CN117589164A - 一种抗高过载惯性传感器 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种抗高过载惯性传感器，包括：基板；可移动质量块，悬挂于基板；弹性结构，对称设于可移动质量块的两侧，弹性结构的一端与可移动质量块固定连接，弹性结构的另一端与基板固定连接；缓冲结构，对称设置于可移动质量块，缓冲结构远离可移动质量块的一端与基板固定连接，用于使可移动质量块的边缘与基板柔性接触。通过设计柔性结构，并在柔性结构上设计小凸起，该柔性结构既可以单独作为抗高过载的结构也可以作为其它功能性能结构，由于小凸起的尺寸远小于柔性结构尺寸，因此可以在不损失MEMS惯性传感器芯片性能的前提下，提高MEMS惯性传感器芯片的抗高过载的能力，从而提高传感器的可靠性。

Description

一种抗高过载惯性传感器

技术领域

本发明涉及传感器技术领域，尤其是指一种抗高过载惯性传感器。

背景技术

微机电系统（micro electro mechanical system，MEMS）是指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置，其内部结构一般在微米甚至纳米量级，一般被认为是由微型机械传感器、执行机构和微电子电路组成的微型系统，是一个独立的智能系统。

MEMS惯性传感器件包括MEMS加速度计，MEMS陀螺仪等MEMS器件，是一种基于微机电系统的可用于检测加速度、角速度信号变化的传感器芯片，广泛应用于汽车、手机、导航、医疗等产业，是重要的人机互动界面的连接纽带。

MEMS（微电子机械系统）惯性传感器芯片抗高过载的现有技术目前有两种方案：1）提高MEMS结构的弹性梁结构刚度，使传感器在高过载情况下发生较小位移，减小与固定结构的碰撞速度，保护MEMS可动结构不受损坏；2）减小MEMS结构的质量，使得高过载产生的力较小，减小与固定结构的碰撞速度，保护MEMS可动结构不受损坏；以上两点的缺点均减小了传感器芯片的性能，无论是提高弹性梁结构刚度还是减小结构质量，都会降低MEMS芯片的灵敏度，减小传感器的分辨率。

发明内容

为此，本发明所要解决的技术问题在于克服现有技术中为了使MEMS（微电子机械系统）惯性传感器芯片抗高过载，均减小了传感器芯片的性能，无论是提高弹性梁结构刚度还是减小结构质量，都会降低MEMS芯片的灵敏度，减小传感器的分辨率。 为解决上述技术问题，本发明第一方面提供了一种抗高过载惯性传感器，包括：

基板；

可移动质量块，悬挂安装于所述基板；

弹性结构，对称设于所述可移动质量块的两侧，所述弹性结构的一端与所述可移动质量块固定连接，所述弹性结构的另一端与所述基板固定连接；

缓冲结构，对称设置于所述可移动质量块，所述缓冲结构远离所述可移动质量块的一端与所述基板固定连接，用于使所述可移动质量块的边缘与所述基板柔性接触；所述缓冲结构内形成有缓冲空间，所述缓冲结构包括缓冲凸起，所述缓冲凸起与可移动质量块固定连接，且所述缓冲凸起位于所述缓冲空间内，用于抵抗所述可移动质量块过载对所述基板所带来的冲击。

在本发明的一个实施例中，所述缓冲结构还包括：

第一缓冲件，固定连接于所述基板；

第二缓冲件，固定连接于所述可移动质量块的边缘，所述第一缓冲件与所述第二缓冲件配合使用。

在本发明的一个实施例中，所述第一缓冲件包括：沿第一方向相对设置的第一柔性缓冲杆，至少两个所述第一柔性缓冲杆与所述可移动质量块平行，所述第一柔性缓冲杆的一端与基板固定连接；

