CN117810110B - 检测窗口确定方法及装置 - Google Patents

Abstract

本申请公开了一种检测窗口确定方法及装置，其中，检测窗口应用于CMP终点检测中，方法包括：获取终点检测曲线；对终点检测曲线进行分段拟合，根据分段拟合结果确定检测窗口的高度；根据终点检测曲线中斜率等于0的时间点划分不同的斜率阶段；利用斜率阶段中各时间点的斜率计算斜率阶段的平均斜率，根据斜率阶段的平均斜率确定对应斜率阶段的检测窗口的类型，利用检测窗口的高度和斜率阶段的平均斜率确定对应斜率阶段的检测窗口的宽度。本申请公开的上述技术方案，基于终点检测曲线预测确定CMP终点检测中检测窗口的大小和类型，从而提高CMP终点检测中检测窗口设定的准确性，以提高工艺控制能力和产品良率，并提高检测窗口设定效率。

Description

检测窗口确定方法及装置

技术领域

本申请涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种检测窗口确定方法及装置。

背景技术

CMP（Chemical Mechanical Polish，化学机械研磨）是目前半导体制造工艺中常用的平坦化工艺。为了能够稳定控制CMP材料去除量，提高工艺控制能力和产品良率，需要进行CMP终点检测。

CMP终点检测通常使用矩形窗口来判断当前曲线斜率范围，作为检测研磨是否进入下一阶段或者到达研磨终点的判断标准。目前，通常是工程师根据经验设置CMP终点检测中的检测窗口，反复尝试选择不同窗口大小，并重复测试不同数据来验证窗口设定的合理性，这种方式不仅会使得检测窗口设定的准确性低，导致工艺控制能力变差、降低产品良率，而且检测窗口设定效率比较低。

综上所述，如何提高CMP终点检测中检测窗口设置的准确性和效率，是目前本领域技术人员亟待解决的技术问题。

发明内容

有鉴于此，本申请的目的是提供一种检测窗口确定方法及装置，用于提高CMP终点检测中检测窗口设置的准确性和效率。

为了实现上述目的，本申请提供如下技术方案：

一种检测窗口确定方法，检测窗口应用于CMP终点检测中，所述检测窗口确定方法包括：

获取用于进行CMP终点检测的终点检测曲线；

对所述终点检测曲线进行分段拟合，根据分段拟合结果确定检测窗口的高度；

获取所述终点检测曲线中斜率等于0的时间点，根据斜率等于0的时间点划分不同的斜率阶段；

获取所述斜率阶段中各时间点的斜率，利用所述斜率阶段中各时间点的斜率计算所述斜率阶段的平均斜率，根据所述斜率阶段的平均斜率确定对应所述斜率阶段的检测窗口的类型，并利用所述检测窗口的高度和所述斜率阶段的平均斜率确定对应所述斜率阶段的检测窗口的宽度。

可选地，对所述终点检测曲线进行分段拟合，根据分段拟合结果确定检测窗口的高度，包括：

按照预设时长或预设分段数量对所述终点检测曲线分段线性拟合，得到各分段对应的拟合直线；

获取各所述分段和对应的所述拟合直线间的距离数组，并根据各所述分段对应的距离数组确定所述检测窗口的高度。

可选地，根据各所述分段对应的距离数组确定所述检测窗口的高度，包括：

利用各所述分段对应的距离数组分别计算各所述距离数组的离散程度；

根据各所述距离数组的离散程度确定所述检测窗口的高度。

可选地，根据各所述距离数组的离散程度确定所述检测窗口的高度，包括：

根据各所述距离数组的离散程度，计算离散程度平均值；

根据所述离散程度平均值确定所述检测窗口的高度。

可选地，利用各所述分段对应的距离数组分别计算各所述距离数组的离散程度，包括：

利用各所述分段对应的距离数组分别计算各所述距离数组的标准差；

根据各所述距离数组的离散程度确定所述检测窗口的高度，包括：

根据各所述距离数组的标准差确定所述检测窗口的高度。

可选地，根据斜率等于0的时间点划分不同的斜率阶段，包括：

根据斜率等于0的时间点及最小时长划分不同的斜率阶段；

其中，在第一个所述斜率阶段至少右端点为斜率等于0的时间点，在最后一个所述斜率阶段至少左端点为斜率等于0的时间点，在剩余所述斜率左端点及右端点均为斜率等于0的时间点，且各所述斜率阶段在满足对应时长大于所述最小时长的条件下包含最少数量的斜率等于0的时间点。

可选地，根据所述斜率阶段的平均斜率确定对应所述斜率阶段的检测窗口的类型，并利用所述检测窗口的高度和所述斜率阶段的平均斜率确定对应所述斜率阶段的检测窗口的宽度，包括：

利用下一个所述斜率阶段的平均斜率确定当前斜率阶段对应的检测窗口的类型；

当下一个所述斜率阶段的平均斜率不等于0时，则利用所述检测窗口的高度的一半和下一个所述斜率阶段的平均斜率，确定所述当前斜率阶段对应的检测窗口的宽度；当下一个所述斜率阶段的平均斜率等于0时，则利用所述检测窗口的高度的一半和所述当前斜率阶段的平均斜率，确定所述当前斜率阶段对应的检测窗口的宽度。

可选地，在利用所述斜率阶段中各时间点的斜率计算所述斜率阶段的平均斜率之前，还包括：

删除所述斜率阶段中绝对值小于斜率阈值的斜率。

可选地，获取终点检测曲线，包括：

获取多个终点检测曲线；

所述检测窗口确定方法还包括：

控制各所述终点检测曲线划分的斜率阶段数量及相应所述斜率阶段的检测窗口的类型一致；

从各所述终点检测曲线对应的检测窗口的高度中获取最大高度，并分别从各所述终点检测曲线的各相应所述斜率阶段对应的检测窗口的宽度中获取最大宽度，以得到各所述斜率阶段对应的检测窗口的高度和宽度。

