区域分发给各子节点计算机。
优选地，其特征在于：分别获取各局部区域中被切分的图形，计算其图形数据包括以下步骤：
获取局部区域中的图形；
判断图形是否存在部分与局部区域的边缘线重合；若存在，该图形即为被切分的图形，将与局部区域的边缘线重合的部分视为切割点/线；
计算切割点/线的绝对坐标以及预定义的局部属性。
优选地，其特征在于：在计算获得图形数据之后还包括以下步骤：
基于protocol开源库将图形数据进行序列化转换为二进制字节流，并传输至主计算机；
由主计算机再进行反序列化将二进制字节流转换为程序数据，并将各个局部区域的图形数据整合在一起。
优选地，其特征在于：基于protocol开源库将图形数据进行序列化转换为二进制字节流包括以下步骤：
创建proto文件，并定义要接收的数据类型和数据结构，然后编译成相对应的程序文件；
通过程序文件将图形数据进行序列化。
优选地，其特征在于：将各个局部区域的局部属性基于切割点/线进行合并包括以下步骤：
判断图形之间是否具有相同的切割点/线；
若是，将具有相同切割点/线的图形的局部属性进行合并。
优选地，其特征在于：对于未判定为被切分的图形，直接计算获得该图形的全局属性。
优选地，其特征在于：在获得完整图形的全局属性之后，将全局属性存为二进制文件，并进行数据持久化。
本发明为解决上述技术问题，提供又一技术方案如下：一种掩模图形全局属性获取系统，用于实现如前述的一种掩模图形全局属性获取方法，包括以下模块：
切分模块：用于获取版图，将所述版图切分获得至少两个局部区域；
计算模块：用于获取局部区域中的图形并判断是否为被切分的图形，若是，计算获得图形数据，数据包括切割点/线、以及局部属性；
合并模块：用于将具有相同切割点/线的被切分图形的局部属性进行合并，形成完整图形的全局属性。
本发明为解决上述技术问题，提供又一技术方案如下：一种计算机存储介质，其上存储有计算机程序，所述计算机程序被执行时实现如前述的一种掩模图形全局属性获取方法的步骤。
与现有技术相比，本发明所提供的一种掩模图形全局属性获取方法、系统及存储介质，具有如下的有益效果：
1.本发明提供的一种掩模图形全局属性获取方法，通过，通过将版图切分获得局部区域后，分别对应各个局部区域获取其中的图形，对于被切分的图形，获取其切割线/点以及局部属性，之后根据切割线/点，将具有相同的切割线/点的图形进行合并，得到完整图形的全局属性，在不改变分布式计算逻辑的基础上，判断出被切分的图形并加以合并，使得图形数据完整，便于后续操作。
2.本发明提供的一种掩模图形全局属性获取方法，在计算属性时，可预设想要计算的属性，避免计算资源浪费，也可只计算被切分的图形，减少计算数据量。
3.本发明提供的一种掩模图形全局属性获取方法，子节点计算机计算完成后，将数据序列化进行传输前的准备，传输到主计算机后，主计算机对数据进行整合，进行数据合并前的准备，方便后续合并。
4.本发明提供的一种掩模图形全局属性获取方法，主计算机合并获得图形全局属性后，进行数据持久化，便于后续读取数据进行属性操作，之后无需再有额外的计算合并步骤。
5.本发明实施例还提供一种掩模图形全局属性获取系统，具有与上述一种掩模图形全局属性获取方法相同的有益效果，在此不做赘述。
6.本发明实施例还提供一种计算机存储介质，具有与上述一种掩模图形全局属性获取方法相同的有益效果，在此不做赘述。
【附图说明】
为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是本发明第一实施例提供的一种掩模图形全局属性获取方法的步骤流程图。
图2是本发明第一实施例提供的一种掩模图形全局属性获取方法之步骤S1的步骤流程图。
图3是本发明第一实施例提供的一种掩模图形全局属性获取方法之步骤S2的步骤流程图。
图4是本发明第一实施例提供的一种掩模图形全局属性获取方法之步骤S2之后的步骤流程图。
图5是本发明第一实施例提供的一种掩模图形全局属性获取方法之步骤S24的步骤流程图。