沿第二方向相对设置的第二柔性缓冲杆，至少两个所述第二柔性缓冲杆与所述可移动质量块平行，所述第二柔性缓冲杆的一端与基板固定连接，所述第一方向与所述第二方向垂直；

所述缓冲空间包括：第一缓冲空间和第二缓冲空间，所述第一缓冲空间设置于两个所述第一柔性缓冲杆之间，所述二缓冲空间设置于两个所述第二柔性缓冲杆之间。

在本发明的一个实施例中，所述第二缓冲件包括：

第三柔性缓冲杆，位于所述第一缓冲空间内，所述第三柔性缓冲杆的一端与所述可移动质量块固定连接；

第四柔性缓冲杆，位于所述第二缓冲空间内，所述第四柔性缓冲杆的一端与所述可移动质量块固定连接；

所述缓冲凸起包括第一柔性缓冲凸起和第二柔性缓冲凸起，所述第一柔性缓冲凸起设置于所述第三柔性缓冲杆，所述第一柔性缓冲凸起的移动范围为所述第一缓冲空间；

所述第二柔性缓冲凸起设置于所述第四柔性缓冲杆，所述第二柔性缓冲凸起的移动范围为所述第二缓冲空间。

在本发明的一个实施例中，所述缓冲结构沿所述可移动质量块的边缘均匀设置。

在本发明的一个实施例中，缓冲结构还包括：

第三缓冲件，固定连接于所述可移动质量块的内部，所述第三缓冲件内部形成通孔；

柔性固定端，固定连接于所述基板，所述柔性固定端至少部分处于所述通孔内。

在本发明的一个实施例中，所述第三缓冲件还包括：

第二柔性缓冲凸起，对称设置于所述第三缓冲件边缘，所述第二柔性缓冲凸起与所述柔性固定端配合使用。

在本发明的一个实施例中，所述第二柔性缓冲凸起均布于所述通孔。

本发明的上述技术方案相比现有技术具有以下优点：

本发明所述的一种抗高过载惯性传感器，通过设计柔性结构，并在柔性结构上设计小凸起，该柔性结构既可以单独作为抗高过载的结构也可以作为其它功能性能结构，由于小凸起的尺寸远小于柔性结构尺寸，因此可以在不损失MEMS惯性传感器芯片性能的前提下，提高MEMS惯性传感器芯片的抗高过载的能力，从而提高传感器的可靠性。

附图说明

为了使本发明的内容更容易被清楚的理解，下面根据本发明的具体实施例并结合附图，对本发明作进一步详细的说明。

图1是本发明第一种实施例的俯视图；

图2是本发明第二种实施例的俯视图；

图3是本发明第三种实施例的俯视图；

图4是本发明第三种实施例的侧视图；

图5是本发明第四种实施例的俯视图。

说明书附图标记说明：1、基板；2、可移动质量块；3、弹性结构；4、缓冲结构；41、第一缓冲件；411、第一柔性缓冲杆；412、第一缓冲空间；413、第二柔性缓冲杆；414、第二缓冲空间；42、第二缓冲件；421、第三柔性缓冲杆；422、第一柔性缓冲凸起；423、第四柔性缓冲杆；424、第二柔性缓冲凸起；43、第三缓冲件；431、第三柔性缓冲凸起；44、柔性固定端。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步说明，以使本领域的技术人员可以更好地理解本发明并能予以实施，但所举实施例不作为对本发明的限定。

实施例1

第一方面，参照图1所示，一种抗高过载惯性传感器，包括：基板1；可移动质量块2，悬挂于基板1；弹性结构3，对称设于可移动质量块2的两侧，弹性结构3的一端与可移动质量块2固定连接，弹性结构3的另一端与基板1固定连接；缓冲结构4，对称设置于可移动质量块2，缓冲结构4远离可移动质量块2的一端与基板1固定连接，用于使可移动质量块2的边缘与基板1柔性接触；所述缓冲结构4内形成有缓冲空间，所述缓冲结构4包括缓冲凸起，所述缓冲凸起与可移动质量块2固定连接，且所述缓冲凸起位于所述缓冲空间内，用于抵抗所述可移动质量块2过载对所述基板1所带来的冲击。