可选地，还包括：

利用各所述斜率阶段对应的检测窗口的高度、宽度和类型，对验证曲线进行终点检测；

若终点检测正确，则对各所述斜率阶段对应的检测窗口的高度、宽度和类型进行保存。

一种检测窗口确定装置，检测窗口应用于CMP终点检测中，所述检测窗口确定装置包括：

第一获取模块，用于获取用于进行CMP终点检测的终点检测曲线；

分段拟合模块，用于对所述终点检测曲线进行分段拟合，根据分段拟合结果确定检测窗口的高度；

划分确定模块，用于获取所述终点检测曲线中斜率等于0的时间点，根据斜率等于0的时间点划分不同的斜率阶段；

确定模块，用于获取所述斜率阶段中各时间点的斜率，利用所述斜率阶段中各时间点的斜率计算所述斜率阶段的平均斜率，根据所述斜率阶段的平均斜率确定对应所述斜率阶段的检测窗口的类型，并利用所述检测窗口的高度和所述斜率阶段的平均斜率确定对应所述斜率阶段的检测窗口的宽度。

本申请提供了一种检测窗口确定方法及装置，其中，检测窗口应用于CMP终点检测中，该方法包括：获取终点检测曲线；对终点检测曲线进行分段拟合，根据分段拟合结果确定检测窗口的高度；获取终点检测曲线中斜率等于0的时间点，根据斜率等于0的时间点划分不同的斜率阶段；获取斜率阶段中各时间点的斜率，利用斜率阶段中各时间点的斜率计算斜率阶段的平均斜率，根据斜率阶段的平均斜率确定对应斜率阶段的检测窗口的类型，并利用检测窗口的高度和斜率阶段的平均斜率确定对应斜率阶段的检测窗口的宽度。

本申请公开的上述技术方案，对终点检测曲线进行分段拟合并基于分段拟合结果确定检测窗口的高度，且根据终点检测曲线中斜率等于0的时间点对终点检测曲线进行斜率阶段的划分，然后，根据检测窗口的高度以及划分得到的各斜率阶段的斜率确定对应斜率阶段的检测窗口的宽度和类型，以实现基于终点检测曲线预测确定CMP终点检测中检测窗口的大小和类型，从而提高CMP终点检测中检测窗口设定的准确性，以提高工艺控制能力和产品良率，并提高检测窗口设定效率。

本申请附加的方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本申请的实践了解到。

附图说明

图1为本申请实施例提供的一种检测窗口确定方法的流程图；

图2为本申请实施例提供的另一种检测窗口确定方法的流程图；

图3为本申请实施例提供的一种检测窗口确定装置的结构示意图。

具体实施方式

在CMP终点检测过程中通常使用矩形窗口来判断当前斜率范围，作为检测研磨是否进入下一阶段或者到达研磨终点的判断标准。因此，不同研磨阶段矩形窗口的大小和判断类型的选择对正确判断研磨终点的成功率起着重要作用。

目前，通常是工程师根据经验设置CMP终点检测中的检测窗口，重复尝试选择不同窗口大小，反复测试不同数据来验证窗口设定的合理性，不仅会使得检测窗口设置的准确性低，导致工艺控制能力变差、降低产品良率，而且检测窗口设置效率比较低。

为此，本申请提供一种检测窗口确定方法及装置，用于提高CMP终点检测中检测窗口设置的准确性和效率。

下面详细描述本申请的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本申请，而不能理解为对本申请的限制。

参见图1，其示出了本申请实施例提供的一种检测窗口确定方法的流程图，本申请实施例提供的一种检测窗口确定方法，检测窗口应用于CMP终点检测中，检测窗口确定方法可以包括：

S11：获取用于进行CMP终点检测的终点检测曲线。

需要说明的是，检测窗口应用于CMP终点检测中，本申请实施例所提供的检测窗口确定方法的执行主体可以为上位机等具备数据计算处理能力的设备，本申请实施例以执行主体为上位机为例进行说明。

首先，上位机可以获取终点检测曲线，终点检测曲线即为用于进行CMP终点检测的曲线。其中，终点检测曲线可以是实际生产过程中进行CMP时监测的物理量随时间的变化而得到的曲线或者是进行CMP实验时监测的物理量随时间的变化而得到的曲线，例如终点检测曲线的横坐标为时间、纵坐标为晶圆表面相应材料的厚度变化百分比，或者终点检测曲线的横坐标为时间、纵坐标为晶圆表面摩擦力变化百分比（或者折射率变化百分比、电信号变化百分比）等，本申请实施例对终点检测曲线的具体类型不做限定。

S12：对终点检测曲线进行分段拟合，根据分段拟合结果确定检测窗口的高度。

上位机在获取终点检测曲线后，考虑到终点检测曲线的波动性，为了提高检测窗口高度确定的准确性，则可以对终点检测曲线进行分段拟合，也即可以将终点检测曲线划分成多个分段，并分别对每个分段进行拟合，具体可以进行线性拟合，以得到分段拟合结果。之后，可以根据分段拟合结果确定检测窗口的高度，具体地，可以根据分段拟合结果确定终点检测曲线在各分段的波动情况，并根据波动情况确定检测窗口的高度。其中，所确定出的检测窗口的高度即为相应终点检测曲线对应的各检测窗口的高度，也即单个终点检测曲线对应的各检测窗口的高度相同。

通过对终点检测曲线进行分段拟合，并根据分段拟合结果确定检测窗口高度不仅可以实现自动确定检测窗口的高度，以提高检测窗口高度确定效率，而且还可以提高检测窗口高度确定的合理性和准确性。