图6是本发明第一实施例提供的一种掩模图形全局属性获取方法之步骤S3的步骤流程图。
图7是本发明第一实施例提供的一种版图切分的示例图。
图8是本发明第一实施例提供的一种获取掩模图形全局属性的示例图。
图9是本发明第二实施例提供的一种掩模图形全局属性获取系统的框图。
附图标识说明：
1、掩模图形全局属性获取系统；
10、切分模块；20、计算模块；30、合并模块。
【具体实施方式】
为了使本发明的目的，技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施实例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。
请参阅图1，本发明第一实施例提供一种掩模图形全局属性获取方法，包括以下步骤：
S1：获取版图，将所述版图切分获得至少两个局部区域；
S2：分别获取各局部区域中的图形并判断是否为被切分的图形，若是，计算获得图形数据，数据包括切割点/线、以及局部属性；
S3：将具有相同切割点/线的被切分图形的局部属性进行合并，形成完整图形的全局属性。
具体地，本发明基于分布式计算的方法，由于计算仿真过程复杂，数据庞大，无法一次性针对版图进行计算，因此首先通过主计算机，或称为服务器将版图切分获得多个局部区域，然后将每个局部区域都分给不同的子节点计算机进行计算，获得图形数据，最后由子节点计算机将图形数据传输至主计算机进行整合合并，将具有相同切割点/线的图形进合并，获得完整图形的全局属性。
可以理解地，版图在切分时，会破坏其中一些图形的完整性，随着版图的切分一部分图形也随之被切分成两部分或以上，而版图切分后获得局部区域是进入到不同的子节点计算机进行计算，每个子节点计算机只能获得分配到该计算单元的局部区域的数据，对于被切分的图形，子节点计算机计算只能计算获得该被切分图形的属性，称之为局部属性。
需要说明的是，版图上的图形包括多边形图形、线段等，当被切分的图形为线段时，其被切分在切分处为切割点；当图形为多边形图形，也即二维图形时，其被切分处形成切割线。
具体地，请继续参与图2，步骤S1中“将所述版图切分获得至少两个局部区域”包括以下步骤：
S11：基于主计算机，将版图进行切分为多个局部区域；
S12：按照预设规则将局部区域分发给各子节点计算机。
可以理解地，通过主计算机将版图切分成多个局部区域，在切分时，可根据实际情况确定需要切分获得的局部区域的大小，且在切分时，获得每个局部区域的大小都是相等的，局部区域的长宽也相等。
主计算机切分完成后，按照预设规则将局部区域分发给子节点计算机，该规则可表示为局部区域的计算先后顺序，切分时为每个局部区域赋予相应的优先级，按照优先级进行计算。
进一步地，请参阅图3，步骤S2“分别获取各局部区域中被切分的图形，计算其图形数据”包括以下步骤：
S21：获取局部区域中的图形；
S22：判断图形是否存在部分与局部区域的边缘线重合；若存在，该图形即为被切分的图形，将与局部区域的边缘线重合的部分视为切割点/线；
S23：计算切割点/线的绝对坐标以及预定义的局部属性。
在子节点计算机计算过程中，为了减少计算数据量，可选择只计算被切分过的图形，其中被切分的图形可通过图形是否存在与局部区域的边缘重合，若出现重合则可认定为该图形被切分，然后计算该图形的切割点/线的绝对坐标以及局部属性。
具体地，对于未判定为被切分的图形，直接计算获得该图形的全局属性。
可以理解地，当两个被切分的图形都具有相同的切割点/线时，也即切割点/线的绝对坐标相同时，则认定这两个属于同一个图形的两部分。
其中步骤S23所述的预定义的局部属性是表示在分析之前，可预先自定义需要分析的图形属性，避免分析额外的不需要的属性而造成计算资源浪费。
在一具体实施例中，对于线段来讲，属性包括长度，角度，与周围平行线段的最近距离，与相连线段的角度差值，线段上的标记符号，与其相连线段的属性，与参考线段的关系(是相交还是共线)等；对于多边形来讲：属性包括其总顶点数，多边形的类型(正方形，长方形，还是其他的复杂形状)，面积，多边形上的每条线段的标记符号，与参考多边形的关系(是相交还是在外面，还是内部)等。