在本实施例中，可移动质量块2能够移动，当可移动质量块2移动时，可移动质量块2的位移与输入的载荷相关，通过检测位移的变化可表征输入的载荷。可移动质量块2通过弹性结构3悬挂于基板1，设置弹性结构3的目的是需要保证可移动质量块2在惯性载荷方向上有移动自由度，其中，为了保证可移动质量块2在沿x轴移动时的平衡性，因此弹性结构3需要对应设置在可移动质量块2的两侧。缓冲结构4对称设置于可移动质量块2的边缘，且缓冲结构4远离可移动质量块2的一端与基板1固定连接，缓冲结构4的目的是为了使可移动质量块2的边缘与基板1柔性接触。缓冲结构4通过弹性变形来缓冲过载时的冲击，保护了传感器在高过载下不被破坏，提高传感器抗外部过载的可靠性。

缓冲结构4还包括：第一缓冲件41，固定连接于基板1；第二缓冲件42，固定连接于可移动质量块2的边缘，第一缓冲件41与第二缓冲件42配合使用。

在本实施例中，由上述可知，第一缓冲件41的一端为面向可移动质量块2的自由端，第一缓冲件41的另一端与基板1固定连接，通过第一缓冲件41的变形进而减小可移动质量块2过载所带来的冲击，第二缓冲件42的一端为面向第一缓冲件41的自由端，第二缓冲件42的另一端与可移动质量块2的边缘固定连接，通过第二缓冲件42的变形进而减小可移动质量块2过载所带来的冲击，其中，第一缓冲件41与第二缓冲件42需要配合使用，在减小可移动质量块2过载所带来的冲击时效果更好。

第一缓冲件41包括：沿第一方向相对设置的第一柔性缓冲杆411，至少两个第一柔性缓冲杆411与可移动质量块2平行，第一柔性缓冲杆411的一端与基板1固定连接；沿第二方向相对设置的第二柔性缓冲杆413，至少两个第二柔性缓冲杆413与可移动质量块2平行，第二柔性缓冲杆413的一端与基板1固定连接，第一方向与第二方向垂直；

所述缓冲空间包括：第一缓冲空间412和第二缓冲空间414，所述第一缓冲空间412设置于两个所述第一柔性缓冲杆411之间，所述二缓冲空间414设置于两个所述第二柔性缓冲杆413之间。

在本实施例中，第一缓冲件41包括沿水平方向设置的两个第一柔性缓冲杆411，其中，两个第一柔性缓冲杆411之间为了形成与第二缓冲件42配合使用第一缓冲空间412，两个第一柔性缓冲杆411需要相对设置，且相对设置的两个第一柔性缓冲杆411需要与可移动质量块2平行，第一方向为水平方向，当可移动质量块2过载时，可以通过两个第一柔性缓冲杆411之间形成的第一缓冲空间412与第二缓冲件42配合使用来抵抗横向过载所带来的冲击。

参照图2所示，在本实施例中，第一缓冲件41还包括沿竖直方向设置的两个第二柔性缓冲杆413，其中，两个第二柔性缓冲杆413之间为了形成与第二缓冲件42配合使用第二缓冲空间414，两个第二柔性缓冲杆413需要相对设置，且相对设置的两个第二柔性缓冲杆413需要与可移动质量块2平行，第二方向为竖直方向，当可移动质量块2过载时，可以通过两个第二柔性缓冲杆413之间形成的第二缓冲空间414与第二缓冲件42配合使用来抵抗纵向过载所带来的冲击。

第二缓冲件42包括：第三柔性缓冲杆421，位于第一缓冲空间412内，第三柔性缓冲杆421的一端与可移动质量块2固定连接；第四柔性缓冲杆423，位于所述第二缓冲空间414内，所述第四柔性缓冲杆423的一端与所述可移动质量块2固定连接；所述缓冲凸起包括第一柔性缓冲凸起422和第二柔性缓冲凸起424，所述第一柔性缓冲凸起422设置于第三柔性缓冲杆421，第一柔性缓冲凸起422的移动范围为第一缓冲空间412；所述第二柔性缓冲凸起424设置于第四柔性缓冲杆423，第二柔性缓冲凸起424的移动范围为第二缓冲空间414。