S13：获取终点检测曲线中斜率等于0的时间点，根据斜率等于0的时间点划分不同的斜率阶段。

考虑到CMP终点检测过程中利用检测窗口判断曲线斜率变化时，曲线斜率一般等于检测窗口的高度的一半除以检测窗口的宽度，因此，为了提高检测窗口宽度确定的准确性，则在获取终点检测曲线后，还可以通过对各点进行斜率计算等方式获取终点检测曲线中斜率为0的时间点，然后，可以根据终点检测曲线中斜率为0的时间点将终点检测曲线划分为不同的斜率阶段。

S14：获取斜率阶段中各时间点的斜率，利用斜率阶段中各时间点的斜率计算斜率阶段的平均斜率，根据斜率阶段的平均斜率确定对应斜率阶段的检测窗口的类型，并利用检测窗口的高度和斜率阶段的平均斜率确定对应斜率阶段的检测窗口的宽度。

在根据斜率等于0的时间点划分不同的斜率阶段后，可以根据各斜率阶段的斜率确定对应斜率阶段的检测窗口的类型，并可以根据步骤S12中确定出的检测窗口的高度及各斜率阶段的斜率分别确定对应斜率阶段的检测窗口的宽度，从而得到各斜率阶段对应的检测窗口的高度（各斜率阶段对应的检测窗口的高度均相同，均为步骤S12确定的检测窗口的高度）、宽度和类型。其中，检测窗口的类型具体可以包括WindowOut+、WindowOut-和WindowIn，其中，WindowOut+为曲线从检测窗口左边框中点进、从检测窗口上边框出，WindowOut-为曲线从检测窗口左边框中点进、从检测窗口下边框出，WindowIn为曲线从检测窗口左边框中点进、从检测窗口右边框出。

具体地，对于每一个斜率阶段，均可以先获取斜率阶段中各时间点的斜率，然后，可以对斜率阶段中各时间点的斜率进行平均运算，以计算得到斜率阶段的平均斜率。之后，可以根据斜率阶段的平均斜率确定对应斜率阶段的检测窗口的类型，并根据检测窗口的高度和斜率阶段的平均斜率确定对应斜率阶段的检测窗口的宽度。通过计算斜率阶段的平均斜率，利用斜率阶段的平均斜率确定检测窗口的类型和宽度可以提高检测窗口类型和宽度确定的准确性。

通过上述实现利用终点检测曲线自动确定各斜率阶段对应的检测窗口的高度、宽度和类型，以提高检测窗口确定的合理性和准确率，减少试错次数，提高检测窗口确定效率。

需要说明的是，在确定终点检测曲线中各斜率阶段对应的检测窗口的高度、宽度和类型后，可以按照斜率阶段的排序分阶段输出各斜率阶段对应的检测窗口的高度、宽度和类型，以便于相关人员可以获取检测窗口的信息。并且，上位机还可接收对目标斜率阶段的检测窗口的高度和/或宽度进行调整的指令，并根据指令对目标斜率阶段的检测窗口的高度和/或宽度进行调整，其中，目标斜率阶段即为相关人员要进行检测窗口大小调整的斜率阶段。通过接收指令并根据指令对相应斜率阶段的检测窗口的大小进行调整可以实现人工校验调整检测窗口的高度和/或宽度，以进一步提高检测窗口大小确定的准确性。

本申请实施例公开的上述技术方案，对终点检测曲线进行分段拟合并基于分段拟合结果确定检测窗口的高度，且根据终点检测曲线中斜率等于0的时间点对终点检测曲线进行斜率阶段的划分，然后，根据检测窗口的高度以及划分得到的各斜率阶段的斜率确定对应斜率阶段对应的检测窗口的宽度和类型，以实现基于终点检测曲线预测确定CMP终点检测中检测窗口的大小和类型，从而提高CMP终点检测中检测窗口设定的准确性，以提高工艺控制能力和产品良率，并提高检测窗口设定效率。

本申请实施例提供的一种检测窗口确定方法，对终点检测曲线进行分段拟合，根据分段拟合结果确定检测窗口的高度，可以包括：

按照预设时长或预设分段数量对终点检测曲线分段线性拟合，得到各分段对应的拟合直线；

获取各分段和对应的拟合直线间的距离数组，并根据各分段对应的距离数组确定检测窗口的高度。

在对终点检测曲线进行分段拟合时，可以按照预设时长或预设分段数量对终点检测曲线分段，并对划分得到的各分段进行线性拟合，以得到各分段对应的拟合直线。其中，预设时长或预设分段数量均可以预先进行设置，预设时长具体可以根据终点检测曲线的时长进行设置，例如预设时长=终点检测曲线的时长/第一比例系数，第一比例系数可以为100，也可以为其他值，或者可以根据经验设置预设时长的大小（例如可以为0.3s或者2s等）。另外，在按照预设时长对终点检测曲线分段时，具体可以按照滑动窗口的方式来按照预设时长对终点检测曲线进行分段，以平滑地获取数据，使得数据具有更好的稳定性，便于提高检测窗口高度确定的准确性。

在得到终点检测曲线中各分段对应的拟合直线后，可以分别获取各分段和对应的拟合直线之间的距离数组。也即对于每一个分段，可以计算分段中各时间点的纵坐标值与相应拟合直线中相应时间点的纵坐标值间的距离（具体即将二者在相同时间点的纵坐标值作差），以得到相应分段对应的距离数组。然后，可以根据所有分段对应的距离数组确定检测窗口的高度，以提高检测窗口高度确定的合理性和准确性。

本申请实施例提供的一种检测窗口确定方法，根据各分段对应的距离数组确定检测窗口的高度，可以包括：

利用各分段对应的距离数组分别计算各距离数组的离散程度；

根据各距离数组的离散程度确定检测窗口的高度。

在根据各分段对应的距离数组确定检测窗口的高度时，首先，可以利用各分段对应的距离数组分别计算各距离数组的离散程度，离散程度在此指的是距离数组中各距离之间的差异程度。然后，可以根据所有距离数组的离散程度确定检测窗口的高度，以实现基于终点检测曲线的波动情况确定检测窗口的高度，从而提高检测窗口高度确定的准确性。