请参阅图4，进一步地，在步骤S2“计算获得图形数据”之后还包括以下步骤：
S24：基于protocol开源库将图形数据进行序列化转换为二进制字节流，并传输至主计算机；
S25：由主计算机再进行反序列化将二进制字节流转换为程序数据，并将各个局部区域的图形数据整合在一起。
在子节点计算机计算完成后，将图形数据序列化转换为二进制字节流，进行数据传输前的准备。
具体地，请参阅图5，步骤S24具体为：
S241：创建proto文件，并定义要接收的数据类型和数据结构，然后编译成相对应的程序文件；
S242：通过程序文件将图形数据进行序列化。
当主计算机接收到各个子节点计算机传输的数据后，进行反序列化，将二进制字节流转换为程序数据也就是转换为供程序计算的数据；其可以是直接转换为数据结构，也即数据按照一定规则形成的数据集合，或者直接就是数据。
之后将数据进行整合，将同一个版图上不同局部区域的计算获得的图形数据整合在一起，方便后续合并。
具体地，请参阅图6，步骤S3“将各个局部区域的局部属性基于切割点/线进行合并”具体为：
S31：判断图形之间是否具有相同的切割点/线；
S32：若是，将具有相同切割点/线的图形的局部属性进行合并。
主计算机在合并时，将各个局部区域的局部属性依据切割点/线进行合并，将拥有相同切割点/线的图形认定为同一个图形的两部分，并将其局部属性进行合并；最终合并后获得完整图形的全局属性，使得获得图形数据完整，不影响后续操作。
进一步地，在形成完整图形的全局属性之后，将全局属性存为二进制文件，并进行数据持久化，也即是将数据进行保存。
在一具体实施例中，若之前只对被切分图形进行属性获取，在后续读取版图文件时，会一定读取前面已经储存好的被切分图形的全局属性，而对于未被切分的图形，在读取版图文件时，可在子节点计算机中直接获得全局属性，无需再有后续的属性合并步骤。
请参阅图7和图8，图7为一版图被切分的示例图，图8为获取版图全局属性的示例图，如图所示，线通过主计算机，也即图中所示的master将版图切分为获得四个局部区域，分别为P0、P1、P2、P3；其中该版图上具有图形①、图形②和图形③；以图形②为例，图形②在版图切分时，随之被切分为三部分，分别为2-1、2-2、2-3这三部分，分别位于P2、P3、P0这三个局部区域。
当每个局部区域被分到不同的子节点计算机进行计算时，并不能共享周围局部区域的信息，比如P0中只能看到2-3这一小部分并计算获得这一部分的局部属性，和切割线A-B，同时P2中也有相同的切割线A-B，而在P2中可看到2-1这一部分并计算获得这一部分的局部属性，以及切割线A-B，之后子节点计算机将计算得到的属性数据序列化后回传给主计算机，将数据进行反序列化后对数据进行整合合并，并可知2-1和2-3具有相同的切割线，因此2-1和2-3时属于同一图形的两部分，对其局部属性进行合并；最后合并完成后，进行数据持久化，将数据储存，后续的操作通过读取这些存储的数据，并将这些图形的全局属性数据应用到相应的图形上进行操作。
而对于局部区域P1中的图形③，在子节点计算机中可直接计算得到图形③的全局属性。
请参阅图9，本发明第二实施例还提供一种掩模图形全局属性获取系统1，用于实现如前述的一种掩模图形全局属性获取方法，包括以下模块：
切分模块10：用于获取版图，将所述版图切分获得至少两个局部区域；
计算模块20：用于获取局部区域中的图形并判断是否为被切分的图形，若是，计算获得图形数据，数据包括切割点/线、以及局部属性；
合并模块30：用于将具有相同切割点/线的被切分图形的局部属性进行合并，形成完整图形的全局属性。
该掩模图形全局属性获取系统1被使用时，执行上述的方法步骤，具有和前述的方法相同的有益效果，在此不做赘述。