在本实施例中，为了使第二缓冲件42包括的第三柔性缓冲杆421与第一缓冲件41配合使用，因此第三柔性缓冲杆421的一端必须有部分位于第一缓冲空间412内，为了抵抗当可移动质量块2横向过载时所带来的冲击，另一端需要与可移动质量块2固定连接，且第三柔性缓冲杆421位于第一缓冲空间412内的一端上设有第一柔性缓冲凸起422，当可移动质量块2过载时，可以通过第一柔性缓冲凸起422与两个相对设置的第一柔性缓冲杆411之间形成的第一缓冲空间412来抵抗横向过载所带来的冲击。

为了使第二缓冲件42包括的第四柔性缓冲杆423与第一缓冲件41配合使用，因此第四柔性缓冲杆423的一端必须与有部分位于第二缓冲空间414内，为了抵抗当可移动质量块2纵向过载时所带来的冲击，另一端需要与可移动质量块2固定连接，且第四柔性缓冲杆423位于第二缓冲空间414内的一端上设有第二柔性缓冲凸起424，当可移动质量块2过载时，可以通过第二柔性缓冲凸起424与两个相对设置的第二柔性缓冲杆413之间形成的第二缓冲空间414来抵抗纵向过载所带来的冲击。

实施例2

一种抗高过载惯性传感器，包括：基板1；可移动质量块2，悬挂于基板1；弹性结构3，对称设于可移动质量块2的两侧，弹性结构3的一端与可移动质量块2固定连接，弹性结构3的另一端与基板1固定连接；缓冲结构4，对称设置于可移动质量块2，缓冲结构4远离可移动质量块2的一端与基板1固定连接，用于使可移动质量块2的边缘与基板1柔性接触。

缓冲结构4包括：第一缓冲件41，固定连接于基板1，第一缓冲件41与第二缓冲件42配合使用；第二缓冲件42，固定连接于可移动质量块2的边缘。

第一缓冲件41包括：沿第一方向相对设置的第一柔性缓冲杆411，至少两个第一柔性缓冲杆411与可移动质量块2平行，第一柔性缓冲杆411的一端与基板1固定连接，两个第一柔性缓冲杆411之间形成第一缓冲空间412；沿第二方向相对设置的第二柔性缓冲杆413，至少两个第二柔性缓冲杆413与可移动质量块2平行，第二柔性缓冲杆413的一端与基板1固定连接，两个第二柔性缓冲杆413之间形成第二缓冲空间414，第一方向与第二方向垂直。

第二缓冲件42包括：第三柔性缓冲杆421，位于第一缓冲空间412内，第三柔性缓冲杆421的一端与可移动质量块2固定连接；第一柔性缓冲凸起422，设置于第三柔性缓冲杆421，第一柔性缓冲凸起422的移动范围为第一缓冲空间412；第四柔性缓冲杆423，位于第二缓冲空间414内，第四柔性缓冲杆423的一端与可移动质量块2固定连接；第二柔性缓冲凸起424，设置于第四柔性缓冲杆423，第二柔性缓冲凸起424的移动范围为第二缓冲空间414。

第二缓冲件42还包括第四柔性缓冲杆423，第四柔性缓冲杆423的一端与可移动质量块2固定连接，另一端有部分位于第二缓冲空间414内，第四柔性缓冲杆423位于第二缓冲空间414内的一端上设有第二柔性缓冲凸起424，当可移动质量块2过载时，可以通过第二柔性缓冲凸起424与两个相对设置的第二柔性缓冲杆413之间形成的第二缓冲空间414来抵抗纵向过载所带来的冲击。

缓冲结构4沿可移动质量块2的边缘均匀设置。

在本实施例中，如图2所示，与其他实施例不同之处在于为了保证可移动质量块2沿x轴和y轴移动时的平衡性，需要在可移动质量块2的四条边缘上均匀设置弹性结构3，且在此基础上，当有高过载载荷输入时，为了减小可移动质量块2对基板1的冲击，缓冲结构4需要沿可移动质量块2的四个边缘均匀设置，也就是在可移动质量块2的四条边缘上均匀设置多个第一缓冲件41和与其配合使用的第二缓冲件42。