本申请实施例提供的一种检测窗口确定方法，根据各距离数组的离散程度确定检测窗口的高度，可以包括：

根据各距离数组的离散程度，计算离散程度平均值；

根据离散程度平均值确定检测窗口的高度。

在根据各距离数组的离散程度确定检测窗口的高度时，具体可以对各距离数组的离散程度进行平均运算，以计算得到离散程度平均值。之后，可以根据离散程度平均值确定检测窗口的高度，例如检测窗口的高度=第二比例系数×离散程度平均值×预设比例，预设比例可以根据离散程度的类型进行设置。

通过对离散程度进行平均运算得到的离散程度平均值进行检测窗口高度的确定可以提高检测窗口高度确定的准确性，从而提高终点检测的准确性。

本申请实施例提供的一种检测窗口确定方法，利用各分段对应的距离数组分别计算各距离数组的离散程度，可以包括：

利用各分段对应的距离数组分别计算各距离数组的标准差；

根据各距离数组的离散程度确定检测窗口的高度，可以包括：

根据各距离数组的标准差确定检测窗口的高度。

在本申请实施例中，具体可以利用各分段对应的距离数组分别计算各距离数组的离散程度的标准差，并可以根据所有距离数组的标准差确定检测窗口的高度，以提高检测窗口高度确定的合理性和准确性。

在上述基础上，在根据各距离数组的离散程度，计算离散程度平均值时具体即是根据各距离数组的标准差计算标准差平均值，在根据离散程度平均值确定检测窗口的高度具体即是根据标准差平均值确定检测窗口的高度。也即，可以先对各距离数组的标准差进行平均运算，以计算得到标准差平均值，然后可以根据标准差平均值确定检测窗口的高度，例如检测窗口的高度=标准差平均值×第二比例系数，第二比例系数不小于6，例如第二比例系数具体可以为8，其中，6这一数值具体是根据3sigma原则确定的，以通过使第二比例系数不小于6而尽可能地涵盖所有波动，从而提高检测窗口高度确定的准确性。

当然，上述提及的离散程度也可以为方差、平均差等。

本申请实施例提供的一种检测窗口确定方法，根据斜率等于0的时间点划分不同的斜率阶段，可以包括：

根据斜率等于0的时间点及最小时长划分不同的斜率阶段；

其中，在第一个斜率阶段至少右端点为斜率等于0的时间点，在最后一个斜率阶段至少左端点为斜率等于0的时间点，在剩余斜率左端点及右端点均为斜率等于0的时间点，且各斜率阶段在满足对应时长大于最小时长的条件下包含最少数量的斜率等于0的时间点。

在本申请实施例中，具体可根据斜率等于0的时间点以及最小时长划分不同的斜率阶段。需要说明的是，最小时长可由相关人员结合终点检测曲线的波动情况确定，通过限制斜率阶段的时长大于最小时长来避免将短时间内大波动的异常情况单独划分为一个斜率阶段，从而便于提高检测窗口确定的准确性。

其中，所划分出的第一个斜率阶段至少右端点为斜率等于0的时间点，其左端点为终点检测曲线的起始时间点；所划分出的最后一个斜率阶段至少左端点为斜率等于0的时间点，其右端点为终点检测曲线的终止时间点；各斜率阶段不仅均满足对应时长大于最小时长而且均包含最少数量的斜率等于0的时间点。

其中，根据斜率等于0的时间点及最小时长划分不同的斜率阶段的具体过程可以为：

1）对于第一个斜率阶段，可以从终点检测曲线的起始时间点出发查找第一个斜率等于0的时间点，判断起始时间点与第一个等于0的时间点之间的时长是否大于最小时长。若起始时间点与第一个斜率等于0的时间点之间的时长大于最小时长，则可以将起始时间点至第一个斜率等于0的时间点划分为第一个斜率阶段；若起始时间点与第一个斜率等于0的时间点之间的时长不大于最小时长，则查找第二个斜率等于0的时间点，判断起始时间点与第二个斜率等于0的时间点之间的时长是否大于最小时长……直至起始时间点与当前的斜率等于0的时间点之间的时长大于最小时长，然后，将起始时间点至当前的斜率等于0的时间点划分为一个斜率阶段。

2）在利用起始时间点及目标时间点确定一个斜率阶段后，可以从最新划分的斜率阶段的右端点开始执行与上述步骤1）中类似的操作，具体即从最新划分的斜率阶段的右端点开始获取与其距离最近、之间的时长大于最小时长且斜率等于0的时间点，并将这一阶段划分为一个斜率阶段，然后，重复执行前述过程，即重复执行从最新划分的斜率阶段的右端点开始获取与其距离最近、之间的时长大于最小时长且斜率等于0的时间点，并将这一阶段划分为一个斜率阶段的步骤，直至到达终点检测曲线的终止时间点确定最后一个斜率阶段为止。

通过上述可以实现基于终点检测曲线中斜率等于0的时间点以及最小时长来将终点检测曲线划分为不同的斜率阶段，从而提高斜率阶段划分的合理性和准确性，以提高检测窗口宽度和类型确定的准确性。

参见图2，其示出了本申请实施例提供的另一种检测窗口确定方法的流程图。本申请实施例提供的一种检测窗口确定方法，根据斜率阶段的平均斜率确定对应斜率阶段的检测窗口的类型，并利用检测窗口的高度和斜率阶段的平均斜率确定对应斜率阶段的检测窗口的宽度，可以包括：