具体地，其中切分模块包括如前述的主计算机，计算模块包括如前述的子节点计算机，本领域技术人员也应当理解，如果将本系统，其中涉及到的全部或部分模块组合或者拆分，以及简单的替换，或者对于一些模块的命名替换，凡通过以上手段对该系统进行调整以达到可实现如第一实施例所述的方法步骤，用这样系统代替本发明相应系统同样落在本发明的保护范围内。
本发明第三实施例还提供一种计算机存储介质，其上存储有计算机程序，计算机程序被执行时实现如前述的一种掩模图形全局属性获取方法的步骤，该计算机存储介质具有和前述方法相同的有益效果，在此不做赘述。
在本发明所提供的实施例中，应理解，“与A对应的B”表示B与A相关联，根据A可以确定B。但还应理解，根据A确定B并不意味着仅仅根据A确定B，还可以根据A和/或其他信息确定B。
应理解，说明书通篇中提到的“一个实施例”或“一实施例”意味着与实施例有关的特定特征、结构或特性包括在本发明的至少一个实施例中。因此，在整个说明书各处出现的“在一个实施例中”或“在一实施例中”未必一定指相同的实施例。此外，这些特定特征、结构或特性可以以任意适合的方式结合在一个或多个实施例中。本领域技术人员也应该知悉，说明书中所描述的实施例均属于可选实施例，所涉及的动作和模块并不一定是本发明所必须的。
在本发明的各种实施例中，应理解，上述各过程的序号的大小并不意味着执行顺序的必然先后，各过程的执行顺序应以其功能和内在逻辑确定，而不应对本发明实施例的实施过程构成任何限定。
在本发明的附图中的流程图和框图，图示了按照本申请各种实施例的系统、方法和计算机程序产品的可能实现的体系架构、功能和操作。在这点上，流程图或框图中的每个方框可以代表一个模块、程序段、或代码的一部分，该模块、程序段、或代码的一部分包含一个或多个用于实现规定的逻辑功能的可执行指令。也应当注意，在有些作为替换的实现方案中，方框中所标注的功能也可以不同于附图中所标注的顺序发生。例如，两个接连地表示的方框实际上可以基本并行地执行，它们有时也可以按相反的顺序执行，在此基于涉及的功能而确定。需要特别注意的是，框图和/或流程图中的每个方框、以及框图和/或流程图中的方框的组合，可以用执行规定的功能或操作的专用的基于硬件的系统来实现，或者可以用专用硬件与计算机指令的组合来实现。
与现有技术相比，本发明所提供给的一种掩模图形全局属性获取方法、系统及存储介质具有如下的有益效果：
1.本发明提供的一种掩模图形全局属性获取方法，通过，通过将版图切分获得局部区域后，分别对应各个局部区域获取其中的图形，对于被切分的图形，获取其切割线/点以及局部属性，之后根据切割线/点，将具有相同的切割线/点的图形进行合并，得到完整图形的全局属性，在不改变分布式计算逻辑的基础上，判断出被切分的图形并加以合并，使得图形数据完整，便于后续操作。
2.本发明提供的一种掩模图形全局属性获取方法，在计算属性时，可预设想要计算的属性，避免计算资源浪费，也可只计算被切分的图形，减少计算数据量。
3.本发明提供的一种掩模图形全局属性获取方法，子节点计算机计算完成后，将数据序列化进行传输前的准备，传输到主计算机后，主计算机对数据进行整合，进行数据合并前的准备，方便后续合并。
4.本发明提供的一种掩模图形全局属性获取方法，主计算机合并获得图形全局属性后，进行数据持久化，便于后续读取数据进行属性操作，之后无需再有额外的计算合并步骤。
5.本发明实施例还提供一种掩模图形全局属性获取系统，具有与上述一种掩模图形全局属性获取方法相同的有益效果，在此不做赘述。
6.本发明实施例还提供一种计算机存储介质，具有与上述一种掩模图形全局属性获取方法相同的有益效果，在此不做赘述。