实施例3

一种抗高过载惯性传感器，包括：基板1；可移动质量块2，悬挂于基板1；弹性结构3，对称设于可移动质量块2的两侧，弹性结构3的一端与可移动质量块2固定连接，弹性结构3的另一端与基板1固定连接；缓冲结构4，对称设置于可移动质量块2，缓冲结构4远离可移动质量块2的一端与基板1固定连接，用于使可移动质量块2的边缘与基板1柔性接触。

缓冲结构4还包括：第三缓冲件43，固定连接于可移动质量块2的内部，第三缓冲件43内部形成通孔；柔性固定端44，固定连接于基板1，柔性固定端44至少部分处于通孔内。

在本实施例中，如图3和图4所示，与其他实施例不同之处在于缓冲结构4还包括第三缓冲件43和柔性固定端44，第三缓冲件43与可移动质量块2的内部固定连接，且第三缓冲件43的内部形成通孔，柔性固定端44的一端与基板1固定连接，柔性固定端44的另一端需要处于通孔内，当有高过载载荷输入时，第三缓冲件43与柔性固定端44柔性接触可以减小可移动质量块2对基板1的冲击，进而保护传感器在高过载下不被破坏，提高传感器抗外部过载的可靠性。

第三缓冲件43还包括：第三柔性缓冲凸起431，对称设置于第三缓冲件43边缘，第三柔性缓冲凸起431与柔性固定端44配合使用。

在本实施例中，第三柔性缓冲凸起431设置于第三缓冲件43的边缘，且多个第三柔性缓冲凸起431对称设置，不论可移动质量块2向x正半轴移动，还是向x负半轴移动，都可以通过第三柔性缓冲凸起431与柔性固定端44的柔性接触来减小可移动质量块2在横向上对基板1的冲击，进而保护传感器在高过载下不被破坏，提高传感器抗外部过载的可靠性。

实施例4

一种抗高过载惯性传感器，包括：基板1；可移动质量块2，悬挂于基板1；弹性结构3，对称设于可移动质量块2的两侧，弹性结构3的一端与可移动质量块2固定连接，弹性结构3的另一端与基板1固定连接；缓冲结构4，对称设置于可移动质量块2，缓冲结构4远离可移动质量块2的一端与基板1固定连接，用于使可移动质量块2的边缘与基板1柔性接触。

缓冲结构4还包括：第三缓冲件43，固定连接于可移动质量块2的内部，第三缓冲件43内部形成通孔；柔性固定端44，固定连接于基板1，柔性固定端44至少部分处于通孔内。

第三缓冲件43还包括：第三柔性缓冲凸起431，对称设置于第三缓冲件43边缘，第三柔性缓冲凸起431与柔性固定端44配合使用。

第三柔性缓冲凸起431均布于通孔。

在本实施例中，如图5所示，与其他实施例不同之处在于为了保证可移动质量块2沿x轴和y轴移动时的平衡性，需要在可移动质量块2的四条边缘上均匀设置弹性结构3，且在此基础上，当有高过载载荷输入时，为了减小可移动质量块2在横向和纵向上两个方向上对基板1的冲击，多个第三柔性缓冲凸起431需要均匀分布于通孔。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

在本发明中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连；可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

在本发明中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征 “上”或“下”，可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”，可以是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”，可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度低于第二特征。

在本说明书的描述中，术语“一个实施例”、“一些实施例”、“实施例”、“示例”、“具体示例”或“一些示例”等的描述，是指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。

尽管上面已经示出和描述了本发明的实施例，可以理解的是，上述实施例是示例性的，不能理解为对本发明的限制，本领域的普通技术人员在本发明的范围内可以对上述实施例进行改动、修改、替换和变型。

显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引申出的显而易见的变化或变动仍处于本发明创造的保护范围之中。

Claims (8)