利用下一个斜率阶段的平均斜率确定当前斜率阶段对应的检测窗口的类型；

当下一个斜率阶段的平均斜率不等于0时，则利用检测窗口的高度的一半和下一个斜率阶段的平均斜率，确定当前斜率阶段对应的检测窗口的宽度；当下一个斜率阶段的平均斜率等于0时，则利用检测窗口的高度的一半和当前斜率阶段的平均斜率，确定当前斜率阶段对应的检测窗口的宽度。

为了提高检测窗口确定准确性，以提高CMP终点检测的准确性，则具体可以利用下一个斜率阶段的平均斜率确定当前斜率阶段对应的检测窗口的类型。具体地，当下一个斜率阶段的平均斜率大于0时，则确定当前斜率阶段对应的检测窗口的类型为WindowOut+；当下一个斜率阶段的平均斜率小于0时，则确定当前斜率阶段对应的检测窗口的类型为WindowOut-；当下一个斜率阶段的平均斜率等于0时，则确定当前斜率阶段对应的检测窗口的类型为WindowIn。

并且在利用检测窗口的高度和斜率阶段的平均斜率确定对应斜率阶段的检测窗口的宽度时，当下一个斜率阶段的平均斜率不等于0时则当前斜率阶段对应的检测窗口的宽度=(检测窗口的高度的一半/下一个斜率阶段的平均斜率)×第三比例系数；当下一个斜率阶段的平均斜率等于0时则当前斜率阶段对应的检测窗口的宽度=(检测窗口的高度的一半/当前斜率阶段的平均斜率)×第三比例系数。其中，第三比例系数大于1，具体可以为2，当然，也可以为其他值，通过设置第三比例系数可以避免曲线从检测窗口的右端点出。通过基于下一个斜率阶段的平均斜率来计算当前斜率阶段对应的检测窗口的宽度可以提高当前斜率阶段对应的检测窗口宽度确定的准确性。

本申请实施例提供的一种检测窗口确定方法，在利用斜率阶段中各时间点的斜率计算斜率阶段的平均斜率之前，还可以包括：

删除斜率阶段中绝对值小于斜率阈值的斜率。

在本申请实施例中，在利用斜率阶段中各时间点的斜率计算斜率阶段的平均斜率之前，还可以删除斜率阶段中绝对值小于斜率阈值的斜率，其中，斜率阈值的大小可以由相关人员根据经验进行设置。

通过删除绝对值小于斜率阈值的斜率可以避免这些斜率拉低平均斜率因而导致所计算的检测窗口宽度过大以及误判检测窗口类型的问题，从而提高检测窗口宽度计算的准确性，并提高检测窗口类型判断的准确性。

本申请实施例提供的一种检测窗口确定方法，获取终点检测曲线，可以包括：

获取多个终点检测曲线；

检测窗口确定方法还可以包括：

控制各终点检测曲线划分的斜率阶段数量及各斜率阶段对应的检测窗口的类型一致；

从各终点检测曲线对应的检测窗口的高度中获取最大高度，并分别从各终点检测曲线的各相应斜率阶段对应的检测窗口的宽度中获取最大宽度，以得到各斜率阶段对应的检测窗口的高度和宽度。

在本申请实施例中，在获取终点检测曲线时，具体可以获取多个终点检测曲线，其中，这多个终点检测曲线为相同产品对应的同种类型（同种类型指的是横坐标、纵坐标所表示的物理量均对应相同）的终点检测曲线。然后，可以对这多个终点检测曲线中的每个终点检测曲线分别进行处理，以确定各终点检测曲线分别在各斜率阶段对应的检测窗口的高度、宽度和类型，具体地，可以给定分段拟合参数等参数循环预测每个终点检测曲线在各斜率阶段对应的检测窗口的高度、宽度和类型。当然，也可以仅获取一个终点检测曲线并对其进行处理。

其中，在获取多个终点检测曲线之后，且在根据终点检测曲线中斜率为0的时间点将终点检测曲线划分为不同的斜率阶段之后，还可以通过改变最小时长等参数控制所有终点检测曲线划分的斜率阶段数量、所有终点检测曲线划分的相应斜率阶段对应的检测窗口的类型保持一致，以便于提高检测窗口确定的准确性。具体地，可以由人工对上位机上的最小时长等参数进行改变而使得所有终点检测曲线划分的斜率阶段数量、各斜率阶段对应的检测窗口的类型保持一致，或者上位机可以通过自动改变最小时长等参数控制所有终点检测曲线划分的斜率阶段数量、各斜率阶段对应的检测窗口的类型保持一致。

在上述基础上，对于每个终点检测曲线，可以根据终点检测曲线中各斜率阶段的斜率确定终点检测曲线中各斜率阶段对应的检测窗口的类型，并根据终点检测曲线对应的检测窗口的高度以及各斜率阶段的斜率确定各斜率阶段对应的检测窗口的宽度。之后，可以从所有的终点检测曲线中获取检测窗口的最大高度，并可以分别从各终点检测曲线的各相应的斜率阶段对应的检测窗口的宽度中获取最大宽度，从而得到各斜率阶段对应的检测窗口的高度和宽度，也即将获取到的最大高度作为各斜率阶段对应的检测窗口的高度，将获取到的各斜率阶段对应的最大宽度对应作为各斜率阶段对应的检测窗口的宽度，从而提高检测窗口的高度和宽度确定的准确性，进而便于提高CMP终点检测的准确性。另外，上位机还可以输出所获取到的检测窗口的最大高度和各斜率阶段分别对应的检测窗口的最大宽度。

本申请实施例提供的一种检测窗口确定方法，还可以包括：

利用各斜率阶段对应的检测窗口的高度、宽度和类型，对验证曲线进行终点检测；

若终点检测正确，则对各斜率阶段对应的检测窗口的高度、宽度和类型进行保存。

在获取各斜率阶段对应的检测窗口的高度、宽度和类型之后，可以利用各斜率阶段对应的检测窗口的高度、宽度和类型对验证曲线进行终点检测。其中，验证曲线和终点检测曲线为相同产品对应的同种类型的曲线，验证曲线可以和终点检测曲线为相同曲线或者也可以为不同的曲线，本申请实施例对此不做限定。另外，验证曲线中包含有endpoint（终点）。