以上对本发明实施例公开的一种掩模图形全局属性获取方法、系统及存储介质进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本发明的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本发明的方法及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本发明的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本发明的限制，凡在本发明的原则之内所作的任何修改，等同替换和改进等均应包含本发明的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种掩模图形全局属性获取方法，其特征在于：包括以下步骤：
获取版图，将所述版图切分获得至少两个局部区域；
分别获取各局部区域中的图形并判断是否为被切分的图形，若是，计算获得图形数据，数据包括切割点/线、以及局部属性；
将具有相同切割点/线的被切分图形的局部属性进行合并，获得完整图形的全局属性。
2.如权利要求1所述的掩模图形全局属性获取方法，其特征在于：将所述版图切分获得至少两个局部区域包括以下步骤：
基于主计算机，将版图进行切分为多个局部区域；
按照预设规则将局部区域分发给各子节点计算机。
3.如权利要求1所述的掩模图形全局属性获取方法，其特征在于：分别获取各局部区域中被切分的图形，计算其图形数据包括以下步骤：
获取局部区域中的图形；
判断图形是否存在部分与局部区域的边缘线重合；若存在，该图形即为被切分的图形，将与局部区域的边缘线重合的部分视为切割点/线；
计算切割点/线的绝对坐标以及预定义的局部属性。
4.如权利要求2所述的掩模图形全局属性获取方法，其特征在于：在计算获得图形数据之后还包括以下步骤：
基于protocol开源库将图形数据进行序列化转换为二进制字节流，并传输至主计算机；
由主计算机再进行反序列化将二进制字节流转换为程序数据，并将各个局部区域的图形数据整合在一起。
5.如权利要求4所述的掩模图形全局属性获取方法，其特征在于：基于protocol开源库将图形数据进行序列化转换为二进制字节流包括以下步骤：
创建proto文件，并定义要接收的数据类型和数据结构，然后编译成相对应的程序文件；
通过程序文件将图形数据进行序列化。
6.如权利要求1所述的掩模图形全局属性获取方法，其特征在于：将各个局部区域的局部属性基于切割点/线进行合并包括以下步骤：
判断图形之间是否具有相同的切割点/线；
若是，将具有相同切割点/线的图形的局部属性进行合并。
7.如权利要求1所述的掩模图形全局属性获取方法，其特征在于：对于未判定为被切分的图形，直接计算获得该图形的全局属性。
8.如权利要求1所述的掩模图形全局属性获取方法，其特征在于：在获得完整图形的全局属性之后，将全局属性存为二进制文件，并进行数据持久化。
9.一种掩模图形全局属性获取系统，用于实现如权利要求1-8任一项所述的一种掩模图形全局属性获取方法，其特征在于：包括以下模块：
切分模块：用于获取版图，将所述版图切分获得至少两个局部区域；
计算模块：用于获取局部区域中的图形并判断是否为被切分的图形，若是，计算获得图形数据，数据包括切割点/线、以及局部属性；
合并模块：用于将具有相同切割点/线的被切分图形的局部属性进行合并，形成完整图形的全局属性。
10.一种计算机存储介质，其上存储有计算机程序，其特征在于：所述计算机程序被执行时实现如权利要求1-8任一项所述的一种掩模图形全局属性获取方法的步骤。
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Legal Events
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| PB01 | Publication | ||
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| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
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