1.一种抗高过载惯性传感器，其特征在于，包括：

基板（1）；

可移动质量块（2），悬挂于所述基板（1）；

弹性结构（3），对称设于所述可移动质量块（2）的两侧，所述弹性结构（3）的一端与所述可移动质量块（2）固定连接，所述弹性结构（3）的另一端与所述基板（1）固定连接；

缓冲结构（4），对称设置于所述可移动质量块（2），所述缓冲结构（4）远离所述可移动质量块（2）的一端与所述基板（1）固定连接，用于使所述可移动质量块（2）的边缘与所述基板（1）柔性接触；所述缓冲结构（4）内形成有缓冲空间，所述缓冲结构（4）包括缓冲凸起，所述缓冲凸起与可移动质量块（2）固定连接，且所述缓冲凸起位于所述缓冲空间内，用于抵抗所述可移动质量块（2）过载对所述基板（1）所带来的冲击。

2.根据权利要求1所述的一种抗高过载惯性传感器，其特征在于，所述缓冲结构（4）还包括：

第一缓冲件（41），固定连接于所述基板（1）；

第二缓冲件（42），固定连接于所述可移动质量块（2）的边缘，所述第一缓冲件（41）与所述第二缓冲件（42）配合使用。

3.根据权利要求2所述的一种抗高过载惯性传感器，其特征在于，所述第一缓冲件（41）包括：

沿第一方向相对设置的第一柔性缓冲杆（411），至少两个所述第一柔性缓冲杆（411）与所述可移动质量块（2）平行，所述第一柔性缓冲杆（411）的一端与基板（1）固定连接；

沿第二方向相对设置的第二柔性缓冲杆（413），至少两个所述第二柔性缓冲杆（413）与所述可移动质量块（2）平行，所述第二柔性缓冲杆（413）的一端与基板（1）固定连接，所述第一方向与所述第二方向垂直；

所述缓冲空间包括：第一缓冲空间（412）和第二缓冲空间（414），所述第一缓冲空间（412）设置于两个所述第一柔性缓冲杆（411）之间，所述二缓冲空间（414）设置于两个所述第二柔性缓冲杆（413）之间。

4.根据权利要求3所述的一种抗高过载惯性传感器，其特征在于，所述第二缓冲件（42）包括：

第三柔性缓冲杆（421），位于所述第一缓冲空间（412）内，所述第三柔性缓冲杆（421）的一端与所述可移动质量块（2）固定连接；

第四柔性缓冲杆（423），位于所述第二缓冲空间（414）内，所述第四柔性缓冲杆（423）的一端与所述可移动质量块（2）固定连接；

所述缓冲凸起包括第一柔性缓冲凸起（422）和第二柔性缓冲凸起（424），所述第一柔性缓冲凸起（422）设置于所述第三柔性缓冲杆（421），所述第一柔性缓冲凸起（422）的移动范围为所述第一缓冲空间（412）；

所述第二柔性缓冲凸起（424）设置于所述第四柔性缓冲杆（423），所述第二柔性缓冲凸起（424）的移动范围为所述第二缓冲空间（414）。

5.根据权利要求1所述的一种抗高过载惯性传感器，其特征在于：所述缓冲结构（4）沿所述可移动质量块（2）的边缘均匀设置。

6.根据权利要求1所述的一种抗高过载惯性传感器，其特征在于，缓冲结构（4）还包括：

第三缓冲件（43），固定连接于所述可移动质量块（2）的内部，所述第三缓冲件（43）内部形成通孔；

柔性固定端（44），固定连接于所述基板（1），所述柔性固定端（44）至少部分处于所述通孔内。

7.根据权利要求6所述的一种抗高过载惯性传感器，其特征在于，所述第三缓冲件（43）还包括：

第三柔性缓冲凸起（431），对称设置于所述第三缓冲件（43）边缘，所述第三柔性缓冲凸起（431）与所述柔性固定端（44）配合使用。

8.根据权利要求7所述的一种抗高过载惯性传感器，其特征在于：所述第三柔性缓冲凸起（431）均布于所述通孔。