在利用各斜率阶段对应的检测窗口的高度、宽度和类型对验证曲线进行终点检测之后，判断检测终点（即利用各斜率阶段对应的检测窗口的高度、宽度和类型对验证曲线进行终点检测所检测到的终点）与验证曲线中包含的endpoint是否一致。具体地，可以判断检测终点与验证曲线中包含的endpoint的差值百分比（具体为横坐标差值百分比，也即为时间的差值百分比）是否在预设百分比（预设百分比可以预先设置，例如可以为±10%，或者±5%）以内，若检测终点与验证曲线中包含的endpoint的差值百分比在预设百分比以内，则可以确定检测终点与验证曲线中包含的endpoint一致，若检测终点与验证曲线中包含的endpoint的差值百分比未在预设百分比以内，则确定检测终点与验证曲线中包含的endpoint不一致。

若检测终点与验证曲线中包含的endpoint一致，则可以确定所得到的各斜率阶段对应的检测窗口的高度、宽度和类型是正确的，此时，则可以对各斜率阶段对应的检测窗口的高度、宽度和类型进行保存，以便于后续对对应产品进行终点检测。若检测终点与验证曲线中包含的endpoint不一致，则可以确定所得到的各斜率阶段对应的检测窗口的高度、宽度和类型是不正确的，此时，可以发出提示，以使得相关人员可以根据提示对检测窗口确定过程中的相关参数进行调整（例如预设时长的大小、最小时长的大小等），从而使得上位机可以根据调整后的参数进行检测窗口的确定，直至确定出确定的检测窗口的高度、宽度和类型，进而提高检测窗口确定的准确性。

需要说明的是，验证曲线的数量可以为一个也可以为多个，当为多个时，可以利用各斜率阶段对应的检测窗口的高度、宽度和类型，分别对每个验证曲线进行终点检测，若所有验证曲线的终点检测均正确，则可以对各斜率阶段对应的检测窗口的高度、宽度和类型进行保存。另外，无论验证曲线是一个还是多个，还可以利用所得到的各斜率阶段对应的检测窗口的高度、宽度和类型对同一验证曲线进行多次终点检测，判断每次的检测终点是否与验证曲线中包含的endpoint的差值百分比均在预设百分比以内，若是，则表明终点检测保持恒定，终点检测的稳定性高，因此，可以保存检测窗口确定方法备用，若否，则表明终点检测未保持稳定，终点检测的稳定性低，因此，可以发出提示，以使得相关人员可以根据提示对检测窗口确定过程中的有关参数进行调整，从而便于提高检测窗口确定方法的可靠性和稳定性。

在一具体实施例中，可以采用如下方式实现利用多个终点检测曲线确定检测窗口的大小和类型，并可以对多个验证曲线进行测试：

1.根据给定参数循环终点检测曲线预测窗口大小和类型。

2.改变参数，使所有终点检测曲线的斜率阶段个数、检测窗口的类型保持一致。

3.上位机从所有预测参数中得到最大值，并输出最大值。

4.循环用计算所得参数计算所有验证曲线的endpoint。

5.如果endpoint保持稳定，则可以保存检测窗口确定算法备用。

本申请实施例还提供了一种检测窗口确定装置，参见图3，其示出了本申请实施例提供的一种检测窗口确定装置的结构示意图，检测窗口应用于CMP终点检测中，检测窗口确定装置可以包括：

第一获取模块31，用于获取用于进行CMP终点检测的终点检测曲线；

分段拟合模块32，用于对终点检测曲线进行分段拟合，根据分段拟合结果确定检测窗口的高度；

划分模块33，用于获取终点检测曲线中斜率等于0的时间点，根据斜率等于0的时间点划分不同的斜率阶段；

确定模块34，用于获取斜率阶段中各时间点的斜率，利用斜率阶段中各时间点的斜率计算斜率阶段的平均斜率，根据斜率阶段的平均斜率确定对应斜率阶段的检测窗口的类型，并利用检测窗口的高度和斜率阶段的平均斜率确定对应斜率阶段的检测窗口的宽度。

本申请实施例提供的一种检测窗口确定装置，分段拟合模块32可以包括：

分段拟合单元，用于按照预设时长或预设分段数量对终点检测曲线分段线性拟合，得到各分段对应的拟合直线；

第一确定单元，用于获取各分段和对应的拟合直线间的距离数组，并根据各分段对应的距离数组确定检测窗口的高度。

本申请实施例提供的一种检测窗口确定装置，第一确定单元可以包括：

计算子单元，用于利用各分段对应的距离数组分别计算各距离数组的离散程度；

确定子单元，用于根据各距离数组的离散程度确定检测窗口的高度。

本申请实施例提供的一种检测窗口确定装置，确定子单元具体用于根据各距离数组的离散程度，计算离散程度平均值；根据离散程度平均值确定检测窗口的高度。

本申请实施例提供的一种检测窗口确定装置，计算子单元具体用于利用各分段对应的距离数组分别计算各距离数组的标准差；

确定子单元具体用于根据各距离数组的标准差确定检测窗口的高度。

本申请实施例提供的一种检测窗口确定装置，划分模块33可以包括：

划分单元，用于根据斜率等于0的时间点及最小时长划分不同的斜率阶段；

其中，在第一个斜率阶段至少右端点为斜率等于0的时间点，在最后一个斜率阶段至少左端点为斜率等于0的时间点，在剩余斜率左端点及右端点均为斜率等于0的时间点，且各斜率阶段在满足对应时长大于最小时长的条件下包含最少数量的斜率等于0的时间点。

本申请实施例提供的一种检测窗口确定装置，确定模块34可以包括：

第二确定单元，用于利用下一个斜率阶段的平均斜率确定当前斜率阶段对应的检测窗口的类型；

第三确定单元，用于当下一个斜率阶段的平均斜率不等于0时，则利用检测窗口的高度的一半和下一个斜率阶段的平均斜率，确定当前斜率阶段对应的检测窗口的宽度；当下一个斜率阶段的平均斜率等于0时，则利用检测窗口的高度的一半和当前斜率阶段的平均斜率，确定当前斜率阶段对应的检测窗口的宽度。

本申请实施例提供的一种检测窗口确定装置，还可以包括：

删除模块，用于在利用斜率阶段中各时间点的斜率计算斜率阶段的平均斜率之前，删除斜率阶段中绝对值小于斜率阈值的斜率。

本申请实施例提供的一种检测窗口确定装置，第一获取模块31可以包括：

获取单元，用于获取多个终点检测曲线；

检测窗口确定装置还可以包括：

控制模块，用于控制各终点检测曲线划分的斜率阶段数量及各斜率阶段对应的检测窗口的类型一致；

第二获取模块，用于从各终点检测曲线对应的检测窗口的高度中获取最大高度，并分别从各终点检测曲线的各相应斜率阶段对应的检测窗口的宽度中获取最大宽度，以得到各斜率阶段对应的检测窗口的高度和宽度。

本申请实施例提供的一种检测窗口确定装置，还可以包括：

检测模块，用于利用各斜率阶段对应的检测窗口的高度、宽度和类型，对验证曲线进行终点检测；

保存模块，用于若终点检测正确，则对各斜率阶段对应的检测窗口的高度、宽度和类型进行保存。

本申请实施例提供的一种检测窗口确定装置中相关部分的说明可以参见本申请实施例提供的一种检测窗口确定方法中对应部分的详细说明，在此不再赘述。

需要说明的是，在流程图中表示或在此以其他方式描述的逻辑和/或步骤，例如，可以被认为是用于实现逻辑功能的可执行指令的定序列表，可以具体实现在任何计算机可读介质中，以供指令执行系统、装置或设备（如基于计算机的系统、包括处理器的系统或其他可以从指令执行系统、装置或设备取指令并执行指令的系统）使用，或结合这些指令执行系统、装置或设备而使用。就本说明书而言，"计算机可读介质"可以是任何可以包含、存储、通信、传播或传输程序以供指令执行系统、装置或设备或结合这些指令执行系统、装置或设备而使用的装置。计算机可读介质的更具体的示例（非穷尽性列表）包括以下：具有一个或多个布线的电连接部（电子装置），便携式计算机盘盒（磁装置），随机存取存储器（RAM），只读存储器（ROM），可擦除可编辑只读存储器（EPROM或闪速存储器），光纤装置，以及便携式光盘只读存储器（CDROM）。另外，计算机可读介质甚至可以是可在其上打印所述程序的纸或其他合适的介质，因为可以例如通过对纸或其他介质进行光学扫描，接着进行编辑、解译或必要时以其他合适方式进行处理来以电子方式获得所述程序，然后将其存储在计算机存储器中。

应当理解，本申请的各部分可以用硬件、软件、固件或它们的组合来实现。在上述实施方式中，多个步骤或方法可以用存储在存储器中且由合适的指令执行系统执行的软件或固件来实现。例如，如果用硬件来实现，和在另一实施方式中一样，可用本领域公知的下列技术中的任一项或他们的组合来实现：具有用于对数据信号实现逻辑功能的逻辑门电路的离散逻辑电路，具有合适的组合逻辑门电路的专用集成电路，可编程门阵列（PGA），现场可编程门阵列（FPGA）等。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本申请的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本申请的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。

在本申请中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

尽管上面已经示出和描述了本申请的实施例，可以理解的是，上述实施例是示例性的，不能理解为对本申请的限制，本领域的普通技术人员在本申请的范围内可以对上述实施例进行变化、修改、替换和变型。

Claims (11)

1.一种检测窗口确定方法，其特征在于，检测窗口应用于CMP终点检测中，所述检测窗口确定方法包括：

获取用于进行CMP终点检测的终点检测曲线；

对所述终点检测曲线进行分段拟合，根据分段拟合结果确定检测窗口的高度；对所述终点检测曲线进行分段拟合，根据分段拟合结果确定检测窗口的高度，包括：将所述终点检测曲线划分成多个分段，分别对每个所述分段进行拟合；根据每个所述分段的分段拟合结果确定所述终点检测曲线在各所述分段的波动情况，根据所述终点检测曲线在各所述分段的波动情况确定检测窗口的高度；

获取所述终点检测曲线中斜率等于0的时间点，根据斜率等于0的时间点划分不同的斜率阶段；

获取所述斜率阶段中各时间点的斜率，利用所述斜率阶段中各时间点的斜率计算所述斜率阶段的平均斜率，根据所述斜率阶段的平均斜率确定对应所述斜率阶段的检测窗口的类型，并利用所述检测窗口的高度和所述斜率阶段的平均斜率确定对应所述斜率阶段的检测窗口的宽度；根据所述斜率阶段的平均斜率确定对应所述斜率阶段的检测窗口的类型，并利用所述检测窗口的高度和所述斜率阶段的平均斜率确定对应所述斜率阶段的检测窗口的宽度，包括：利用下一个所述斜率阶段的平均斜率确定当前斜率阶段对应的检测窗口的类型；当下一个所述斜率阶段的平均斜率不等于0时则利用所述检测窗口的高度和下一个所述斜率阶段的平均斜率确定所述当前斜率阶段对应的检测窗口的宽度，当下一个斜率阶段的平均斜率等于0时则利用所述检测窗口的高度和所述当前斜率阶段的平均斜率确定所述当前斜率阶段对应的检测窗口的宽度。

2.根据权利要求1所述的检测窗口确定方法，其特征在于，将所述终点检测曲线划分成多个分段，分别对每个所述分段进行拟合；根据每个所述分段的分段拟合结果确定所述终点检测曲线在各所述分段的波动情况，根据所述终点检测曲线在各所述分段的波动情况确定检测窗口的高度，包括：

按照预设时长或预设分段数量对所述终点检测曲线分段线性拟合，得到各分段对应的拟合直线；

获取各所述分段和对应的所述拟合直线间的距离数组，并根据各所述分段对应的距离数组确定所述检测窗口的高度。

3.根据权利要求2所述的检测窗口确定方法，其特征在于，根据各所述分段对应的距离数组确定所述检测窗口的高度，包括：

利用各所述分段对应的距离数组分别计算各所述距离数组的离散程度；

根据各所述距离数组的离散程度确定所述检测窗口的高度。

4.根据权利要求3所述的检测窗口确定方法，其特征在于，根据各所述距离数组的离散程度确定所述检测窗口的高度，包括：

根据各所述距离数组的离散程度，计算离散程度平均值；

根据所述离散程度平均值确定所述检测窗口的高度。

5.根据权利要求3所述的检测窗口确定方法，其特征在于，利用各所述分段对应的距离数组分别计算各所述距离数组的离散程度，包括：

利用各所述分段对应的距离数组分别计算各所述距离数组的标准差；

根据各所述距离数组的离散程度确定所述检测窗口的高度，包括：

根据各所述距离数组的标准差确定所述检测窗口的高度。

6.根据权利要求1所述的检测窗口确定方法，其特征在于，根据斜率等于0的时间点划分不同的斜率阶段，包括：

根据斜率等于0的时间点及最小时长划分不同的斜率阶段；

其中，在第一个所述斜率阶段至少右端点为斜率等于0的时间点，在最后一个所述斜率阶段至少左端点为斜率等于0的时间点，在剩余所述斜率左端点及右端点均为斜率等于0的时间点，且各所述斜率阶段在满足对应时长大于所述最小时长的条件下包含最少数量的斜率等于0的时间点。

7.根据权利要求6所述的检测窗口确定方法，其特征在于，当下一个所述斜率阶段的平均斜率不等于0时则利用所述检测窗口的高度和下一个所述斜率阶段的平均斜率确定所述当前斜率阶段对应的检测窗口的宽度，当下一个斜率阶段的平均斜率等于0时则利用所述检测窗口的高度和所述当前斜率阶段的平均斜率确定所述当前斜率阶段对应的检测窗口的宽度，包括：

当下一个所述斜率阶段的平均斜率不等于0时，则利用所述检测窗口的高度的一半和下一个所述斜率阶段的平均斜率，确定所述当前斜率阶段对应的检测窗口的宽度；当下一个所述斜率阶段的平均斜率等于0时，则利用所述检测窗口的高度的一半和所述当前斜率阶段的平均斜率，确定所述当前斜率阶段对应的检测窗口的宽度。

8.根据权利要求1所述的检测窗口确定方法，其特征在于，在利用所述斜率阶段中各时间点的斜率计算所述斜率阶段的平均斜率之前，还包括：

删除所述斜率阶段中绝对值小于斜率阈值的斜率。

9.根据权利要求1至8任一项所述的检测窗口确定方法，其特征在于，获取终点检测曲线，包括：

获取多个终点检测曲线；

所述检测窗口确定方法还包括：

控制各所述终点检测曲线划分的斜率阶段数量及相应所述斜率阶段的检测窗口的类型一致；

从各所述终点检测曲线对应的检测窗口的高度中获取最大高度，并分别从各所述终点检测曲线的各相应所述斜率阶段对应的检测窗口的宽度中获取最大宽度，以得到各所述斜率阶段对应的检测窗口的高度和宽度。

10.根据权利要求9所述的检测窗口确定方法，其特征在于，还包括：

利用各所述斜率阶段对应的检测窗口的高度、宽度和类型，对验证曲线进行终点检测；

若终点检测正确，则对各所述斜率阶段对应的检测窗口的高度、宽度和类型进行保存。

11.一种检测窗口确定装置，其特征在于，检测窗口应用于CMP终点检测中，所述检测窗口确定装置包括：

第一获取模块，用于获取用于进行CMP终点检测的终点检测曲线；

分段拟合模块，用于对所述终点检测曲线进行分段拟合，根据分段拟合结果确定检测窗口的高度；所述分段拟合模块，具体用于将所述终点检测曲线划分成多个分段，分别对每个所述分段进行拟合；根据每个所述分段的分段拟合结果确定所述终点检测曲线在各所述分段的波动情况，根据所述终点检测曲线在各所述分段的波动情况确定检测窗口的高度；

划分模块，用于获取所述终点检测曲线中斜率等于0的时间点，根据斜率等于0的时间点划分不同的斜率阶段；

确定模块，用于获取所述斜率阶段中各时间点的斜率，利用所述斜率阶段中各时间点的斜率计算所述斜率阶段的平均斜率，根据所述斜率阶段的平均斜率确定对应所述斜率阶段的检测窗口的类型，并利用所述检测窗口的高度和所述斜率阶段的平均斜率确定对应所述斜率阶段的检测窗口的宽度；所述确定模块，具体用于利用下一个所述斜率阶段的平均斜率确定当前斜率阶段对应的检测窗口的类型；当下一个所述斜率阶段的平均斜率不等于0时则利用所述检测窗口的高度和下一个所述斜率阶段的平均斜率确定所述当前斜率阶段对应的检测窗口的宽度，当下一个斜率阶段的平均斜率等于0时则利用所述检测窗口的高度和所述当前斜率阶段的平均斜率确定所述当前斜率阶段对应的检测窗口的宽度。